【課題】窒化ガリウム（ＧａＮ）系のＨＥＭＴを保護するダイオード構造を備えた半導体装置とその製造方法を提供する。
【解決手段】基板１０のうちＧａＮ層１３に２次元電子ガスが生成される領域が活性層領域４０とされ、基板１０のうち活性層領域４０を除いた領域にイオン注入が施されていることにより活性層領域４０とは電気的に分離された領域が素子分離領域５０とされている。そして、ダイオード６０は素子分離領域５０の層間絶縁膜２０の上に配置されている。このように、基板１０のうちＨＥＭＴが動作する活性層領域４０とは異なる素子分離領域５０を設けているので、１つの基板１０にＧａＮ−ＨＥＭＴとダイオード６０の両方を備えた構造とすることができる。 （もっと読む）

【課題】チップ面積を増大させずにスナップバック現象を抑制することのできる、ＩＧＢＴと他の半導体素子とが一体化して配置された半導体装置を提供する。
【解決手段】ＩＧＢＴとドリフト層を有する他の半導体素子とを備えた半導体装置であって、ＩＧＢＴのドリフト層と他の半導体素子のドリフト層とが互いに接しており、ＩＧＢＴのエミッタ層と他の半導体素子のドリフト電界を発生させる電圧が印加される一方の極性層とが互いに導電的に接続されており、ＩＧＢＴのコレクタ層と他の半導体素子の他方の極性層とが互いに導電的に接続されており、ＩＧＢＴのドリフト層の他の半導体素子のドリフト層との境界から離れた領域に絶縁層を介して対向する領域をドリフト方向に沿って延伸し、Ｎチャネル型ＩＧＢＴではコレクタ側からエミッタ側に向けて電流が流され、Ｐチャネル型ＩＧＢＴではエミッタ側からコレクタ側に向けて電流が流される配線部が設けられている。 （もっと読む）

【課題】小型でコストが低い半導体装置を提供する。
【解決手段】実施形態に係る半導体装置は、導電形がｐ形のソース領域と、導電形がｐ形のドレイン領域と、前記ソース領域と前記ドレイン領域との間に設けられ、導電形がｎ形のチャネル領域と、前記チャネル領域上に設けられた下側ゲート絶縁膜と、前記下側ゲート絶縁膜上に設けられた下側ゲート電極と、前記下側ゲート電極上に設けられた上側ゲート絶縁膜と、前記上側ゲート絶縁膜上に設けられた上側ゲート電極と、前記下側ゲート電極と前記ソース領域との間に接続されたスイッチング素子と、を備える。 （もっと読む）

【課題】装置面積を増大させることなく、保護素子を有する半導体装置を提供する。
【解決手段】Ｐ型のIII族窒化物半導体からなる第１Ｐ型層２００と、第１Ｐ型層２００の一部上には、ゲート絶縁膜４２０およびゲート電極４４０とが設けられている。第１Ｐ型層２００内のうち、ゲート電極４４０の両脇には、Ｎ型のソース領域３４０およびドレイン領域３２０が設けられている。また、第１Ｐ型層２００の下には、Ｎ型のIII族窒化物半導体からなる第１Ｎ型層１００が設けられている。基板内には、Ｎ型のIII族窒化物半導体とオーミック接続する材料からなるオーミック接続部（たとえばＮ型ＧａＮ層５２０）が、ソース領域３４０および第１Ｎ型層１００と接するように設けられている。また、ドレイン電極６００は、ドレイン領域３２０および第１Ｐ型層２００と接するように設けられている。 （もっと読む）

