【課題】インプリント後に媒体基板表面のレジストに押し付けられたスタンパを容易に剥離することができるインプリント装置を提供する。
【解決手段】凹凸パターンが形成されたディスク状のスタンパを保持する第１の金型と、レジストが塗布されたディスク状の基板を、前記第１の金型に保持された前記スタンパと対向させて保持する第２の金型と、前記第１の金型の周囲に配置され、前記第１の金型に保持された前記スタンパの外周部を真空吸引するための外側溝と前記スタンパの外周部を大気開放するための内側溝とが形成された吸着リングとを有することを特徴とするインプリント装置。 （もっと読む）

【課題】スタンパを原盤から剥離するときに、スタンパ及び原盤が歪んだり傷ついたりするのを防ぐことを目的とする。
【解決手段】本発明のスタンパの剥離方法は、原盤上に電解めっき法を用いてスタンパを形成した後に、形成されたスタンパと原盤を水中に固定し、スタンパと原盤の境界面に向けてノズルから水を噴出させることを特徴とする。また、本発明の剥離装置は、原盤或いはメタルマスタとその上に形成されたスタンパとを内部に固定・収納可能な空洞を有し、前記空洞の中に収納されたスタンパつき原盤のスタンパと原盤の境界面に向けて水を噴出するノズルと、噴出された水を容器外に排出する排出口を有し、前記ノズルと排出口以外は開口部を有さない容器からなり、前記排出口の断面積はノズル先端断面面積より大きく、前記排出口の開口幅は前記スタンパの直径より小さいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】処理工程が少なく、高精度で正確な彫刻溝を形成することができ、しかも大量生産に適したインプリント部材の製造方法とインプリント部材を提案する。
【解決手段】基材の表面に、水素を１２〜３０原子％含み、残部が炭素からなるアモルファス状ＤＬＣ膜を被覆形成し、その後、該ＤＬＣ膜の表面に直接、レーザビームを照射して、幾何学模様などからなる彫刻溝を彫刻することによってインプリント部材を製造する。このインプリント部材によれば、溝形状を合成樹脂層上に正確にかつ高精度に転写することが可能であり、低価格で大量生産に適する。 （もっと読む）

【課題】生産性向上に適したＢＰＭ型磁気ディスク製造方法と当該方法に使用できるスタンパユニットを提供する。
【解決手段】磁気ディスク製造方法は第１・第２工程を含む。第１工程では、製造目的のＢＰＭにおける複数のサーボ領域の第１磁性部に対応したパターン形状の凹部を転写面に伴う第１スタンパと磁性膜５の間に第１樹脂を介在させて第１スタンパを第１樹脂に押し付ける。これにより、第１磁性部に対応したパターン形状を有する複数のマスク１１Ａを磁性膜５上に設ける。第２工程では、ユーザデータ領域の第２磁性部に対応したパターン形状の凹部３２を転写面３０ａに伴う第２スタンパ３０と磁性膜５の間に第２樹脂１３を介在させて第２スタンパ３０を第２樹脂１３に押し付ける。第２工程では、当該過程を経て、第２磁性部に対応したパターン形状を有するマスク１３Ａを磁性膜５上に設けることをサーボ領域形成予定箇所間毎に行う。 （もっと読む）

【課題】微細パターンを簡易で、効率よく形成することができ、かつ、欠陥の発生が少ないパターン形成方法を提供する。
【解決手段】被パターン形成体２３、及び表面に凹凸部を有するモールド構造体２１の少なくともいずれかに活性種供給源を付与する処理と、前記モールド構造体の凹凸部を前記被パターン形成体２３に接触させる処理とを含む工程と、前記活性種供給源に励起光を照射し、前記被パターン形成体２３の表面に酸化膜を形成する酸化膜形成工程と、を少なくとも含むパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】凸凹パターンの記録層を平坦化する磁気記録媒体の製造方法において、表面の平坦度を向上する。
【解決手段】記録層３２−１を形成する凸凹パターンを平坦化するため、高研磨レートの第１の充填材３６の上に、低研磨レートの第２の充填材３８を設け、研磨する。研磨時間を長くすることなく、必要な部分のみが、低研磨レートとなるようにできる。これにより、製造効率、製造マージン等を損なうことなく、表面の高平坦性を得ることが可能である。 （もっと読む）

