【課題】解析対象回路内に設けられた素子のそれぞれに対する基板ノイズの影響を解析することができるノイズ解析モデル及びノイズ解析方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかるノイズ解析モデル１００は、抵抗Ｒ_Ｓ１〜Ｒ_Ｓ４、抵抗Ｒ_ＧＢ１〜Ｒ_ＧＢ４及び接地抵抗Ｒ_ＧＮＤを有する。抵抗Ｒ_Ｓ１〜Ｒ_Ｓ４は、ノイズ発生源から半導体基板を介して基板ノイズが伝搬する接続点１と、バックゲート直下の半導体基板中の点ＢＧ１〜ＢＧ４の間にそれぞれ接続される。抵抗Ｒ_ＧＢ１〜Ｒ_ＧＢ４は、バックゲート直下の半導体基板中の点ＢＧ１〜ＢＧ４とガードバンド４との間に接続される。接地抵抗Ｒ_ＧＮＤは、ガードバンド４と接地電位との間に接続される。 （もっと読む）

【課題】パッドが設けられた面の向きを変えても、パッドを基板に接続するボンディングワイヤが交差しない半導体装置を提供する。
【解決手段】複数のパッドを含む第１のパッド群と、第１のパッド群に平行に一列に配置された複数のパッドを含む第２のパッド群と、第１のパッド群を基準にして第２のパッド群とは反対側に設けられた複数のバッファ回路を含む第１のバッファ回路群と、第２のパッド群を基準にして第１のパッド群とは反対側に設けられた複数のバッファ回路を含む第２のバッファ回路群と、第１のパッド群の複数のパッドのそれぞれを第２のバッファ回路群の複数のバッファ回路のそれぞれに対応して接続する複数の第１の配線と、第２のパッド群の複数のパッドのそれぞれを第１のバッファ回路群の複数のバッファ回路のそれぞれに対応して接続する複数の第２の配線と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ダイシングの際にクラック発生を抑制できる半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基板の上に形成された複数の配線層と、前記複数の配線層の間に配置されたビア層と、前記複数の配線層に形成された導電膜と、前記ビア層の上下の前記配線層の前記導電膜と接続するビアプラグＶ５とを有し、スクライブ領域３１は、チップ領域の外周であって前記半導体基板の縁に接して位置し、前記スクライブ領域３１は前記縁に接するパッド領域３３を有し、前記パッド領域３３は、前記複数の配線層の各々に、平面視において相互に重なって配置され、前記複数の配線層は、第１の配線層と第２の配線層を有し、前記第１の配線層の前記導電膜は、前記パッド領域３３の全面に形成された第１の導電パターン５５を有し、前記第２の配線層の前記導電膜は、前記パッド領域の一部に形成された第２の導電パターン５０を有する。 （もっと読む）

【課題】積重ねダイ式の集積回路で使用するのに適した基板導通技術を提供すること。
【解決手段】集積回路が、積み重ねて配置された複数の集積回路のダイを備え、積重ねの頂部のダイを除く任意のダイが、それ自身および追加のダイ少なくとも１つのための電流を基板導通により担持する。１つの形態では、積重ねの底部のダイを除く各ダイが、下側のダイのバスまたはその他の電源導体を介して基板導通によりその電源電流を担持する。 （もっと読む）

【課題】共通放電経路との間の異種電源間ＥＳＤ保護回路をそれぞれの電源のパッドの近くに配置することのできる半導体集積装置を提供する。
【解決手段】実施形態の半導体集積装置１は、パッドＰと、自己電源用ＥＳＤ保護回路ＥＳＤ１とを有し、ＶＤＤｃ系統の電源供給に使用の電源用Ｉ／ＯセルＩＯＣ１と、パッドＰと、自己電源用ＥＳＤ保護回路ＥＳＤ１と、異種電源間ＥＳＤ保護回路ＥＳＤ２とを有し、ＶＤＤａ、ＶＤＤｂ系統の電源供給に使用の電源用Ｉ／ＯセルＩＯＣ２とを備える。信号入出力用Ｉ／ＯセルＩＯＣ１００と同一外形寸法の電源用Ｉ／ＯセルＩＯＣ１およびＩＯＣ２が、列状に配置されたＩＯＣ１００と同列に配置され、電源用Ｉ／ＯセルＩＯＣ２の異種電源間ＥＳＤ保護回路ＥＳＤ２へ接続される共通放電経路ＣＤＬが、電源用Ｉ／ＯセルＩＯＣ１から、列状に配置されたＩＯＣ１００を貫通して、電源用Ｉ／ＯセルＩＯＣ２へ配線される。 （もっと読む）