【課題】ＥＳＤ耐量を向上させたＬＤＭＯＳＦＥＴを備える半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体層２００よりも高濃度のＰ型の押込拡散領域４４０は、半導体層２００の表層から底面まで設けられている。押込拡散領域４４０よりも低濃度のＰ型の第１ウェル領域３００は、半導体層２００に、平面視で一部が押込拡散領域４４０と重なるように設けられている。Ｎ型のドレインオフセット領域５４０は、半導体層２００に、平面視で第１ウェル領域３００と接するように設けられている。ドレインオフセット領域５４０よりも高濃度のＮ＋型のドレイン領域５２０は、ドレインオフセット領域５４０内に設けられている。ドレインオフセット領域５４０よりも高濃度のＮ型の第２ウェル領域５６０は、半導体層２００のうち、ドレインオフセット領域５４０の下に位置して、平面視でドレイン領域５２０と重なる領域に設けられている。 （もっと読む）

【課題】ゲート電極の電界集中を緩和して耐圧の更なる向上を実現することに加え、デバイス動作速度を向上させ、アバランシェ耐量が大きく、サージに対して強く、例えばインバータ回路等に適用する場合に外部のダイオードを接続することを要せず、ホールが発生しても安定動作を得ることができる信頼性の高い高耐圧の化合物半導体装置を実現する。
【解決手段】化合物半導体積層構造２に形成された電極用リセス２Ｃを、ゲート絶縁膜６を介して電極材料で埋め込むようにゲート電極７を形成すると共に、化合物半導体積層構造２に形成されたフィールドプレート用リセス２Ｄをｐ型半導体で埋め込み、化合物半導体積層構造２とｐ型半導体層８ａで接触するフィールドプレート８を形成する。 （もっと読む）

【課題】パワー変換器に於けるシンクロナス整流器として適するＭＯＳＦＥＴスイッチを提供する。
【解決手段】互いに接続されソース及びボディが、ドレンよりはより正の側に高い電圧にバイアスされたＮ−チャネルパワーＭＯＳＦＥＴを製造する。ゲートはスイッチ（１１８４）により制御され、ゲートを、ソース及び当該ＭＯＳＦＥＴのチャネルを完全にオンにするのに十分な電圧（ＶＣＰ）のいずれか一方に選択的に接続する。ゲートがソースに接続されたとき、デバイスは、比較的低い電圧でオンし、従来のＰＮ接合よりは低い導通抵抗を有する「擬似ショットキー」ダイオードとして機能する。ゲートが、前記した正の電圧に接続されたとき、ＭＯＳＦＥＴのチャネルは完全にオンとなる。このＭＯＳＦＥＴスイッチは、電力損及び“break-before-make”時間に於ける蓄積電荷を低減する。 （もっと読む）

【課題】集積回路のコア部のロジックトランジスタ（ＭＯＳＦＥＴ、ＭＩＳＦＥＴ）は、世代が進むごとに動作電圧をスケーリングすることで微細化が可能である。しかし、高耐圧部のトランジスタ（ＭＯＳＦＥＴ、ＭＩＳＦＥＴ）は比較的高い電源電圧で動作するために縮小化が困難であり、同様に電源セル内の静電気放電（ＥＳＤ）保護回路は、静電気(外来サージ)から半導体集積回路内の素子を保護するために耐圧が高いことが必須であり、電荷を逃がすために大面積である必要がある。従って、集積回路の微細化のためには、微細化が可能なトランジスタ構造が必須である。
【解決手段】本願発明は、ソース側にのみハロー領域を有するソースドレイン非対称構造の一対のＭＩＳＦＥＴから構成されたＣＭＩＳインバータをＥＳＤ保護回路部に有する半導体集積回路装置である。 （もっと読む）

【課題】 工程の増加や占有面積の増加もなくオフリーク電流を小さく抑えた、十分なＥＳＤ保護機能を持たせたシャロートレンチ分離構造を有するＥＳＤ保護用のＮ型のＭＯＳトランジスタを有する半導体装置を提供する。
【解決手段】 素子分離にシャロートレンチ分離領域を有するＥＳＤ保護用のＮ型ＭＯＳトランジスタにおいて、前記ＥＳＤ保護用のＮ型ＭＯＳトランジスタのドレイン領域の一部分のみが前記ＥＳＤ保護用のＮ型ＭＯＳトランジスタのゲート絶縁膜を介して前記ＥＳＤ保護用のＮ型ＭＯＳトランジスタのゲート電極と重なり合う重畳部を形成する半導体装置とした。 （もっと読む）

