【課題】１平方センチあたり１テラビット以上の面記録密度を実現するのに十分な垂直磁気異方性エネルギーと結晶粒径を有し、量産性に優れた垂直磁気記録媒体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板１上に基板温度制御層２、下地層３、磁気記録層４を順次形成する。磁気記録層は、基板を加熱チャンバで加熱する第１工程と、Ｃ，Ｓｉ酸化物からなる群から選ばれた少なくとも一種の非磁性材料を添加したＦｅＰｔを主とする合金からなる磁気記録層を製膜チャンバで製膜する第２工程とからなる磁性層積層工程をＮ回（Ｎ≧２）繰り返して形成する。 （もっと読む）

【課題】 磁気記録媒体の幅変動が抑制された磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 非磁性支持体上に磁性層を形成した磁気シートを所定の幅に裁断するスリット工程を含む磁気テープの製造方法において、前記スリット工程に磁気シートが案内される直前に、前記磁気シートを、前記非磁性支持体のガラス転移温度をＴｇとすると、（Ｔｇ−１０）〜（Ｔｇ＋３０）（℃）の温度の加熱ロールに当接させ、引き続き４０（℃）以下の温度の冷却ロールに当接させ、非磁性支持体を加熱ロールに当接させる時間が０．０３〜０．６秒であり、冷却ロールに当接させる時間が０．０３〜０．３秒であり、非磁性支持体が加熱ロールを離れてから冷却ロールに入るまでの時間が１秒以内である加熱冷却工程を設けることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 磁気記録層の磁性粒子の微細化と孤立化を促進するという本来の目的を達成しつつ、コロージョンも生じさせない下地層を備えた垂直磁気記録媒体を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明にかかる垂直磁気記録媒体１００の構成は、基体１１０上に少なくとも、信号を記録する磁気記録層１２２と、磁気記録層より下に設けられる下地層１１８と、下地層の結晶配向性を制御するための非磁性層１１６と、非磁性層より下に設けられる軟磁性層１１４とを備え、下地層１１８は下方から順に、ルテニウムを含む第１下地層１１８ａおよび第２下地層１１８ｂと、金属を含む第３下地層１１８ｃとの３層で構成され、スパッタリングによる成膜時のガス圧は、上記の３層のうち第２下地層１１８ｂが最も高いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】配向性改善による媒体特性の向上を図るとともに媒体の保磁力の向上を実現できる垂直磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】垂直磁気記録方式での情報記録に用いる垂直磁気記録媒体であって、基板上に少なくとも、非晶質の軟磁性層と、下地層と磁気記録層とを備える垂直磁気記録媒体の製造方法において、前記軟磁性層の上に、あるいは、該軟磁性層の上に形成した非晶質のシード層の上に、結晶性のシード層を、まずバイアスを印加せずに成膜し、引き続いてバイアスを印加しながら成膜する多段階成膜により形成する。 （もっと読む）

【課題】反応容器内を排気するのに要する時間を短縮することができ、なお且つ高減圧条件下で処理を行うことができる処理装置を提供する。
【解決手段】被処理基板Ｗが配置される反応容器２と、被処理基板Ｗを処理する処理ユニット１Ａと、反応容器２内を減圧排気する真空ポンプ１５とを備え、反応容器２の被処理基板Ｗと対向する少なくとも一方側又は両側の側壁６ａ，６ｂには、処理ユニット１Ａが被処理基板Ｗと対向して配置されると共に、この処理ユニット１Ａを挟んで真空ポンプ１５が配置されている。これにより、反応容器２内の被処理基板Ｗの周囲に形成される反応空間Ｒの真空度を効率良く高めることが可能である。また、この反応容器２内を減圧排気するのに要する時間を短縮し、高真空度での処理を行うことが可能である。 （もっと読む）

