【課題】 ノズルを十分清浄に洗浄でき、かつ、そのメンテナンスが容易なノズル洗浄装置および該ノズル洗浄装置を備えた塗布装置を提供する。
【解決手段】 洗浄機構６０は、超音波振動子１５を収納するとともに、この超音波振動子１５を冷却するための冷却水１３を貯留する冷却水貯留部１１を備える。また、洗浄機構６０は、冷却水貯留部１１に貯留された冷却水１３中にその下面が浸漬された状態で配設され、その内部に溶液１４を貯留する溶液貯留部１２を備える。スリットノズル４１を溶液１４中に浸漬した状態で超音波振動子１５が超音波振動を発振した場合には、この超音波振動は、冷却水１３および溶液貯留部１２を介して溶液１４に伝達される。 （もっと読む）

【課題】１台の薬液供給装置によって連続的に被塗布物に対して薬液を塗布するようにし、塗布作業能率を向上させる。
【解決手段】この薬液供給装置は一次側ポンプ１１と二次側ポンプ１２とを有し、一次側ポンプ１１は一次側チューブ３１を備え、一次側チューブ３１内には薬液タンク１３内の薬液Ｌが注入される。二次側ポンプ１２は二次側チューブ３２を備え、一次側ポンプ１１から充填された薬液Ｌをノズル１４に供給する。一次側ポンプ１１内の気体室３５に圧縮性流体を供給して一次側チューブ３１を径方向に膨張収縮させると一次側チューブ３１内の薬液Ｌは二次側チューブ３２内に充填される。二次側ポンプ１２内の媒体室４３に非圧縮性媒体を供給して二次側チューブ３２を径方向に収縮させると、二次側チューブ３２内の薬液はノズル１４に供給される。 （もっと読む）

【課題】液体流路からの放熱を防ぐと共に、ノズル近傍を効率的に加熱することで、噴射する液体の粘度を調節し、信頼性の高い液体噴射ヘッドを提供することにある。
【解決手段】ヘッドケース３２の側面に装着したヒーター３９と、該ヒーターに少なくとも一部が当接する側面部分３３ａと、該側面部分と連結して、ノズルプレート３４側に屈曲すると共に、ノズルプレートに対してヘッドケースとは反対側で対向する底面部分３３ｂと、により構成され、流路ユニット３８の周縁を覆うヘッドカバー３３と、を備え、底面部分は、ノズルプレートのノズル３７が露出するように窓部３３ｃを開口し、該窓部の開口縁の先端が、ノズルプレートに対して、リザーバー３４に対応する領域とノズルとの間に当接し、ノズルプレートと底面部分との間であって、リザーバーに対応する領域に空隙を形成した液体噴射ヘッド。 （もっと読む）

【課題】比較的大きな部材を接合する場合でも接合に要する時間が過度に長くなることを抑制すること。
【解決手段】接合部材製造装置は、第１の部材Ｄを把持する第１の把持具１１と、第２の部材Ｅを把持する第２の把持具１２と、第１の接合面Ｄｆに媒介物質Ｇを塗布する塗布装置４０と、第１の把持具１１及び／又は第２の把持具１２を移動させる移動装置２０と、制御装置とを備える。制御装置は、第１の拡大平面Ｄｅと第２の拡大平面Ｅｅとを互いに平行になるように対向させつつ、厚さの方向に見て第１の接合面Ｄｆと第２の接合面Ｅｆとが重なる範囲が所定の範囲以下となるように配置し、第１の拡大平面Ｄｅと第２の拡大平面Ｅｅとの間隔を維持しながら、厚さの方向に見て第１の接合面Ｄｆと第２の接合面Ｅｆとが重なる範囲が次第に大きくなる方向へ、第１の部材Ｄを第２の部材Ｅに対して相対的に移動させる。 （もっと読む）

