【課題】複数の露光装置間の露光特性をより高精度に合わせる。
【解決手段】露光装置の露光条件の調整方法は、互いに異なる複数の露光条件のもとで複数のパターンの像の線幅の実測値と計算値との第１の比率を複数回求めるステップ１０６，１１４と、複数の第１の比率に基づいて第２の比率を求めるステップ１２０と、複数のパターンの像の線幅の計算値を第２の比率で補正した値を用いて露光装置の比較対象の露光特性を予測するステップ１２２と、比較対象の露光特性と目標となる露光特性との比較により調整用の条件を求めるステップ１２４と、を含む。 （もっと読む）

【課題】計算精度を実質的に低下させることなく、かつ計算時間を短縮して光学性能のシミュレーションを行うことができるようにする。
【解決手段】照明瞳面からの光でレチクルＲ１のパターン４４を照明する照明光学系を含む光学系の光学性能のシミュレーション方法であって、パターン４４の三次元構造を設定し、照明瞳面に二次元的に分布する複数の点光源を配置し、その複数の点光源のそれぞれからの光がその照明光学系及びその三次元構造のパターン４４を通過した後の複素振幅分布IN1R,IN1I を計算し、計算された複素振幅分布をその複数の点光源に対応させて記録したデータベースを作成する。 （もっと読む）

【課題】 反射させた光による悪影響を発生させることなく特定の波長の光を選択的に透過させるフィルタを提供する。
【解決手段】 第１波長を有する第１の光を反射し、前記第１波長より短い第２波長を有する第２の光を透過させるフィルタであって、第１方向に沿って間隙をおいて平行に配置された複数の板状部材を含み、前記複数の板状部材のそれぞれの端面によって形成される包絡面は平面をなし、前記平面は前記第１方向と非平行である。 （もっと読む）

【課題】照明光学系において、光源からの光の角度分布の不均一性を解消しつつ、均一な光強度分布を高い効率で形成するために有利な技術を提供する。
【解決手段】 光源からの光を用いて被照明面を照明する照明光学系は、前記光源からの光を分割して複数の光束を生成する分割部と、前記分割部によって生成された前記複数の光束の光強度分布のそれぞれを均一化する第１反射型インテグレータと、前記第１反射型インテグレータからの光を集光する集光部と、前記集光部からの光を受けて前記被照明面を照明する第２反射型インテグレータと、前記第２反射型インテグレータと前記被照明面との間に配置される開口絞りとを備え、前記分割部は、前記開口絞りが配置される面に対して、前記光源から前記分割部に提供される光の断面形状とは異なる断面形状を有する光が入射するように、前記複数の光束を生成する。 （もっと読む）

【課題】光源から出る多波長光のうち、所望の波長の光を容易に選択することができるようにした露光波長調節装置及びそれを利用した露光機を提供する。
【解決手段】本発明による露光波長調節装置は、光源から出射される多波長の光の入力を受け、分離屈折させて多数の波長を出力する分離屈折部；前記分離屈折部で分離屈折されて入射される多数の波長の光経路を変化させるミラー；及び前記ミラーで反射される多数の波長の光の一部を通過させる部分光通過部を含む。 （もっと読む）

【課題】正確な照明パターンを迅速に形成する。
【解決手段】光源から入射した光源光を個別に設定された反射角度で反射してそれぞれが反射光を射出する複数の反射鏡を有する空間光変調器と、複数の反射鏡の各々に設定する反射角度を算出する算出部と算出部が算出した反射角度を複数の反射鏡のそれぞれに設定する駆動部とを備えた照明装置であり、算出部は、反射光により被照射面に照明パターンを形成すべく複数の反射鏡の一部に設定する反射角度と、照明パターンの形成に寄与しない不要反射光を射出する複数の反射鏡の他の一部について、不要反射光が被照射面に照明パターンの背景を形成する反射角度とを算出する。 （もっと読む）