【課題】 基体表面の凸状欠陥を低減し、磁気記録層のパターン形成の阻害、およびスタンパの損傷を防ぐことが可能な磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明にかかる磁気記録媒体の製造方法は、基体上に、磁気記録層を成膜する磁気記録層成膜工程と、磁気記録層上に保護層を成膜する保護層成膜工程と、保護層上に仮潤滑層を成膜する仮潤滑層成膜工程と、仮潤滑層を介して保護層表面を研磨することにより異物を除去する異物除去工程と、仮潤滑層を除去する仮潤滑層除去工程と、保護層上にレジスト層を成膜するレジスト層成膜工程と、レジスト層を加工することでその厚さを部分的に変化させ所定のパターンを形成するパターニング工程と、所定のパターンに対応したパターンで磁気記録層を磁気的に分離する磁気分離工程と、レジスト層を除去するレジスト層除去工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ゲートバルブを介して接続されたチャンバの間をキャリアが通過する際のキャリアに加わる衝撃を緩和することを可能としたインライン式成膜装置を提供する。
【解決手段】ゲートバルブ７０ａを介して接続された複数のチャンバ７０ｂ，７０ｃと、複数のチャンバ７０ｂ，７０ｃ内で成膜対象となる基板８０を保持するキャリア２５と、キャリア２５を複数のチャンバ７０ｂ，７０ｃの間で順次搬送させる搬送機構とを備え、各チャンバ７０ｂ，７０ｃ内には、水平軸回りに回転自在に支持された複数のベアリング７５がキャリア２５の搬送方向に並んで設けられ、これら複数のベアリング７５の上をキャリア２５が移動可能とされており、なお且つ、ゲートバルブ７０ａを介して接続されたチャンバ７０ｂ，７０ｃのそれぞれ入側と出側に位置するベアリング７５ａ，７５ｂは、緩衝機構を有する支軸に回転自在に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】キャリアに保持された基板に対して反応性プラズマ処理又はイオン照射処理を行う際に処理ムラが生じることを防止したインライン式成膜装置を提供する。
【解決手段】キャリア２５は、基板を内側に配置する孔部２９が設けられたホルダ２８と、ホルダ２８の孔部２９の周囲に弾性変形可能に取り付けられた複数の支持部材３０とを備え、複数の支持部材３０に基板の外周部を当接させながら、これら支持部材３０の内側に嵌め込まれた基板を着脱自在に保持することが可能であり、キャリア２５に保持された基板に対して反応性プラズマ処理又はイオン照射処理を行うチャンバ内には、基板に対応した位置に開口部３２ａを有するリング部材３２が、キャリア２５に保持された基板の少なくとも一方又は両方の面に対向して配置されており、なお且つ、リング部材３２にマイナス電位が印加されると共に、ホルダ２８が接地される。 （もっと読む）

【課題】保存形態であるロール体の全域にわたって、磁気テープの整巻き効果が損なわれることがなく、したがって、磁気テープの歩留まりと信頼性の向上に貢献できる、新規な磁気テープの巻き取り方法を提供する。
【解決手段】本発明は、磁気テープの幅方向の一側に半永久的な熱収縮を生じさせて、該磁気テープにカーバチャを付与する熱収縮工程と、磁気テープをハブの外周面に巻き取ってロール体とするハブ巻き工程と、前記ロール体から、前記熱収縮を生じた幅方向の一側を前記フランジに押し付けながら、前記磁気テープをテープリールに巻き取る整巻き工程とを含む。そして、前記ハブ巻き工程において、巻き取り後のロール体の最外周に、該ハブ巻き工程の際に加えられた張力以上の締め付け力を与えるようにしてあることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明はイオンイオン注入により磁気パターンを形成する磁気記録媒体及びその製造方法及び磁気記録再生装置に関し、主磁性膜内の記録領域に対する良好な磁気記録を可能とすることを課題とする。
【解決手段】ガラス基板２上に形成された硬磁性層６に、複数の記録領域９Ａと、この記録領域９Ａを磁気的に分離する分離領域１０とを有した磁気記録媒体の製造方法であって、前記ガラス基板２上に磁気記録不能な保磁力を有した硬磁性体よりなる硬磁性層６を形成する工程と、この硬磁性層６の前記磁気記録領域に対応する位置に局所的にイオン注入を行い、当該イオン注入箇所の保磁力を磁気記録可能な保磁力まで低減させて記録領域９Ａを形成すると共に、記録領域９Ａの形成領域以外の領域を磁気記録不能な分離領域１０とする工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】軟磁性層で生じる磁気ノイズを低減する。
【解決手段】基材に軟磁性薄膜をスパッタリングにより形成するための複数の第１チャンバ１１と、軟磁性薄膜に非磁性薄膜をスパッタリングにより積層して形成するための少なくとも１つの第２チャンバ１２とを備える。そして、第１チャンバ１１と第２チャンバ１２は、基材の搬送経路に沿って交互に配置されている。 （もっと読む）