【課題】再配線層形成工程、メタルポスト形成工程及び樹脂封止工程を経てウェハレベルで樹脂封止される半導体装置について、パッケージング工程で発生する応力を利用してＰＭＯＳＦＥＴの電流駆動能力を制御する。
【解決手段】メタルポスト２１の形成に起因して半導体基板に圧縮応力が生じる範囲内にＰＭＯＳＦＥＴ３１が配置されている。ＰＭＯＳＦＥＴ３１はそのチャネル方向がメタルポスト２３の配置範囲の重心Ｏ及びＰＭＯＳＦＥＴ３１のチャネル領域の配置範囲の重心Ｇを通る直線と直交する向きに配置されている。重心Ｇで、メタルポスト２１の形成に起因して半導体基板に生じる圧縮応力は、重心Ｇの位置で、重心Ｇと中心Ｏを通る直線に直交する方向に印加される。重心Ｇでの圧縮応力の方向とＰＭＯＳＦＥＴ３１のチャネル方向は一致するので、ＰＭＯＳＦＥＴ３１の電流駆動能力は、当該圧縮応力が印加されない場合に比べて向上する。 （もっと読む）

【課題】隣接する２つのトランジスタ同士が接続された構成を有し、省スペースと電流集中による信頼性の低下の抑制とを両立させた半導体装置を実現できるようにする。
【解決手段】半導体装置は、第１のトランジスタ１０１と接続された第１のバス１１１、第２のトランジスタ１０２と接続された第２のバス１１２と、第１のバス１１１と第２のバス１１２との間に形成され、第１のバス１１１と第２のバス１１２とを接続するバス間配線１２１とを備えている。バス間配線１２１は、第１のバス１１１における第２のバス１１２と対向する辺の一部及び第２のバス１１２における第１のバス１１１と対向する辺の一部と接続されている。第１のコンタクトパッド１３１は、第１のバス１１１の一部と接続され、第２のコンタクトパッド１３２は、第２のバス１１２の一部と接続されている。 （もっと読む）

【課題】内側のセル列と外側のセル列とでセルの形状が同じ場合において、内側のセル列におけるセルの配列ピッチを外側のセル列におけるセルの配列ピッチより大きくしなくても外側のセル列のセルに接続される配線のための領域を確保することができる。
【解決手段】半導体集積回路は、半導体チップの外周１１に沿って配置される複数の第１セル４０と、複数の第１セル４０の内側で外周１１に沿って配置される複数の第２セル４０とを具備する。複数の第１セル４０及び複数の第２セル４０は同一の長方形形状に形成される。複数の第１セル４０のそれぞれの長辺４ａは外周１１に平行である。複数の第２セル４０のそれぞれの長辺４ａは外周１１に垂直である。 （もっと読む）

【課題】貫通電極を有する積層構造の半導体装置、半導体メモリ装置、半導体メモリ・システム及びその動作方法を提供する。
【解決手段】複数の半導体レイヤ間で伝送される情報の衝突を防止する構造を有する半導体装置であり、該半導体装置は、第１温度情報を出力する第１温度センサ回路を含む少なくとも１つの第１半導体チップと、貫通電極に電気的に連結されずに、第１温度センサ回路に電気的に連結される第１バンプと、第１半導体チップの貫通電極に電気的に連結される第２バンプと、を具備する半導体装置であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の特性を向上させる。
【解決手段】本発明の半導体装置は、半導体基板の上方に形成された半導体素子と、半導体素子の上方に形成された第１絶縁膜と、第１絶縁膜上に形成されたアルミニウム（Ａｌ）を含有する第１導電性膜よりなるヒューズ素子Ｆと、を有する。さらに、第１絶縁膜上に形成され、第１導電性膜よりなる第１配線と、第１配線上に形成された第２絶縁膜と、を有し、ヒューズ素子Ｆのプログラム領域は、第２絶縁膜に設けられた開口部ＯＡ１から露出している。また、ヒューズ素子Ｆのプログラム期間およびヒューズ素子にプログラムされたデータの読み出し期間以外の期間において、ヒューズ素子Ｆの両端を接地電位に維持する。例えば、ヒューズ素子Ｆの一端は、接地電位に接続され、他端は、スイッチング素子を介して接地電位に接続されている。 （もっと読む）

