スピンコート装置、スピンコート方法及び情報記録媒体の製造方法
【課題】被加工体の両面に流動性材料を塗布できる生産効率が良いスピンコート装置、これを用いたスピンコート方法及び情報記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】スピンコート装置１０は、回転軸線Ｘに対し同軸的に配置された筒状部１２Ｂを有し筒状部１２Ｂにおける回転軸線Ｘの方向の先端部１２Ａから回転軸線Ｘの方向の途中の部分までスリット１２Ｃが形成されたコレットと、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の外側に付勢して筒状部１２Ｂの外径を拡大可能である拡径器１４と、を備え、中心孔１６Ａを有する板状の被加工体１６の両面が露出するように被加工体１６を中心孔１６Ａにおいてコレット１２の筒状部１２Ｂで保持して被加工体１６の両面に流動性材料１８を塗布可能である。
【解決手段】スピンコート装置１０は、回転軸線Ｘに対し同軸的に配置された筒状部１２Ｂを有し筒状部１２Ｂにおける回転軸線Ｘの方向の先端部１２Ａから回転軸線Ｘの方向の途中の部分までスリット１２Ｃが形成されたコレットと、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の外側に付勢して筒状部１２Ｂの外径を拡大可能である拡径器１４と、を備え、中心孔１６Ａを有する板状の被加工体１６の両面が露出するように被加工体１６を中心孔１６Ａにおいてコレット１２の筒状部１２Ｂで保持して被加工体１６の両面に流動性材料１８を塗布可能である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工体の表面に流動性材料を塗布するために用いられるスピンコート装置、これを用いたスピンコート方法及び情報記録媒体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、様々な分野においてスピンコート装置が用いられている。例えば、ＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ Ｄｉｓｃ）等の光記録媒体の製造工程では記録膜の材料である有機色素の成膜等のためにスピンコート装置が用いられている。スピンコート装置は、被加工体を保持するためのテーブルと、テーブル及び被加工体を回転駆動するための駆動装置と、を有しており、被加工体の上面（テーブルに接する面と反対側の面）における回転中心の近傍に流動性材料を供給し、テーブルと共に被加工体を回転させることにより遠心力で流動性材料を径方向の外側に流動させて流動性材料を被加工体の表面全体に塗り広げるようになっている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
又、ハードディスク等の磁気記録媒体の製造工程においてもスピンコート装置を利用して被加工体の表面に流動性材料を塗布することが期待されている。例えば、磁気記録媒体の分野では、記録密度を高めるために記録層がトラックに相当する凹凸パターンで形成されたディスクリートトラックメディアや記録層が記録ビットに相当する凹凸パターンで形成されたパターンドメディアが提案されている。記録層の上に樹脂層を成膜し、樹脂層をインプリントやリソグラフィにより記録層の凹凸パターンに相当する凹凸パターンに加工し、凹凸パターンの樹脂層に基づいて記録層をエッチングすることにより記録層をトラックや記録ビットに相当する凹凸パターンに加工することができる。尚、記録層と樹脂層との間に１層又は２層以上のマスク層を成膜し、樹脂層に基づいてマスク層をエッチングし、マスク層に基づいて記録層をエッチングすることも提案されている。このように記録層やマスク層の上に樹脂層を成膜するためにスピンコート装置を利用することが提案されている（例えば、特許文献２、３参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００８―５２７９０号公報
【特許文献２】特開２００８―２１７９０８号公報
【特許文献３】特開２００８―１７１４９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、例えばハードディスク等の磁気記録媒体の場合、基板の両面に記録層を備える両面記録式が採用されることが多い。一方、従来のスピンコート装置は被加工体の片面（上面）のみに流動性材料を塗布することを想定した構成であるため、両面記録式の磁気記録媒体を製造する場合、まず被加工体の片面に流動性材料を塗布し、次に片面に流動性材料が塗布された被加工体を反転させ、更に被加工体の他方の面に流動性材料を塗布する必要があった。このため従来のスピンコート装置を用いて両面記録式の磁気記録媒体を製造する場合、生産効率が低いという問題があった。又、一方の面に流動性材料が塗布された被加工体を反転させる際、塗布された流動性材料が流動する可能性があり、均一な膜厚の保持が困難であるという問題もあった。更に、被加工体を反転させる際、一方の面に塗布された流動性材料が治具等に触れないように被加工体をハンドリングする必要があり、被加工体のハンドリングが煩雑であるという問題もあった。
【０００６】
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであって、被加工体の両面に流動性材料を塗布できる生産効率が良いスピンコート装置、これを用いたスピンコート方法及び情報記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、所定の回転軸線に対し同軸的に配置された筒状部を有し筒状部における回転軸線の方向の一方の先端部から回転軸線の方向の途中の部分までスリットが形成されたコレットと、コレットの筒状部を径方向の外側に付勢して筒状部の外径を拡大可能である拡径器と、を含み、中心孔を有する板状の被加工体の両面が露出するように被加工体を中心孔においてコレットの筒状部で保持して被加工体の両面に流動性材料を塗布可能であるスピンコート装置により、上記目的を達成するものである。
【０００８】
このスピンコート装置は、被加工体の両面が露出するように被加工体を中心孔においてコレットの筒状部で保持して被加工体の両面に流動性材料を塗布できるので生産効率が良い。
【０００９】
ところで本発明に想到する過程で発明者らは、スリットが形成されたコレットを用いた場合、被加工体に塗布された流動性材料に時々風紋のような膜厚のむらが形成されることがあることに気づいた。具体的には風紋はコレットのスリットの部分から径方向の外側に放射状に延びる略円弧形状であった。コレットのスリットから遠心力で空気が吹き出すことにより、このような風紋が形成されたと推測される。尚、風紋は、特に被加工体の裏面（コレットの筒状部の先端部の回転軸線の方向の端面が臨む側と反対側を臨む面）に形成されやすく、被加工体の表面（コレットの筒状部の先端部の回転軸線の方向の端面が臨む側と同じ側を臨む面）には形成されにくかった。
【００１０】
例えば、風紋が被加工体の中心孔の近傍だけに形成され、磁気記録媒体の記録領域に相当する領域に風紋が形成されていないような場合には、風紋は必ずしも重大な問題ではないが、このような風紋の形成はできるだけ抑制することが好ましい。そこで発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、コレットの先端部において筒状部の内側の孔を被覆し、且つ、先端部の回転軸線の方向の端面においてスリットを少なくとも部分的に被覆することにより、上記のような風紋の形成を抑制できることを見出した。
【００１１】
即ち、以下の発明により上記目的を達成できる。
【００１２】
（１）所定の回転軸線に対し同軸的に配置された筒状部を有し前記筒状部における前記回転軸線の方向の一方の先端部から前記回転軸線の途中の部分までスリットが形成されたコレットと、前記コレットの前記筒状部を径方向の外側に付勢して前記筒状部の外径を拡大可能である拡径器と、を含み、中心孔を有する板状の被加工体の両面が露出するように前記被加工体を前記中心孔において前記コレットの前記筒状部で保持して前記被加工体の両面に流動性材料を塗布可能であることを特徴とするスピンコート装置。
【００１３】
（２） （１）において、前記コレットの前記先端部において前記筒状部の内側の孔を被覆し、且つ、前記先端部の前記回転軸線の方向の端面において前記スリットを少なくとも部分的に被覆可能である被覆部材を更に備えることを特徴とするスピンコート装置。
【００１４】
（３） （２）において、前記拡径器が前記被覆部材を兼ねていることを特徴とするスピンコート装置。
【００１５】
（４） （１）乃至（３）のいずれかにおいて、前記被加工体の両面に流動性材料を塗布するための一対のノズル部を備えることを特徴とするスピンコート装置。
【００１６】
（５） （１）乃至（４）のいずれかにおいて、前記コレットの前記筒状部を前記径方向の内側に付勢可能である縮径器を更に備えることを特徴とするスピンコート装置。
【００１７】
（６） （１）乃至（５）のいずれかにおいて、前記コレットは前記筒状部の前記先端部に前記回転軸線の方向の両側の部分よりも外径が小さいネック部が形成され該ネック部において前記被加工体の前記中心孔に嵌合して前記被加工体を保持可能であるように構成されたことを特徴とするスピンコート装置。
【００１８】
（７） （１）乃至（６）のいずれかに記載のスピンコート装置を用いて前記被加工体の両面に前記流動性材料を塗布することを特徴とするスピンコート方法。
【００１９】
（８） （１）乃至（６）のいずれかに記載のスピンコート装置を用いて前記被加工体の両面に前記流動性材料を塗布する工程を含むことを特徴とする情報記録媒体の製造方法。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、被加工体の両面に流動性材料を塗布できる生産効率が良いスピンコート装置、これを用いたスピンコート方法及び情報記録媒体の製造方法を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００２２】