【課題】低ノイズで良好な信号再生特性を有する垂直磁気記録媒体の製造に適する基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】非磁性基板１上に、好ましくは核付け層２を設け、この上に反強磁性膜を含む多層軟磁性裏打ち層３を成膜する。この軟磁性裏打ち層３は、軟磁性膜と反強磁性膜の間で交換結合しており、かつ周方向もしくは径方向に異方性を有している。反強磁性膜は、好ましくは、Ｃｒ又はＭｎを含有する合金の膜又は自然酸化以外の金属酸化膜であり、めっき等により成膜することより得られる。また、該異方性化は磁場中熱処理により行われ、磁場印加方向により周と径異方性を作り分けられる。そして、この軟磁性裏打ち層３上に垂直磁気記録用の磁気記録層５を形成し、さらに、好ましくは保護層６及び潤滑層７を順次積層する。 （もっと読む）

【課題】下地層の粒成長を抑制し、且つ高い配向性を出現させることによって、低い媒体ノイズを有し、高S/N比が得られる磁気ディスクを提供する。
【解決手段】ディスク状ガラス基板上に、少なくとも、非晶質の第１下地層と、結晶質の第２下地層と、磁性層とを有する磁気ディスクの製造方法であって、酸化性ガスを含む雰囲気において反応性スパッタリングにより前記第１下地層を成膜した後、１００℃から２４０℃の範囲の基板温度で前記第２下地層を成膜する。前記第１下地層は、例えばＣｏＷ、ＣｒＷ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、ＣｏＴａのうちの何れかの材料からなる。前記酸化性ガスとしては、例えば酸素ガス、二酸化炭素ガスである。また、前記第２下地層は、体心立方構造のＣｒ系合金からなる。 （もっと読む）

【課題】従来よりもスパイクノイズを低減させ易い磁気記録媒体、磁気記録媒体の製造方法、及び磁気記録装置を提供すること。
【解決手段】非磁性基材１と、非磁性基材１の上に形成された下部軟磁性裏打層２と、下部軟磁性裏打層２の上に形成された非磁性層４と、非磁性層４の上に形成された上部軟磁性裏打層６と、上部軟磁性裏打層６の上に形成された垂直磁気異方性を有する記録層９とを有し、下部軟磁性裏打層２と非磁性層４の間、又は該非磁性層４と上部軟磁性裏打層６との間に結晶質磁性層３、５が形成された磁気記録媒体１１による。 （もっと読む）

【課題】 裏打ち層に必要な条件である磁区の安定性、磁気異方性の制御および低保磁力化といった条件を満足させ、垂直磁気記録媒体の記録再生特性の向上と共にノイズを減少できる裏打ち層を有する垂直磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】 垂直磁気記録層の下側に軟磁性裏打ち層を有する垂直磁気記録媒体であって、軟磁性裏打ち層が軟磁性膜と非磁性膜とを交互に積層してなり、軟磁性裏打ち層の最上層と最下層とに軟磁性膜を有し、軟磁性膜と非磁性膜とが無電解メッキによって作製されたものである。 （もっと読む）