【課題】目標照明光源形状を正確に再現した照明光源を形成する。
【解決手段】 複数のミラー要素ＳＥ_ｋ（ｋ＝１〜Ｋ）を、それぞれのミラー要素によって反射される光の強度Φ_０ｋの順に、単位数（例えばＮ）毎に、複数のレンズ素子ＦＬ_ｎのうちの目標照明光源形状Ψ_０を形成するのに必要な数Ｎのレンズ素子ＦＬ_ｎ（ｎ＝１〜Ｎ）（に対応する複数のグループａ〜ｆ）に対応付けることと、必要な数Ｎのレンズ素子ＦＬ_ｎ（ｎ＝１〜Ｎ）のうちの２つのレンズ素子のそれぞれに対応付けられたミラー要素ＳＥ_ｋのうちの少なくとも各１つのミラー要素同士を入れ替えて、２つのレンズ素子のそれぞれに対応付けられたミラー要素ＳＥ_ｋについての光の強度の和Φ_０ｋを平均化する。これにより、目標照明光源形状を正確に再現した照明光源を形成することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】照明光源を状況に応じて調整する。
【解決手段】 露光装置の起動時においては、照明光源形状を計測し（ステップ２０８）、その計測結果と目標とに基づいて照明光源形状を評価し（ステップ２０９）、その評価結果に基づいて、ビーム形状を推定することと、照明光源のミラー特性を推定することと、照明光源の設定を最適化することとを含む調整方法の中からいずれかを選択する（ステップ２１０、２１２、２１３）。これにより、照明光源を短時間に及び／又は正確に調整することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】照明光源形状を正確に調整する。
【解決手段】
主制御装置により、照明光源の形状の目標と空間光変調器の複数のミラー要素に照射される光ビームの形状とに基づいて、複数のミラー要素とフライアイレンズの複数のレンズ素子との組み合わせが最適化され、その最適化結果に従って複数のミラー要素を介して照明光学系の瞳面に照明光源（二次光源）が形成され（ステップ２０６）、その照明光源の形状が計測され（ステップ２０８）、ビームに関する仮定（例えば光ビームの軸ずれなど）を立て、該仮定の下で前記計測の結果を用いて、ビームの形状が推定され（ステップ２１４）、ビームの形状の推定結果に基づいて照明光源の形状が調整される（ステップ２０６）。これにより、ビーム形状を正確に推定し、その結果に基づいて照明光源形状を正確に調整することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】照明光源の形状の目標に対する一致度合が正確に評価する。
【解決手段】 目標Ψ_０に基づいて照明光学系の瞳面に形成された照明光源の形状Ψを計測し（ステップ２０８）、計測されるべき照明光源の形状を、照明光学系内の光学部材の特性を考慮して前記目標に基づいて予測し（ステップ２０５）、前記計測の結果〈Ψ〉と前記予測の結果Ψ_Ｉとのずれに基づいて、照明光源の形状の目標に対する一致度合を評価する（ステップ２０９、２１０）。これにより、照明光源の形状の目標に対する一致度合が正確に評価される。 （もっと読む）

【課題】 偏光光をマスクを介して被照射物に照射する光照射装置において、マスクのパターンに忠実で解像度の高いパターンを形成することができ、しかも、十分に高い消光比を得ることのできる光照射装置を提供すること。
【解決手段】 この光照射装置は、ショートアーク型の放電ランプおよびリフレクタよりなる光源素子の複数が、一方向に並んで配置されてなる光源素子列を有する光出射部と、光出射部からの光を、前記一方向に伸びる線状に集光する集光部材と、集光部材からの光が入射される、各々前記一方向に垂直な方向に伸びる線状の多数の遮光部および多数の透光部が前記一方向に交互に並んで配置されてなるマスクと、集光部材とマスクとの間の光路上に配置された偏光素子とを備えてなり、偏光素子は、その法線が前記集光部材から前記マスクに対して入射される光の正反射方向の光軸に対して傾斜する状態で、配置されている。 （もっと読む）

【課題】良好な結像性能を与える露光条件及びマスクパターンを決定することができるプログラム及び方法を提供する。
【解決手段】露光条件及びマスクパターンを設定する第１ステップと、前記露光条件を用いて、投影光学系により基板上に形成されるマスクパターンの像の良否についての指標を示す第１評価関数を用いて前記マスクパターンを仮決定する第２ステップと、仮決定された前記マスクパターンと前記露光条件とを用いて、前記投影光学系により基板上に形成されるマスクパターンの像の良否についての指標を示す第２評価関数の値を算出する第３ステップと、前記第２評価関数の値に基づいて前記露光条件及び前記マスクパターンを変更する第４ステップと、前記露光条件及び前記マスクパターンを初期値として前記第２ステップ及び前記第３ステップを繰り返す処理を実行するか否かを判定する処理を含む第５ステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】照明光源の形状を必要な形状に容易に調整できるようにする。
【解決手段】光源調整方法は、照明光源の目標とする形状に対する実際の形状の変化を表す画像変調パラメータＺ_jを設定するステップ１０２と、照明系変調パラメータｆＢｊに基づいて照明光源の形状が調整される第１の照明光学系に関して、画像変調パラメータＺ_jと照明系変調パラメータｆＢｊとの変換の行列Ｂを求めるステップ１１３，１１４と、その行列Ｂを用いて、画像変調パラメータＺ_jの第１組の値ＺＶ_jに対応する照明系変調パラメータｆＢｊの第２組の値ｆＢＶｊを求めるステップ１１６と、を含む。 （もっと読む）

