【課題】ダイシングの際にクラック発生を抑制できる半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基板の上に形成された複数の配線層と、前記複数の配線層の間に配置されたビア層と、前記複数の配線層に形成された導電膜と、前記ビア層の上下の前記配線層の前記導電膜と接続するビアプラグＶ５とを有し、スクライブ領域３１は、チップ領域の外周であって前記半導体基板の縁に接して位置し、前記スクライブ領域３１は前記縁に接するパッド領域３３を有し、前記パッド領域３３は、前記複数の配線層の各々に、平面視において相互に重なって配置され、前記複数の配線層は、第１の配線層と第２の配線層を有し、前記第１の配線層の前記導電膜は、前記パッド領域３３の全面に形成された第１の導電パターン５５を有し、前記第２の配線層の前記導電膜は、前記パッド領域の一部に形成された第２の導電パターン５０を有する。 （もっと読む）

【課題】設計する回路の中で電流の多く流れる信号線を容易に見つけ出すことができ、容
易にその部分の電流を測定できるスタンダードセルを提供することを課題とする。
【解決手段】電流検出用テストパッドを少なくとも２つ有するスタンダードセルを自動レ
イアウトで配置する。そして、２つのテストパッド間を接続する配線を切断することで、
該２つのテストパッドを電流測定用テストパッドとして利用する。なお、スタンダードセ
ル内の２つのテストパッド間は、過電流が流れることにより電流の流れる経路が遮断され
る配線によって接続される構成としてもよい。また、２つのテストパッド間をつなぐ配線
部にメモリ又はアナログスイッチを設ける構成としてもよい。 （もっと読む）

【課題】 より簡易な設計手法で作製可能なテスト回路を提供する。
【解決手段】 テスト回路１００は、基板と、基板上に形成された配線部及び被試験デバイス部１０とを備える構成とする。テスト回路１００では、被試験デバイス本体のパターン形成面内における回転中心位置Ｏと複数の接続電極１３ａ〜１３ｄのそれぞれとを結ぶ直線Ｌ１の延在方向が、配線２１の延在方向に対して所定の角度で傾いている。さらに、被試験デバイス本体及び複数の接続電極１３ａ〜１３ｄをパターン形成面内で９０度回転させた際にも、複数の接続電極１３ａ〜１３ｄ及び複数の配線２１〜２４間の接続が維持されるような位置に複数の接続電極１３ａ〜１３ｄが配置される。 （もっと読む）

【課題】より小さな単位に切り離しも可能なマルチコア半導装置において、前記より小さな単位に切り離した場合に相互接続配線を伝って生じる可能性のある水の侵入を阻止する。
【解決手段】半導体装置は、素子領域を有する半導体基板と、前記素子領域に形成され、第１の開口部を有する内側シールリングと、前記素子領域に形成され、第２の開口部を有する外側シールリングと、前記半導体基板上に形成された、各々配線層を含む複数の層間絶縁膜を積層した積層体よりなる多層配線構造と、前記多層配線構造に含まれる第１の層間絶縁膜とその上の第２の層間絶縁膜の間に形成された耐湿膜と、前記耐湿膜の下側および上側のいずれか一方である第１の側を延在し、前記第１の開口部を通過する第１の部分と、前記耐湿膜の下側および上側の他方である第２の側を延在し、前記第２の開口部を通過する第２の部分と、前記第１の部分と前記第２の部分とを、前記耐湿膜を貫通して接続するビアプラグとを含む配線パターンと、を有する。 （もっと読む）

