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Fターム[5D121EE17]の内容

光記録担体の製造 (9,591) | 担体各層の形成 (2,196) | 気相法による薄膜形成 (765) | 薄膜形成の雰囲気、環境 (51) | 雰囲気形成ガス (44)

Fターム[5D121EE17]に分類される特許

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【課題】優れた透過特性を有する光情報記録媒体用記録層およびそれを備える光情報記録媒体を提供する。
【解決手段】光情報記録媒体は、基板と、基板上に設けられた2以上の記録層と、記録層上に設けられた保護層とを備える。基板および保護層の側のいずれか一方の表面が、2以上の記録層に情報信号を記録するための光が照射される光照射面である。光照射面から最も奥側となる記録層以外の記録層のうちの少なくとも1層が、W酸化物、Pd酸化物、およびCu酸化物を主成分として含み、W酸化物、Pd酸化物、およびCu酸化物にそれぞれ含まれるW、Pd、およびCuの割合が、0.17≦x1(但し、x1=a/(b+0.8c)、a:W、Pd、およびCuの合計に対するWの原子比率[原子%]、b:W、Pd、およびCuの合計に対するPdの原子比率[原子%]、c:W、Pd、およびCuの合計に対するCuの原子比率[原子%])の関係を満たすである。 (もっと読む)


【課題】相変化記録媒体の界面層膜の結晶化促進機能と光学的特性とを両立させた金属化合物膜の成膜等を可能にするスパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】スパッタリングターゲットは、M(O1-xxz(MはTi、ZrおよびHfから選ばれる少なくとも1種の元素、0.1≦x≦0.5、0.5≦z≦2.0(原子比))で表される組成を有する。このようなスパッタリングターゲットを用いて成膜した金属酸窒化膜は、相変化記録媒体1の界面層4、6等に使用される。 (もっと読む)


【課題】BD−Rディスク等の製造の大幅な効率化及びコスト低減
【解決手段】情報記録層のスパッタリングの際には、同一材料(例えばIn−Sn−Pd−O膜)の単膜形成を行うが、成膜条件を変化させた層を形成し、擬似的な複膜構造とする。例えばO2流量やガス圧の値を変化させて、Pdの酸化を抑えた層を形成する。これにより、耐久性を向上させた膜部分を形成し、情報記録層の全体の耐久性を向上させる。スパッタ装置は、1チャンバーで成膜条件を変えるのみで実現できるため、製造効率の向上やコストダウンを実現できる。 (もっと読む)


【課題】CVDにより平滑性の高いGe−Sb−Te膜を得ることができるGe−Sb−Te膜の成膜方法を提供すること。
【解決手段】処理容器内に基板を配置し、気体状のGe原料と、気体状のSb原料と、気体状のTe原料とを前記処理容器内に導入してCVDにより基板上にGeSbTeとなるGe−Sb−Te膜を成膜するGe−Sb−Te膜の成膜方法であって、気体状のGe原料および気体状のSb原料を処理容器内に導入して基板上に第1段階の成膜を行う工程(工程2)と、気体状のSb原料および気体状のTe原料を処理容器内に導入して第1段階の成膜で得られた膜の上に第2段階の成膜を行う工程(工程3)とを有し、工程2により得られた膜と、工程3により得られた膜により、Ge−Sb−Te膜を得る。 (もっと読む)


【課題】本発明は、音楽、映像等の著作物やコンテンツ等のデータが格納された状態から、一定期間経過するとデータが破壊乃至消失して当該著作物に係る権利を保護することのできる光ディスク及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、アルミニウム、及びアルミニウムと反応性を有する金属を少なくとも含む合金からなる反射膜を備える光ディスク、及びその製造方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】光記録媒体の製造コストを低減することを可能にする光記録媒体を提供する。
【解決手段】基板1と、この基板1上に形成され、InとSnとPdと酸素とを含み、酸素原子がIn及びSnが完全酸化された場合の化学量論組成よりも多く含有されている記録層2と、この記録層2上に形成された光透過層3とを含む光記録媒体10を構成する。 (もっと読む)


【課題】光記録媒体の製造コストを低減することを可能にする、光記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】基板1上に形成された記録層2と、記録層2上に形成された光透過層3とを含む光記録媒体10を製造する際に、Inターゲット及び/又はSnOターゲットと、Pdターゲットとを使用して、酸素ガスと窒素ガスとを流しながら、スパッタ法により、In及び/又はSnとPdと酸素とを含む記録層2を形成する工程を含む。 (もっと読む)


