【課題】多層光ディスク記録媒体の製造効率の向上を図ることでコスト削減を図る。
【解決手段】巻き取り芯部によってフィルムを複数回巻き取り、これを打ち抜くことによってフィルム積層体（多層記録可能構造体）を作成する。このように巻き取り・打ち抜きの手法によって多層記録可能構造体を作成するものとしたことで、上記巻き取り芯部に形成された平面（打ち抜き面）の数ｎに応じて、一度にｎ個の多層記録可能構造体を作成でき、その分、従来の製造方法と比較して多層光ディスク記録媒体の製造効率の向上が図られる。 （もっと読む）

【課題】光記録媒体保護膜形成用として、割れやＩｎの溶出がなく製造工程を簡素化でき、高密度が得られる酸化物スパッタリングターゲットおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ＺｒＯ_２，Ｉｎ_２Ｏ_３，Ｇａ_２Ｏ_３およびＺｎＯを含有し、ＺｒＯ_２相の周囲がＩｎとＺｎとＧａとの酸化物からなる複合酸化物相を含む相で囲まれた組織を有する。好ましくは、不可避不純物を除いた全金属成分量に対する原子比で、Ｚｒ：Ａ％，Ｉｎ：Ｂ％，Ｇａ：Ｃ％およびＺｎ：Ｄ％とされており、これらの成分組成が、０＜Ａ≦４５．５、９．１≦Ｂ≦３１．０、９．１≦Ｃ≦３１．０、Ｂ＋Ｃ≦２Ｄ、Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ＝１００の関係を満たす。 （もっと読む）

【課題】美観が損なわれる事態を招くことなく、十分に趣向性が高い光情報媒体を提供する。
【解決手段】基材と、基材の上に形成された情報記録層と、情報記録層の上に形成された光透過層とを備え、光透過層の側から情報記録層に向けたレーザービームの照射によって情報記録層からの記録データの読み出しが可能に構成された光ディスク１であって、光ディスク１における内周側非インフォメーションエリアＡ１において情報記録層の形成領域に対して光情報媒体の厚み方向で重なる記号記録エリアＡｍの光透過層の側に凹部が形成されて、凹部によって内周側の非情報領域に記号（Ａ，Ｂ，Ｃ・・）が記されている。 （もっと読む）

【課題】 基板を回転させながら所定の処理を施す基板処理装置において、基板を支持部材に均一に押圧させることができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 スピンベース３０の周縁部には、立設された支持ピン３１０が複数個設けられている。そして、支持ピン３１０に基板Ｗが略水平状態で支持されている。基板Ｗの表面Ｗｆに遮断部材５０を近接して対向配置された状態で、ガス吐出口５０２から所定の角度で基板Ｗにガスを吐出する。これにより、基板Ｗはその上面側に所定の角度で供給されるガスによって、支持ピン３１０に押圧されて確実にスピンベース３０に保持される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、共役マスターディスクの製造方法に関するもので、生産性を高めることを目的とするものである。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、先ず、透明回転テーブル１４の一面側に、共役マスターディスク１９と、ダミーディスク２２を順に重ね、次に、これら透明回転テーブル１４、共役マスターディスク１９、ダミーディスク２２の重合体の透明回転テーブル１４外から、この重合体に向けて参照光２９と、記録光３０の一方を入射させるとともに、この重合体のダミーディスク２２外から、この重合体に向けて参照光２９と、記録光３０の他方を入射させる。 （もっと読む）

