【課題】２自由度制御構成のサーボ制御器において、用いる位置検出器の分解能が低くてもフィードフォワード制御器からフィードバック制御器へ与える操作量に生ずるリップルを確実に低減でき、高い追従性による高精度制御を可能にするサーボ制御器を得ること。
【解決手段】指令生成器１０は入力される位置指令Ａをコントローラ２の分解能から位置検出器５の分解能よりも高い分解能の内部位置指令１５０へ変換する。フィードフォワード制御器１１ａは、内部位置指令１５０を元に微分器１１０、フィルタ１１１を用いて速度フィードフォワード成分１５２を生成し、それを元に微分器１１２、フィルタ１１３を用いてトルクフィードフォワード成分１５４を生成する。内部位置指令１５０の分解能は位置検出器５の分解能よりも高いので、フィードフォワード成分１５２，１５４に生ずるリップルは位置検出器５の分解能を有する内部位置指令を用いる場合よりも低減される。 （もっと読む）

【課題】並列スライダ装置において、二つのスライダが相互に干渉することなくスムーズな動きをもって移動することを実現すること。
【解決手段】
前側リニアサーボモータ７２のための前側サーボコントローラ１１０と後側リニアサーボモータ８０のための後側サーボコントローラ１３０とに互いに同一の位置指令を与える一方で、前側リニアサーボモータ７２は比例要素と少なくとも積分要素と微分要素の何れか一方を含むＰＩ制御あるいはＰＤ制御あるいはＰＩＤ制御を行い、後側サーボコントローラ１３０は比例要素のみを含むＰ制御を行い、前側サーボコントローラ１１０と後側サーボコントローラ１３０とで制御ゲインを互いに相違させる。 （もっと読む）

【課題】位置制御の精度向上を実現すること。
【解決手段】モータの回転運動を直線運動に変換するねじ送り部と、ねじ送り部によって直線移動させられる被駆動部と、ねじ送り部及び被駆動部が支持される支持体とを備える数値制御機器に適用され、被駆動部の位置を位置指令に一致させるようにモータを制御するサーボ制御装置であって、支持体の振動反力による被駆動部の振動を補償する支持体反力補償部３１１を備え、支持体反力補償部３１１が備える伝達関数には、被駆動部の剛性項が含まれているサーボ制御装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】動作範囲が異なるジョイスティックとモバイルロボットとの間で力覚フィードバックを得ながらの操作を可能とする。
【解決手段】動作範囲が異なるジョイスティック１０とモバイルロボット１１とを用い、ジョイスティック１０によりモバイルロボット１１を操作する。モバイルロボット１１の移動中に、当該モバイルロボット１１が受ける時系列な力の触覚情報を取得し、取得した前記触覚情報を時間領域で解析処理し、解析処理結果からの接触情報をジョイスティック１０にフィードバックするから、力覚フィードバックを得ながら操作を行うことができ、動作範囲の異なるジョイスティック１０とモバイルロボット１１との間で、直感的な操作が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 精密ないし微小な部品でも安定して位置決めしながら組立等の作業を行うことを可能にする精密位置決め装置を提供する。
【解決手段】 磁界に置かれたコイルを弾性案内部材により所定の方向に変位可能に支持し、該コイルに電流を流すことによってコイルを含むアクチュエータを駆動し、アクチュエータの変位により部品の位置決めを行うボイスコイルモータ５と、アクチュエータの変位を検出する変位センサ１８と、変位センサで検出された変位から速度及び加速度を算出し、アクチュエータの位置、速度及び加速度と任意に設定した外力とからアクチュエータの駆動力を演算してそれに応じたコイル供給電流を出力するコントローラ６とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ブリッジ部材の等速運動時のヨーイング角を抑制する姿勢フィードバック制御手段を利用して、機械的共振に起因する振動を抑制する。
【解決手段】 平行に配置されたマスタ軸リニアモータ１０及びスレーブ軸リニアモータ２０と、リニアモータの軸方向にスライドして位置制御されるマスタスライダ１１及びスレーブスライダ２１と、スライダ間を結合し軸方向と同一方向に移動制御されるブリッジ部材３０と、ブリッジ部材３０の高さ方向の軸に対する回転角を検出してこれを抑制する姿勢フィードバック制御手段とを有するステージにおいて、ブリッジ部材３０上のマスタスライダ１１及びスレーブスライダ２１との結合部近傍に取り付けられた一対の加速度センサ１０２と、姿勢フィードバック制御手段のフィードバックループ内に設けられ、一対の加速度センサの検出値の差分値に基づく角加速度信号を入力して演算する角加速度フィードバック手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】剛性が低い機械負荷の場合でも、機械負荷に外乱が加わる場合でも、機械負荷を所望に動作させるようにモータを正確に制御する機械制御装置を提供する。
【解決手段】機械制御装置は、外部から入力される指令信号に基づいて、機械負荷の想定した動作を負荷動作信号と同じ次元で表す第１の負荷動作参照信号を出力する負荷動作参照信号生成部と、負荷動作信号が第１の負荷動作参照信号に追従するように機械負荷の低剛性を考慮した演算によりモータ動作参照信号を出力するモータ動作参照信号生成部と、第１の負荷動作参照信号と負荷動作信号の偏差がゼロに近づくように算出する負荷動作補償力信号と、モータ動作参照信号とモータ動作信号の偏差がゼロに近づくように算出するモータ動作補償力信号とを加算するのと同等な演算により駆動力指令を出力する駆動力指令生成部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】外部からの指令に基づいてエンコーダ付きモータを駆動するサーボ制御装置において、主回路モジュールの汎用性が向上できると共に、サーボ制御装置自体の低コスト化、機種統合ができ、更に、用途によって異なる指令の場合でも対応することができるサーボ制御装置を提供する。
【解決手段】インターフェースモジュールが、エンコーダ付きモータからの位置検出信号を入力し、前記指令と前記位置検出信号に基づいて位置または速度制御演算を行ない、トルク指令およびモータ電気角指令である制御指令を出力する第１の演算手段を有し、前記主回路モジュールが、前記制御指令に基づいて電流制御演算を行ない、駆動信号を出力する第２の演算手段を有する。 （もっと読む）