【課題】Ｓｉ原盤の凹凸形状に成膜した複版を凸部に欠けが生じることなく剥離し得るモールドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】表面に微細な凹凸パターンを有するモールド１０の製造方法において、凹凸パターンを有するＳｉ原盤２６の表面に、イオン化傾向が水素よりも小さい金属、例えば、Ｐｔ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ａｕ、ＲｕおよびＰｄから選ばれる少なくとも一種の金属を含む金属膜からなる剥離層１６を形成する剥離層形成工程と、剥離層１６の形成後にモールドを構成する金属基板１２を電鋳形成する電鋳工程と、電鋳工程の後、剥離層１６と金属基板１２とを備える複版をＳｉ原盤２６から剥離する剥離工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】記録密度のさらなる向上を実現することができる磁気記憶媒体、そのような磁気記憶媒体が搭載された情報記憶装置、上記のような磁気記憶媒体を製造する磁気記憶媒体製造方法を提供する。
【解決手段】磁性材料によって形成され、情報を磁化の向きとして記憶する複数のドット２１０と、非磁性材料によって形成され、互いに隣り合うドット２１０どうしを互いに磁気的に分離する分離部とを備え、各ドット２１０において、分離部に接する境界部分２１０Ａの磁化反転磁界が、その境界部分を挟んで分離部から離れた中央部分２１０Ｂの磁化反転磁界よりも大きいものとした。 （もっと読む）

【課題】良好なパターン転写が可能なパターン転写用スタンパを得る。
【解決手段】表面張力は３１ないし３９ｍＮ／ｍの紫外線硬化型樹脂と、臨界表面張力が３１ｍＮ／ｍ以下のスタンパとを組み合わせて使用し、パターン転写を行う。 （もっと読む）

【課題】
磁気記録媒体のサーボエリアの適否を電気的な検査装置において検査することが可能で、特に、原盤からスタンプされて形成された磁気記録媒体のサーボエリアの検査に適した磁気記録媒体のサーボエリアの検査方法および検査装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、ジッタをキャンセルした複数のトラック１周分の読出信号を得て、その読出信号についての二値化した画像データを生成し、各サーボエリアのトラック番号位置をこの二値化した画像データから特定する。さらに、特定された各サーボエリアのトラック番号位置からこの位置の半径方向の読出信号を得て、この読出信号によりサーボエリアの検査をする。 （もっと読む）

【課題】サーボ領域とデータ領域とで凹凸差がないマスター原盤を作製するとともに、そのマスター原盤からＮｉスタンパを作製する際に応力を緩和できるようにし、Ｎｉスタンパでのマイクロクラックの発生を抑制する。
【解決手段】基板上に、データ領域の記録トラックまたは記録ビットに対応するパターンおよびサーボ領域の情報に対応するパターンが凹凸で形成され、凸部が基板側から第１の金属層／Ｓｉ層／第２の金属層を積層した構造になっており、凸部表面に金属酸化膜が形成されていることを特徴とするスタンパ作製用のマスター原盤。 （もっと読む）

【課題】スタンパからパターンを転写する際の位置合わせの精度を飛躍的に向上させるとともに、スタンパの耐久性を高めることが可能なスタンパおよび磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明にかかるスタンパ３００の代表的な構成は、内孔１００ａを有する円板形状の磁気記録媒体１００の製造工程において磁気記録層１２２の上に形成したレジスト層１３０に所定のパターンを形成するスタンパ３００であって、スタンパ基体３１０と、スタンパ基体３１０より上に形成された弾性層３２０と、弾性層３２０より上に形成されたパターン層３３０とを備え、スタンパ基体３１０基体は、磁気記録媒体１００の形状に対応した形状の台座部３１０ａを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 コロージョンの発生を回避しつつ、磁気記録媒体の主表面の平坦化を容易に行うことができ、且つ磁気記録媒体の製造効率を向上することが可能な磁気記録媒体および磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明にかかる磁気記録媒体の構成は、面内方向に所定のパターンで形成された磁性記録部と非記録部とを有する磁気記録媒体１００において、非記録部は、非磁性材料または非硬磁性材料からなる充填材（充填層１４０）と、充填材と磁性記録部との界面に配置された非磁性膜（ＤＬＣ膜１３８）と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光の解像限界以下のパターンを含む基板を高速に検査することが可能な基板表面のパターン検査装置を提供する。
【解決手段】基板表面のパターン検査装置において、微細な繰り返しパターンを有する近接場光ヘッド１０１と、近接場光ヘッド１０１と被検査基板９００とを相対的に走査させるθ駆動部３１１と、近接場光ヘッド１０１と被検査基板９００との間隙を一定に保つ間隙保持機構と、近接場光ヘッド１０１に光を照射する光源１１０と、近接場光ヘッド１０１上の微細な繰り返しパターンと被検査基板９００の表面の微細パターンとの相互作用によって生じた散乱光強度を検出する検出系２０１と、検出系２０１の出力に基づいて、被検査基板９００上の微細パターンを検査する信号処理部３２１とを備えた。 （もっと読む）