【課題】レンズを充分にかつ正しい色で染色する。
【解決手段】プラスチックレンズを被染色面が露出する状態で搬送する搬送装置１５と、前記被染色面と対向する位置に配設されて被染色面に濡れ性が向上する改質処理を施す改質装置（コロナ放電処理装置２１）とを備える。前記改質装置より搬送装置１５の搬送経路の下流側であって前記被染色面と対向する位置に配設され、前記被染色面に染料の粒子を飛ばして付着させる染料噴出装置（インクジェット装置２２）とを備えた。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッド内の機能液の排出性を高めるとともに、液滴吐出ヘッドの温度調整を行う。
【解決手段】機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドに対して前記機能液が供給される流路に設けられたフィルターと、前記フィルターを加温する加温部と、前記フィルターを加温させて前記流路内の前記機能液の粘度を低下させる低粘度化モードと、前記フィルターを加温させるとともに、加温された前記機能液を前記液滴吐出ヘッドに供給させ、前記液滴吐出ヘッドの温度を調整するヘッド温度調整モードと、を選択的に切り替える制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】ワークを短時間で搬送可能なワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】第１ステージと、前記第１ステージに近接して配置された第２ステージと、を有し、各前記第１及び第２ステージには、ワークが載置される載置面と、前記載置面に設けられた通気孔と、前記通気孔にエアーを供給するエアー供給部と、が設けられ、前記ワークを保持するととともに、前記第１及び第２ステージ間において保持した前記ワークを搬送させるワーク搬送部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】接着剤塗布量のバラツキを低減できる信頼性のある接着剤塗布装置を提供する。
【解決手段】空気を送り込むポンプと、前記ポンプから空気の押圧により、内包する接着剤を吐出するシリンジと、前記シリンジの重量を計測する計測部と、前記計測部で計測した重量値又は計測回数を記憶するメモリと、前記ポンプと前記シリンジとの接続状態を切替える切替え手段と、前記ポンプに対して空気の排出指令を行う指令部と、を備え、前記切替え手段は、前記ポンプが空気を排出するときには前記ポンプと前記シリンジを接続させ、前記シリンジが接着剤を吐出した後に前記ポンプと前記シリンジを非接続とし、前記計測部は、前記切替え手段によって前記ポンプと前記シリンジとが非接続とされたときの前記シリンジの重量を計測する。 （もっと読む）

【課題】塗布液を被塗布面に均一な厚みで塗布することができる塗布具を提供する。
【解決手段】塗布液を被塗布面に塗布して被塗布面に塗布液の硬化薄膜を形成するための塗布具１において、把持体２の表面に塗布液の透過を妨げる不透水層３を形成するとともに、不透水層３の表面に塗布液の硬化薄膜の厚みよりも高い凸部４を散在させることにした。また、前記把持体２を弾性素材で形成することにした。さらに、前記凸部４を表面に形成した不透水層３を交換可能とすることにした。 （もっと読む）

【課題】一連の基板に塗布処理を行う際のタクトタイムを短縮する。
【解決手段】ステージ３に支持された基板９０について、スリットノズル４１で走査を行いつつ、レジスト液の塗布を行う。基板塗布装置１には、このような塗布のための走査を、第１走査方向（＋Ｘ）と第２走査方向（−Ｘ）とのいずれについても実行可能に構成された制御手段が設けられている。スリットノズル４１のリップ部は、２つの走査方向に関して鏡面対称な形状とされ、リップ部の下端高さも２つの走査方向の側で同一とされることにより、２つの方向のいずれの走査においても塗布性能が同等となる。往復走査によって一連の基板を順次に処理可能であるため、１回の走査が完了する都度、ひとつの待機位置にスリットノズル４１を戻すための空走期間がなく、往復用に個別のノズルを備える装置のような構成の複雑さを回避しつつタクトタイムを短縮できる。 （もっと読む）

【課題】塗布対象物に液滴を吐出して塗布パターンを形成する処理を正確に実行することができる技術を提供する。
【解決手段】撮像ユニット７０は、塗布対象物である基材シート９０に対して相対移動しながら基材シート９０を撮像して、基材シート９０の撮像データを取得する。塗布ユニット１０が備える塗布ヘッド１１は、基材シート９０に対して薬液を液滴として吐出する。制御部は、撮像ユニット７０が取得した撮像データに基づいて塗布ヘッド１１からの薬液の吐出を制御して、基材シート９０上に所定の塗布パターンを形成させる。 （もっと読む）

【課題】強度が強く、耐食性に優れるスイングノズルユニット及びそれを有する基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置は、基板が置かれるスピンヘッドを含む基板支持部材と、前記スピンヘッドの周りを囲むように設置されて基板上から飛散する処理流体を回収する処理容器と、スイング方式で回転し、前記スピンヘッドに置かれた基板に処理流体を噴射するスイングノズルユニット等を具備する。前記スイングノズルユニットは、処理流体供給チューブが位置する内部通路を形成する内側樹脂パイプと、前記内側樹脂パイプを囲むように設置される金属パイプと、前記金属パイプを囲むように設置される外側樹脂パイプからなるノズル体を有するノズル部と、前記ノズル部のθ軸回転及び昇降移動のための駆動部を具備する。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い高記録密度対応の光ディスク、又はＤＶＤ、ＣＤなどの光ディスクを提供できる光ディスク製造装置を提供する。
【解決手段】ノズル部材３Ｆによってディスク基板Ｄの上に供給された液膜形成物質を高速回転による遠心力で展延する回転処理装置２と、前記ノズル部材３Ｆを支承するアーム部材３Ｃとを備える光ディスク製造装置において、前記アーム部材３Ｃの先端部分には、前記液膜形成物質供給機構４と前記ノズル部材３Ｆとの間を選択的に開閉する液膜形成物質開閉弁３Ｄと、その液膜形成物質開閉弁３Ｄにおける前記液膜形成物質の流出部に着脱可能に取り付けられた濾過部材３Ｅとが備えられ、前記ノズル部材３Ｆは前記濾過部材３Ｅの流出部に取り付けられ、前記液膜形成物質供給機構４内で発生した粒子までも除去可能にして高品質の液膜を前記ディスク基板Ｄ上に形成可能にする光ディスク製造装置。 （もっと読む）