【課題】異常放電によるターゲットからのパーティクルの飛散を防止し、高品質な垂直磁気記録媒体を高歩留まりで製造する方法を提供する。
【解決手段】垂直磁気記録層６の成膜に当っては、ＤＣパルスを使用し、スパッタリングとスパッタリングの間の反転期間(Reversal Time)にターゲットに反対極性の電圧が印加される。スパッタリング時は、ターゲットに負の電圧が印加され、ターゲット表面が負の電位になり、Ａｒ＋が衝突することでスパッタリングが始まり、スパッタされたＣｏＣｒＰｔとＳｉＯ_２は中間層５の表面に堆積する。ターゲットの絶縁物（ＳｉＯ_２）の表面はＡｒ＋により帯電し、ターゲットの電圧に比べて大きな値となる。しかしながら、非スパッタリング時にはターゲットに正の電圧を印加することで、絶縁物表面に帯電した電荷を中和するので、アーキングの発生を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 サーボ信号とデータ信号とを別々の層に分けて記録することでデータ信号領域を最大限に確保するとともに、外乱或いは読み取り／書き込み時の制御ミスによってもサーボ信号が破壊されることがない磁気記録媒体及びその製造方法、並びに磁気信号再生手段及び磁気信号再生方法を提供する。
【解決手段】 本発明の磁気記録媒体１は、非磁性体の基板２と、この基板２の上方に、サーボ信号を記録するための第一記録層５と、データ信号を記録するための第二記録層７と、を少なくとも有してなる磁気記録媒体１であって、前記第一記録層５の保磁力が前記第二記録層７の保磁力よりも大きく、かつ、前記第一記録層５の残留磁束密度が前記第二記録層７の残留磁束密度よりも小さいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 優れた潤滑性能を呈する潤滑剤組成物、ならびに電磁変換特性を損なうことなく、走行耐久性、耐候保存性等の実用信頼性を向上させた磁気記録媒体を得る。
【解決手段】 潤滑剤組成物は、分子内にパーフルオロアルキル基またはパーフルオロポリエーテル基、およびアルキル基またはアルケニル基を有する含フッ素モノカルボン酸から選ばれた少なくとも１種類の化合物、ならびに分子内にフルオロカーボンまたはパーフルオロカーボンを有する含フッ素カルボン酸エステルから選ばれた少なくとも１種類の化合物を含んで成り、この潤滑剤組成物は、非磁性基板（１）上の一方の面に、強磁性金属薄膜（２）、炭素膜（３）および潤滑剤層（４）がこの順に形成され、他方の面にバックコート層（５）が形成されて成る磁気記録媒体（10）の潤滑剤層（４）に含有される。 （もっと読む）

【課題】 走行耐久性等の実用信頼性を向上させた、優れた電磁変換特性を有する薄手の磁気テープを得る。
【解決手段】 非磁性基板(1)上の一方の面に、強磁性金属薄膜(2)、炭素膜(3)および潤滑剤層(4)をこの順に形成し、他方の面に補強層(5)としてステンレス鋼薄膜を形成して磁気記録媒体全体の剛性を向上させるとともに、潤滑剤層(4)を、Ｉ）分子内にパーフルオロアルキル基またはパーフルオロポリエーテル基、およびアルキル基またはアルケニル基を有する含フッ素モノカルボン酸から選ばれる化合物を含む潤滑剤；あるいはＩ）群から選ばれる化合物に加えて、II）分子の両末端に極性基を有するパーフルオロポリエーテル系化合物から選ばれる化合物およびIII）分子内に含フッ素有機基を有する含フッ素カルボン酸エステルから選ばれる化合物を含む潤滑剤で形成する。 （もっと読む）

【課題】 使用済み定期券の基板材と磁気データ記録層の再利用を可能にし、原材料のリサイクル化が図れる再生磁気カードを提供する。
【解決手段】 使用済み磁気カード型定期券の表裏面の印刷層を剥離し、磁気データ記録層６を残した基板材１を得る。基板材１の表側面には感熱発色層２、アンダーコート層３を設け、この上に絵柄印刷層４、潤滑保護層５を形成する。また、磁気データ記録層６の上には裏面保護層７、裏面印刷層８を設ける。 （もっと読む）