【課題】半導体発光素子の窓層として、金属酸化物の透明導電膜からなる電流分散層を形成し、且つ同時に粗面化することが可能な真空蒸着装置、この真空蒸着装置に利用するフィルタ、それらを用いて作製した半導体発光素子を提供すること。
【解決手段】真空蒸着装置の構成として、真空容器１５内に、金属酸化物の蒸発源１４と、この蒸発源上方に該蒸発源に対し被着面を傾斜させて臨ませた被着基板１１とを置き、前記蒸発源１４と被着基板１１との間に、機械的に構成された多数の微小径の空孔を有するフィルタ１２を設け、これに蒸気流を通過させることによって被着基板１１の被着面に粗面化された金属酸化物から成る透明導電膜が形成されるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 透明電極として優れた性質を有するＺｎＯ膜をイオンプレーティングで成膜する技術を提供する。
【解決手段】 イオンプレーティングのソース材料として用いるのに適したＺｎＯ焼結体は、平均酸化度の異なる第１のＺｎＯ領域と第２のＺｎＯ領域とを含み、前記第１のＺｎＯ領域と前記第２のＺｎＯ領域とは平均粒径が異なる。前記第１のＺｎＯ領域は前記第２のＺｎＯ領域より酸化度の高い領域であり、前記第２のＺｎＯ領域は前記第１のＺｎＯ領域と異なる色の、青みを帯びた領域であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】
可視光透過率及び導電性に優れ、安価な透明導電膜を提供する。
【解決手段】
メタタングステン酸アンモニウム水溶液と、塩化ルビジウム（ＲｂＣｌ）の水溶液とを、ＷとＲｂの原子比がＲｂ/Ｗ＝０．３３となるように混合し、さらに界面活性剤を添加して成膜用溶液を得、当該成膜用溶液を透明石英基板へ塗布した後、熱処理して当該基板上に透明導電膜を得た。 （もっと読む）

【課題】多結晶ＩＴＯ薄膜の製造方法を提供する。
【解決手段】まず、基板上に非晶質ＩＴＯ薄膜を形成する。次に、非晶質ＩＴＯ薄膜を多結晶ＩＴＯ薄膜に変換するため、急速熱アニーリングプロセスを実施する。多結晶ＩＴＯ電極の製造方法をさらに提供する。まず、ＴＦＴアレイ基板上に非晶質ＩＴＯ薄膜を形成する。次に、複数の非晶質ＩＴＯ電極を形成するため、非晶質ＩＴＯ薄膜をパターン形成する。非晶質ＩＴＯ電極を複数の多結晶ＩＴＯ電極に変換するため、急速熱アニーリングプロセスを実施する。平坦性の向上した多結晶ＩＴＯ薄膜が形成される。処理時間が短縮され、プロセス処理能力が改善される。 （もっと読む）