図１は、本実施形態に係るスピンコート装置の主要部の概略構造を模式的に示す一部断面図を含む側面図である。図２は、図１のコレット周辺を拡大して示す一部断面図を含む側面図である。図３は、図１における矢視IIIに相当する側面図である。尚、図３では便宜上、被加工体及びノズル部の図示を省略している。図４は、図１におけるIV-IV線に沿う一部断面を含む平面図である。
【００２３】
図１〜４に示されるように、本実施形態に係るスピンコート装置１０は、回転軸線Ｘに対し同軸的に配置された筒状部１２Ｂを有し筒状部１２Ｂにおける回転軸線Ｘの方向の先端部１２Ａから回転軸線Ｘの方向の途中の部分までスリット１２Ｃが形成されたコレット１２と、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の外側に付勢して筒状部１２Ｂの外径を拡大可能である拡径器１４と、を備え、中心孔１６Ａを有する板状の被加工体１６の両面が露出するように被加工体１６を中心孔１６Ａにおいてコレット１２の筒状部１２Ｂで保持して被加工体１６の両面に同時に流動性材料１８を塗布可能である。
【００２４】
コレット１２は、筒状部１２Ｂにおける先端部１２Ａ及びその近傍の内周面が、先端部１２Ａから離れる方向に直径が小さくなるテーパ面１２Ｄとなっている。又、筒状部１２Ｂの内側には、テーパ面１２Ｄにおける先端部１２Ａと反対側の端部から先端部１２Ａと反対側に突出する環状突起１２Ｅが形成されている。スリット１２Ｃは筒状部１２Ｂにおける複数の箇所（本実施形態では４箇所）に円周方向に適宜な間隔で形成されている。尚、スリット１２Ｃは環状突起１２Ｅにも形成されており、環状突起１２Ｅはスリット１２Ｃにより分割された断続的な環形状である。又、筒状部１２Ｂにおける各スリット１２Ｃの先端部１２Ａと反対側の部分には回転軸線Ｘの方向に長い長孔１２Ｆが形成されている。長孔１２Ｆ及びスリット１２Ｃは連続する切欠きを形成している。又、コレット１２は、筒状部１２Ｂの先端部１２Ａに回転軸線Ｘの方向の両側の部分よりも外径が小さいネック部１２Ｇが形成されネック部１２Ｇにおいて被加工体１６の中心孔１６Ａに嵌合して被加工体１６を保持可能であるように構成されている。又、筒状部１２Ｂにおける回転軸線Ｘの方向の先端部１２Ａと反対側の端部にはフランジ部１２Ｈが設けられている。
【００２５】
コレット１２は、回転軸線Ｘに対し同軸的に配置された筒状のロータ２０の一端にフランジ部１２Ｈにおいてスペーサ２２を介して取付けられている。ロータ２０は、軸受２４を介してベース部２６に回転自在に支持されると共に回転軸線Ｘの方向の動きが規制されている。又、ロータ２０の他端近傍にはプーリ２８が取付けられており、プーリ２８にはベルト３０、プーリ３２を介してモータ３４の回転が伝達されるようになっている。
【００２６】
拡径器１４は、コレット１２のテーパ面１２Ｄに嵌合可能である切頭円錐形の主部１４Ａと、主部１４Ａにおける大径側の端部に設けられたフランジ部１４Ｂと、主部１４Ａにおける小径側の端部から同軸的に突出する連結部１４Ｃと、を有している。拡径器１４は、主部１４Ａが回転軸線Ｘの方向に付勢されつつコレット１２のテーパ面１２Ｄに先端部１２Ａ側から当接することにより、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の外側に付勢して筒状部１２Ｂの外径を拡大可能であるように構成されている。
【００２７】
又、拡径器１４は、コレット１２の先端部１２Ａにおいてコレット１２の筒状部１２Ｂの内側の孔を主部１４Ａで被覆可能であり、先端部１２Ａの回転軸線Ｘの方向の端面においてフランジ部１４Ｂでコレット１２のスリット１２Ｃを少なくとも部分的に被覆可能である。即ち、拡径器１４は、コレット１２の先端部１２Ａにおいて筒状部１２Ｂの内側の孔を被覆し、且つ、先端部１２Ａの回転軸線Ｘの方向の端面においてスリット１２Ｃを少なくとも部分的に被覆可能である被覆部材を兼ねている。
【００２８】
拡径器１４は、コレット１２及びロータ２０の内側に配置された連結バー３６の頭部３６Ａに連結部１４Ｃにおいて連結されている。連結バー３６の頭部３６Ａには、コレット１２の先端部１２Ａの方向に突出する突起３６Ｂが形成されている。突起３６Ｂの径方向内側（回転軸線Ｘに近い側）の面は、回転軸線Ｘからの径方向の距離がコレット１２の先端部１２Ａに近づく方向に拡大するテーパ面３６Ｃとなっている。突起３６Ｂのテーパ面３６Ｃが、先端部１２Ａの方向に付勢されつつコレット１２の内側の環状突起１２Ｅに当接することにより、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の内側に付勢可能である。即ち、連結バー３６は、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の内側に付勢可能である縮径器を構成している。
【００２９】
連結バー３６における頭部３６Ａと反対側の尾部３６Ｄは、ロータ２０から突出しており尾部３６Ｄの近傍にはばね座部材３８が取付けられている。ばね座部材３８とロータ２０の端部との間には、連結バー３６を取巻くように圧縮コイルばね４０が装架されており、連結バー３６は、常態でコレット１２の先端部１２Ａから離れる方向に付勢されている。これにより、拡径器１４の主部１４Ａは常態で、回転軸線Ｘの方向（ばね座部材３８の方向）に付勢されつつコレット１２のテーパ面１２Ｄに当接し、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の外側に付勢するように構成されている。
【００３０】
又、連結バー３６の尾部３６Ｄよりもコレット１２の先端部１２Ａから離れる側には、連結バー３６の尾部３６Ｄに対向してプッシュ部４２が備えられている。プッシュ部４２は、アクチュエータ４４に駆動されて回転軸線Ｘの方向に進退動自在である。プッシュ部４２がアクチュエータ４４に駆動されて連結バー３６の尾部３６Ｄに当接し、連結バー３６を圧縮コイルばね４０の付勢力に抗してコレット１２の先端部１２Ａの方向に付勢することにより、拡径器１４の主部１４Ａにおける大径側部分がコレット１２のテーパ面１２Ｄから離間する方向に移動し、コレット１２の弾性力によりコレット１２の筒状部１２Ｂの外径が小さくなるように構成されている。又、連結バー３６の頭部３６Ａの突起３６Ｂのテーパ面３６Ｃがコレット１２の内側の環状突起１２Ｅに当接し、頭部３６Ａの突起３６Ｂがコレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の内側に付勢することにより、コレット１２の筒状部１２Ｂの外径の縮小を促進するように構成されている。又、連結バー３６の頭部３６Ａの突起３６Ｂがコレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の内側に付勢することにより、コレット１２の筒状部１２Ｂの外径を常態（筒状部１２Ｂが拡径器１４や連結バー３６（縮径器）により径方向に付勢されていない状態）よりも更に小さくすることも可能である。
【００３１】
又、スピンコート装置１０は、更に、被加工体１６の両面に流動性材料を塗布するための一対のノズル部４６、４８を備えている。ノズル部４６、４８は、被加工体１６の中心孔１６Ａの近傍に流動性材料１８を吐出するように構成されている。
【００３２】
被加工体１６は、例えばハードディスク等の磁気記録媒体の基板の両面に磁気記録層等が成膜されたものである。被加工体１６の外径は、例えば３０〜９０ｍｍである。又、中心孔１６Ａの直径は、例えば１２〜２５ｍｍである。又、被加工体１６の厚さは、例えば０．５〜１．２ｍｍである。
【００３３】
流動性材料１８は、例えば、紫外線硬化性樹脂等の放射線硬化性樹脂、熱硬化性樹脂、又はレジスト材料である。
【００３４】
尚、スピンコート装置１０は、図示しないケーシング内に収容されている。ケーシングの底部には必要に応じて被加工体１６の外周から飛散する余剰の流動性材料１８を排出するためのドレン孔が設けられる。ドレン孔には例えば負圧ポンプが接続され、ケーシング内の空気と共に余剰の流動性材料１８が吸引されてケーシングの外部に排出される。
【００３５】
次に、図５のフローチャートに沿ってスピンコート装置１０を用いたスピンコート方法について説明する。ここでは一例としてスピンコート装置１０を用いた情報記録媒体の製造方法について説明する。尚、初期状態でモータ３４は停止している。又、プッシュ部４２は連結バー３６の尾部３６Ｄから離間している。
【００３６】
まず、被加工体１６の両側の全面に流動性材料１８を塗布する（Ｓ１０２）。具体的には、アクチュエータ４４でプッシュ部４２を連結バー３６の尾部３６Ｄの方向に駆動し、連結バー３６を圧縮コイルばね４０の付勢力に抗してコレット１２の先端部１２Ａの方向に付勢する。これにより、拡径器１４の主部１４Ａにおける大径側部分がコレット１２のテーパ面１２Ｄから離間する方向に移動し、コレット１２の弾性力によりコレット１２の筒状部１２Ｂの外径が縮小する。又、連結バー３６の頭部３６Ａの突起３６Ｂのテーパ面３６Ｃがコレット１２の内側の環状突起１２Ｅに当接し、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の内側に付勢する。これにより、筒状部１２Ｂの外径の縮小が促進される。又、連結バー３６の頭部３６Ａの突起３６Ｂがコレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の内側に付勢することにより、コレット１２の筒状部１２Ｂの外径を常態（筒状部１２Ｂが拡径器１４や連結バー３６（縮径器）により径方向に付勢されていない状態）よりも更に小さくすることも可能である。この状態で被加工体１６を回転軸線Ｘに対し同軸的に、且つ、被加工体１６の中心孔１６Ａがコレット１２の先端部１２Ａのネック部１２Ｇにほぼ一致するように配置する。
