【課題】本発明は、基板に元々付着していた不純物及び成長炉内の不純物を低減することができる半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る半導体装置の製造方法は、基板を成長炉内に搬入する搬入工程と、該基板の上と該成長炉の内壁に、該基板表面と該成長炉内の不純物を吸収する不純物吸収層を形成する吸収層形成工程と、該不純物吸収層と、該基板の一部とをエッチングすることで該基板を薄化基板にするエッチング工程と、該薄化基板の上にバッファ層を形成するバッファ層形成工程と、該バッファ層の上に半導体層を形成する半導体層形成工程と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】成長時間を短縮してスループットを向上することが可能なトランジスタ用エピタキシャルウェハの製造方法を提供する。
【解決手段】基板２上に、電子供給層６，１０及びチャネル層８を有する高電子移動度トランジスタ構造層３を形成する工程と、高電子移動度トランジスタ構造層３上に、コレクタ層１４、ベース層１５、エミッタ層１６及びノンアロイ層１８を有するヘテロバイポーラトランジスタ構造層４を形成する工程と、を有するトランジスタ用エピタキシャルウェハの製造方法において、ヘテロバイポーラトランジスタ構造層４を、気相成長法により成長温度４００℃以上６００℃以下で、かつ、一定の成長温度で成長するようにした。 （もっと読む）

【課題】単体構造のＨＢＴデバイスと同等の信頼性を得る。
【解決手段】化合物半導体からなる、高電子移動度トランジスタ（ＨＥＭＴ）とヘテロバイポーラトランジスタ（ＨＢＴ）とを、同一基板上に重ねてエピタキシャル成長した多層構造のトランジスタ素子において、エピ層として内在するインジウムガリウムリン層（ＩｎＧａＰ）のバンドギャップエネルギを１．９１ｅＶ以上にすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】充分な選択比を備え、また、除去が比較的容易なエッチングストッパ層を得る。
【解決手段】ＧａＡｓ基板１０上に設けられた高電子移動度トランジスタ構造２０と、高電子移動度トランジスタ構造２０の上に設けられたヘテロ接合バイポーラトランジスタ構造４０と、を備え、高電子移動度トランジスタ構造２０とヘテロ接合バイポーラトランジスタ構造４０との間には、Ａｓ濃度が１．０×１０^１６ａｔｏｍｓ／ｃｃ以上１．０×１０^２１ａｔｏｍｓ／ｃｃ以下のＩｎＧａＡｓＰ層からなるエッチングストッパ層３０を備える。 （もっと読む）

【課題】トランジスタの占有面積をほとんど増やすことなく、かつ、ＨＢＴとＨＦＥＴとを接続する配線による悪影響を受けないＢｉ−ＨＦＥＴ（半導体装置）を提供する。
【解決手段】基板１０１上に形成されたＨＦＥＴ１６０と、ＨＦＥＴ１６０上に形成されたＨＢＴ１７０とを備え、ＨＦＥＴ１６０は、チャネル層１０２と、コンタクト層１０４とを有し、ＨＢＴ１７０は、ＨＦＥＴ１６０のコンタクト層１０４と接続、又は、一体化されたサブコレクタ層１０７と、コレクタ層１０８と、ベース層１０９と、エミッタ層１１０と、エミッタキャップ層１１１と、エミッタコンタクト層１１２とを有し、コレクタ層１０８、ベース層１０９及びエミッタ層１１０は、メサ形状の構造体であるベースメサ領域８３０を構成し、ゲート電極２０２は、第一のコレクタ電極２０３とベースメサ領域８３０との平面的な間に設けられたリセス領域８２０内に形成されている。 （もっと読む）

