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Fターム[5F083AD11]の内容

半導体メモリ (164,393) | DRAM (5,853) | キャパシタ (3,513)

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【課題】 CVD法に適する液体イリジウム化合物、これを用いたCVD用原料、及び該CVD用原料を用いたイリジウム薄膜の製造方法を提供すること。
【解決手段】 トリス(オクタン−2,4−ジオナト)イリジウム。 (もっと読む)


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