【００３７】
次に、アクチュエータ４４でプッシュ部４２を連結バー３６の尾部３６Ｄから離れる方向に駆動する。連結バー３６は圧縮コイルばね４０に付勢されてコレット１２の先端部１２Ａから離れる方向に移動する。これにより、連結バー３６の頭部３６Ａの突起３６Ｂのテーパ面３６Ｃがコレット１２の内側の環状突起１２Ｅから離間する。更に、拡径器１４の主部１４Ａが回転軸線Ｘの方向に付勢されつつコレット１２のテーパ面１２Ｄに先端部１２Ａ側から当接することにより、コレット１２の筒状部１２Ｂは径方向の外側に付勢される。これにより筒状部１２Ｂの外径が拡大して被加工体１６の中心孔１６Ａの内周にコレット１２の先端部１２Ａのネック部１２Ｇが嵌着し、被加工体１６は両面が露出するように中心孔１６Ａにおいてコレット１２の筒状部１２Ｂで保持される。
【００３８】
この状態でモータ３４を始動し、被加工体１６を例えば数千〜数万ｒｐｍ（一例を示すと１００００ｒｐｍ）程度の回転速度で回転させる。更に、図２に示されるようにノズル部４６、４８から被加工体１６の両側の面における中心孔１６Ａの近傍に所定の量の流動性材料１８を吐出する。これにより、流動性材料１８は遠心力により付勢されて径方向の外側に流動し、被加工体１６の両側の全面に流動性材料１８が塗布される。尚、被加工体１６の裏面（コレット１２の筒状部１２Ｂの先端部１２Ａの回転軸線Ｘの方向の端面が臨む側と反対側を臨む面）に吐出された流動性材料１８は重力により被加工体１６の裏面から離脱する方向に付勢されるが、被加工体１６の裏面に吐出された流動性材料１８は、その粘性により被加工体１６の裏面に付着しつつ、高速で回転する被加工体１６の遠心力により径方向の外側に流動する。従って、被加工体１６の裏面においても表面におけると同様に流動性材料１８が塗布される。所定の時間が経過し、被加工体１６の両側の全面に所望の厚さで流動性材料１８が塗布されたらモータ３４を停止する。
【００３９】
次に、アクチュエータ４４でプッシュ部４２を連結バー３６の尾部３６Ｄの方向に駆動し、連結バー３６を圧縮コイルばね４０の付勢力に抗してコレット１２の先端部１２Ａの方向に付勢する。これにより、拡径器１４の主部１４Ａにおける大径側部分がコレット１２のテーパ面１２Ｄから離間する方向に移動し、コレット１２の弾性力によりコレット１２の筒状部１２Ｂの外径が縮小する。又、連結バー３６の頭部３６Ａの突起３６Ｂのテーパ面３６Ｃがコレット１２の内側の環状突起１２Ｅに先端部１２と反対側から当接し、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の内側に付勢する。これにより、筒状部１２Ｂの外径の縮小が促進される。又、連結バー３６の頭部３６Ａの突起３６Ｂがコレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の内側に付勢することにより、コレット１２の筒状部１２Ｂの外径を常態よりも更に小さくすることも可能である。この状態で被加工体１６を外径部分において図示しない治具等で保持し、回転軸線Ｘの方向に移動させて被加工体１６をコレット１２から取外す。
【００４０】
次に、図６に示されるように、インプリント法により流動性材料１８に所定の凹凸パターンを転写する（Ｓ１０４）。具体的には、被加工体１６の両側の面の流動性材料１８にスタンパ６０を当接させ、流動性材料１８に凹凸パターンを転写する。凹凸パターンは例えばディスクリートトラックメディアやパターンドメディアの記録層の凹凸に相当する凹凸パターンである。インプリント法としては、紫外線等による光インプリント、熱インプリント等を用いることができる。
【００４１】
光インプリントの場合、流動性材料１８として紫外線硬化性樹脂等の放射線硬化性樹脂を用いる。又、光インプリントの場合、スタンパ６０は透光性であり、スタンパ６０を介して流動性材料１８に紫外線等の放射線を照射することにより転写された凹凸パターンの形状を保持しつつ流動性材料１８を硬化させることができる。
【００４２】
又、熱インプリントの場合、流動性材料１８として熱可塑性樹脂等を用いる。熱インプリントの場合、スタンパ６０と共に流動性材料１８を冷却することにより転写された凹凸パターンの形状を保持しつつ流動性材料１８を硬化させるこことができる。
【００４３】
次に、図７に示されるように凹凸パターンの流動性材料１８が硬化してなる樹脂層６２に基づいて、被加工体１６をエッチングする（Ｓ１０６）。これにより、樹脂層６２の凹凸パターンに相当する凹凸パターンが被加工体１６を両側の面に形成される。エッチング法としては、例えばＩＢＥ、ＲＩＥ等のドライエッチングを用いることができる。図７中における矢印はドライエッチングの加工用ガスの照射方向を模式的に示したものである。尚、被加工体１６が、例えば基板の両面に記録層等の加工対象層が形成された構成であり、加工対象層が被加工体１６の表面に露出している場合、樹脂層６２に基づいて直接加工対象層をエッチングする。又、被加工体１６が、例えば基板の両面に記録層等の加工対象層が形成され更に加工対象層の上に更に１層又は複数のマスク層が形成された構成である場合、樹脂層６２に基づいてマスク層をエッチングし、更にマスク層に基づいて加工対象層をエッチングする。これにより、両側の面に凹凸パターンの記録層を備えるディスクリートトラックメディアやパターンドメディアが得られる。尚、必要に応じてエッチング工程（Ｓ１０６）の後に非磁性材等を成膜して凹凸パターンの凹部を充填する工程や余剰の非磁性材をエッチングで除去して表面を平坦化する工程を実行してもよい。又、保護層や潤滑層を成膜する工程を実行してもよい。
【００４４】
以後同様に、被加工体１６の両側の面に流動性材料１８を塗布し（Ｓ１０２）、流動性材料１８に凹凸パターンを転写し（Ｓ１０４）、被加工体１６をエッチングする（Ｓ１０６）工程を繰り返す。
【００４５】
以上説明したように、スピンコート装置１０は、被加工体１６の両面が露出するように被加工体１６を中心孔１６Ａにおいてコレット１２で保持して被加工体１６の両面に流動性材料１８を塗布できるので生産効率が良い。
【００４６】
又、拡径器１４の主部１４Ａが回転軸線Ｘの方向に付勢されつつコレット１２のテーパ面１２Ｄに先端部１２Ａ側から当接して、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の外側に付勢することにより被加工体１６の中心孔１６Ａの内周にコレット１２の先端部１２Ａのネック部１２Ｇが嵌着し、被加工体１６の径方向の動きを確実に規制できる。又、コレット１２は、先端部１２Ａのネック部１２Ｇにおいて被加工体１６の中心孔１６Ａの内周に嵌着するので被加工体１６の回転軸線Ｘの方向の動きも確実に規制できる。従って、高速で回転する被加工体１６を確実に保持できる。
【００４７】
又、スピンコート装置１０は、連結バー３６が、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の内側に付勢可能である縮径器を構成しているので、筒状部１２Ｂの外径を迅速、且つ、確実に縮小できる。又、拡径器１４の主部１４Ａにおける大径側部分がコレット１２のテーパ面１２Ｄから離間する方向に移動し、コレット１２の弾性力によりコレット１２の筒状部１２Ｂの外径が縮小した状態よりも、筒状部１２Ｂの外径を更に縮小することも可能である。従って、被加工体１６をコレット１２に取付ける作業や、被加工体１６をコレット１２から取外す作業が容易である。
【００４８】
ところで、スリット１２Ｃが形成されたコレット１２を用いることにより、被加工体１６に塗布された流動性材料１８に風紋のような膜厚のむらが形成されることがある。具体的には、コレット１２のスリット１２Ｃの部分から径方向の外側に放射状に延びる略円弧形状の風紋が流動性材料１８に形成されることがある。尚、風紋は、特に被加工体１６の裏面（コレット１２の筒状部１２Ｂの先端部１２Ａの回転軸線Ｘの方向の端面が臨む側と反対側を臨む面）に形成されやすく、被加工体１６の表面（コレット１２の筒状部１２Ｂの先端部１２Ａの回転軸線Ｘの方向の端面が臨む側と同じ側を臨む面）には形成されにくい。
【００４９】
一方、スピンコート装置１０は、拡径器１４が、コレット１２の先端部１２Ａにおいて筒状部１２Ｂの内側の孔を被覆し、且つ、先端部１２Ａの回転軸線Ｘの方向の端面においてスリット１２Ｃを少なくとも部分的に被覆可能である被覆部材を兼ねているので、被加工体１６の表面側から裏面側への空気の流入が抑制される。これにより上記のような風紋の形成が抑制される。尚、風紋の形成を抑制する効果については後述する実施例においても説明する。
【００５０】
又、スピンコート装置１０は、コレット１２の先端部１２Ａにおいて被加工体１６を保持するように構成されているので、被覆部材を兼ねる拡径器１４で被覆されるコレット１２の先端部１２Ａの回転軸線Ｘの方向の端面と被加工体１６との間のスリット１２Ｃの長さが短い。従って、被加工体１６の表面側におけるスリット１２Ｃへの空気の流入や、スリット１２Ｃを介した被加工体１６の表面側から裏面側への空気の移動が抑制され、風紋の形成を抑制する効果が高められている。
【００５１】
又、拡径器１４が被覆部材を兼ねているので、スピンコート装置１０は構成が簡略化されている。又、拡径器１４が連結された連結バー３６が、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の内側に付勢して筒状部１２Ｂの外径を縮小可能である縮径器を兼ねているので、スピンコート装置１０はこの点でも構成が簡略化されている。
【００５２】
尚、本実施形態において、拡径器１４が被覆部材を兼ねているが、拡径器とは別に、コレットの先端部において筒状部の内側の孔を被覆し、且つ、先端部の回転軸線の方向の端面においてスリットを少なくとも部分的に被覆可能である被覆部材を備えてもよい。
【００５３】
