【課題】スタンパをスタンパホルダに積載する際におけるスタンパの脱落を抑制できる信頼性が高いスタンパ供給装置及びスタンパ供給方法を提供する。
【解決手段】スタンパ供給装置は、板状のスタンパ２０の中心孔にピン部１６が嵌合して台座部１２の上に複数のスタンパ２０を重ねた状態で保持可能であるスタンパホルダ２２と、スタンパホルダ２２のピン部１６の変形の度合いを測定可能であるピン部測定装置（反射型センサ５６）と、スタンパ２０をスタンパホルダ２２に積載するためのスタンパ積載装置と、を含み、ピン部１６の変形の度合いが所定の基準の範囲内であるスタンパホルダ２２にのみスタンパ積載装置がスタンパ２０を積載し、ピン部１６の変形の度合いが基準の範囲外であるスタンパホルダ２２にはスタンパ積載装置がスタンパ２０を積載しないように構成されている。 （もっと読む）

【課題】凹凸パターンを欠損なく転写することができ、かつ耐久性の高いスタンパを製造できる方法を提供する。
【解決手段】凹凸を有する原盤から電鋳によって第１のスタンパを形成し、第１のスタンパから電鋳によって第２のスタンパ（凹部の幅Ｇ_W）を形成し、第２のスタンパの表面に積層膜（厚さＬＬ_T）を形成し、積層膜上に第２の離型層、転写層（厚さＴＬ_T）および第３の電鋳層（厚さＥＬ_T）を形成し、第２のスタンパから転写層および第３の電鋳層を剥離して第３のスタンパを形成し、第３のスタンパの表面の転写層を等方性エッチングして（エッチング厚さＥ_T）、第３のスタンパの凸部の幅（Ｌ_W）を減少させるスタンパの製造方法であって、１０ｎｍ≦ＥＬ_TおよびＥ_T≦ＴＬ_Tの関係を満たす。 （もっと読む）

【課題】光透過性スタンパーの欠陥の有無を容易に確認する。
【解決手段】波長４５０ｎｍ以下、ＮＡ０．６以上であるレーザーをデータ記録部に照射し、その電圧信号の和信号において、スタンパの回転数の６０倍から１７０倍の周波数の範囲内における最大電圧値レベルをＶｆと、データ記録部の平均和信号電圧値をＶａｖｅとが、Ｖｆ／Ｖａｖｅ＜７．７×１０^−４…（１）を満足するか判定する。 （もっと読む）

【課題】ミクロンオーダーだけでなくナノオーダーでの微細加工を容易に施すことができるガラス表面の微細加工方法を提供する。
【解決手段】アルカリ酸化物を含有するガラスの表面に凸部を形成するガラス表面の微細加工方法であって、凸部となるべき第２領域の表面に隣接する第１領域の表面を保護層で被覆する工程と、第２領域の表面側からアルカリイオンを除去する工程と、第１領域の表面から保護層を除去する工程と、アルカリイオンが除去された第２領域の表面と保護層が除去された第１領域の表面とを研磨する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ホットプレス法によるナノプリントに使用されるスタンパの型押面に取付けられるスタンパ用表面材について、被加工物への圧接による変形を防止する硬度，耐摩耗性を備えるとともに、そりが生じないようにする。
【解決手段】表面に微細な凹凸パターン１が形成された薄片形からなる。表面がダイヤモンド２とされ表面のダイヤモンド２の背面側に炭素を主成分とする非ダイヤモンドであるダイヤモンドライクカーボン３の層が存在する積層体からなる。 （もっと読む）

【課題】ビットパターンド媒体を備えた磁気記録再生装置の記録時に、記録後のドットが周囲のドットによって磁化反転されることがなく、記録情報の安定保持、高記録密度化を実現可能な磁気記録再生装置を提供する。
【解決手段】ビットパターンド磁気記録媒体４を使用する磁気記録再生装置において、磁気記録媒体４のドット４３とドット４３の間を、ドット４３を構成する磁性材料のキュリー温度より低いキュリー温度を有する低キュリー温度磁性材料４４で構成し、磁気記録媒体４に記録を行うヘッド２３の周囲に、記録時に低キュリー温度磁性材料４４を加熱する加熱手段１８が設けられていることを特徴とする磁気記録再生装置。 （もっと読む）