【課題】 モータのコギングトルクが大きい場合や、負荷の機械系に共振などがあっても、高い精度でモータの負荷のイナーシャを推定する方法を提供する。
【解決手段】 加速度フィードバック信号中の振動を検出する。そしてこの振動が、予め定めたレベル以上あるときには、イナーシャ推定ゲインＫ_ｎに０以上１未満の係数αを乗算する。またこの振動が予め定めたレベルより小さいときには、イナーシャ推定ゲインＫ_ｎに１の係数αを乗算する。 （もっと読む）

【課題】負荷変動の影響を受け難い制御系とし、騒音を抑えた無理のない制御を可能とする。
【解決手段】駆動軸に連結された駆動側慣性体と、従動軸に連結された従動側慣性体とを含む捩り振動系を成す機構の位置決め制御装置において、予め初期位置から目標位置への状態軌道及び操作量軌道のデータ系列を制御の参照軌道としてそれぞれ記憶する状態軌道系列記憶部１３０及び操作量軌道系列記憶部１２０を備えた参照軌道発生部１１０と、前記状態軌道系列記憶部１３０に記憶された前記状態軌道に沿うように前記操作量軌道系列記憶部１２０に記憶された操作量軌道に対してフィードバック制御部１４０によって状態フィードバック制御を行い、位置決めする。 （もっと読む）

【課題】トルクフィードフォワード信号を滑らかにし、モータ動作時の異音を小さくし、制御対象の振動を抑えることができるディジタルサーボ制御装置を提供する。
【解決手段】指令信号あるいは速度フィードフォワード制御器５の出力信号の微分信号に、トルクフィードフォワードゲインＴＦＦを乗じた今回乗算値を保存する遅延器６４を有し、前記今回乗算値と１サンプリング前の前回乗算値のいずれか一方に基づいて、トルクフィードフォワード信号を生成するトルクフィードフォワード制御器６を備える。 （もっと読む）

【課題】 ヨーイング、ピッチング及びローリング、コギング、速度制御におけるループゲイン、デッドタイム発生回路に起因する位置決め精度向上の障害要因に対応した補正手段を備えた、複数のスライダ部を有するＸＹステージを実現する。
【解決手段】 格子プラテン上のスライダ部を２次元方向に位置制御するＸＹステージにおいて、
独立に位置制御される複数のスライダ部を有し、これらスライダ部の夫々は、スライダ部をＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御する位置制御手段と、スライダ部のＺ軸まわりのヨーイングを補正するヨーイング補正手段を備える。 （もっと読む）