又、本実施形態において、スピンコート装置１０は、被覆部材（拡径器１４）を備えているが、例えば、風紋が形成されにくい場合や、風紋が被加工体の中心孔の近傍だけに形成され、磁気記録媒体の記録領域に相当する領域に風紋が形成されないような場合には、コレットの先端部において筒状部の内側の孔を被覆し、且つ、先端部の回転軸線の方向の端面においてスリットを少なくとも部分的に被覆可能である被覆部材を備えない構成としてもよい。
【００５４】
又、本実施形態において、拡径器１４は、回転軸線の方向の方向に付勢されつつ主部１４Ａがコレット１２のテーパ面１２Ｄに先端部１２Ａ側から当接することにより、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の外側に付勢して筒状部１２Ｂの外径を拡大可能であるように構成されているが、筒状部１２Ｂの外径を拡大可能であればコレットや拡径器の構造は特に限定されない。例えば、主部１４Ａの外周面又はコレット１２の内周面のいずれか一方だけがテーパ面であり他方は円筒形状等のテーパ面ではない構成としてもよい。又、例えば、拡径器のテーパ面がコレットのテーパ面に先端部と反対の側から当接することにより、コレットの筒状部を径方向の外側に付勢して筒状部の外径を拡大可能である構成としてもよい。又、例えば、シリコンゴム等の袋状の拡径器をコレットの筒状部の内側に設置し、拡径器の中に圧縮空気等を供給して筒状部の外径を拡大してもよい。
【００５５】
又、本実施形態において、スピンコート装置１０は、拡径器１４が連結された連結バー３６が、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の内側に付勢可能である縮径器を構成しているが、縮径器の構成は特に限定されない。例えば、連結バーと別体の縮径器を備えてもよい。又、例えば、縮径器で筒状部を径方向の内側に付勢しなくても筒状部の外径を迅速、且つ、確実に縮小できる場合や、被加工体１６をコレット１２に取付ける作業や被加工体１６をコレット１２から取外す作業が容易である場合は、縮径器は省略してもよい。
【００５６】
又、本実施形態において、被加工体１６の中心孔１６Ａの内周に嵌着するコレット１２の先端部１２Ａにはネック部１２Ｇが形成されているが、高速で回転する被加工体を確実に保持できれば、コレットの先端部の形状は特に限定されない。例えば、被加工体の中心孔の内周に嵌着するコレットの先端部の形状は、回転軸線の方向の一方側への被加工体の動きを規制し、他方側への被加工体の動きは規制しない段付形状でもよい。
【００５７】
又、本実施形態において、コレット１２は先端部１２Ａにおいて被加工体１６を保持するように構成されているが、被加工体の両側の面に流動性材料を良好に塗布できれば、コレットの筒状部における先端部ではない部位において被加工体を保持する構成としてもよい。
【００５８】
又、本実施形態において、ディスクリートトラックメディアやパターンドメディアが例示されているが、スピンコート装置１０は、他の情報記録媒体の製造にも用いることができる。又、スピンコート装置１０は、情報記録媒体ではない製品の製造にも用いることができる。
【実施例１】
【００５９】
上記実施形態に対し、拡径器１４のフランジ部１４Ｂが省略されコレット１２の先端部１２Ａの回転軸線Ｘの方向の端面においてスリット１２Ｃが被覆されない構成のスピンコート装置を用意し、上記実施形態に示された方法で被加工体１６の両側の面に流動性材料１８を塗布した。尚、流動性材料１８は紫外線硬化性樹脂だった。又、被加工体１６は、ハードディスクの基板の両面に記録層等を成膜したものであった。又、流動性材料塗布工程（Ｓ１０２）における被加工体１６の回転速度は１００００ｒｐｍであった。又、被加工体１６の具体的な形状は以下のとおりであった。
【００６０】
外径 ：４８ｍｍ
中心孔１６Ａの直径 ：１２ｍｍ
記録領域の内周の直径：２０ｍｍ
厚さ ：０．５ｍｍ
【００６１】
被加工体１６の両側の面に塗布された流動性材料１８を確認したところ、表面（コレット１２の筒状部１２Ｂの先端部１２Ａの回転軸線Ｘの方向の端面が臨む側と同じ側を臨む面）及び裏面（コレット１２の筒状部１２Ｂの先端部１２Ａの回転軸線Ｘの方向の端面が臨む側と反対側を臨む面）のいずれにも被加工体１６の記録領域に相当する領域に塗布された流動性材料１８の厚さは約３５ｎｍであり、記録領域に相当する領域では厚さはほぼ均一であった。
【００６２】
一方、図８に示されるように、被加工体１６の裏面には、中心孔１６Ａの近傍に、コレット１２のスリット１２Ｃの部分から径方向の外側に放射状に延びる略円弧形状の風紋が形成されていた。又、被加工体１６の表面にも、風紋が形成されていたが、表面の風紋は裏面の風紋よりも著しく小さかった（図示省略）。尚、表面の風紋も裏面の風紋も、記録領域に相当する領域よりも径方向の内側の領域に形成されており、記録領域に相当する領域に風紋は形成されていなかった。
【実施例２】
【００６３】
上記実施形態と同じ構成のスピンコート装置を用意した。即ち、コレット１２の先端部１２Ａの回転軸線Ｘの方向の端面においてスリット１２Ｃが被覆される構成のスピンコート装置１０を用意した。その他の条件は上記実施例１と同じ条件に設定し、被加工体１６の両側の面に流動性材料１８を塗布した。
【００６４】
被加工体１６の両側の面に塗布された流動性材料１８を確認したところ、実施例１と同様に表面及び裏面のいずれにおいても被加工体１６の記録領域に相当する領域に塗布された流動性材料１８の厚さは約３５ｎｍであり、記録領域に相当する領域では厚さはほぼ均一であった。
【００６５】
一方、図９に示されるように、実施例２では被加工体１６の裏面に実施例１のような風紋は形成されていなかった。又、被加工体１６の表面にも風紋は形成されていなかった（図示省略）。
【００６６】
実施例１及び２に示されるように、被加工体１６の両面が露出するように中心孔１６Ａにおいて被加工体１６をコレット１２で保持することで、被加工体１２の両面に流動性材料１８を良好に塗布できることが確認された。
【００６７】
更に、実施例２に示されるように、コレット１２の先端部１２Ａにおいて筒状部１２Ｂの内側の孔を被覆し、且つ、先端部１２Ａの回転軸線Ｘの方向の端面においてスリット１２Ｃを被覆することにより、実施例１のような風紋の形成を抑制できることが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本発明は、例えば情報記録媒体の製造工程において被加工体の両面に流動性材料を塗布するために利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の実施形態に係るスピンコート装置の主要部の概略構造を模式的に示す一部断面図を含む側面図
【図２】図１のコレット周辺を拡大して示す一部断面図を含む側面図
【図３】図１における矢視IIIに相当する拡大側面図
【図４】図１におけるIV-IV線に沿う一部断面を含む平面図
【図５】同スピンコート装置を用いた情報記録媒体の製造方法の概要を示すフローチャート
【図６】同情報記録媒体の製造方法における凹凸パターン転写工程を模式的に示す側断面図
【図７】同情報記録媒体の製造方法におけるエッチング工程を模式的に示す側断面図
【図８】実施例１の被加工体の裏面を示す写真
【図９】実施例２の被加工体の裏面を示す写真
【符号の説明】
【００７０】
１０…スピンコート装置
１２…コレット
１２Ａ…先端部
１２Ｂ…筒状部
１２Ｃ…スリット
１２Ｄ…テーパ面
１２Ｅ…環状突起
１２Ｆ…長孔
１２Ｇ…ネック部
１２Ｈ…フランジ部
１４…拡径器（被覆部材）
１４Ａ…主部
１４Ｂ…フランジ部
１４Ｃ…連結部
１６…被加工体
１６Ａ…中心孔
１８…流動性材料
２０…ロータ
３６…連結バー（縮径器）
３６Ａ…頭部
３６Ｂ…突起
３６Ｃ…テーパ面
３６Ｄ…尾部
４６、４８…ノズル部
Ｓ１０２…流動性材料塗布工程
Ｓ１０４…凹凸パターン転写工程
Ｓ１０６…エッチング工程
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工体の表面に流動性材料を塗布するために用いられるスピンコート装置、これを用いたスピンコート方法及び情報記録媒体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、様々な分野においてスピンコート装置が用いられている。例えば、ＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ Ｄｉｓｃ）等の光記録媒体の製造工程では記録膜の材料である有機色素の成膜等のためにスピンコート装置が用いられている。スピンコート装置は、被加工体を保持するためのテーブルと、テーブル及び被加工体を回転駆動するための駆動装置と、を有しており、被加工体の上面（テーブルに接する面と反対側の面）における回転中心の近傍に流動性材料を供給し、テーブルと共に被加工体を回転させることにより遠心力で流動性材料を径方向の外側に流動させて流動性材料を被加工体の表面全体に塗り広げるようになっている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
又、ハードディスク等の磁気記録媒体の製造工程においてもスピンコート装置を利用して被加工体の表面に流動性材料を塗布することが期待されている。例えば、磁気記録媒体の分野では、記録密度を高めるために記録層がトラックに相当する凹凸パターンで形成されたディスクリートトラックメディアや記録層が記録ビットに相当する凹凸パターンで形成されたパターンドメディアが提案されている。記録層の上に樹脂層を成膜し、樹脂層をインプリントやリソグラフィにより記録層の凹凸パターンに相当する凹凸パターンに加工し、凹凸パターンの樹脂層に基づいて記録層をエッチングすることにより記録層をトラックや記録ビットに相当する凹凸パターンに加工することができる。尚、記録層と樹脂層との間に１層又は２層以上のマスク層を成膜し、樹脂層に基づいてマスク層をエッチングし、マスク層に基づいて記録層をエッチングすることも提案されている。このように記録層やマスク層の上に樹脂層を成膜するためにスピンコート装置を利用することが提案されている（例えば、特許文献２、３参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００８―５２７９０号公報