【課題】モールド構造体のインプリントレジスト層から剥離（離型）する際に、パターン欠陥を生じないＤＴＭ用モールド構造体、及び該ＤＴＭ用モールド構造体を用いることによって転写精度を向上させたインプリント方法、並びに記録特性、及び再生特性を向上させたＤＴＭの製造方法、及びＤＴＭを提供すること。
【解決手段】本発明のＤＴＭ用モールド構造体は、隣接状態で略平行に位置する複数のラインパターン形成用凹部と、隣接するラインパターン形成用凹部と交差して位置し、該複数のラインパターン形成用凹部を連通する連通凹部と、を表面に有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】記録層のサーボ領域およびユーザデータ領域の各々にて複数の磁性部が離隔して設けられている磁気記録媒体において、ユーザデータ領域の磁性部について高い書換え性を実現しつつ、サーボ領域の磁性部の磁化反転を抑制する。
【解決手段】本発明の磁気記録媒体Ｘ１は、第１面２ａおよび第２面２ｂを有し且つサーボ領域Ｓ１およびユーザデータ領域Ｓ２を含む記録層２を備える。サーボ領域Ｓ１は、複数の磁性部２１および磁性部２１間に介在する非磁性部２２を含む。ユーザデータ領域Ｓ２は、複数の磁性部２３および磁性部２３間に介在する非磁性部２４を含む。非磁性部２４は、記録層２の第１面２ａの側において、磁性部２３よりも退避し且つ非磁性部２２よりも退避している。 （もっと読む）

【課題】磁気的に分離された磁気記録パターンを有する磁気記録媒体の評価に対する迅速性及び正確性を高めた磁気記録媒体の評価方法を提供する。
【解決手段】磁気的に分離された磁気記録パターンを有する磁気記録媒体の評価方法であって、評価対象となる磁気記録媒体を所定の回転数で回転させる工程と、磁気記録媒体に対する信号の記録再生を行う磁気ヘッドが先端部に取り付けられた支持アームを、磁気記録媒体の半径方向に移動させながら、磁気ヘッドを磁気記録媒体の面上に位置決めする工程と、磁気ヘッドを用いて磁気記録パターンからの信号の再生を行う工程と、再生信号を用いて磁気記録媒体の面上における磁気ヘッドの位置を特定する工程と、磁気ヘッドの特定位置における磁気記録パターンの評価を行う工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】垂直磁気記録媒体の磁気特性を適正に測定することができる磁気特性測定装置および磁気特性測定方法を提供する。
【解決手段】磁気特性測定装置Ａは、磁気ディスクＢの測定部位に垂直磁界を作用させる電磁石１と、電磁石１に所定の可変範囲で直流駆動電流を供給する可変定電流供給手段２と、磁気ディスクＢからの漏洩磁界を読み取る磁気読み取り手段３と、測定部位を磁極１Ａ，１Ｂと対向する位置から磁気読み取り手段３と対向する位置へと繰り返し移動させる測定部位移動手段６，７と、測定部位移動手段６，７によって所定の移動動作が行われるごとに可変定電流供給手段２を介して直流駆動電流を可変制御する電流可変制御手段８と、測定部位移動手段６，７によって所定の移動動作が行われるごとに磁気読み取り手段３から出力される信号を取得し、その信号波形を解析する信号波形解析手段１０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】モールドの汚染を簡単に検出することができるインプリント装置およびモールドの汚染検出方法を提供する。
【解決手段】インプリント装置によれば、基板２５の表面に保持される液状の樹脂材料２８に透明なモールド２９が重ね合わせられる。樹脂材料２８は、モールド２９の表面に規定されるナノパターン３１の形状に倣う。こうしたインプリント処理のたびにモールド２９の画像が撮影される。例えばモールド２９の表面に異物が付着すると、モールド２９および樹脂材料２８の間では異物の周囲に空気が溜まる。異物の周囲に空間が形成される。こういった空間は異物を拡大する。したがって、異物３２は画像上で簡単に検出される。こうした画像と基準画像とが比較されると、モールド２９の汚染は簡単に検出される。インプリント装置は常に清浄度の高いモールド２９を使用することができる。 （もっと読む）

【課題】磁性層の加工箇所を起点とした腐食が発生しない耐腐食性の高い磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】非磁性基板１の少なくとも一方の表面に磁性層とカーボン保護層８とを備えた磁気記録媒体３０であって、磁性層は、非磁性基板１側に設けられた第１の磁性層４と、第１の磁性層４上に設けられた第２の磁性層１０とから構成され、カーボン保護層８は、第２の磁性層１０を覆うように設けられており、第１の磁性層４には、磁性領域４ａと磁性領域４ａを磁気的に分離する境界領域４ｂとからなる磁気記録パターン部が形成され、第２の磁性層１０は、磁気記録パターン部の表面を被覆するように設けられていることを特徴とする磁気記録媒体３０を採用する。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリント装置におけるインプリント時のレジスト層の残渣を無くして、微細なパターンの形成、高密度なビットパターンド媒体を製作する。
【解決手段】レジストの表面に微小な凹凸パターンを有するモールド４１を押し当てることによって、モールド４１上の突起部４７で凹凸をレジストの表面に転写するナノインプリント装置において、モールド４１の突起部４７の頂面に連続する溝部４８を設けておき、モールド４１をレジストに押し当てる時に、レジストの一部がこの溝部４８内に収容されるようにして、レジスタの残渣が少なくなるようにしたナノインプリント装置である。 （もっと読む）