【課題】配管パージ等の作業を行うことなく、電気的特性等に影響を与える残留したＴｅやＳｅのエピタキシャル層中への混入を防止できるトランジスタ用エピタキシャルウェハを提供する。
【解決手段】基板１００と化合物半導体層２００とコンタクト層３００とを有し、コンタクト層３００は、ｎ型不純物としてＴｅ又はＳｅがドーピングされたＩｎ組成比ｘが０．３≦ｘ≦０．６で一定のｎ型ＩｎＧａＡｓ層からなり、ｎ型ＩｎＧａＡｓ層は、ｎ型不純物濃度が１．０×１０¹⁹ｃｍ^-3以上５．０×１０¹⁹ｃｍ^-3以下で、且つ、炭素濃度が１．０×１０¹⁶ｃｍ^-3以上３．０×１０¹⁸ｃｍ^-3以下であり、化合物半導体層２００は、バッファ層４００を備え、バッファ層４００は、アンドープＡｌＡｓ層からなる第１バッファ層４０１と、Ａｌ組成比ｙが０＜ｙ＜１のアンドープＡｌＧａＡｓ層からなる第２バッファ層４０２とからなるものである。 （もっと読む）

【課題】ＨＥＭＴの移動度の低下を抑制することが可能なトランジスタ用エピタキシャルウェハの製造方法を提供する。
【解決手段】高電子移動度トランジスタ構造層３を、気相成長法により成長温度６００℃以上７５０℃以下、Ｖ／III比１５０以下の条件で成長し、バイポーラトランジスタ構造層４を、気相成長法により成長温度４００℃以上６００℃以下、Ｖ／III比７５以下の条件で成長し、さらにノンアロイ層１８を、３８０℃以上４５０℃以下の成長温度で成長する。 （もっと読む）

【課題】ＧａＡｓ基板からＨＢＴ構造層に伝搬する転位を抑制したトランジスタ素子及びトランジスタ用エピタキシャルウェハの製造方法を提供する。
【解決手段】ＧａＡｓ基板２上に高電子移動度トランジスタ構造層３が形成され、高電子移動度トランジスタ構造層３上にヘテロバイポーラトランジスタ構造層４が形成されたトランジスタ素子において、ＧａＡｓ基板２の転位密度が１０，０００／ｃｍ²以上１００，０００／ｃｍ²以下であり、高電子移動度トランジスタ構造層３とヘテロバイポーラトランジスタ構造層４との間に、ＩｎＧａＰからなるエッチングストッパ層１２と、エッチングストッパ層１２上に設けられたＧａＡｓからなる安定化層２１と、を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】BiFETデバイスに含まれるFETのオン抵抗の悪化を抑制する。
【解決手段】共通基板１上に第1ＳＬ１０及び第２ＳＬ２０積層体が順に形成された半導体装置であって、第2積層体が除去されて残存する第1積層体は、電界効果型トランジスタを構成し、第1積層体上に積層された第2積層体は、電界効果型トランジスタとは異なる素子（バイポーラトランジスタ）を構成し、電界効果型トランジスタを構成する第1積層体は、第1積層体に形成されるリセスの停止位置を規定し、かつInGaPから成るエッチング停止層１０と、リセス内に配置されるゲート電極２５の下方に配置され、かつAlGaAsから成る下部化合物半導体層８と、エッチング停止層１０と下部化合物半導体層８との間に挿入され、エッチング停止層に含まれるリンが下部化合物半導体層まで熱拡散し、下部化合物半導体層を構成する元素と化合することを抑止するスペーサ層９とを含む。 （もっと読む）

【課題】同一基板上にヘテロ接合バイポーラトランジスタ（ＨＢＴ）と電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）とが形成され、ＨＢＴのコレクタ抵抗が低減されてＨＢＴの特性が向上され、かつＦＥＴのゲートリセスのエッチング精度が良好で、ＦＥＴのオン抵抗が低い半導体装置を安定的に提供する。
【解決手段】ＨＢＴ１０１Ａにおいては、サブコレクタ層が複数の半導体層１３〜１５の積層構造からなり、かつ、サブコレクタ層においてコレクタ層１７より張り出した部分上にコレクタ電極２８が形成されている。ＦＥＴ１０１Ｂ、１０１Ｃにおいては、ＨＢＴ１０１Ａのサブコレクタ層をなす複数の半導体層のうち半導体基板１側の少なくとも１層の半導体層１３が、キャップ層の少なくとも一部の層を兼ねている。ＨＢＴサブコレクタ層の総膜厚が５００ｎｍ以上であり、ＦＥＴキャップ層の総膜厚が５０ｎｍ以上３００ｎｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】ＧａＡｓ基板上にＨＥＭＴ、ＨＢＴを順次積層してなるトランジスタ素子において、ＨＥＭＴの移動度の低下を抑制することが可能なトランジスタ素子を提供する。
【解決手段】ＧａＡｓ基板２上に高電子移動度トランジスタ（ＨＥＭＴ）３が形成され、ＨＥＭＴ３上にヘテロバイポーラトランジスタ（ＨＢＴ）４が形成されたトランジスタ素子において、ＨＥＭＴ３がアンドープＩｎＧａＡｓＰからなるバリア層１０を有する。 （もっと読む）