【課題】発熱体である抵抗から熱容量の大きいアノード領域への放熱を阻止し、ジュール熱を効率的に抵抗で消費するようにして、電気ヒューズの切断電力の低減化を図る。
【解決手段】絶縁膜５上にポリシリコン層６を形成し、該ポリシリコン層６上の一部に絶縁膜マスクを形成する。次に、該絶縁膜マスク層で被覆された以外のポリシリコン層６上にシリサイド層７を形成する。次にフォトエッチング工程を経てシリサイド層７、ポリシリコン層６をエッチングし、アノード領域１、カソード領域２及びアノード領域１とカソード領域２を接続するリンク領域３からなる電気ヒューズを形成する。電気ヒューズは、アノード領域１とリンク領域３の境界を挟んでリンク領域３方向からアノード領域１の一部に延在する非シリサイド領域を具備する。リンク領域３の非シリサイド領域は高抵抗領域１１を構成し、アノード領域１の非シリサイド領域は熱伝導阻止層１ｂを構成する。 （もっと読む）

【課題】ヒューズメモリを利用したトリミングを行う半導体ウェハにおける各半導体チップの回路面積を小さくする。
【解決手段】半導体ウェハ１０におけるシリコン基板上は、複数個のチップ領域ＴＡＲとこの領域ＴＡＲを囲むスクライブ領域ＳＡＲとに区画されている。チップ領域ＴＡＲには、トリミング対象回路１１と、ヒューズ素子Ｆｍ（ｍ＝１〜２Ｍ）と、ヒューズ素子Ｆｍ（ｍ＝１〜２Ｍ）が断線状態であるか否かを検出する検出回路としての役割を果たす定電流源ＩＰｍ（ｍ＝１〜２Ｍ）及びインバータＩＮｍ（ｍ＝１〜２Ｍ）とが形成されている。スクライブ領域ＳＡＲには、制御信号に応じてＯＮ／ＯＦＦが切り換わり、ＯＮとなることによりヒューズ素子Ｆｍ（ｍ＝１〜２Ｍ）を断線させる電流を発生するＮチャネル電界効果トランジスタＴＳｍ（ｍ＝１〜２Ｍ）がある。 （もっと読む）

【課題】電源ノイズを一層効果的に解消する技術を提供する。
【解決手段】半導体装置１は、所定動作を実行するための内部回路６と、内部回路６に対して高電位電圧を供給するための電源ライン７と、内部回路６に対して低電位電圧を供給するためのグラウンドライン８と、ウェハテスト用電極パッド９と、ウェハテスト用電極パッド９を内部回路６に接続するための電気線１０と、電気線１０を内部回路６に対して非導通状態にすると共に、電気線１０を電源ライン７とグラウンドライン８のうち何れか一方に対して選択的に導通状態とする接続切替部１１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】裏面ＦＩＢ加工における場所特定を容易にする。
【解決手段】半導体装置は、第１方向および前記第１方向に直交する第２方向の平面内に広がる第１導電型の半導体基板６０の表面上に形成された回路部６５と、前記半導体基板内の表面側に形成され、前記回路部を構成し、素子として機能する、前記第１導電型と異なる第２導電型の複数のウェル６１と、前記半導体基板内の表面側に形成され、前記回路部を構成せず、素子として機能しない、前記第２導電型の複数のダミーウェル６２と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】ダイシング処理に起因する、チップ用パッド同士のショートを抑制することが可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基板と複数の第１のパッドと、複数の第２のパッドとを備える半導体装置であり、第１のパッドは素子形成領域ＩＭＣ内に、第２のパッドは素子形成領域ＩＭＣを取り囲むダイシングライン領域ＤＬＲ内に形成される。ダイシングライン領域ＤＬＲには、第２のパッド同士が電気的短絡を生じさせやすい第１の領域ＳＬＲと、第２のパッド同士が電気的短絡を生じさせにくい第２の領域ＳＵＲとを有している。第１の領域ＳＬＲに対向する位置に配置された一部の第１のパッドは、第２の領域ＳＵＲに対向する位置に配置された残りの第１のパッドよりも、素子形成領域ＩＭＣの外縁の１辺ＢＤＬから離れて配置されている。 （もっと読む）