【課題】パターンド媒体の平坦化工程において、パターニングした記録磁性体の形状を崩すことなく加工したガード領域を埋め戻し、記録媒体の表面を充分に平坦化した記録媒体を提供する。
【解決手段】パターンド媒体１００はデータが記録されない凹状のガード領域１０４に炭素原子が結合してなる中空フラーレンないしその誘導体である中空炭素クラスタ分子１１０を充填し、ガード領域の段差は中空クラスタ分子１１０の平均直径よりも小さいパターンド媒体。 （もっと読む）

【課題】大面積の媒体用基板上に配設された材料の少なくとも一部を選択的に除去する。
【解決手段】媒体用基板上に配設された材料の少なくとも一部にＵＶ硬化型接着剤を塗布する工程（ステップＳ１４）と、媒体用基板に対し透明基板を重ねる工程（ステップＳ１６）と、ＵＶ硬化型接着剤の少なくとも一部に対して透明基板を介して光を照射する工程（ステップＳ１８）と、透明基板を媒体用基板から剥離することで、光が照射されたＵＶ硬化型接着剤及び当該接着剤に接触する材料を除去する工程（ステップＳ２０）と、を実行するので、除去したい材料に接触するＵＶ硬化型接着剤にのみ光を照射することにより、除去したい材料のみを選択的に除去することができる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、出力が大きく、安定なサーボパターンを形成すること。
【解決手段】サーボパターンを第１パターン群と第２パターン群に分け、サーボ情報エリアでは磁気ヘッドの進行方向に対して第１パターンと第２パターンとを交互に配置し、サーボ情報エリア以外の場所において前記第１パターンのみを配置した所定領域を設け、全ての第１パターンが所定領域に配置された部分とサーボ情報エリアに配置された部分とを有するように構成する。かかるサーボパーンに対し、一旦全体を同一方向に磁化した後、所定領域を選択的に磁化することで、第１パターン群と第２パターン群との磁化方向を反転させる。 （もっと読む）

【課題】磁気記録層の腐食させることなく、また、磁気記録層の特性を劣化させることなく、光ナノインプリントレジストを完全に除去して磁気記録層へパターンを転写する。
【解決手段】光ナノインプリントレジスト層４７の下に有機溶媒に可溶な高分子材料からなる剥離層１８を形成しておく。そして、光ナノインプリントレジストに形成されたパターン形状を磁気記録層１５あるいは磁気記録層の上に形成された無機材料からなるマスク層１６に転写したのち、有機溶媒を用いて剥離層を剥離する。その後、マスク層のパターンを磁気記録層に転写する。 （もっと読む）

【課題】本件は、磁気記録媒体を作製する磁気記録媒体作製方法および基板上に成膜する成膜装置に関し、非磁性材料の必要以上の成膜を抑える。
【解決手段】非磁性材料の成膜の途中で成膜を中断して、又は成膜を実行しつつ、媒体表面にレーザビーム等のビームを照射して表面でのビームの散乱強度を測定し、一方、散乱強度と表面の平坦度との対応関係をあらかじめ求めておき、測定された散乱強度が所定の平坦度に対応する所定の散乱強度にまで下がった段階で非磁性材料の成膜を終了する。 （もっと読む）

【課題】表面の平滑性に優れた磁気記録媒体を、高い生産性で製造することが可能な磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】磁性層２に、磁気記録パターン２０として、凸部からなる磁気記録領域２１と、該磁気記録領域２１の間の凹部からなる境界領域２２とを形成する磁気記録パターン形成工程と、次いで、非磁性基板１に負のバイアスを印加しながら、スパッタリング法を用いて非磁性膜１２を形成することで、磁気記録領域２１上の非磁性膜１２（１２ａ）を、境界領域２２上の非磁性膜１２（１２ｂ）よりも薄くする非磁性膜形成工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】被加工体の両面に流動性材料を塗布できる生産効率が良いスピンコート装置、これを用いたスピンコート方法及び情報記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】スピンコート装置１０は、回転軸線Ｘに対し同軸的に配置された筒状部１２Ｂを有し筒状部１２Ｂにおける回転軸線Ｘの方向の先端部１２Ａから回転軸線Ｘの方向の途中の部分までスリット１２Ｃが形成されたコレットと、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の外側に付勢して筒状部１２Ｂの外径を拡大可能である拡径器１４と、を備え、中心孔１６Ａを有する板状の被加工体１６の両面が露出するように被加工体１６を中心孔１６Ａにおいてコレット１２の筒状部１２Ｂで保持して被加工体１６の両面に流動性材料１８を塗布可能である。 （もっと読む）