【課題】 可変抵抗素子への電圧印加極性が異なる２種類の書き込み動作後の各ベリファイ動作を夫々低消費電力且つ高速に実行可能な半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】 書き込み回路２２が、メモリセルの一端側から可変抵抗素子を経由して他端側へ電流を流すことで可変抵抗素子の電気抵抗を低抵抗化させるセット動作と、メモリセルの他端側から可変抵抗素子を経由して一端側へ電流を流すことで可変抵抗素子の電気抵抗を高抵抗化させるリセット動作を夫々実行可能に構成され、読み出し回路２１が、メモリセルの一端側から可変抵抗素子を経由して他端側へ電流を流すことで可変抵抗素子の抵抗状態を読み出す第１読み出し動作と、メモリセルの他端側から可変抵抗素子を経由して一端側へ電流を流すことで可変抵抗素子の抵抗状態を読み出す第２読み出し動作を夫々実行可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】比較的小振幅な信号が伝送される第１の信号線対で発生するカップリングノイズを低減しつつ、該第１の信号線対と直交する方向に異なる配線層で配置される、第１の信号線対よりも振幅が大きい信号が伝送される第２の信号線毎の信号遅延量の差異を低減できる半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】半導体記憶装置は、メモリアレイ上で配線される第１の振幅信号が伝送される複数の第１の信号線対と、該第１の信号線対と直交する方向に異なる配線層で配置される複数の第２の信号線とを有する。第１の信号線対は、メモリマットの列毎に配置され、メモリマットの列方向において、それぞれ所定の一定間隔で交差される。また、第１の信号線対の交差部位は第２の信号線の配線方向におけるメモリマットの列毎にずらして配置される。 （もっと読む）

【課題】アドレス信号の配線に起因する配線容量を低減させ、アクセス速度の高速化を実現する半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】半導体記憶装置は、複数のビット線と複数のワード線に対応して設けられた複数のメモリセルと、複数のメモリセルのいずれかを特定するためのアドレス信号を中継する中継バッファと、複数のワード線のうち、中継バッファにて中継されたアドレス信号に応じたワード線を選択するトランジスタを複数有するワード線ドライバ回路と、を備え、トランジスタでは、２つの拡散層のうち一方の拡散層が他のトランジスタの拡散層と共有し、拡散層を共有している２つのトランジスタで構成される複数の共有回路が、複数のトランジスタ群に分けられ、複数のトランジスタ群のうち隣り合う前記トランジスタ群の隙間部分に、隣り合うトランジスタ群のいずれかのゲート配線が設けられ、中継バッファはトランジスタ群のゲート配線と接続される。 （もっと読む）

【課題】フラッシュメモリの動作速度及び耐久性を向上させる技術の提供。
【解決手段】メモリが、行及び列を含むメモリセルのアレイを有している。該メモリは、アレイ内の単数又は複数のワード線上の第１の離隔位置のセットに第１のバイアス電圧を印加するとともに、単数又は複数のワード線上の第２の離隔位置のセットに第１のバイアス電圧とは異なる第２のバイアス電圧を印加する、ワード線に結合された回路部を有し、第１の離隔位置のセットにおける位置は、第２の離隔位置のセットの位置の間に介在しており、それにより、第１の離隔位置のセットにおける位置と第２の離隔位置のセットにおける位置との間に、単数又は複数のワード線の加熱をもたらす電流の流れが誘導される。 （もっと読む）

【課題】配線間のピッチを縮小可能にした半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基板に形成された複数のトランジスタと、第１の方向に延在する第１の配線を備えた第１の配線層と、第１の配線層よりも上層に設けられ、第１の方向と交差する第２の方向に延在し、第１の配線と電気的に接続された第２の配線を備えた第２の配線層と、半導体基板と第１の配線層との間に設けられ、複数のトランジスタに接続する第１の中継配線と、第１の中継配線が形成された第１の中継配線層と第１の配線層との間に設けられ、第１の配線と複数のトランジスタのうちの一つとを接続する第２の中継配線とを有する構成である。 （もっと読む）