【課題】 大型の被駆動体を駆動するときの振動発生を抑制する。
【解決手段】 被駆動体３に複数の加速度検出手段７−１，７−２を取付け、被駆動体３の移動方向の加速度値α１，α２を求める。この加速度値α１，α２の差の絶対値｜α１−α２｜を算出する（２３）。この加速度値の差の絶対値に係数ｋ２（ｋ１，ｋ３）を乗じて補正量を求める。速度指令（又は／及び位置指令、電流指令）から補正量を減じて、速度指令（又は／及び位置指令、電流指令）を補正する。加速度値の差の絶対値が大きく、被駆動体に振動が発生している場合には、補正量が大きくなって、速度指令（又は／及び位置指令、電流指令）が小さくなることから、被駆動体の振動は抑制されることになる。 （もっと読む）

【課題】サーボモータで駆動される被駆動体の振動を抑制する。
【解決手段】 サーボモータ２で駆動される被駆動体３に加速度検出手段７を設ける。該加速度検出手段７で検出された加速度検出値に係数１４を乗じて補正値を求め、速度指令からこの補正値を減じて補正し、速度制御処理部１２で速度フィードバック制御を行い、電流指令を求める。さらに電流制御処理を行ってサーボモータ２を駆動し、被駆動体３を移動させる。被駆動体の振動により加速度検出値が増大すれば、速度指令が補正されてこの振動を抑制するように作用するから、被駆動体３の振動は抑制される。加速度検出値に基づく速度指令の補正処理を速度制御処理周期毎実行することにより、処理時間を少なくして、被駆動体３の振動を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】 回転運動の加速度の他に並進運動の加速度が相定される構成においても、角加速度センサを用いることなく角加速度のみを検出する。
【解決手段】 回転体２２上に、同一半径上に回転の接線方向の加速度を検出する方向に２つの加速度センサ１８，２０を配置し、それらが検出した加速度Ｘ_１，Ｘ_２から、計算により回転の角加速度を算出する。 （もっと読む）

【課題】システムの振動を低減する指令のパラメータを、簡単に決定できるようにする。
【解決手段】サーボ制御装置へ指令のパラメータを出力しモータを制御するモーション制御装置において、移動距離ｄｉｓｔと移動時間ｔｂを入力する動作条件入力部と、振動周期ｔｆを入力する振動入力部と、移動距離と振動周期を入力して振動低減パラメータを導出し、モータ指令計算部に出力する振動低減パラメータ導出部と、振動低減パラメ−タを入力してモータ指令を生成しモータ指令出力部に出力するモータ指令計算部と、モータ指令をサーボ制御装置に出力するモータ指令出力部とを備え、振動低減パラメータ導出部は動作条件と振動周期の比ｘを求め、予め求めておいた関数Ｆ（ｘ）にｘ＝ｔｂ／ｔｆの値を代入して指令のパラメータを決定する。 （もっと読む）

【課題】 弾性体アクチュエータで駆動される可動機構を応答性良くかつ位置決め精度良く制御できる弾性体アクチュエータ駆動型可動機構の制御装置及び方法を提供する。
【解決手段】 流体圧駆動アクチュエータ１の内部圧力を圧力計測手段９で計測し、流体圧駆動アクチュエータにより発生する駆動トルクをトルクセンサー７で計測し、可動機構の変位量を計測し、変位の目標値と計測値とが入力されて位置誤差を位置誤差補償手段１２で補償し、位置誤差補償手段の出力と駆動トルクの計測値とが入力されて駆動トルク誤差を駆動トルク誤差補償手段２５で補償し、駆動トルク誤差補償手段の出力と圧力差の計測値とが入力され圧力差誤差を圧力差誤差補償手段１５で補償する。 （もっと読む）

【課題】 リニア増幅器とＰＷＭ増幅器を効率よく組み合わせた出力電流制御装置、この出力電流制御装置を使用したステージ装置および露光装置を提供すること。
【解決手段】 出力電流に応じてリニア増幅器１０５とＰＷＭ増幅器１０４とを使い分け、出力電流検出器Ｒ５、１０７と比較器１０６とを共通に使用する。 （もっと読む）