【課題】基板上に位置するＢｉＦＥＴにおいて、ＨＢＴ性能の低下を引起すことなくＦＥＴの製造可能性増大を達成させる。
【解決手段】基板上に位置するＢｉＦＥＴ１００は、基板の上に位置するエミッタ層部分１２２を含み、エミッタ層部分は第１のタイプの半導体を含む。ＨＢＴはエッチストップ層の第１の部分１２６をさらに含み、エッチストップ層の第１の部分はＩｎＧａＰを含む。ＢｉＦＥＴは基板の上に位置するＦＥＴ１０６をさらに含み、ＦＥＴはソース領域およびドレイン領域を含み、エッチストップ層の第２の部分１４６はソース領域およびドレイン領域の下に位置し、エッチストップ層の第２の部分はＩｎＧａＰを含む。ＦＥＴはエッチストップ層の第２の部分の下に直接接して位置する第２のタイプの半導体層をさらに含む。エッチストップ層はＦＥＴの線形性を増大させ、ＨＢＴの電子の流れを低下させない。 （もっと読む）

【課題】低電圧で作動するとともに大きなベース電圧を印加した場合でも耐電圧が高く、各種の回路素子への応用が容易で、製造コストを抑えた有機トランジスタ及び回路素子を提供する。
【解決手段】コレクタ電極１とエミッタ電極２と両電極間に設けられた有機半導体層３と有機半導体層３内に設けられたベース電極４とを有する縦型トランジスタ部、及び、ベース電極４とベース電圧電源端子７との間に設けられた抵抗部６、を有する。抵抗部６は、コレクタ電極１と同じ材料からなりベース電圧電源端子７に接続する第１電極２１と、エミッタ電極２と同じ材料からなりベース電極４に接続する第２電極２２と、有機半導体層３と同じ材料からなり第１電極２１及び第２電極２２間に挟まれた抵抗層２４とを有する。 （もっと読む）

【課題】半導体基板、電子デバイス、半導体基板の製造方法及び電子デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】シリコンに不純物原子が導入された不純物領域１０４を有するベース基板１０２と、不純物領域１０４に接して設けられている複数のシード体１１２と、複数のシード体１１２の各々に接して設けられ、複数のシード体１１２の各々とそれぞれ格子整合または擬格子整合する複数の化合物半導体１１４とを備える半導体基板１００。当該半導体基板１００は、ベース基板１０２上に設けられ、不純物領域１０４の少なくとも一部を露出する複数の開口が設けられた阻害体をさらに備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】ＥＣＭのインピーダンス変換および増幅に、Ｊ−ＦＥＴを入力としバイポーラトランジスタを出力とする増幅素子に、バックゲート構造のＪ−ＦＥＴを用いると、バックゲート−半導体基板間の容量が、増幅素子の入出力間の寄生容量（ミラー容量）となり、増幅素子の入力ロスが増大する問題に対し有効な半導体装置を提供する。
【解決手段】接地されたｐ型半導体基板11にｐ型半導体層12を積層し、ｐ型半導体層12にｎ型チャネル領域22を有するＪ−ＦＥＴと、ｎ型コレクタ領域33ｂを有するバイポーラトランジスタを設けた増幅素子とする。これにより、増幅素子の入出力間の寄生容量が発生しなくなるため、ミラー容量による入力ロスの増大を防止できる。また、Ｊ−ＦＥＴのチャネル領域は、エミツタ拡散31と同時に形成できるため、ＩＤＳＳＳや、ピンチオフ電圧が安定し、増幅素子としての消費電流のばらつきが低減し、生産性が向上する。 （もっと読む）