【課題】 チップ面積を大きくし過ぎることなく、過電圧、過電力が加わっても破壊されない電界効果トランジスタを提供する。
【解決手段】 本発明の電界効果トランジスタは、
半導体層上に、ゲート電極１１０と、ドレイン電極１０９と、ソース電極１０８と、保護ダイオード（保護ダイオード電極）１１１とが配置され、
ドレイン電極１０９が、保護ダイオード１１１の周囲の一部もしくは全部を囲む状態で形成されているか、または、
ドレイン電極１０９は、複数であり、複数のドレイン電極１０９の少なくとも一対のドレイン電極間に、保護ダイオード１１１が配置されるように形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】アンテナ効果によるゲート酸化膜の破壊等を防止するとともに、半導体装置の動作の遅延を抑制すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る半導体装置は、前段出力トランジスタＡ１に金属配線Ａ２ａを介して接続された入力トランジスタゲート電極Ａ９を有する入力トランジスタＡ３と、入力トランジスタゲート電極Ａ９に抵抗素子Ａ４を介して接続されたダミートランジスタＡ５を備える。抵抗素子Ａ４は、入力トランジスタＡ３の後段に設けられ、金属配線Ａ２ａに接続されている。抵抗素子Ａ４とダミートランジスタＡ５は、金属配線Ａ２ｂを介して接続されている。 （もっと読む）

【課題】小型の静電破壊保護トランジスタを有する半導体装置を提供する。
【解決手段】第１導電型の半導体層１２に、ゲート絶縁膜１３を介して形成されたゲート電極１４と、ゲート電極１４のゲート幅方向Ｙに沿って形成された第２導電型の第１不純物拡散層１５と、ゲート幅方向Ｙに沿って第１不純物拡散層１５と対向配置された本体部１６ａと、本体部１６ｂからゲート電極１４と反対側に突出した複数の凸部１６ｂとを有し、ゲート電極１４のゲート長方向Ｘの幅Ｗｄ１が第１不純物拡散層１５のゲート長方向Ｘの幅Ｗｓ１より大きい第２導電型の第２不純物拡散層１６と、を備えた絶縁ゲート電界効果トランジスタ１７を具備する。 （もっと読む）

【課題】静電気放電保護装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明の実施例は、静電気放電（ESD）保護装置、及び、ESD保護装置を形成する方法に関する。一実施例は、ESD保護装置で、基板に配置されたｐウェルと、基板に配置されたｎウェルと、基板中のｐウェルとｎウェルの間に配置された高電圧ｎウェル（HVNW）と、ｐウェルに配置されたソースｎ＋領域と、ｎウェルに配置された複数のドレインｎ＋領域と、からなる。 （もっと読む）

本発明は、ＩＣチップをＥＳＤから保護するための保護回路に関する。集積回路チップのためのＥＳＤ保護回路は、分離されたＮＭＯＳトランジスタを備えていて、これは、バックゲートを基板から分離している分離領域と、バックゲート上に形成された第１および第２ドーピング領域およびゲートとを有している。ＥＳＤ保護回路は、分離領域を第１電気ノードに接続する第１端子と、第２ドーピング領域を第２電気ノードに接続する第２端子とを更に備え得る。第１電気ノードは、第２電気ノードより高い電圧レベルを有していてもよく、かつゲートおよびバックゲートは、第２端子に接続され得る。
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【課題】製造効率を向上すると共に、内部回路の保護を的確に行う。
【解決手段】サージ電圧が入力パッドＰＡＤに入力された際に、ゲート電極５０１が、Ｐウェル２０１にて絶縁層３０１を介して対面する部分２０１Ｂに、キャリアを誘起させるように構成する。これにより、ＥＳＤ保護素子１０１において、寄生バイポーラトランジスタの直流電流増幅率ｈ_ＦＥを上昇させ、スナップバック開始電圧Ｖｔ１を低下させる。 （もっと読む）