【特許文献２】特開２００８―２１７９０８号公報
【特許文献３】特開２００８―１７１４９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、例えばハードディスク等の磁気記録媒体の場合、基板の両面に記録層を備える両面記録式が採用されることが多い。一方、従来のスピンコート装置は被加工体の片面（上面）のみに流動性材料を塗布することを想定した構成であるため、両面記録式の磁気記録媒体を製造する場合、まず被加工体の片面に流動性材料を塗布し、次に片面に流動性材料が塗布された被加工体を反転させ、更に被加工体の他方の面に流動性材料を塗布する必要があった。このため従来のスピンコート装置を用いて両面記録式の磁気記録媒体を製造する場合、生産効率が低いという問題があった。又、一方の面に流動性材料が塗布された被加工体を反転させる際、塗布された流動性材料が流動する可能性があり、均一な膜厚の保持が困難であるという問題もあった。更に、被加工体を反転させる際、一方の面に塗布された流動性材料が治具等に触れないように被加工体をハンドリングする必要があり、被加工体のハンドリングが煩雑であるという問題もあった。
【０００６】
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであって、被加工体の両面に流動性材料を塗布できる生産効率が良いスピンコート装置、これを用いたスピンコート方法及び情報記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、所定の回転軸線に対し同軸的に配置された筒状部を有し筒状部における回転軸線の方向の一方の先端部から回転軸線の方向の途中の部分までスリットが形成されたコレットと、コレットの筒状部を径方向の外側に付勢して筒状部の外径を拡大可能である拡径器と、を含み、中心孔を有する板状の被加工体の両面が露出するように被加工体を中心孔においてコレットの筒状部で保持して被加工体の両面に流動性材料を塗布可能であるスピンコート装置により、上記目的を達成するものである。
【０００８】
このスピンコート装置は、被加工体の両面が露出するように被加工体を中心孔においてコレットの筒状部で保持して被加工体の両面に流動性材料を塗布できるので生産効率が良い。
【０００９】
ところで本発明に想到する過程で発明者らは、スリットが形成されたコレットを用いた場合、被加工体に塗布された流動性材料に時々風紋のような膜厚のむらが形成されることがあることに気づいた。具体的には風紋はコレットのスリットの部分から径方向の外側に放射状に延びる略円弧形状であった。コレットのスリットから遠心力で空気が吹き出すことにより、このような風紋が形成されたと推測される。尚、風紋は、特に被加工体の裏面（コレットの筒状部の先端部の回転軸線の方向の端面が臨む側と反対側を臨む面）に形成されやすく、被加工体の表面（コレットの筒状部の先端部の回転軸線の方向の端面が臨む側と同じ側を臨む面）には形成されにくかった。
【００１０】
例えば、風紋が被加工体の中心孔の近傍だけに形成され、磁気記録媒体の記録領域に相当する領域に風紋が形成されていないような場合には、風紋は必ずしも重大な問題ではないが、このような風紋の形成はできるだけ抑制することが好ましい。そこで発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、コレットの先端部において筒状部の内側の孔を被覆し、且つ、先端部の回転軸線の方向の端面においてスリットを少なくとも部分的に被覆することにより、上記のような風紋の形成を抑制できることを見出した。
【００１１】
即ち、以下の発明により上記目的を達成できる。
【００１２】
（１）所定の回転軸線に対し同軸的に配置された筒状部を有し前記筒状部における前記回転軸線の方向の一方の先端部から前記回転軸線の途中の部分までスリットが形成されたコレットと、前記コレットの前記筒状部を径方向の外側に付勢して前記筒状部の外径を拡大可能である拡径器と、を含み、中心孔を有する板状の被加工体の両面が露出するように前記被加工体を前記中心孔において前記コレットの前記筒状部で保持して前記被加工体の両面に流動性材料を塗布可能であることを特徴とするスピンコート装置。
【００１３】
（２） （１）において、前記コレットの前記先端部において前記筒状部の内側の孔を被覆し、且つ、前記先端部の前記回転軸線の方向の端面において前記スリットを少なくとも部分的に被覆可能である被覆部材を更に備えることを特徴とするスピンコート装置。
【００１４】
（３） （２）において、前記拡径器が前記被覆部材を兼ねていることを特徴とするスピンコート装置。
【００１５】
（４） （１）乃至（３）のいずれかにおいて、前記被加工体の両面に流動性材料を塗布するための一対のノズル部を備えることを特徴とするスピンコート装置。
【００１６】
（５） （１）乃至（４）のいずれかにおいて、前記コレットの前記筒状部を前記径方向の内側に付勢可能である縮径器を更に備えることを特徴とするスピンコート装置。
【００１７】
（６） （１）乃至（５）のいずれかにおいて、前記コレットは前記筒状部の前記先端部に前記回転軸線の方向の両側の部分よりも外径が小さいネック部が形成され該ネック部において前記被加工体の前記中心孔に嵌合して前記被加工体を保持可能であるように構成されたことを特徴とするスピンコート装置。
【００１８】
（７） （１）乃至（６）のいずれかに記載のスピンコート装置を用いて前記被加工体の両面に前記流動性材料を塗布することを特徴とするスピンコート方法。
【００１９】
（８） （１）乃至（６）のいずれかに記載のスピンコート装置を用いて前記被加工体の両面に前記流動性材料を塗布する工程を含むことを特徴とする情報記録媒体の製造方法。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、被加工体の両面に流動性材料を塗布できる生産効率が良いスピンコート装置、これを用いたスピンコート方法及び情報記録媒体の製造方法を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００２２】
図１は、本実施形態に係るスピンコート装置の主要部の概略構造を模式的に示す一部断面図を含む側面図である。図２は、図１のコレット周辺を拡大して示す一部断面図を含む側面図である。図３は、図１における矢視IIIに相当する側面図である。尚、図３では便宜上、被加工体及びノズル部の図示を省略している。図４は、図１におけるIV-IV線に沿う一部断面を含む平面図である。
【００２３】
図１〜４に示されるように、本実施形態に係るスピンコート装置１０は、回転軸線Ｘに対し同軸的に配置された筒状部１２Ｂを有し筒状部１２Ｂにおける回転軸線Ｘの方向の先端部１２Ａから回転軸線Ｘの方向の途中の部分までスリット１２Ｃが形成されたコレット１２と、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の外側に付勢して筒状部１２Ｂの外径を拡大可能である拡径器１４と、を備え、中心孔１６Ａを有する板状の被加工体１６の両面が露出するように被加工体１６を中心孔１６Ａにおいてコレット１２の筒状部１２Ｂで保持して被加工体１６の両面に同時に流動性材料１８を塗布可能である。
【００２４】
コレット１２は、筒状部１２Ｂにおける先端部１２Ａ及びその近傍の内周面が、先端部１２Ａから離れる方向に直径が小さくなるテーパ面１２Ｄとなっている。又、筒状部１２Ｂの内側には、テーパ面１２Ｄにおける先端部１２Ａと反対側の端部から先端部１２Ａと反対側に突出する環状突起１２Ｅが形成されている。スリット１２Ｃは筒状部１２Ｂにおける複数の箇所（本実施形態では４箇所）に円周方向に適宜な間隔で形成されている。尚、スリット１２Ｃは環状突起１２Ｅにも形成されており、環状突起１２Ｅはスリット１２Ｃにより分割された断続的な環形状である。又、筒状部１２Ｂにおける各スリット１２Ｃの先端部１２Ａと反対側の部分には回転軸線Ｘの方向に長い長孔１２Ｆが形成されている。長孔１２Ｆ及びスリット１２Ｃは連続する切欠きを形成している。又、コレット１２は、筒状部１２Ｂの先端部１２Ａに回転軸線Ｘの方向の両側の部分よりも外径が小さいネック部１２Ｇが形成されネック部１２Ｇにおいて被加工体１６の中心孔１６Ａに嵌合して被加工体１６を保持可能であるように構成されている。又、筒状部１２Ｂにおける回転軸線Ｘの方向の先端部１２Ａと反対側の端部にはフランジ部１２Ｈが設けられている。
【００２５】
コレット１２は、回転軸線Ｘに対し同軸的に配置された筒状のロータ２０の一端にフランジ部１２Ｈにおいてスペーサ２２を介して取付けられている。ロータ２０は、軸受２４を介してベース部２６に回転自在に支持されると共に回転軸線Ｘの方向の動きが規制されている。又、ロータ２０の他端近傍にはプーリ２８が取付けられており、プーリ２８にはベルト３０、プーリ３２を介してモータ３４の回転が伝達されるようになっている。
【００２６】
拡径器１４は、コレット１２のテーパ面１２Ｄに嵌合可能である切頭円錐形の主部１４Ａと、主部１４Ａにおける大径側の端部に設けられたフランジ部１４Ｂと、主部１４Ａにおける小径側の端部から同軸的に突出する連結部１４Ｃと、を有している。拡径器１４は、主部１４Ａが回転軸線Ｘの方向に付勢されつつコレット１２のテーパ面１２Ｄに先端部１２Ａ側から当接することにより、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の外側に付勢して筒状部１２Ｂの外径を拡大可能であるように構成されている。
【００２７】