【課題】接着シートを支持する支持手段周りの構造の簡略化を図ることができるようにすること。
【解決手段】シート貼付装置１０は、接着シートＳを支持する支持手段２２と、この支持手段２２に一体的に設けられた押圧手段２３と、支持手段２２及び押圧手段２３をスタンパＳＴに向かって変位可能な変位手段２５と、支持手段２２及び押圧手段２３とスタンパＳＴとを当該被着体スタンパＳＴの被着面と平行な方向に相対移動可能な移動手段２６とを備えて構成されている。変位手段２５は、支持手段２２とは別体に設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、均一な膜厚でなる円板状の光ディスクを製造する。
【解決手段】本発明は、注型セルＳＬを介してベース金型３１及びカバー金型３２によって形成され、中央に中央孔部ＳＬｈを有する円板状の注入空間ＪＳに対し、注入空間ＪＳにおける内縁部分に接続して形成された注入孔としての注入ノズル受け部３３から液状材料が注入される。注入空間ＪＳの円板の平面方向において注入ノズル受け部３３及び中央孔部ＳＬｈの中心を通る直線上に形成された排出孔としての排出ノズル受け部３４から空気が排出される。さらに注入空間ＪＳに注入された液状材料を硬化させ、スペーサ群及び平板１５が取り除かれることにより、硬化された液状材料である記録層１０１を注入空間ＪＳから取り出すようにする。 （もっと読む）

【課題】良好な光学的性能を維持しつつ多層光記録媒体の生産性を向上することを目的とする。
【解決手段】基板１０と、基板１０上に設けられた複数の光記録層１３と、各光記録層１３の間に設けられた中間層１２とを備え、中間層１２は、複屈折性を有し、隣接する中間層１２同士は複屈折主軸の方位が互いに９０°異なるように多層光記録媒体（光ディスク１）を構成する。この多層光記録媒体を製造する際には、例えば、積層方向に隣接する記録層単位２０同士の関係で、塗布済みウェブの長手方向の向きが互いに９０°異なるようにして、複数枚の記録層単位２０を基板１０に積層する。 （もっと読む）

【課題】スタンパをスタンパホルダに積載する際におけるスタンパの脱落を抑制できる信頼性が高いスタンパ供給装置及びスタンパ供給方法を提供する。
【解決手段】スタンパ供給装置は、板状のスタンパ２０の中心孔にピン部１６が嵌合して台座部１２の上に複数のスタンパ２０を重ねた状態で保持可能であるスタンパホルダ２２と、スタンパホルダ２２のピン部１６の変形の度合いを測定可能であるピン部測定装置（反射型センサ５６）と、スタンパ２０をスタンパホルダ２２に積載するためのスタンパ積載装置と、を含み、ピン部１６の変形の度合いが所定の基準の範囲内であるスタンパホルダ２２にのみスタンパ積載装置がスタンパ２０を積載し、ピン部１６の変形の度合いが基準の範囲外であるスタンパホルダ２２にはスタンパ積載装置がスタンパ２０を積載しないように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ホログラフィ記憶媒体の複製に関する効率、品質、コスト及びスループットを向上させる技法を提供すること。
【解決手段】複数のデータ層（１２）を有する光学式データ記憶ディスク（２２、２２０）（例えば、ホログラフィデータ記憶ディスク）を複製するためのシステム（３０、５０、７０、１００、２００）及び方法（６０、９０）である。それぞれに単一データ層（１２）を提供するマスターディスク（１０、２１０）を利用すると共に、マスターディスク（１０、２１０）からのそれぞれの各単一データ層（１２）が光学式データ記憶ディスク（２２、２２０）上に複製される。 （もっと読む）

【課題】被加工体の両面に流動性材料を塗布できる生産効率が良いスピンコート装置、これを用いたスピンコート方法及び情報記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】スピンコート装置１０は、回転軸線Ｘに対し同軸的に配置された筒状部１２Ｂを有し筒状部１２Ｂにおける回転軸線Ｘの方向の先端部１２Ａから回転軸線Ｘの方向の途中の部分までスリット１２Ｃが形成されたコレットと、コレット１２の筒状部１２Ｂを径方向の外側に付勢して筒状部１２Ｂの外径を拡大可能である拡径器１４と、を備え、中心孔１６Ａを有する板状の被加工体１６の両面が露出するように被加工体１６を中心孔１６Ａにおいてコレット１２の筒状部１２Ｂで保持して被加工体１６の両面に流動性材料１８を塗布可能である。 （もっと読む）

