【課題】 保持機構およびそれを用いた保持装置において、簡単な構造で、迅速な受け渡しができるようにする。
【解決手段】 端部に固定配置された保持面１６ａを有するステージ１６をその裏面側中央で支持台１９で支持し、ステージ裏面１６ｅと支持台１９との近傍に、被検体５を搬送するための一部がとぎれた環状のアーム部材が進退できるように退避空間２２を形成する。また、ステージ１６の外形は、アーム部材が囲うようにして上下に移動できる形状としておく。 （もっと読む）

流体クッション上の静止又は移動する実質的に平坦な対象物を物理的接触なしに支えるための装置。対象物は流体クッションギャップ上で浮動し、装置はこのギャップを全域か局所で調整することを目的とする。装置は非接触で対象物を支える第一土台を含み、この土台が一個以上の区域からなる実質的に平坦な活性表面を有し、各区域が複数基本セルの内の少なくとも一つを含み、各基本セルが圧力調整流量絞り弁により基本セルの位置する区域に関する高圧マニフォールドと流体的に連結した複数圧力出口の内の少なくとも一つを有し、高圧マニフォールドが主供給パイプラインにより加圧流体供給と主排気パイプラインを有する基本セルが位置する区域に関する低圧マニフォールドと流体的に連結した複数流体排気チャネルの少なくとも一つと流体的に連結するものからなる装置で、流量絞り弁が流体的伸縮バネ挙動を特徴的に示し、少なくとも一個の圧力調整弁を区域の二個のマニフォールドの内の少なくとも一つの圧力レベルを制御するため、少なくとも一区域の二個の主パイプラインの内の少なくとも一つの間に配置することからなる装置。 （もっと読む）