【課題】ＭＯＳトランジスタのＥＳＤ耐量を向上することが可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置１００は、ＭＯＳトランジスタ１と、多結晶シリコンからなる多結晶シリコンダイオードが複数直列に接続されて構成された第１のダイオード回路１１６と、第１のダイオード回路の複数の多結晶シリコンダイオードの逆方向降伏電圧の総和よりも低い逆方向降伏電圧を有し、単結晶シリコンからなる第１の単結晶シリコンダイオード１８と、多結晶シリコンからなる多結晶シリコンダイオードが複数直列に接続されて構成された第２のダイオード回路１１７と、第２のダイオード回路の複数直列に接続された多結晶シリコンダイオードの逆方向降伏電圧の総和よりも低い逆方向降伏電圧を有し、単結晶シリコンからなる第２の単結晶シリコンダイオード１９を備える。 （もっと読む）

【課題】保護素子のターンオン電圧を決める制約を少なくする。
【解決手段】半導体基板１、Ｐウェル２、ゲート電極４、ソース領域５、ドレイン領域６および抵抗性降伏領域８を有する。抵抗性降伏領域８はドレイン領域６に接し、ゲート電極４直下のウェル部分と所定の距離だけ離れたＮ型半導体領域からなる。ドレイン領域６または抵抗性降伏領域８に接合降伏が発生するドレインバイアスの印加時に抵抗性降伏領域８に電気的中性領域(８ｉ)が残るように、抵抗性降伏領域８の冶金学的接合形状と濃度プロファイルが決められている。 （もっと読む）

【課題】ＥＳＤ保護素子としてＭＩＳトランジスタを備えた半導体装置において、ＭＩＳトランジスタの面積の増大を招くことなく、ＭＩＳトランジスタ内の動作均一性を高める。
【解決手段】半導体基板１０に形成されたＭＩＳトランジスタを備えた半導体装置であって、ＭＩＳトランジスタは、半導体基板１０に形成されたドレイン拡散層１５と、半導体基板１０上にチャネル幅方向に沿って互いに間隔を空けて配置され、ドレイン拡散層１５をチャネル幅方向に沿って互いに分割する複数の分割体１４と、半導体基板１０上に分割体１４を覆うように形成され、ドレイン拡散層１５のチャネル幅方向に応力を生じさせる応力膜１７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】高耐圧を有する半導体装置において、製造工程を追加することなく、求められる機能を満たしたＥＳＤ保護素子を提供する。
【解決手段】高耐圧を有する半導体装置をノイズやサージから守るＥＳＤ保護素子において、ゲート電極３３の両端に形成されたドレイン側でないＬＯＣＯＳ酸化膜２１ｂの下に形成される拡散層１４ｂの導電型をＰ型にすることにより、ドレインの表面ブレークダウンにより生じる電流がソース側Ｎ型高濃度拡散層１５ａ下を流れる量を制限して、寄生ＮＰＮバイポーラ動作の保持電圧を高くすることが可能となり、工程追加無しに、内部素子に必要な拡散層や絶縁膜を用いてＥＳＤ保護素子を設定することが可能となる。定常状態においてはオフ状態にあるが、サージやノイズが半導体装置に印加された場合には、内部素子が破壊に至る前にＥＳＤ保護素子が動作して大電流を放出し、その後再びオフ状態に戻るという機能を満たす。 （もっと読む）

【課題】信頼性に優れた半導体装置を提供する。
【解決手段】入力電圧ライン１１と誘導性負荷Ｌとの間に接続される第１のスイッチング素子Ｍ１を有するハイサイドスイッチング素子と、誘導性負荷Ｌと基準電圧ラインとの間に並列接続される第２のスイッチング素子Ｍ２と第３のスイッチング素子Ｍ３とを有するローサイドスイッチング素子と、を備え、ローサイドスイッチング素子における誘導性負荷Ｌに接続される端子にサージが印加されたとき、サージ電流は第３のスイッチング素子Ｍ３を介して基準電圧ラインへと放電される。 （もっと読む）