【課題】シートフィルムなどの担持体に形成された薄膜材料を基板に転写することで基板に薄膜を形成する薄膜形成装置であって、薄膜形成のために必要な真空度が得られ、しかもメンテナンス性に優れた装置を提供する。
【解決手段】上側ブロックと下側ブロックとの間で、薄膜を形成されたシートフィルムと基板とを挟み込んで薄膜を基板に転写させる薄膜形成装置である。上側ブロックを装着される上板１１と下側ブロックを装着される底板１９とが、アングル１０１により組まれたフレーム１０により結合される。その側面の開口部に、パネル状の前板１３、側板１４および裏板１６がシール部材１３８、１４８および１６８を介して取り付けられて処理チャンバ１が構成される。 （もっと読む）

【課題】フィルムを基板に貼り付ける際に、基板を破損することなく、かつ、フィルムと基板間に気泡が含まれるのを防ぐこと。
【解決手段】このフィルム貼付装置は、内部に気密空間を有する真空容器２０と、気密空間を、下方に位置する真空室９０と上方に位置する第１バッファ空間３２に仕切るフィルム（第１基板１２に相当）と、基板１４を保持する保持台２４と、基板１４が真空室９０内に配置されかつ保持台２４に保持された状態で保持台２４を上方に移動させる昇降手段１２０と、真空室９０内および第１バッファ空間３２内をそれぞれ排気しおよび気体を供給する第１および第２の給排気手段と、を備え、第１および第２の給排気手段によって真空室９０内および第１バッファ空間３２内の気体を排気し、真空室９０内が大気圧より圧力が低い真空雰囲気下となった状態で、昇降手段１２０によって基板１４をフィルム１２側に移動させ、フィルム１２に接触させた後、第１バッファ空間３２内に真空室９０の圧力よりも高い圧力の気体を供給し、フィルム１２を下側に押圧し基板１４に貼り付けている。 （もっと読む）

【課題】薬液を両面に塗布する両面塗布装置であって、ウエハ上の有効チップ面を覆うようなウエハチャックを有する装置において、裏面洗浄機構を省略出来るようにする。
【解決手段】ウエハチャックを有する両面塗布装置において、ウエハ上の有効チップ面を覆うような形状のウエハチャックを有するとともに、ウエハチャックが円形であり、チャック面の半径寸法を着工ウエハの半径寸法に対して小さくして、その差が１ｍｍから１０ｍｍであるようにする。 （もっと読む）

【課題】 気泡の形成が少なく、形状の均一性、特に円周方向に加えて半径方向の厚さの均一性に優れた転写層及び／又は保護層を備えた、高速記録レート用の薄型光ディスクに適した転写基板の製造方法の提供。
【解決手段】 回転板上に載置され、表面に機能形状を有する、型の回転中心付近に、脱泡した硬化性樹脂を略円環状に塗工する硬化性樹脂塗工工程と、前記硬化性樹脂を塗工した型上にフィルム基板を載置するフィルム基板載置工程と、前記回転板上の型及びフィルム基板を一体的に回転させて、前記硬化性樹脂を前記型とフィルム基板との間に展延する硬化性樹脂展延工程と、前記展延した硬化性樹脂を硬化させる硬化性樹脂硬化工程とを有する転写基板の製造方法であって、少なくとも前記硬化性樹脂塗工工程、及びフィルム基板載置工程を、好ましくはさらに前記硬化性樹脂展延工程を、減圧チャンバー内で実施することを特徴とする転写基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】回動するバフによる光ディスクの表面コーティングをムラ無く均一に行なう光ディスクのコーティング方法及び一連の動作を自動的に行なうことができるコーティング装置を提供する。
【解決手段】光ディスクのコーティング装置を、基台１に開閉自在に取り付けられた蓋体２と、蓋体２に取り付けられた回動可能なバフＢと、光ディスクＤが載置される回転自在なターンテーブルＴとから構成し、閉蓋動作に連動してバフＢが回動し、光ディスクＤの表面に当接してコーティングを開始し、予め設定された任意の時間が経過すると、蓋体２が開動作することで、バフＢが光ディスクＤの表面から瞬時に離反するようにされた開蓋機構を設ける。 （もっと読む）