又、拡径器１４は、コレット１２の先端部１２Ａにおいてコレット１２の筒状部１２Ｂの内側の孔を主部１４Ａで被覆可能であり、先端部１２Ａの回転軸線Ｘの方向の端面においてフランジ部１４Ｂでコレット１２のスリット１２Ｃを少なくとも部分的に被覆可能である。即ち、拡径器１４は、コレット１２の先端部１２Ａにおいて筒状部１２Ｂの内側の孔を被覆し、且つ、先端部１２Ａの回転軸線Ｘの方向の端面においてスリット１２Ｃを少なくとも部分的に被覆可能である被覆部材を兼ねている。
【００２８】
拡径器１４は、コレット１２及びロータ２０の内側に配置された連結バー３６の頭部３６Ａに連結部１４Ｃにおいて連結されている。連結バー３６の頭部３６Ａには、コレット１２の先端部１２Ａの方向に突出する突起３６Ｂが形成されている。突起３６Ｂの径方向内側（回転軸線Ｘに近い側）の面は、回転軸線Ｘからの径方向の距離がコレット１２の先端部１２Ａに近づく方向に拡大するテーパ面３６Ｃとなっている。突起３６Ｂのテーパ面３６Ｃが、先端部１２Ａの方向に付勢されつつコレット１２の内側の環状突起１２Ｅに当接することにより、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の内側に付勢可能である。即ち、連結バー３６は、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の内側に付勢可能である縮径器を構成している。
【００２９】
連結バー３６における頭部３６Ａと反対側の尾部３６Ｄは、ロータ２０から突出しており尾部３６Ｄの近傍にはばね座部材３８が取付けられている。ばね座部材３８とロータ２０の端部との間には、連結バー３６を取巻くように圧縮コイルばね４０が装架されており、連結バー３６は、常態でコレット１２の先端部１２Ａから離れる方向に付勢されている。これにより、拡径器１４の主部１４Ａは常態で、回転軸線Ｘの方向（ばね座部材３８の方向）に付勢されつつコレット１２のテーパ面１２Ｄに当接し、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の外側に付勢するように構成されている。
【００３０】
又、連結バー３６の尾部３６Ｄよりもコレット１２の先端部１２Ａから離れる側には、連結バー３６の尾部３６Ｄに対向してプッシュ部４２が備えられている。プッシュ部４２は、アクチュエータ４４に駆動されて回転軸線Ｘの方向に進退動自在である。プッシュ部４２がアクチュエータ４４に駆動されて連結バー３６の尾部３６Ｄに当接し、連結バー３６を圧縮コイルばね４０の付勢力に抗してコレット１２の先端部１２Ａの方向に付勢することにより、拡径器１４の主部１４Ａにおける大径側部分がコレット１２のテーパ面１２Ｄから離間する方向に移動し、コレット１２の弾性力によりコレット１２の筒状部１２Ｂの外径が小さくなるように構成されている。又、連結バー３６の頭部３６Ａの突起３６Ｂのテーパ面３６Ｃがコレット１２の内側の環状突起１２Ｅに当接し、頭部３６Ａの突起３６Ｂがコレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の内側に付勢することにより、コレット１２の筒状部１２Ｂの外径の縮小を促進するように構成されている。又、連結バー３６の頭部３６Ａの突起３６Ｂがコレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の内側に付勢することにより、コレット１２の筒状部１２Ｂの外径を常態（筒状部１２Ｂが拡径器１４や連結バー３６（縮径器）により径方向に付勢されていない状態）よりも更に小さくすることも可能である。
【００３１】
又、スピンコート装置１０は、更に、被加工体１６の両面に流動性材料を塗布するための一対のノズル部４６、４８を備えている。ノズル部４６、４８は、被加工体１６の中心孔１６Ａの近傍に流動性材料１８を吐出するように構成されている。
【００３２】
被加工体１６は、例えばハードディスク等の磁気記録媒体の基板の両面に磁気記録層等が成膜されたものである。被加工体１６の外径は、例えば３０〜９０ｍｍである。又、中心孔１６Ａの直径は、例えば１２〜２５ｍｍである。又、被加工体１６の厚さは、例えば０．５〜１．２ｍｍである。
【００３３】
流動性材料１８は、例えば、紫外線硬化性樹脂等の放射線硬化性樹脂、熱硬化性樹脂、又はレジスト材料である。
【００３４】
尚、スピンコート装置１０は、図示しないケーシング内に収容されている。ケーシングの底部には必要に応じて被加工体１６の外周から飛散する余剰の流動性材料１８を排出するためのドレン孔が設けられる。ドレン孔には例えば負圧ポンプが接続され、ケーシング内の空気と共に余剰の流動性材料１８が吸引されてケーシングの外部に排出される。
【００３５】
次に、図５のフローチャートに沿ってスピンコート装置１０を用いたスピンコート方法について説明する。ここでは一例としてスピンコート装置１０を用いた情報記録媒体の製造方法について説明する。尚、初期状態でモータ３４は停止している。又、プッシュ部４２は連結バー３６の尾部３６Ｄから離間している。
【００３６】
まず、被加工体１６の両側の全面に流動性材料１８を塗布する（Ｓ１０２）。具体的には、アクチュエータ４４でプッシュ部４２を連結バー３６の尾部３６Ｄの方向に駆動し、連結バー３６を圧縮コイルばね４０の付勢力に抗してコレット１２の先端部１２Ａの方向に付勢する。これにより、拡径器１４の主部１４Ａにおける大径側部分がコレット１２のテーパ面１２Ｄから離間する方向に移動し、コレット１２の弾性力によりコレット１２の筒状部１２Ｂの外径が縮小する。又、連結バー３６の頭部３６Ａの突起３６Ｂのテーパ面３６Ｃがコレット１２の内側の環状突起１２Ｅに当接し、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の内側に付勢する。これにより、筒状部１２Ｂの外径の縮小が促進される。又、連結バー３６の頭部３６Ａの突起３６Ｂがコレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の内側に付勢することにより、コレット１２の筒状部１２Ｂの外径を常態（筒状部１２Ｂが拡径器１４や連結バー３６（縮径器）により径方向に付勢されていない状態）よりも更に小さくすることも可能である。この状態で被加工体１６を回転軸線Ｘに対し同軸的に、且つ、被加工体１６の中心孔１６Ａがコレット１２の先端部１２Ａのネック部１２Ｇにほぼ一致するように配置する。
【００３７】
次に、アクチュエータ４４でプッシュ部４２を連結バー３６の尾部３６Ｄから離れる方向に駆動する。連結バー３６は圧縮コイルばね４０に付勢されてコレット１２の先端部１２Ａから離れる方向に移動する。これにより、連結バー３６の頭部３６Ａの突起３６Ｂのテーパ面３６Ｃがコレット１２の内側の環状突起１２Ｅから離間する。更に、拡径器１４の主部１４Ａが回転軸線Ｘの方向に付勢されつつコレット１２のテーパ面１２Ｄに先端部１２Ａ側から当接することにより、コレット１２の筒状部１２Ｂは径方向の外側に付勢される。これにより筒状部１２Ｂの外径が拡大して被加工体１６の中心孔１６Ａの内周にコレット１２の先端部１２Ａのネック部１２Ｇが嵌着し、被加工体１６は両面が露出するように中心孔１６Ａにおいてコレット１２の筒状部１２Ｂで保持される。
【００３８】
この状態でモータ３４を始動し、被加工体１６を例えば数千〜数万ｒｐｍ（一例を示すと１００００ｒｐｍ）程度の回転速度で回転させる。更に、図２に示されるようにノズル部４６、４８から被加工体１６の両側の面における中心孔１６Ａの近傍に所定の量の流動性材料１８を吐出する。これにより、流動性材料１８は遠心力により付勢されて径方向の外側に流動し、被加工体１６の両側の全面に流動性材料１８が塗布される。尚、被加工体１６の裏面（コレット１２の筒状部１２Ｂの先端部１２Ａの回転軸線Ｘの方向の端面が臨む側と反対側を臨む面）に吐出された流動性材料１８は重力により被加工体１６の裏面から離脱する方向に付勢されるが、被加工体１６の裏面に吐出された流動性材料１８は、その粘性により被加工体１６の裏面に付着しつつ、高速で回転する被加工体１６の遠心力により径方向の外側に流動する。従って、被加工体１６の裏面においても表面におけると同様に流動性材料１８が塗布される。所定の時間が経過し、被加工体１６の両側の全面に所望の厚さで流動性材料１８が塗布されたらモータ３４を停止する。
【００３９】
次に、アクチュエータ４４でプッシュ部４２を連結バー３６の尾部３６Ｄの方向に駆動し、連結バー３６を圧縮コイルばね４０の付勢力に抗してコレット１２の先端部１２Ａの方向に付勢する。これにより、拡径器１４の主部１４Ａにおける大径側部分がコレット１２のテーパ面１２Ｄから離間する方向に移動し、コレット１２の弾性力によりコレット１２の筒状部１２Ｂの外径が縮小する。又、連結バー３６の頭部３６Ａの突起３６Ｂのテーパ面３６Ｃがコレット１２の内側の環状突起１２Ｅに先端部１２と反対側から当接し、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の内側に付勢する。これにより、筒状部１２Ｂの外径の縮小が促進される。又、連結バー３６の頭部３６Ａの突起３６Ｂがコレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の内側に付勢することにより、コレット１２の筒状部１２Ｂの外径を常態よりも更に小さくすることも可能である。この状態で被加工体１６を外径部分において図示しない治具等で保持し、回転軸線Ｘの方向に移動させて被加工体１６をコレット１２から取外す。
【００４０】
次に、図６に示されるように、インプリント法により流動性材料１８に所定の凹凸パターンを転写する（Ｓ１０４）。具体的には、被加工体１６の両側の面の流動性材料１８にスタンパ６０を当接させ、流動性材料１８に凹凸パターンを転写する。凹凸パターンは例えばディスクリートトラックメディアやパターンドメディアの記録層の凹凸に相当する凹凸パターンである。インプリント法としては、紫外線等による光インプリント、熱インプリント等を用いることができる。
【００４１】