【課題】凹凸パターンの転写不良を防止し、磁気記録層表面に良好なディスクリートトラックを有する磁気記録媒体を効率よく得る。
【解決手段】樹脂スタンパ製造用金型において、固定側型板の樹脂注入孔、カットパンチ受け部の寸法、真空吸着孔、エアーブロー孔の形成される領域、移動側型板のカットパンチ径、キャビティ周縁部のテーパ角度を規定する。 （もっと読む）

【課題】媒体表面荒れが抑制され、良好なヘッドの浮上性を確保することができるパターンド磁気記録媒体（ＤＴＲ媒体およびＢＰＭ）の製造方法を提供する。
【解決手段】磁気記録層５２上に、第１のハードマスク５３、第２のハードマスク５４およびパターン化されたレジスト５５を形成し、パターン化されたレジスト５５の凹部に残存している残渣を除去し、パターン化されたレジスト５５をマスクとして、前記第２のハードマスク５４をエッチングして凹凸パターンを転写し、前記第２のハードマスク５４をマスクとして前記第１のハードマスク５３をエッチングして凹凸パターンを転写し、前記第１のハードマスク５３の凸部に残存している前記第２のハードマスク５４を除去し、イオンビーム照射により、凹部で露出している前記磁気記録層５２磁性を失活させることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】歪みのない良好な凹凸パターンを有する樹脂スタンパーを提供する。
【解決手段】ランダムな方向に鏡面研磨された金属スタンパー取り付け面を備えた固定側型板、表面が凹凸を有し、裏面がランダムな方向に鏡面研磨された金属スタンパー、及び移動側型板を含む樹脂スタンパー成形用金型であって、金属スタンパーは、５０ｎｍ以下の表面粗さを有し、金属スタンパー取り付け面は、０ないし１．０ｎｍの表面粗さを有し、金属スタンパーの他の主面に対し、０．２０以下の静止摩擦係数を有する。 （もっと読む）

【課題】キャリアに保持された基板に対して反応性プラズマ処理又はイオン照射処理を行う際に処理ムラが生じることを防止したインライン式成膜装置を提供する。
【解決手段】キャリアは、基板を内側に配置する孔部２９が設けられたホルダ２７と、ホルダ２７の孔部２９の周囲に弾性変形可能に取り付けられた複数の支持部材３０とを備え、複数の支持部材３０に基板の外周部を当接させながら、これら支持部材３０の内側に嵌め込まれた基板を着脱自在に保持することが可能であり、キャリアに保持された基板に対して反応性プラズマ処理又はイオン照射処理を行うチャンバ内において、ホルダ２７が接地されると共に、複数の支持部材３０の内側には、外径が１００ｍｍ以下である円盤状の基板が嵌め込まれ、なお且つ、この基板とホルダ２７の孔部２９との間に形成される隙間Ｓが、半径方向に少なくとも１１ｍｍ以上ある。 （もっと読む）

【課題】薄膜担持体に担持された薄膜材料を基板に転写することで基板に薄膜を形成する薄膜形成装置において、薄膜形成のための減圧を効率的に行うことができ、しかもメンテナンス性に優れた装置を提供する。
【解決手段】処理チャンバ１の側面を構成する着脱自在のパネル状部材である裏板１６に、処理チャンバ１と真空ポンプとを連通接続するための排気口１６１を設ける。転写ユニットが取り付けられる天板１１および底板１９には排気口およびこれにつながる配管を設けないことにより、メンテナンス性を向上させる。排気口１６１を複数、しかも略等間隔に配することによって、減圧処理時の処理チャンバ内の気圧の不均衡を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】凹凸パターンを欠損なく転写することができ、かつ耐久性の高いスタンパを製造できる方法を提供する。
【解決手段】凹凸を有する原盤から電鋳によって第１のスタンパを形成し、第１のスタンパから電鋳によって第２のスタンパ（凹部の幅Ｇ_W）を形成し、第２のスタンパの表面に積層膜（厚さＬＬ_T）を形成し、積層膜上に第２の離型層、転写層（厚さＴＬ_T）および第３の電鋳層（厚さＥＬ_T）を形成し、第２のスタンパから転写層および第３の電鋳層を剥離して第３のスタンパを形成し、第３のスタンパの表面の転写層を等方性エッチングして（エッチング厚さＥ_T）、第３のスタンパの凸部の幅（Ｌ_W）を減少させるスタンパの製造方法であって、１０ｎｍ≦ＥＬ_TおよびＥ_T≦ＴＬ_Tの関係を満たす。 （もっと読む）