Fターム[5F083AD11]の内容
Fターム[5F083AD11]の下位に属するFターム
PN接合容量型(Hi−Cを含む) (4)
プレーナ型 (103)
トレンチ型 (221)
スタック型 (2,622)
プレート電極 (218)
キャパシタ誘電体膜の多層化 (161)
粗面化 (103)
Fターム[5F083AD11]に分類される特許
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トリス(オクタン−2,4−ジオナト)イリジウム、これを含有してなる化学気相成長用原料及び薄膜の製造方法
【課題】 CVD法に適する液体イリジウム化合物、これを用いたCVD用原料、及び該CVD用原料を用いたイリジウム薄膜の製造方法を提供すること。
【解決手段】 トリス(オクタン−2,4−ジオナト)イリジウム。
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