【課題】チップ面積の増加を抑制しつつ、ウェハ状態でのスクリーニング時に電源電圧低下（ＩＲドロップ）を抑えることができる半導体装置を提供する。
【解決手段】本発明の一形態に係る半導体装置５０は、半導体チップ１００と、半導体チップ１００上面の中央部のチップ中央領域１２０に形成された複数の外部接続用パッド１０２及び複数の検査用パッド１０４と、複数の外部接続用パッド１０２上に形成されたバンプ１０５とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の検査において、電極パッドの配列、スクライブ領域の幅に影響されることなくプローブカードを共有化し、プローブカードの製作費用を低減する。
【解決手段】基板２０はチップ領域１００、スクライブ領域２００および電極パッド３００を備えている。チップ領域１００は基板２０上の第１の方向に沿って、スクライブ領域２００により互いに分離されるように並んでいる。電極パッド３００は第１の方向に沿って周期性をもって配列している。接続用電極パッド３２０はチップ領域１００に形成され、ダミー電極パッド３４０は少なくともスクライブ領域２００に形成されている。電極パッド３００の間隔はスクライブ領域２００の幅よりも狭い。電極パッド３００の配列と平行な方向における、チップ領域１００とスクライブ領域２００を合わせた幅は、電極パッド３００間隔の整数倍である。 （もっと読む）

【課題】パッケージにより生じる回路特性のバラツキを簡便にかつ正確に予測する。
【解決手段】設計されたレイアウトデータと、パッケージに起因してシリコンチップに加わる応力値の分布を示す応力マップデータと、シリコンチップに搭載される各素子について、応力値と素子の特性変動量の関係を示す検量線データとを用いる。レイアウトデータから素子の種類、位置、方向、大きさのうち１つ以上の情報を読み取る。その素子の位置での応力値を応力マップデータから読み取る。その応力値に対するその素子の特性変動量をその素子に対応する検量線データから読み取る。その特性変動量に基づいてその素子の特性を修正してネットリストの作成を行なう。 （もっと読む）

【課題】隣接した半導体素子領域（ＩＣ領域）を同時に検査しても、検査用のプローブが外部電極から食み出し難くい、半導体素子、半導体ウエハ、及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】外周に沿って配置された複数の外部電極２８を有する、矩形の半導体素子３８であって、前記外部電極の対向する二辺が、前記半導体素子の一の対角線３４に垂直な方向３６を向いている半導体素子。 （もっと読む）

本発明は、電力端子（２．１，２．２）と、該電力端子から電気的に絶縁されている、制御電圧（Ｕ２）を印加するための制御端子（２．０）とを有する半導体構成素子（２）、並びに、半導体構成素子の電気的な特性を測定するために制御端子に接触接続するための制御端子コンタクト面（３）を有する電気的な回路装置（１，１ａ，１ｂ，３１，５１，６１，７１）に関する。接続装置（６，３２）、特にアンチヒューズ又は回路ユニットが設けられている。接続装置を介して制御端子を直列ユニット（４；３４；７８，７４）と電気的に接続可能であり、接続装置を、制御端子が直列ユニットと電気的に接続されていない非導通状態から、制御端子が直列ユニットと電気的に接続されている導通状態に移行可能である。アンチヒューズを半導体構成素子に集積することができる。
（もっと読む）

【課題】装置に固有な所望の情報を、新たな製造工程を増やさず容易に記録することができる半導体装置を提供する。
【解決手段】第１面に複数の第１電極端子１１を備える第１装置１０と、第１面と向かい合う第２面に、複数の第２電極端子２１を備える第２装置２０と、複数の第１電極端子１１と複数の第２電極端子２１との間に配置され、情報を記録する記録部３０とを具備する。記録部３０は、複数の第１電極端子１１に含まれる第３電極端子１１ａと、複数の第２電極端子２１に含まれる第４電極端子２１ａとを電気的に接続する導通部３１と、複数の第１電極端子１１に含まれる第５電極端子１１ｂと、複数の第２電極端子２１に含まれる第６電極端子２１ｂとに接触し、第５電極端子１１ｂと第６電極端子２１ｂとの電気的な接続を阻害する高抵抗部３２とを備える。 （もっと読む）