【課題】ビット線構成が階層化されたメモリセルアレイにおいて、回路規模が小さくチップ面積の増加及びタイミングスキューを抑制可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】本発明の半導体装置は、ビット線構成がローカルビット線ＬＢＬとグローバルビット線ＧＢＬとに階層化され、ローカルビット線ＬＢＬとグローバルビット線ＧＢＬとの間の接続を制御する階層スイッチＳＷを備えている。階層スイッチＳＷの制御のため、ローカルスイッチ制御線ＬＳＬとメインスイッチ制御線ＭＳＬが配置される。ローカルスイッチ制御線ＬＳＬはローカルスイッチドライバＬＳＤにより駆動され、メインスイッチ制御線ＭＳＬはメインスイッチドライバＭＳＤにより選択的に活性化される。メモリセルアレイの規模が大きくなっても、ローカルスイッチドライバＬＳＤとメインスイッチドライバＭＳＤの配置によるレイアウト面積の増大及びタイミングスキューを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】書き込み可能回数が多く、信頼性の高い不揮発性半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】複数の第１の配線、複数の第１の配線に交差する複数の第２の配線、並びに複数の第１及び第２の配線の各交差部に配置された電気的書き換え可能な抵抗値をデータとして不揮発に記憶する可変抵抗素子を含む複数のメモリセル、を有するメモリセルアレイと、複数の第１の配線の少なくとも一端に接続され、第１の配線を選択する第１のデコーダと、複数の第２の配線の両端に接続されて第１のデコーダが選択した第１の配線と第２の配線の両端との距離に応じていずれか一方が第２の配線を選択する少なくとも一対の第２のデコーダと、第１のデコーダ及び第２のデコーダによって選択された第１の配線及び第２の配線間に所定の電圧を印加する電圧印加回路とを備える。 （もっと読む）

【課題】低電源電圧下においても、安定かつ高速に動作する半導体記憶装置を実現する。
【解決手段】メモリセル列ごとにアレイ電源線（ＡＲＶＤ）およびダウン電源線（ＤＷＶＤ）を配置する。ダウン電源線は、読出し時に接地に結合され、書込み時にフローティング状態とされる。書込み時、選択列のアレイ電源線への電源電圧の供給を停止するとともに該アレイ電源線を対応のダウン電源線に接続する。電源系統を複雑化することなく、低電源電圧下においても安定にデータの書込／読出を行うことのできる半導体記憶装置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】リーク電流が発生しにくく、低消費電力化に好適な半導体装置を提供する。
【解決手段】本発明の半導体装置は、半導体基板１２内に埋め込まれてＸ方向に並列して延在する複数のビット線ＢＬと、Ｘ方向と交差するＹ方向に延在するワード線と、ビット線ＢＬと前記第２配線との交点に設けられたメモリセルＭと、複数のビット線ＢＬのうち最外列のビット線ＢＬの外側に設けられ、Ｘ方向に延在してビット線ＢＬと並走するダミービット線ＤＢＬとを含み、ダミービット線ＤＢＬが、半導体基板１２に供給される電位と同じ電位が供給されるダミービット線（第１ダミー配線）ＤＢＬ＜０＞、ＤＢＬ＜１＞、ＤＢＬ＜２＞を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体素子を有する構造体を複数積層して形成される半導体装置において、上層の構造体を形成する工程で用いられるレーザーによって、下層の構造体に熱負荷が生じることを防ぐ技術を提供する。
【解決手段】積層された複数のメモリマトリクスにより構成される相変化メモリにおいて、下層のメモリマトリクスと、下層のメモリマトリクス上に形成された上層のメモリマトリクスとの間に金属膜１９を配置する。これにより、上層のメモリマトリクスを形成する際に用いられるレーザーを金属膜１９により反射させることで、レーザーが金属膜１９を透過することを防ぎ、下層のメモリマトリクス内の相変化材料層１６などが直接レーザーによって加熱されることを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】集積度の高い相変化メモリを実現する。
【解決手段】本発明による半導体装置は、複数のワード線と、複数のワード線と直交する複数のビット線との交点に配置された複数のメモリセル群を有する。複数のメモリセル群は、直列接続された第一乃至第二のメモリセルを有する。第一乃至第二のメモリセルの各々は、並列接続される選択トランジスタと抵抗性記憶素子とを有する。第一のメモリセルにおける選択トランジスタのゲート電極は、第一のゲート線に接続され、第二のメモリセルにおける選択トランジスタのゲート電極は、第二のゲート線に接続される。そして、複数のワード線を駆動する第一の回路ブロック（ワードドライバ群ＷＤＢＫ）は、第一乃至第二のゲート線を駆動する第二の回路ブロック（相変化型チェインセル制御回路ＰＣＣＣＴＬ）と、複数のメモリセル群（メモリセルアレーＭＡ）との間に配置される。 （もっと読む）