【課題】基板の情報記録面が損傷することを抑制しつつ規格の要求に適合させることが可能なリテーナ付き基板を製造する基板貼り合わせ装置を提供すること。
【解決手段】基板貼り合わせ装置１は、基板Ｄが載置される載置台１１と、基板Ｄよりも小さい板状のリテーナＲを吸引保持する吸引保持具２１と、載置された基板Ｄと吸引保持されたリテーナＲとが接着剤を介して接続するように載置台１１と吸引保持具とを接近させる移動装置１３ｍと、基板Ｄを載置台１１から離れないように押さえる押さえ具とを備える。基板貼り合わせ装置１によれば、吸引保持されない基板Ｄの情報記録面の損傷を抑制することができる。また、押さえ具により基板が接着剤を介してリテーナ側に引き寄せられて載置台から離れることを防ぎながらリテーナを基板に貼り付けることができる。 （もっと読む）

【課題】安価な光ディスク記録媒体の製造が可能な光ディスク記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】一方のロール１００及び他方のロール１０５に支持された可撓性の転写用フィルムシート１０を準備し、一方のロール１００から、他方のロール１０５に転写用フィルムシート１０を巻きつける過程で、転写用フィルムシート１０表面に、連続的に紫外線硬化樹脂層を形成する。
次に、転写用フィルムシート表面に形成された紫外線硬化樹脂層に、凹凸形状を有するニッケルスタンパを押圧すると同時に、転写用フィルムシート裏面側から紫外線照射する。これにより、紫外線硬化樹脂層が硬化され、紫外線硬化樹脂層上に凹凸形状を、連続的に形成する。そして、光透過率の高い順に記録層を形成していく。 （もっと読む）

【課題】記憶媒体へのサーボパターン転写不良を回避又は低減する。
【解決手段】サーボパターン転写前の記憶媒体の表面に、異物（ゴミ等）又は欠陥（キズ等）があるか否かを検査する（ステップＳ１）。続いて、記憶媒体表面の異物又は欠陥と、転写マスタのサーボパターンとの相対位置を計算する（ステップＳ２）。相対位置は、例えば、角度で表現され、相対角度と呼ぶこととする。続いて、記憶媒体及び／又は転写マスタを回転若しくは異動させて、記憶媒体の表面上の異物又は欠陥と、転写パターンとの重畳による転写パターンの転写不良を回避又は低減する様に、相対位置を調整する（ステップＳ３）。続いて、記憶媒体にサーボパターンが、磁気的又は物理的に転写される（ステップＳ４）。このようにしてサーボパターンを転写すると、サーボパターンの転写不良を回避又は低減し、記憶媒体の廃棄率を低減し、記憶装置の製造コストを低減することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 ノイズがあったりエッジが不完全であったりしても透明部材の形状を認識し、透明部材の位置が検出可能となる位置検出装置を提供する。
【解決手段】 面が互いに向き合うよう連なって配置された複数の透明部材を面の垂直方向から撮像した画像を取得する画像入力部２と、画像入力部２によって取得された画像に撮像された複数の透明部材それぞれの輪郭を少なくとも含んだ領域を取得するＲＯＩ設定部１０と、ＲＯＩ設定部１０によって取得された領域内から、複数の透明部材のエッジを抽出するエッジ抽出部１１と、エッジ抽出部１１によって抽出されたエッジから、複数の透明部材のうちの所定の透明部材のエッジを選択する最適エッジ選択部１２と、最適エッジ選択部１２によって選択されたエッジに基づき、所定の透明部材の位置を算出する位置算出部１３と、を備える位置検出装置を提供する。 （もっと読む）