【課題】積層チップシステムにおいて、各チップのＩＯ回路の大きさを、そのドライブ能力やＥＳＤ耐性能力を維持した上で、従来のサイズから縮小し、積層システムでは積層数に応じてＩＯ数を変化させることができる半導体装置を提供する。
【解決手段】積層チップシステムにおいて、各チップは、各ＩＯ用の貫通ビア接続用パッド２０１に接続するＩＯ回路２０２、スイッチ回路２０６にてＩＯチャネル２０７を構成し、このＩＯチャネル２０７を最大積層予定数のＩＯチャネル分まとめて接続してＩＯグループを構成し、このＩＯグループを１個以上持つ。各ＩＯ用の貫通ビア接続用パッド２０１は、貫通ビアにて別層のチップの同一位置のＩＯ端子と接続される。インターポーザにおいては、実際の積層数が最大積層予定数に満たない場合はインターポーザ上で隣接するＩＯグループ内のＩＯ用の接続用パッドが導体で接続されている。 （もっと読む）

【課題】半導体素子を作製する方法を提供する。
【解決手段】主に半導体ダイの周辺領域中に位置する信号パッドと、主に前記信号パッドから半導体ダイの内部領域中に位置する電力パッドおよび接地パッドとを伴う、ダイパッドレイアウトを有する半導体ダイを提供するステップと、前記信号パッド、電力パッド、および接地パッド上に複数のバンプを形成するステップと、基板を提供するステップと、前記基板上に相互接続部位を伴う複数の伝導性トレースを形成するステップであって、前記バンプは、相互接続部位よりも幅広い、ステップと、前記バンプが前記相互接続部位の頂面および側面を覆うように、前記バンプを前記相互接続部位に接着するステップと、前記半導体ダイと基板との間で前記バンプの周囲に封入材を堆積させるステップとを含む、半導体素子を作製する方法。 （もっと読む）

【課題】外部駆動端子の狭ピッチ化に充分答えることができる半導体装置を提供する。
【解決手段】長方形の半導体基板の一方の長辺に沿ってそれぞれ配置された、複数の外部駆動端子（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）、対応する前記外部駆動端子に接続されたＥＳＤ保護回路（４Ａ，４Ｂ，４Ｃ）、及び対応する外部駆動端子に接続された出力回路（５）を備え、複数個の外部駆動端子は、Ｙ方向に沿って複数列であるｎ列で配置され、各列の間で外部駆動端子の位置が相互にずらされた千鳥状配置を有し、前記出力回路は、Ｙ方向に交差するＸ方向にｎ個の外部駆動端子毎に対応して一列に配置されるｎ個の出力ユニット（５Ａ，５Ｂ，５Ｃ）を有する。ｎ列の千鳥状配置によって外部駆動端子を狭ピッチにできる。ｎ個の外部駆動端子毎に対応される出力回路にはＸ方向に一列で配置されたｎ個の出力ユニットを配置することにより、ｎ個分の出力ユニットの幅を１個分の幅に集約できる。 （もっと読む）

【課題】並列駆動構成のＩ／Ｏバッファから出力される信号を安定化し、信頼性を向上する。
【解決手段】Ｉ／Ｏセル２は、１つの出力信号を正転信号と反転信号からなる相補信号として出力する相補型Ｉ／Ｏセルからなり、２つのＩ／Ｏセル２が並列接続された構成からなる。２つのＩ／Ｏセル２の出力部となるインバータ６の出力部は、配線１７によってそれぞれ接続されており、２つのＩ／Ｏセル２の出力部となるインバータ７の出力部は、配線１８によってそれぞれ接続されている。配線１７は、Ｉ／Ｏセル２の下辺側に２つのＩ／Ｏセル２を横断するように形成され。配線１８は、該配線１７の上方に形成されており、２つのＩ／Ｏセル２を横断するように形成されている。また、配線１７の配線長と配線１８の配線長は、略同等となるようにレイアウトされている。 （もっと読む）

【課題】様々なオン抵抗の素子を容易に製造することができる半導体装置、半導体集合部材及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】実施形態に係る半導体装置は、素子部と、第１の電極部と、第２の電極部と、延出部と、を備える。素子部は、基板に設けられる。第１の電極部は、素子部の上に設けられ、素子部と導通する。第２の電極部は、素子部の上において第１の電極部と離間して設けられ、素子部と導通する。延出部は、素子部の上に設けられ、第１の電極部及び第２の電極部の周縁部から基板の周縁部に向けて延出して設けられる。 （もっと読む）