【課題】ライト動作などの制御に比較的長い時間を要する半導体装置を小型化する。
【解決手段】第１及び第２のメモリセルアレイに其々対応して設けられたビット線制御回路ＢＬＣ（１Ｕ，１）、ＢＬＣ（１Ｕ，２）と、ビット線制御回路ＢＬＣ（１Ｕ，１）、ＢＬＣ（１Ｕ，２）に共通に接続され、第１の制御信号ＸＣｏｎｔ（１Ｕ）を伝送する制御信号線と、ビット線制御回路ＢＬＣ（１Ｕ，１）、ＢＬＣ（１Ｕ，２）に其々接続され、第２及び第３の制御信号ＹＣｏｎｔ（１），ＹＣｏｎｔ（２）を其々伝送する制御信号線と、を備える。ビット線制御回路ＢＬＣ（１Ｕ，１）は、第１及び第２の制御信号が活性化された場合に第１のメモリセルアレイに対する動作制御を行い、ビット線制御回路ＢＬＣ（１Ｕ，２）は、第１及び第３の制御信号が活性化された場合に第２のメモリセルアレイに対する動作制御を行う。 （もっと読む）

【課題】実現が容易な構成により、メモリマットのスタンバイ電流を規格値以下に抑える。
【解決手段】それぞれ複数のメモリセルＭＣの第１のノードに共通に接続される複数のドレイン線ＤＬと、複数のメモリセルＭＣそれぞれの第２のノードに接続される複数のビット線ＢＬと、ソース線ＳＬと、複数のドレイン線ＤＬをソース線ＳＬに接続するトランジスタ１３と、メモリセルＭＣへのアクセスに対応してソース線ＳＬを接地電位ＶＳＳに接続するトランジスタ３１とを備え、複数のメモリセルＭＣがすべて非活性である制御時、ドレイン線ＤＬを接地電位ＶＳＳより高いドレイン電位ＶＤＲに制御し、かつ、トランジスタ１３，３１を非活性に制御することによって、ソース線ＳＬをフローティングに制御する。 （もっと読む）

【課題】多層配線の下地半導体基板への配線引き出し部のコンタクト抵抗均一化を図った半導体集積回路装置の提供。
【解決手段】半導体集積回路装置は、半導体基板と、前記半導体基板上に複数層積層形成された配線と、前記配線の引き出し領域に前記配線の延長部として形成されて、所定幅のスペースを介して対向するメタル片対により構成されるフックアップ部７３と、前記フックアップ部のメタル片対のスペースを貫通するように埋め込まれたコンタクト導体７２とを有し、前記配線の少なくとも２層の間で前記フックアップ部のメタル片対のスペース幅を異ならせた。 （もっと読む）

