【課題】本発明は、従来のコロナ放電静電気除去装置の放電電極に印加した電圧よりも、単純なAC高電圧またはDC高電圧を有する静電気除去装置を提供する。
【解決手段】方形波の信号と結合したパルスAC高電圧が印加され、空気容器を装置へ取り付け、微小なエアーノズルを通して正常圧力の空気を送ることによって、帯電体へイオンを移動させる。本発明のコロナ放電静電気除去装置は、コロナ放電を発生する放電電極、電圧印加される放電電極からのイオン発生を含むグランド電極、ACパルス高電圧を発生しかつ放電電極へそれを印加する高電圧ユニット、およびACパルス高電圧のデューティ比および周波数を制御するためのコントローラーを含む。高電圧の周波数範囲は1Hz〜10kHzで、デューティ比は40〜60％の範囲で制御される。これにより、帯電体への距離に関係なく効率的に帯電体の残留静電気を除去することができる。 （もっと読む）

【課題】 ウエハカセットなどのウエハ保持容器を経て搬送するウエハへの前記ウエハ保持容器でのパーティクルの付着をなくし、配線ショート等のパターン形成不良の発生を防止する。
【解決手段】 複数のウエハ処理工程間でウエハ４を保管するウエハ保管装置２０を、ウエハ４をウエハ表面４ａが上下方向に沿う向きに保持するウエハカセット１と、ウエハカセット１内に上下方向の気流を流す気流取り入れ口２３ａ，排気口２４ａなどからなる気流発生機構と、ウエハカセット１の上流部で前記気流に対してイオン化を行うイオン化機構２２とを備えた構造とする。これにより、ウエハカセット１内の雰囲気中のパーティクルや、複数枚保持されたウエハ４の内の他のウエハ４に付着していたパーティクルが、重力作用によってウエハ表面４ａに落下すること、および、ウエハ表面４ａへ静電吸着することを防止可能である。 （もっと読む）

【課題】小型かつ軽量であり、セル生産方式の作業台の支柱や天板にも取り付けられ、しかも、該作業台の支柱や天板などの離れた場所からでもイオン化空気が除電対象物に届く高性能な静電気除去装置を提供すること。
【解決手段】送風機ユニット１と、該送風機ユニット１の風上に隣接配置された放電電極ユニット２とを備え、該放電電極ユニット２の放電電極２ｄの先端２ｄ’を前記送風機ユニット１のファンブレード１ｃの空気取り入れ側のエッジ１ｃ’に近接させて配置する。 （もっと読む）

【課題】電気絶縁性フィルムの表面に形成するコーティング膜において、塗布ムラやハジキを抑制する。帯電模様や表裏に正負両極性の帯電が混在している電気絶縁性フィルムの表裏それぞれの帯電を除去した、実質的に無帯電の電気絶縁性フィルムの簡便な除電方法を提供する。
【解決手段】電気絶縁性フィルムの各面の電位を、被測定面の反対面を導体に接触させて測定した背面平衡電位の絶対値の最大値と最小値の差を３４０［Ｖ］以下とし、かつ、見かけ上実質ゼロ電位状態とする。このような好適な帯電状態を得るために、正帯電領域と負帯電領域とが混在している電気絶縁フィルムが配される空間を挟むように正負の極性が変化するイオンを発生させるイオン発生手段を対向配置し、電気絶縁フィルムの両面にそれぞれ極性が互いに異なるイオンを同時に照射することにより、電気絶縁フィルムの表裏それぞれの帯電を除去する。 （もっと読む）

【課題】
移動する電気絶縁性シート全面に対し、帯電の正負を平衡させ、表裏それぞれで正負がバランスした電気絶縁性シートを安定して製造しうる装置を提供する。
【解決手段】
２つのイオン生成用電極群を、シートを挟んで、その移動方向に配置し、各イオン生成用電極群がシートの移動方向と鉛直方向とのなす角度θが４５°以下になるよう傾斜をつけて構成したシートの除電装置を用いることにより、シートの移動方向のたわみが解消され、移動するシートと各イオン生成用電極群を等距離に維持できるため、シート表裏へのイオン付着ムラ、及びシート同一面の各位置へのイオン付着ムラが改善される。また、イオン生成用電極からの生成イオン量の経時変化によるシート各面へのイオン付着ムラを防止するため、イオン生成用電極群が全面目視確認、点検可能なよう回転運動による開閉機構を備え、シート全面、表裏で帯電の正負を平衡させる能力の維持、管理を容易にする。 （もっと読む）