光インプリントの場合、流動性材料１８として紫外線硬化性樹脂等の放射線硬化性樹脂を用いる。又、光インプリントの場合、スタンパ６０は透光性であり、スタンパ６０を介して流動性材料１８に紫外線等の放射線を照射することにより転写された凹凸パターンの形状を保持しつつ流動性材料１８を硬化させることができる。
【００４２】
又、熱インプリントの場合、流動性材料１８として熱可塑性樹脂等を用いる。熱インプリントの場合、スタンパ６０と共に流動性材料１８を冷却することにより転写された凹凸パターンの形状を保持しつつ流動性材料１８を硬化させるこことができる。
【００４３】
次に、図７に示されるように凹凸パターンの流動性材料１８が硬化してなる樹脂層６２に基づいて、被加工体１６をエッチングする（Ｓ１０６）。これにより、樹脂層６２の凹凸パターンに相当する凹凸パターンが被加工体１６を両側の面に形成される。エッチング法としては、例えばＩＢＥ、ＲＩＥ等のドライエッチングを用いることができる。図７中における矢印はドライエッチングの加工用ガスの照射方向を模式的に示したものである。尚、被加工体１６が、例えば基板の両面に記録層等の加工対象層が形成された構成であり、加工対象層が被加工体１６の表面に露出している場合、樹脂層６２に基づいて直接加工対象層をエッチングする。又、被加工体１６が、例えば基板の両面に記録層等の加工対象層が形成され更に加工対象層の上に更に１層又は複数のマスク層が形成された構成である場合、樹脂層６２に基づいてマスク層をエッチングし、更にマスク層に基づいて加工対象層をエッチングする。これにより、両側の面に凹凸パターンの記録層を備えるディスクリートトラックメディアやパターンドメディアが得られる。尚、必要に応じてエッチング工程（Ｓ１０６）の後に非磁性材等を成膜して凹凸パターンの凹部を充填する工程や余剰の非磁性材をエッチングで除去して表面を平坦化する工程を実行してもよい。又、保護層や潤滑層を成膜する工程を実行してもよい。
【００４４】
以後同様に、被加工体１６の両側の面に流動性材料１８を塗布し（Ｓ１０２）、流動性材料１８に凹凸パターンを転写し（Ｓ１０４）、被加工体１６をエッチングする（Ｓ１０６）工程を繰り返す。
【００４５】
以上説明したように、スピンコート装置１０は、被加工体１６の両面が露出するように被加工体１６を中心孔１６Ａにおいてコレット１２で保持して被加工体１６の両面に流動性材料１８を塗布できるので生産効率が良い。
【００４６】
又、拡径器１４の主部１４Ａが回転軸線Ｘの方向に付勢されつつコレット１２のテーパ面１２Ｄに先端部１２Ａ側から当接して、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の外側に付勢することにより被加工体１６の中心孔１６Ａの内周にコレット１２の先端部１２Ａのネック部１２Ｇが嵌着し、被加工体１６の径方向の動きを確実に規制できる。又、コレット１２は、先端部１２Ａのネック部１２Ｇにおいて被加工体１６の中心孔１６Ａの内周に嵌着するので被加工体１６の回転軸線Ｘの方向の動きも確実に規制できる。従って、高速で回転する被加工体１６を確実に保持できる。
【００４７】
又、スピンコート装置１０は、連結バー３６が、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の内側に付勢可能である縮径器を構成しているので、筒状部１２Ｂの外径を迅速、且つ、確実に縮小できる。又、拡径器１４の主部１４Ａにおける大径側部分がコレット１２のテーパ面１２Ｄから離間する方向に移動し、コレット１２の弾性力によりコレット１２の筒状部１２Ｂの外径が縮小した状態よりも、筒状部１２Ｂの外径を更に縮小することも可能である。従って、被加工体１６をコレット１２に取付ける作業や、被加工体１６をコレット１２から取外す作業が容易である。
【００４８】
ところで、スリット１２Ｃが形成されたコレット１２を用いることにより、被加工体１６に塗布された流動性材料１８に風紋のような膜厚のむらが形成されることがある。具体的には、コレット１２のスリット１２Ｃの部分から径方向の外側に放射状に延びる略円弧形状の風紋が流動性材料１８に形成されることがある。尚、風紋は、特に被加工体１６の裏面（コレット１２の筒状部１２Ｂの先端部１２Ａの回転軸線Ｘの方向の端面が臨む側と反対側を臨む面）に形成されやすく、被加工体１６の表面（コレット１２の筒状部１２Ｂの先端部１２Ａの回転軸線Ｘの方向の端面が臨む側と同じ側を臨む面）には形成されにくい。
【００４９】
一方、スピンコート装置１０は、拡径器１４が、コレット１２の先端部１２Ａにおいて筒状部１２Ｂの内側の孔を被覆し、且つ、先端部１２Ａの回転軸線Ｘの方向の端面においてスリット１２Ｃを少なくとも部分的に被覆可能である被覆部材を兼ねているので、被加工体１６の表面側から裏面側への空気の流入が抑制される。これにより上記のような風紋の形成が抑制される。尚、風紋の形成を抑制する効果については後述する実施例においても説明する。
【００５０】
又、スピンコート装置１０は、コレット１２の先端部１２Ａにおいて被加工体１６を保持するように構成されているので、被覆部材を兼ねる拡径器１４で被覆されるコレット１２の先端部１２Ａの回転軸線Ｘの方向の端面と被加工体１６との間のスリット１２Ｃの長さが短い。従って、被加工体１６の表面側におけるスリット１２Ｃへの空気の流入や、スリット１２Ｃを介した被加工体１６の表面側から裏面側への空気の移動が抑制され、風紋の形成を抑制する効果が高められている。
【００５１】
又、拡径器１４が被覆部材を兼ねているので、スピンコート装置１０は構成が簡略化されている。又、拡径器１４が連結された連結バー３６が、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の内側に付勢して筒状部１２Ｂの外径を縮小可能である縮径器を兼ねているので、スピンコート装置１０はこの点でも構成が簡略化されている。
【００５２】
尚、本実施形態において、拡径器１４が被覆部材を兼ねているが、拡径器とは別に、コレットの先端部において筒状部の内側の孔を被覆し、且つ、先端部の回転軸線の方向の端面においてスリットを少なくとも部分的に被覆可能である被覆部材を備えてもよい。
【００５３】
又、本実施形態において、スピンコート装置１０は、被覆部材（拡径器１４）を備えているが、例えば、風紋が形成されにくい場合や、風紋が被加工体の中心孔の近傍だけに形成され、磁気記録媒体の記録領域に相当する領域に風紋が形成されないような場合には、コレットの先端部において筒状部の内側の孔を被覆し、且つ、先端部の回転軸線の方向の端面においてスリットを少なくとも部分的に被覆可能である被覆部材を備えない構成としてもよい。
【００５４】
又、本実施形態において、拡径器１４は、回転軸線の方向の方向に付勢されつつ主部１４Ａがコレット１２のテーパ面１２Ｄに先端部１２Ａ側から当接することにより、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の外側に付勢して筒状部１２Ｂの外径を拡大可能であるように構成されているが、筒状部１２Ｂの外径を拡大可能であればコレットや拡径器の構造は特に限定されない。例えば、主部１４Ａの外周面又はコレット１２の内周面のいずれか一方だけがテーパ面であり他方は円筒形状等のテーパ面ではない構成としてもよい。又、例えば、拡径器のテーパ面がコレットのテーパ面に先端部と反対の側から当接することにより、コレットの筒状部を径方向の外側に付勢して筒状部の外径を拡大可能である構成としてもよい。又、例えば、シリコンゴム等の袋状の拡径器をコレットの筒状部の内側に設置し、拡径器の中に圧縮空気等を供給して筒状部の外径を拡大してもよい。
【００５５】
又、本実施形態において、スピンコート装置１０は、拡径器１４が連結された連結バー３６が、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の内側に付勢可能である縮径器を構成しているが、縮径器の構成は特に限定されない。例えば、連結バーと別体の縮径器を備えてもよい。又、例えば、縮径器で筒状部を径方向の内側に付勢しなくても筒状部の外径を迅速、且つ、確実に縮小できる場合や、被加工体１６をコレット１２に取付ける作業や被加工体１６をコレット１２から取外す作業が容易である場合は、縮径器は省略してもよい。
【００５６】
又、本実施形態において、被加工体１６の中心孔１６Ａの内周に嵌着するコレット１２の先端部１２Ａにはネック部１２Ｇが形成されているが、高速で回転する被加工体を確実に保持できれば、コレットの先端部の形状は特に限定されない。例えば、被加工体の中心孔の内周に嵌着するコレットの先端部の形状は、回転軸線の方向の一方側への被加工体の動きを規制し、他方側への被加工体の動きは規制しない段付形状でもよい。
【００５７】
又、本実施形態において、コレット１２は先端部１２Ａにおいて被加工体１６を保持するように構成されているが、被加工体の両側の面に流動性材料を良好に塗布できれば、コレットの筒状部における先端部ではない部位において被加工体を保持する構成としてもよい。
【００５８】
又、本実施形態において、ディスクリートトラックメディアやパターンドメディアが例示されているが、スピンコート装置１０は、他の情報記録媒体の製造にも用いることができる。又、スピンコート装置１０は、情報記録媒体ではない製品の製造にも用いることができる。
【実施例１】
【００５９】
上記実施形態に対し、拡径器１４のフランジ部１４Ｂが省略されコレット１２の先端部１２Ａの回転軸線Ｘの方向の端面においてスリット１２Ｃが被覆されない構成のスピンコート装置を用意し、上記実施形態に示された方法で被加工体１６の両側の面に流動性材料１８を塗布した。尚、流動性材料１８は紫外線硬化性樹脂だった。又、被加工体１６は、ハードディスクの基板の両面に記録層等を成膜したものであった。又、流動性材料塗布工程（Ｓ１０２）における被加工体１６の回転速度は１００００ｒｐｍであった。又、被加工体１６の具体的な形状は以下のとおりであった。
【００６０】
外径 ：４８ｍｍ
中心孔１６Ａの直径 ：１２ｍｍ