【課題】シミュレーションを実行することなく、最適な配線幅の取得を行えるようにすることにより、シミュレーションの複数回実行による処理時間増大を防ぐ。
【解決手段】レイアウト設計装置は、フリップチップ構造の半導体集積回路のＲＤＬ（パッド−Ｉ／Ｏ端子間）配線処理において、Ｉ／Ｏセルの所要電流量と配線長に適した配線幅を取得するためのテーブルをライブラリ化して保持する手段と、パッドとＩ／Ｏセルの位置関係から配線に必要な距離を算出する手段と、パッドとＩ／Ｏセル端子間の配線に必要な距離とＩ／Ｏセルの所要電流量と前記テーブルから適切な配線幅を取得する手段とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】入出力端子と半導体スイッチとの間を接続する配線同士が交差する箇所が発生しても、端子間のアイソレーション特性を向上させつつ、サイズ及びコストを抑制可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体スイッチ回路（２０）は、複数の入力端子（３１，３２）のうち任意の入力端子を配線層（５１）又は再配線層（２５１）を介して複数の出力端子（４１〜４４）のうち任意の出力端子と接続させるように構成される。複数の入力端子及び複数の出力端子のうち、ある端子と半導体スイッチ回路との間を接続する配線と、他の端子と半導体スイッチ回路との間を接続する配線とが交差している箇所において、交差する配線のうち、一方の配線を配線層とし、他方の配線を再配線層とする。 （もっと読む）

【課題】電力バス相互接続構造の工程数を低減して製造できる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】第１のパッシベーション・スタック１４９を、導電性ランナ１３２、１３４および誘電体層１６２の上に形成する。開口を、通常のリソグラフィ技術および誘電エッチング技術によって、第１のパッシベーション・スタックを貫通して画定し形成する。露出された表面上に導電性バリア層１６６を形成する。アルミニウム層をブランケット堆積して、開口を充填する。パターニング、エッチング工程によって、開口内に、アルミニウム・パッド１７０を形成する。開口内に、ランナ１３４と導電性接触する導電性バイア１７２を形成する。アルミニウム・パッドを形成するために用いられるのと同じパターニング、エッチング工程において、アルミニウム層内に電力バス１７４も形成する。 （もっと読む）

【課題】チップサイズを縮小し、再配線層の配線を容易にすることが可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】略矩形のＬＳＩ基板１の上面に、パッド電極４ａ１、４ａ２、４ｃ１を被覆する絶縁膜３ａ、３ｂが設けられ、前記絶縁膜３ｂ上に、前記パッド電極４ａ１、４ａ２、４ｃ１の何れかに接続された第１のコンタクト配線７ａ１、７ａ２、７ｃ、および前記第１のコンタクト配線７ａ１、７ａ２に接続された再配線８ｂ１、８ｂ２が設けられ、第１の再配線エリア３上に設けられたボール電極２ｂ、２ｃと、第１のパッド電極４ｃ１が上面の端部に設けられたＬＳＩコア１ａ３と、前記第１のパッド電極４ｃ１に接続された第２のコンタクト配線９ｂ１に接続された配線層６ｂ１と前記パッド電極４ａ１、４ａ２のうちの第２のパッド電極４ａ１とに接続された第３のコンタクト電極９ｂ２が形成され、前記ＬＳＩコア１ａ３に隣接した第２の再配線エリア１ａ２、とを有する。 （もっと読む）

【課題】電源配線と接地配線とを有する半導体装置において、配線の一部における電圧ドロップや、電圧ドロップに伴うマイグレーションの発生を抑制することが可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】主表面を有する半導体基板ＳＵＢと、主表面に沿うように層状に広がる電源シート状配線ＰＰＷＲと、主表面に沿うように、主表面に交差する方向に関して電源シート状配線と一定の距離を隔てて層状に広がる接地シート状配線ＰＧＮＤと、上記主表面上に形成され、主表面内の一の方向に延在する電源配線ＰＷＲと、主表面上に形成され、一の方向に沿う方向に延在し、電源配線ＰＰＷＲと一定の距離を隔てて形成された接地配線ＧＮＤとを備える。上記電源シート状配線ＰＰＷＲは、電源配線ＰＷＲと電気的に接続されており、接地シート状配線ＰＧＮＤは、接地配線ＧＮＤと電気的に接続されている。 （もっと読む）