【課題】高周波帯域で動作する半導体装置の特性の低下を抑制しつつ、製造コストを低減できる半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る半導体装置１００は、電界効果型トランジスタと、ヘテロ接合バイポーラトランジスタと、ヘテロ接合バイポーラトランジスタのＧａＡｓベース層７を用いて形成されたベースエピ抵抗素子２８と、電界効果型トランジスタのＩｎＧａＡｓチャネル層４を用いて形成された配線部２６と、配線部２６とベースエピ抵抗素子２８とを絶縁する高抵抗化領域２７と、配線部２６の水平方向の周囲を囲う絶縁性の素子分離領域２４とを含む。また、ベースエピ抵抗素子２８は、半絶縁性ＧａＡｓ基板１の主面に垂直な方向から見て、配線部２６と交差しているベースエピ抵抗素子領域２９を有する。 （もっと読む）

【課題】ＨＥＭＴ用エピタキシャル層の移動度を低下させることのない、電気特性の良いトランジスタ素子用エピタキシャルウェハを製造することができるトランジスタ素子用エピタキシャルウェハの製造方法を提供する。
【解決手段】基板２上に高電子移動度トランジスタ用エピタキシャル層３を形成し、高電子移動度トランジスタ用エピタキシャル層３上に、ヘテロバイポーラトランジスタ用エピタキシャル層４を形成するトランジスタ素子用エピタキシャルウェハ１の製造方法において、高電子移動度トランジスタ用エピタキシャル層３を、成長温度６００℃以上７５０℃以下、Ｖ／III比１０以上１５０以下で成長させ、ヘテロバイポーラトランジスタ用エピタキシャル層４を、高電子移動度トランジスタ用エピタキシャル層３の成長温度よりも低温で成長させる方法である。 （もっと読む）

【課題】単一半導体基板上にＨＢＴおよびＦＥＴのような異なる種類の複数デバイスを形成するに適した化合物半導体基板を提供する。
【解決手段】第１半導体１１０と、第１半導体上に形成された、電子捕獲中心または正孔捕獲中心を有するキャリアトラップ層１３０と、キャリアトラップ層上にエピタキシャル成長され、自由電子または自由正孔が移動するチャネルとして機能する第２半導体１４４と、第２半導体上にエピタキシャル成長したＮ型半導体／Ｐ型半導体／Ｎ型半導体で表される積層体、または前記第２半導体上にエピタキシャル成長したＰ型半導体／Ｎ型半導体／Ｐ型半導体で表される積層体を含む第３半導体１６０とを備える半導体基板。 （もっと読む）

【課題】高耐圧化及び高温動作を実現できる、ＨＢＴとＦＥＴを備える半導体装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る半導体装置１００は、基板１０１の上に順時積層されたｎ⁺型ＧａＮ層１０３及びｎ型ＧａＮ層１０４と、ｐ型ＩｎＧａＮ層１０５と、アンドープＧａＮ層１０６及びｎ型ＡｌＧａＮ層１０７と、ＨＢＴ領域１２１のｎ⁺型ＧａＮ層１０３と電気的に接続されたコレクタ電極１１４と、ＨＢＴ領域１２１のｐ型ＩｎＧａＮ層１０５と電気的に接続されたベース電極１１３と、ＨＢＴ領域１２１のｎ型ＡｌＧａＮ層１０７と電気的に接続されたエミッタ電極１１２と、ＨＦＥＴ領域１２０のｎ型ＡｌＧａＮ層１０７と電気的に接続されたソース電極１０９及びドレイン電極１１１と、ｎ型ＡｌＧａＮ層１０７の上に形成されたゲート電極１１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】線形性に優れた半導体抵抗素子を提供する。
【解決手段】本発明の半導体装置は、ＧａＡｓ基板１０１上に形成され、３−５族化合物半導体から構成されるＨＢＴ１３０と、ＧａＡｓ基板１０１上に形成され、ＨＢＴ１３０を構成する半導体エピタキシャル層の少なくとも１層から構成される半導体抵抗素子１２０とを備え、半導体抵抗素子１２０は、ヘリウム不純物を含む。 （もっと読む）