記録領域の内周の直径：２０ｍｍ
厚さ ：０．５ｍｍ
【００６１】
被加工体１６の両側の面に塗布された流動性材料１８を確認したところ、表面（コレット１２の筒状部１２Ｂの先端部１２Ａの回転軸線Ｘの方向の端面が臨む側と同じ側を臨む面）及び裏面（コレット１２の筒状部１２Ｂの先端部１２Ａの回転軸線Ｘの方向の端面が臨む側と反対側を臨む面）のいずれにも被加工体１６の記録領域に相当する領域に塗布された流動性材料１８の厚さは約３５ｎｍであり、記録領域に相当する領域では厚さはほぼ均一であった。
【００６２】
一方、図８に示されるように、被加工体１６の裏面には、中心孔１６Ａの近傍に、コレット１２のスリット１２Ｃの部分から径方向の外側に放射状に延びる略円弧形状の風紋が形成されていた。又、被加工体１６の表面にも、風紋が形成されていたが、表面の風紋は裏面の風紋よりも著しく小さかった（図示省略）。尚、表面の風紋も裏面の風紋も、記録領域に相当する領域よりも径方向の内側の領域に形成されており、記録領域に相当する領域に風紋は形成されていなかった。
【実施例２】
【００６３】
上記実施形態と同じ構成のスピンコート装置を用意した。即ち、コレット１２の先端部１２Ａの回転軸線Ｘの方向の端面においてスリット１２Ｃが被覆される構成のスピンコート装置１０を用意した。その他の条件は上記実施例１と同じ条件に設定し、被加工体１６の両側の面に流動性材料１８を塗布した。
【００６４】
被加工体１６の両側の面に塗布された流動性材料１８を確認したところ、実施例１と同様に表面及び裏面のいずれにおいても被加工体１６の記録領域に相当する領域に塗布された流動性材料１８の厚さは約３５ｎｍであり、記録領域に相当する領域では厚さはほぼ均一であった。
【００６５】
一方、図９に示されるように、実施例２では被加工体１６の裏面に実施例１のような風紋は形成されていなかった。又、被加工体１６の表面にも風紋は形成されていなかった（図示省略）。
【００６６】
実施例１及び２に示されるように、被加工体１６の両面が露出するように中心孔１６Ａにおいて被加工体１６をコレット１２で保持することで、被加工体１２の両面に流動性材料１８を良好に塗布できることが確認された。
【００６７】
更に、実施例２に示されるように、コレット１２の先端部１２Ａにおいて筒状部１２Ｂの内側の孔を被覆し、且つ、先端部１２Ａの回転軸線Ｘの方向の端面においてスリット１２Ｃを被覆することにより、実施例１のような風紋の形成を抑制できることが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本発明は、例えば情報記録媒体の製造工程において被加工体の両面に流動性材料を塗布するために利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の実施形態に係るスピンコート装置の主要部の概略構造を模式的に示す一部断面図を含む側面図
【図２】図１のコレット周辺を拡大して示す一部断面図を含む側面図
【図３】図１における矢視IIIに相当する拡大側面図
【図４】図１におけるIV-IV線に沿う一部断面を含む平面図
【図５】同スピンコート装置を用いた情報記録媒体の製造方法の概要を示すフローチャート
【図６】同情報記録媒体の製造方法における凹凸パターン転写工程を模式的に示す側断面図
【図７】同情報記録媒体の製造方法におけるエッチング工程を模式的に示す側断面図
【図８】実施例１の被加工体の裏面を示す写真
【図９】実施例２の被加工体の裏面を示す写真
【符号の説明】
【００７０】
１０…スピンコート装置
１２…コレット
１２Ａ…先端部
１２Ｂ…筒状部
１２Ｃ…スリット
１２Ｄ…テーパ面
１２Ｅ…環状突起
１２Ｆ…長孔
１２Ｇ…ネック部
１２Ｈ…フランジ部
１４…拡径器（被覆部材）
１４Ａ…主部
１４Ｂ…フランジ部
１４Ｃ…連結部
１６…被加工体
１６Ａ…中心孔
１８…流動性材料
２０…ロータ
３６…連結バー（縮径器）
３６Ａ…頭部
３６Ｂ…突起
３６Ｃ…テーパ面
３６Ｄ…尾部
４６、４８…ノズル部
Ｓ１０２…流動性材料塗布工程
Ｓ１０４…凹凸パターン転写工程
Ｓ１０６…エッチング工程
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の回転軸線に対し同軸的に配置された筒状部を有し前記筒状部における前記回転軸線の方向の一方の先端部から前記回転軸線の方向の途中の部分までスリットが形成されたコレットと、前記コレットの前記筒状部を径方向の外側に付勢して前記筒状部の外径を拡大可能である拡径器と、を含み、中心孔を有する板状の被加工体の両面が露出するように前記被加工体を前記中心孔において前記コレットの前記筒状部で保持して前記被加工体の両面に流動性材料を塗布可能であることを特徴とするスピンコート装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記コレットの前記先端部において前記筒状部の内側の孔を被覆し、且つ、前記先端部の前記回転軸線の方向の端面において前記スリットを少なくとも部分的に被覆可能である被覆部材を更に備えることを特徴とするスピンコート装置。
【請求項３】
請求項２において、
前記拡径器が前記被覆部材を兼ねていることを特徴とするスピンコート装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかにおいて、
前記被加工体の両面に流動性材料を塗布するための一対のノズル部を備えることを特徴とするスピンコート装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかにおいて、
前記コレットの前記筒状部を前記径方向の内側に付勢可能である縮径器を更に備えることを特徴とするスピンコート装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかにおいて、
前記コレットは前記筒状部の前記先端部に前記回転軸線の方向の両側の部分よりも外径が小さいネック部が形成され該ネック部において前記被加工体の前記中心孔に嵌合して前記被加工体を保持可能であるように構成されたことを特徴とするスピンコート装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載のスピンコート装置を用いて前記被加工体の両面に前記流動性材料を塗布することを特徴とするスピンコート方法。
【請求項８】
請求項１乃至６のいずれかに記載のスピンコート装置を用いて前記被加工体の両面に前記流動性材料を塗布する工程を含むことを特徴とする情報記録媒体の製造方法。
【請求項１】
所定の回転軸線に対し同軸的に配置された筒状部を有し前記筒状部における前記回転軸線の方向の一方の先端部から前記回転軸線の方向の途中の部分までスリットが形成されたコレットと、前記コレットの前記筒状部を径方向の外側に付勢して前記筒状部の外径を拡大可能である拡径器と、を含み、中心孔を有する板状の被加工体の両面が露出するように前記被加工体を前記中心孔において前記コレットの前記筒状部で保持して前記被加工体の両面に流動性材料を塗布可能であることを特徴とするスピンコート装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記コレットの前記先端部において前記筒状部の内側の孔を被覆し、且つ、前記先端部の前記回転軸線の方向の端面において前記スリットを少なくとも部分的に被覆可能である被覆部材を更に備えることを特徴とするスピンコート装置。
【請求項３】
請求項２において、
前記拡径器が前記被覆部材を兼ねていることを特徴とするスピンコート装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかにおいて、
前記被加工体の両面に流動性材料を塗布するための一対のノズル部を備えることを特徴とするスピンコート装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかにおいて、
前記コレットの前記筒状部を前記径方向の内側に付勢可能である縮径器を更に備えることを特徴とするスピンコート装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかにおいて、
前記コレットは前記筒状部の前記先端部に前記回転軸線の方向の両側の部分よりも外径が小さいネック部が形成され該ネック部において前記被加工体の前記中心孔に嵌合して前記被加工体を保持可能であるように構成されたことを特徴とするスピンコート装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載のスピンコート装置を用いて前記被加工体の両面に前記流動性材料を塗布することを特徴とするスピンコート方法。
【請求項８】
請求項１乃至６のいずれかに記載のスピンコート装置を用いて前記被加工体の両面に前記流動性材料を塗布する工程を含むことを特徴とする情報記録媒体の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２０１０−１３７１５３（Ｐ２０１０−１３７１５３Ａ）
【公開日】平成２２年６月２４日（２０１０．６．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−３１４９２１（Ｐ２００８−３１４９２１）
【出願日】平成２０年１２月１０日（２００８．１２．１０）
【出願人】（０００００３０６７）ＴＤＫ株式会社 (7,238)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年６月２４日（２０１０．６．２４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年１２月１０日（２００８．１２．１０）
【出願人】（０００００３０６７）ＴＤＫ株式会社 (7,238)
【Ｆターム（参考）】
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