【課題】正確な読み出しを実行可能な不揮発性半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】不揮発性半導体記憶装置は、メモリトランジスタＭＴｒ１〜８が直列に接続された複数のメモリストリングＭＳと、メモリストリングＭＳの一端に一端を接続されたドレイン選択トランジスタＳＤＴｒと、複数のドレイン側選択トランジスタＳＤＴｒの他端に共通接続されたローカルビット線ＬＢＬと、ローカルビット線ＬＢＬに一端を接続されたスイッチ回路ＳＷと、複数のスイッチ回路ＳＷの他端に共通接続されたグローバルビット線ＧＢＬとを備える。メモリストリングＭＳは、柱状部を含むＵ字状半導体層と、柱状部の側面を取り囲むように形成された電荷蓄積層と、電荷蓄積層を取り囲むように形成されたワード線導電層とを備える。 （もっと読む）

【課題】積層構造を有するメモリセルアレイの平坦性を保持する。
【解決手段】半導体記憶装置は、縦方向に積層され、かつ第１の方向に延在する複数の第１の選択線をそれぞれが有する複数の第１の選択線群ＷＬと、第１の配線群ＷＬと交互に積層され、かつ第１の方向に交差する第２の方向に延在する複数の第２の選択線をそれぞれが有する複数の第２の選択線群ＢＬと、第１の選択線と第２の選択線との間に配置されたメモリセルＭＣとを具備する。複数の第１の選択線群ＷＬのうち偶数層と奇数層とは、第２の方向にずれて配置される。 （もっと読む）

【課題】ビット線が階層化された半導体装置においてセンス感度を向上させる。
【解決手段】グローバルビット線ＧＢＬ１，ＢＧＬ２の電位差を増幅するセンスアンプＳＡと、グローバルビット線ＧＢＬ１，ＢＧＬ２に接続された複数の階層スイッチＳＷと、階層スイッチＳＷを介してグローバルビット線ＧＢＬ１，ＧＢＬ２にそれぞれ接続される複数のローカルビット線を含むメモリマットＭＡＴ１，ＭＡＴ２と、階層スイッチＳＷを活性化させる制御回路と、を備える。制御回路は、グローバルビット線ＧＢＬ１，ＧＢＬ２に沿ったセンスアンプＳＡからの距離が互いに等しい階層スイッチＳＷを活性化させる。本発明によれば、どのローカルビット線が選択された場合であっても、寄生ＣＲ分布定数に差が生じないことから、センス感度の低下を防止することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ビット線が階層化された半導体装置において、端部に位置するメモリマットを他のメモリマットと同様に扱えるよう構成する。
【解決手段】グローバルビット線ＧＢＬ及びそれより短いダミーグローバルビット線ＤＧＢＬと、これらの電位差を増幅するセンスアンプＳＡと、階層スイッチＳＷを介してグローバルビット線ＧＢＬに接続されるローカルビット線ＬＢＬをそれぞれ含む複数のメモリブロックＭＢと、ダミー階層スイッチＤＳＷを介してダミーグローバルビット線ＤＧＢＬに接続されるＬＢＬと同じ長さのダミーローカルビット線ＤＬＢＬを含むダミーメモリブロックＤＭＢと、階層スイッチＳＷのいずれか及びダミー階層スイッチＤＳＷを活性化させる制御回路１００とを備える。これにより、端部に位置するメモリマットと他のメモリマットとを同じ記憶容量とすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】メモリ半導体装置、その製造方法及び動作方法を提供する。
【解決手段】メモリ半導体装置は、基板の上部面に垂直長軸を有し、２次元的に配列される複数の半導体パターン、及び複数の半導体パターンを横切る長軸を有しながら、複数の半導体パターン間で３次元的に配列される複数のワードラインを包含できる。 （もっと読む）

【課題】集積度の増加と共にプログラムディスターバンス問題を効果的に減らすことができる３次元メモリー装置、及びそのプログラム方法が提供される。
【解決手段】本発明の３次元メモリー装置は、複数のワードライン平面が積層されたメモリーセルアレイ、選択されたワードライン平面に具備された少なくとも２以上のページのメモリーセルを同時にプログラムする書込み読出し回路、そして前記書込み読出し回路のプログラム動作を制御する制御回路を含むことができる。 （もっと読む）