【課題】装置全体を大型化することなく、Ｐ偏光及びＳ偏光の直線偏光の露光光の双方を選択的に出射可能である露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置１には、光源１１からの露光光が入射されこれをＰ偏光の直線偏光及びＳ偏光の直線偏光の露光光に分割する偏光ビームスプリッタ１５が設けられている。そして、この偏光ビームスプリッタ１５は露光光の光軸を回転中心として回転可能に設けられていると共に、その回転中心に対する反射透過面の方向が９０°相違する第１の位置と第２の位置とに設定可能に構成されている。そして、偏光ビームスプリッタ１５の位置を第１の位置と第２の位置とで切り替えることにより、Ｐ偏光及びＳ偏光の直線偏光の露光光の双方を選択的に出射可能である。 （もっと読む）

【課題】照明光学系の瞳面に形成すべき光強度分布の決定に有利な技術を提供する。
【解決手段】照明光学系の瞳面に形成すべき光強度分布を決定する方法であって、照明光学系の瞳面に形成される互いに異なる複数の要素光源を生成するＳ１０８と、投影光学系が有しうる互いに異なる複数の収差状態を設定するＳ１１０と、複数の収差状態から選択した１つの収差状態を投影光学系に与え、Ｓ１０８で生成した複数の要素光源から選択した１つの要素光源でマスクのパターンを照明したときに形成される光学像を、複数の収差状態と複数の要素光源との組み合わせの全てについて算出すＳ１１２と、算出した光学像に基づいて、マスクのパターンの光学像の評価場所のエッジ位置を目標エッジ位置に近づけるように、複数の要素光源のそれぞれに与える重み付けを決定し、重み付けを与えた複数の要素光源を合成した光源を照明光学系の瞳面に形成すべき光強度分布として決定する。 （もっと読む）

【課題】稠密に配列された大面積のミラー素子を有する空間光変調器を構成する。
【解決手段】反射面ＳＥＡを有する複数のミラー素子ＳＥｋと、複数のミラー素子ＳＥｋがそれぞれの反射面ＳＥＡ内の頂点ＳＥｐを中心に傾動可能に配列されたベース部材ＳＶｂと、複数のミラー素子ＳＥｋのそれぞれを反射面ＳＥＡの裏面上で頂点ＳＥｐを含んで同一直線上にない複数の位置にて反射面ＳＥＡに対する垂直方向に駆動する複数のボイスコイルモータＳＶｋとから、空間光変調器が構成される。 （もっと読む）

【課題】大面積のミラー素子を有する空間光変調器を提供する。
【解決手段】反射面ＳＥＡを有する複数のミラー素子ＳＥｋと、複数のミラー素子ＳＥｋがそれぞれ複数の板ばねＳＥＬを用いて傾動可能に配列されたベース部材ＳＶｂと、複数のミラー素子ＳＥｋのそれぞれを、反射面ＳＥＡの裏面側で同一直線上にない３以上の複数点でベース部材ＳＶｂに接近する方向に駆動する複数の電磁石ＳＣｋとから、空間光変調器が構成されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、消費電力が少なく長寿命で、かつ必要な波長域の光を必要な光量で効率よく出射して露光することができる露光装置および光源装置が得られる。。
【解決手段】 光源ユニット４１は、第１のＬＥＤアレイ４１１、第１のレンズアレイ４１２、第２のＬＥＤアレイ４１３、第２のレンズアレイ４１４、ダイクロイックミラー４１５、第３のレンズアレイ４１６、第１の結像光学系４１７を備える。第１のＬＥＤアレイ４１１は、中心波長３８５ｎｍの光を出射する。第２のＬＥＤアレイ４１３は、中心波長３６５ｎｍの光を出射する。ダイクロイックミラー４１５は、第１のＬＥＤアレイ４１１の発光部４１１ｃの像に第２のＬＥＤアレイ４１３の発光部４１３ｃの像を重ねて合成する。
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【課題】半導体装置の高集積化が可能な露光方法及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】実施形態に係る露光方法は、照明により光をフォトマスクに照射し、前記フォトマスクから出射した回折光をレンズによって集光し、露光面に複数個の点像を結像させる露光方法である。前記フォトマスクにおいては、互いに直交しない単位格子ベクトルによって表される格子点に光透過領域が形成されている。前記照明においては、３本以上の前記回折光が前記レンズの瞳の中心から等距離にある位置を通過するように、発光領域が設定されている。 （もっと読む）

【課題】製造が比較的容易な構成を有し、照明光学系の光路中に配置されて連続性の高い周方向偏光状態の瞳強度分布を実現することのできる偏光変換ユニット。
【解決手段】入射光を所定の偏光状態の光に変換して射出する偏光変換部材５１を備えた偏光変換ユニットにおいて、偏光変換部材５１は、旋光性の光学材料により形成され且つ光軸を横切る面に沿って並列的に配置された複数の偏光変換部５１１〜５１４を有し、複数の偏光変換部５１１〜５１４は、平面状の入射面と該入射面と非平行な平面状の射出面とをそれぞれ有する。 （もっと読む）