【課題】CVDにより目標の組成のGe−Sb−Te系膜を得ることができるGe−Sb−Te系膜の成膜方法を提供すること。
【解決手段】処理容器内に基板を配置し、気体状のGe原料と、気体状のSb原料と、気体状のTe原料とを前記処理容器内に導入してCVDにより基板上にGe−Sb−Te系膜を成膜するに際し、成膜に先立ってガスの通流経路および/または反応空間にTe含有材料を形成し、その後前記処理容器内に所定流量の気体状のGe原料、気体状のSb原料および気体状のTe原料、または気体状のGe原料および気体状のSb原料を導入して所定の組成のGe−Sb−Te系膜を成膜する。 (もっと読む)


金属材料層および炭素材料層を含む光学情報媒体を開示する。金属材料層および炭素材料層の層構造は、媒体へのデータの書き込み中の酸化およびバーム形成に関連する問題を低減または解消するように設計される。
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【課題】メモリー点と非メモリー部との界面付近に偏析濃縮し、書き換え回数及び消去率の低下の原因となる不純物、特に結晶化速度に影響を与える不純物元素を極力減少させると共に、目標組成に対するターゲットの組成のずれ及び成分偏析を減少させて、相変化型メモリーの書き換え特性、結晶化速度を向上させることができる相変化型メモリー用スパッタリングターゲット及びその製造方法を提供する。
【解決手段】3元系以上の元素からなり、アンチモン、テルル又はセレンから選んだ1成分以上を主成分とし、目標組成に対する組成のずれが±1.0at%以下であることを特徴とする相変化型メモリー用スパッタリングターゲット及び該ターゲットを用いて形成された相変化メモリー用膜。 (もっと読む)


【課題】相変化光ディスクの記録層と保護層との間中間層として、リアクティブスパッタリングによって成膜されるGeCrN系層の成膜速度及び膜組成のばらつきを抑制し、製品歩留まりを上げることができるGe−Cr合金スパッタリングターゲット及びその製造方法を提供する。
【解決手段】Cr5〜50at%を含有するGe−Cr合金スパッタリングターゲットにおいて、相対密度が95%以上であることを特徴とするGe−Cr合金スパッタリングターゲット及び平ふるい下75μm以下のCr粉と、ふるい下250μm以下でありかつBET比表面積0.4m/g以下であるGe粉を均一に分散混合させた後、焼結することを特徴とするGe−Cr合金スパッタリングターゲットの製造方法。 (もっと読む)


【課題】高転送レートおよび100GB以上の大容量な記録条件でも、記録特性、消去特性、記録マーク保存性、密着性を同時に満足する情報記録媒体を提供する。
【解決手段】光の照射または電気的エネルギーの印加によって情報を記録し得る情報記録媒体100が、相変化を生じ得る記録層115を少なくとも備え、記録層115が、アンチモン(Sb)と、ケイ素(Si)とを含み、好ましくは、Sb100−xSi(式中、xは、原子%で表される組成比を示し、x≦50を満たす)材料を含み、記録層115と接する界面層114および116の少なくとも一つが、In−O、Zn−O、Sn−O、Zn−S−Si−O、Ga−O、Si−C、Zn−S、Si−N、Nb−O、Ti−O、Ce−F、B−N、Mg−O、Cr−OおよびAl−Nより選ばれる少なくとも一つの組み合わせを含む界面層Aである。 (もっと読む)


【課題】記録レーザパワーが約6〜7mWと低くても、高い信号変調度と高いC/N比を有しており、耐久性にも優れた光情報記録媒体用記録層、および当該記録層を備えた光情報記録媒体を提供する。
【解決手段】本発明の光情報記録媒体用記録層は、レーザ光の照射によって記録マークが形成される記録層であって、前記記録層は、Ni及び/又はCoを1〜50原子%含むIn−Ni合金及び/又はIn−Co合金に窒素を含有するIn基合金からなるものである。上記In−Ni合金は窒素原子を5〜14原子%の範囲で含有することが好ましく、上記In−Co合金は窒素原子を5〜20原子%の範囲で含有することが好ましい。 (もっと読む)