【課題】 放電針のメンテナンスの頻度、放電針の摩耗や汚染を低減して長期に亘ってイオンバランスを維持しつつ除電時間を短縮する。
【解決手段】 極性の異なる複数のイオン発生用パルス電圧ＩＰを放電針４に交互に印加するイオン放出サイクルＳがインターバル期間ｔを置いて反復される。各イオン放出サイクルＳのイオン発生用パルス電圧ＩＰのパルス数は奇数であり、その先頭のイオン発生用パルス電圧ＩＰと最後のイオン発生用パルス電圧ＩＰの極性は同じである。換言すれば、一のインターバル期間ｔ(1)の直前のイオン発生用パルス電圧がプラスであれば、次のインターバル期間ｔ(2)の直前のイオン発生用パルス電圧はマイナスである。インターバル期間ｔの初期には、その直前のイオン発生用パルス電圧ＩＰの極性とは逆極性の針電圧中和用パルス電圧ＮＰが放電針４に印加され、放電針４に残留する電位が中和される。 （もっと読む）

【課題】 従来、イオン化システムの電極からのイオン生成を原因とする交流電流を正確に測定することは困難であった。
【解決手段】 イオナイザは、正の半サイクルと負の半サイクルとを有する波形を出力する出力を有する交流（ＡＣ）電圧源と、このＡＣ電圧源の出力に電気的に結合されている電極と、この電極に近接した基準と、検出回路とを含む。検出回路は、ＡＣ電圧源の出力と基準とに電気的に結合されている戻り電流ゼロ化ノードと、別個に接地に電気的に結合されている接地ノードと、正イオン電流センサと、負イオン電流センサとを含む。正イオン電流検出ノードは、検出された正イオン電流に比例した正イオン信号を出力するように構成されている。負イオン電流検出ノードは、検出された負イオン電流に比例した負イオン信号を出力するように構成されている。 （もっと読む）

本発明は、圧縮ガスの圧力を減少する超音速羽口（１４）の寸法を規定する本体を有する少なくとも１つのノズルと、羽口のネック（４０）の近辺に位置するコロナ先端部（３６）と、コロナ先端部に接続された電源回路（３２）とを備える静電除去装置に関連する。コロナの先端部はクロム鋼で作られた外科用の針からなる。針先（３８）の直径は、３０μｍ未満である。静電除去装置は、ポリマーの処理効率を向上するために使用される。 （もっと読む）

陽イオンと陰イオンを生成するための方法と装置は、間隙によって離隔した電極を含み、これらの電極には、生成されたイオンを電極間の間隙の中に移動させて、前記間隙の実質的に中央領域の中にイオンを蓄積する推移中の残留時間を示す周波数で、交流イオン化電圧が供給される。静電界、又は前記間隙を通過する流れる空気流又はその他の気体流が、生成されたイオンを前記間隙の中から搬送する。生成された陽イオンと陰イオンの自己平衡は、前記間隙の周りに配置された電極の少なくとも１つへのイオン化電圧の容量結合を使用して達成される。
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【課題】 コロナ放電による静電誘導電圧によって被除電物が帯電するのを防止する。放電針のクリーニングの手間をなくす。
【解決手段】 バー形状で絶縁性の支持体の長さ方向に沿って複数の放電針が取り付けられ、前記放電針とアース電極との間に交流電圧を印加してコロナ放電により正負イオンを発生させ、前記正負イオンを高圧エアにより被除電物に噴射して被除電物を除電するようにしたＡＣ電源方式イオナイザーに関する。前記放電針１７、支持体１８及びアース電極（対向アース板１９）を包囲する絶縁性の筐体２０と、この筐体２０を包囲するように取り付けられ、かつアースされた金属製のシールド板１１と、を備え、前記放電針１７を前記筐体２０の内部に配置すると共に、コロナ放電により発生した正負イオンを前記筐体２０に形成された微小径のイオン噴射口１２から噴射させる。 （もっと読む）