【課題】効率的な動作試験ができる無線集積回路装置の製造方法、無線集積回路装置及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】無線集積回路装置の製造方法は、ウェハー上に複数の無線集積回路装置１００を形成し、複数の無線集積回路装置１００のうちの少なくとも１つの無線集積回路装置を送信モード無線集積回路装置１００ａに設定し、複数の無線集積回路装置１００のうちの送信モード無線集積回路装置１００ａを除く少なくとも１つの無線集積回路装置を受信モード無線集積回路装置１００ｂに設定する。送信モード無線集積回路装置１００ａの送信回路により動作試験用の送信データを送信し、受信モード無線集積回路装置１００ｂの受信回路により動作試験用の送信データを受信して動作試験を実行する。動作試験の完了後に複数の無線集積回路装置１００をダイシングする。 （もっと読む）

【課題】一部のデータ入出力端子のみを用いて内蔵された複数の半導体チップを並列にテストすることのできる半導体装置を提供する。
【解決手段】複数の第１データ入出力端子と接続され、第１のテスト回路と、第１の記憶部とを有し、テスト動作時には、第１の記憶部から出力されるデータに応じて第１のテスト回路で第１のテスト結果を生成する第１の半導体チップと、複数の第２データ入出力端子と接続され、第２及び第３のテスト回路と、第２の記憶部とを有し、テスト動作時には、第２の記憶部から出力されるデータに応じて第２のテスト回路で第２のテスト結果を生成し、第２のテスト結果と第１の半導体チップの第１のテスト回路から供給される第１のテスト結果とに応じて第３のテスト回路で第３のテスト結果を生成し、第３のテスト結果を所定の第２データ入出力端子に出力する第２の半導体チップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】中間配線層までの配線が行われているマスターウェーハを使用しても、最終製品の歩留りを高い精度で予測することができる半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】多層配線構造の中間配線層までを使用して機能動作を行うように設計された機能ブロック（ＳＲＡＭマクロ１１、ロジックブロック１２、ロジックブロック１３、ＩＰブロック１４）を搭載したマスターウェーハを使用するマスタースライス方式の半導体装置は、この中間配線層に試験用パッドＴＰを備え、この試験用パッドＴＰが、各機能ブロックに接続される。 （もっと読む）

【課題】回路規模の増大を抑制しつつ、素子破壊によってノード間の電気的接続を制御する電流制御素子を有する半導体装置の信頼性を高める。
【解決手段】本発明による半導体装置の製造方法は、半導体ウエハ１上に形成された素子特性抽出用パタン３０の素子特性を測定するステップと、測定された素子特性を、素子特性抽出用パタン３０に対応付けられた電流制御素子２０の素子特性として抽出するステップと、抽出された素子特性に基づいて、半導体ウエハ１上におけるノード間に形成された電流制御素子２０に供給するエネルギーを設定するステップと、設定されたエネルギーを電流制御素子に供給し、電流制御素子の素子破壊によってノード間の電気的接続を不可逆的に制御するステップとを具備する。 （もっと読む）

【課題】より多数のリソグラフィ用合わせマークおよびＰＣＭを設けることができ、かつＰＣＭによる情報の漏えいを防止することができる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】複数の第１半導体チップ領域ＣＲａに挟まれる第１スクライブ領域ＳＣａの一部には、第１領域ＲＡおよび第２領域ＲＢが平行に配置されている。第１領域ＲＡには、能動素子（トランジスタなど）および受動素子（抵抗、容量など）の少なくともいずれかの電気的評価を行うための第１モニター、寸法管理を行うための第２モニター、および、膜厚測定を行うための第３モニターから選択された少なくとも１つのモニターが配置されている。第２領域ＲＢにはリソグラフィ用合わせマークが配置されている。切断する工程において第１領域ＲＡが切り落とされる。 （もっと読む）