【課題】容易に記録層における光学的バンドギャップを調整する方法、光記録媒体、及び光記録媒体の製造方法を提供すること。
【解決手段】必須成分としてCxy及びH2を、任意成分としてN2及び/又はNH3を含む混合ガスを用いてプラズマ反応成膜することで形成される光記録媒体1の記録層7、9における光学的バンドギャップの調整方法であって、前記混合ガスにおけるH2、及び/又は前記任意成分の混合比率を調整することを特徴とする記録層における光学的バンドギャップの調整方法。 (もっと読む)


【課題】第1及び第2の情報記録層のいずれからも良好な記録信号特性が得られる、片面記録再生タイプの2層型光記録媒体を提供する。
【解決手段】第1基板上に少なくとも第1色素記録層、第1光反射層を積層した第1の記録構成体と、第2基板上に少なくとも第2光反射層、第2色素記録層、無機保護層を積層した第2の記録構成体とが、前記第1光反射層側と前記無機保護層側とが対向し接着剤層を介して貼り合わされてなり、かつ、前記無機保護層は、ケイ素、酸素および炭素を含み、その組成比SixOyCzが、20≦x≦45、40≦y≦65、1≦z≦30(x、y、zの単位は原子%)である光記録媒体。 (もっと読む)


【課題】量産性を十分に向上させ得る機能層の形成方法を提供する。
【解決手段】スパッタリング装置における一対の電極間に所定のパルス状電圧Vを印加することで機能層形成用材料をスパッタリングして情報媒体用基材に機能層を形成する際に、パルス状電圧Vの1周期(時間T1)に占めるスパッタリングに有効となる電圧を付与する時間(時間T3)の時間割合が65%未満となるようにパルス状電圧Vを一対の電極間に印加する。また、上記の機能層形成用材料としてのAlのターゲットを使用すると共に、ArおよびNの混合ガスを反応性ガスとして使用して、上記の機能層としてのAlN薄膜を形成する。 (もっと読む)


【課題】相変化記録媒体において、記録層と誘電体保護層との間に互いの層の間の化学反応や原子拡散を防止すること。
【解決手段】Ge−N,Ge−N−Oに代表されるバリアー層8を設けた光学的情報記録媒体の製造方法であり、バリアー材料は保護層2,4そのものとしても適用することができる。これによって、従来の相変化形の光学的情報記録媒体で観察される、記録消去を繰り返すことによる反射率低下や、信号振幅の低下を著しく抑制することができ、書換え回数を増大することができる。 (もっと読む)


【課題】出力変動の少ない、耐久性に優れたテープ状光記録媒体を生産効率よく提供する。
【解決手段】可撓性支持体の一方の主面に少なくとも反射層、第1保護層、記録層、第2保護層をこの順に有するテープ状光記録媒体であって、前記第1保護層及び前記第2保護層はそれぞれ、Sn,Ti,Si,Zr,及びAlからなる群から選ばれる少なくとも1種の金属の酸化物よりなり、前記第1保護層及び第2保護層の金属の酸化物の組成はそれぞれ、厚さ方向において、記録層側で酸素の含有量が少なく、記録層と反対側で酸素の含有量が多く、且つ前記記録層側の酸素の含有量が10at%以上、55at%以下であり、前記記録層と反対側の酸素の含有量が66at%以下であるテープ状光記録媒体。 (もっと読む)


【課題】 記録感度を保持したまま、キズ、及び紫外線による記録データの損失を低減することを可能にした光記録媒体及び光記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】 光記録媒体の光入射側の基板上に、Si,O,Cを構成元素として含むハードコート層を設ける。ハードコート層の光学定数は、波長405nmにおける屈折率をn、消衰係数をk、波長350nmにおける消衰係数をk、基板材料の波長405nmにおける屈折率をnとしたときに、|n−n|≦0.15、k≦1×10−2、1×10−3≦kとすることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】記録層材料の主成分が酸化物である光記録媒体の製造過程において、記録層やその他の層の膜厚を変更することなく、記録媒体の記録感度(最適記録パワー)を所望の範囲に制御する方法の提供。
【解決手段】(1)基板上に、少なくとも下部保護層、記録層、上部保護層、反射層が、この順又は逆順に積層され、記録層材料の主成分が酸化物である光記録媒体の記録層を、スパッタリング法により形成する際に、アルゴンガスの導入量を調整することにより、光記録媒体の記録感度を制御する光記録媒体の製造方法。
(2)記録層がBi酸化物、又は、Bi酸化物とB、Cu、Fe、Znから選ばれる少なくとも一つの元素の酸化物からなる(1)記載の光記録媒体の製造方法。 (もっと読む)


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