【課題】ヘッドキャップにおける機能液が接触する可能性のある部分の全てに洗浄液を行き渡らせた状態とすることを、吸引ユニットのヘッドキャップの周辺が大きくなることを抑制して実現することができる液状体吐出装置、及びヘッド保守装置を提供する。
【解決手段】液状体吐出装置は、液状体を吐出する吐出ノズルが形成されたノズル基板を備える液状体吐出ヘッドと、液状体吐出ヘッドの吐出ノズルが形成されたノズル形成面を封止するヘッドキャップと、ヘッドキャップに連通し、ヘッドキャップ内の気体又は液体を吸引する吸引手段と、ヘッドキャップ内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、ヘッドキャップ内の液体の液面を検出する液面検出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】吸水シートの消費量を低減しつつ、良好な拭き取り性を維持できる塗布装置を提供する。
【解決手段】基板に溶液をインクジェット方式によって塗布する塗布装置１００であり、基板に溶液を吐出するノズル１２を含むヘッドユニット１０と、ノズル１２をワイピングするワイピングユニット２０とを備える。ワイピングユニット２０は、ノズル１２の吐出面１２ａを拭き取る拭き取り部２２を有し、拭き取り部２２は、吸水シート２１から構成された凸状形状を有している。ワイピングユニット２０には、拭き取り部２２の中心部に、多孔質からなる芯部２３のみが設けられている。 （もっと読む）

【課題】塗布ヘッドのノズル毎の吐出量を、全ノズル或いは複数のノズルの圧電素子を同時に駆動する状態下であっても正しく測定すること。
【解決手段】所定間隔で配置された複数のノズルから塗布液を液滴にして吐出して基板１上に塗布する塗布液の塗布装置１０において、各ノズルから吐出された塗布液の液滴をノズル毎に収容する容器２１と、ノズル毎に容器２１に収容された塗布液の重量を測定する重量測定装置とを有してなるもの。 （もっと読む）

【課題】基板の周縁部の塗布状態を良好にすることが可能な塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】基板を立てた状態で回転させつつ前記基板の表面及び裏面にそれぞれ液状体を吐出するノズルを有する塗布機構と、前記基板の外周部における前記液状体の塗布状態を調整する調整機構とを備え、前記調整機構は、前記基板を回転させながら前記基板の外周部を溶解液に漬け込んで溶解させるディップ部と、前記溶解液に漬け込んだ後の前記基板の外周部近傍を吸引する吸引部とを有する。 （もっと読む）

【課題】適量の液体材料を用いて、平坦で略均一の膜厚を有する塗膜を基板上に形成できる、塗布用嵌合部材を提供する。
【解決手段】基板４の上面に液体材料５をスピンコート法によって塗布する際に使用される塗布用嵌合部材２であって、基板４の中心孔４ａと同一の径を有し、中心孔４ａに嵌め込まれて使用され、窪み部２ａを備え、窪み部２ａは、中心孔４ａに嵌め込まれた際に基板４の上面に対して垂直であって平面視において窪み部２ａの中心を通る軸２ｄに対して対称である形状を有する。 （もっと読む）

【課題】溶液を効率よく使用することが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】溶液タンク１０２の内部に沈設部材１３０が配置されており、これら沈設部材１３０が溶液タンク１０２に貯留された溶液１５０に沈められる。また、これら沈設部材１３０は、溶液１５０の液面１５１の高さが基準範囲内で維持されるように、高さが調整される。これにより、溶液１５０の液面１５１の高さを溶液供給用管１０８の端部１０９よりも高い位置に維持したり、基準範囲内に維持する場合において、溶液タンク１０２の内部における、高さを維持すべき溶液１５０の液面１５１より下方の部分の容積を減らすことができ、塗布に使用されない溶液１５０の量を減らすことができる。 （もっと読む）

【課題】試験塗布部において、テープの主走査方向の端部からテープの下面側への流動性材料の侵入を抑制できる塗布装置を提供する。
【解決手段】試験塗布部は、試験塗布用のテープ７１２を載置するテープ台７１１を有する。また、テープ台７１１には、テープ７１２の主走査方向の側辺を下方へ向けて湾曲させる当接部材７１６が設けられている。ノズル部は、有機ＥＬ液を吐出しつつテープ７１２の上方を主走査方向に通過するが、テープ７１２の側辺が湾曲されているため、テープ７１２の側辺からテープ７１２の下面側への有機ＥＬ液の侵入は抑制される。このため、テープ台７１１とテープ７１２との間への有機ＥＬ液の侵入も抑制され、テープの巻き取り不良を防止できる。 （もっと読む）