流体送達プロファイルに基づいて流れ制御器を使用することにより、流体の特定量を送達するためのシステムおよび方法を説明する。一実施形態は、送達時間ウィンドウ内の時間における特定の瞬間とそれぞれ対応する複数の設定値を有する、送達時間ウィンドウを含む流体送達プロファイルを含む。この方法はまた、流れ制御器と、流れセンサからのフィードバック信号とを使用して、可変弁を介して流体送達プロファイルに従って流体を送達するステップを含む。
（もっと読む）

１つの質量流量を複数Ｎ個の副次流に分割するシステムは、１つの質量流量を受けるように構成されている入口と、マスタＦＲＣ（流量比コントローラ）と、１つ以上のスレーブＦＲＣとを含む。各ＦＲＣは、入口に接続されており、少なくとも１つの副次流導管を含む。マスタＦＲＣおよびスレーブＦＲＣは、組合せにおいて、Ｎ個の副次流導管を含む。各流導管ｉ（ｉ＝１、．．．Ｎ）は、Ｎ個の副次流の内対応する１つを搬送するように接続されている。ホスト・コントローラから事前選択比率設定点に応答して、マスタＦＲＣおよびスレーブＦＲＣは、個々の流量Ｑ_ｉ（ｉ＝１、．．．Ｎ）と総流量Ｑ_Ｔとの間おける比率Ｑ_ｉ／Ｑ_Ｔ（ｉ＝１、．．．Ｎ）を、事前選択比率設定点に維持する。 （もっと読む）

【課題】 耐久性に優れたメタルダイアフラム弁を提供する。
【解決手段】 ガスが流動する流路を有する本体と、前記本体に固定された弁座と、前記弁座に接離して流路を開閉する金属製ダイアフラムと、前記金属製ダイアフラムを介して本体に固定するキャップと、前記キャップに設けられた流体給排口とを備え、
前記金属製ダイアフラムは前記流体給排口側に形成されかつ外周縁部が前記本体と前記キャップ部との間で挟着されるとともに、前記金属製ダイアフラムの上面に流体圧を負荷することで前記弁座に当接して閉弁となし、流体圧を解除することで弁座から離間して開弁となすメタルダイアフラム弁であって、
前記金属製ダイアフラムは、ｄ３／ｄ１＝２〜７、ｒ／ｄ３＝４〜７の寸法関係を有することを特徴とするメタルダイアフラム弁を提供する。 （もっと読む）

【課題】流量設定値の変化に対する追随速度を犠牲にすることなく、圧力変動が生じても流量変動を抑制でき、クロストークが生じ得るようなシステムにも採用できるコントローラの提供。
【解決手段】流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部２と、その流量センサ部２の上流側または下流側に設けた流量制御バルブ３と、前記流量測定信号から得られる流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に少なくとも比例演算を施して流量制御バルブ３へのフィードバック制御値を算出する算出部６と、前記フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブ３に出力する開度制御信号出力部７と、を備えたものにおいて、前記比例演算におけるゲイン値を算出するための関数を、前記流量設定値を所定量以上変化させた時点からの所定期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間とにおいて異ならせた。 （もっと読む）

【課題】 タンク内に貯留した液体をポンプを介して送る種々の送液系において、流量計を使用せずに供給流量を高精度に設定可能とし、配管を簡素化してコスト低減と故障によるトラブルの防止を図り、衛生面での問題も解消し得る送液システムを提供する。
【解決手段】 タンクＴ１，Ｔ２内に貯留した液体Ｌ１，Ｌ２をポンプＰ１，Ｐ２を介して送る送液系において、液面センサーＳ１，Ｓ２によってポンプ稼働に伴うタンクＴ１，Ｔ２内の液面低下量を計測し、その単位時間当たりの液面低下量からコントローラーＣによってポンプＰ１，Ｐ２の回転数に対する液体吐出量を演算し、簡易体積流量として表示すると共に、演算値に基づいてポンプＰ１，Ｐ２をコントローラーＣで設定送液量に対応した稼働速度に制御する。 （もっと読む）

気体フローを調節して前記気体フローに関連する圧力変化率の測定を改善する装置が、内部体積に特長付けられた内部部分と前記気体フローを受け取る入口ポートとを有する測定チャンバ（１０２）を含む。この装置は、圧力センサ（１０４）と信号プロセッサとを含む。信号プロセッサは、前記センサ（１０４）から前記圧力信号を受け取り、サンプリングし、圧力信号の時間導関数を計算する。この装置は、更に、前記入口ポート配置された入口ダンパ（１０８）を含み、よって、前記気体フローは前記入口ポートを通過する前にこの入口ダンパ（１０８）を通過する。この入口ダンパは、気体フローをダンパ伝達関数に従って修正する。チャンバ体積とダンパ伝達関数とは、前記測定チャンバの中の圧力の変動に関連する周波数を前記サンプリング周波数の所定の分数に制限するように選択される。
（もっと読む）

この発明の実施例は、複数流路バルブ制御のためのシステムおよび方法を提供する。この発明の一実施例は、バルブ制御のシステムを含み、これは、プロセッサ（５０４）と、プロセッサ（５０４）によってアクセス可能なコンピュータ読取可能な媒体（５１８）と、アクチュエータによってバルブに適用されるべき初期力を示す第１の信号を第１の流路（５０６）で出力するため（８０６）、およびバルブに適用されるべき制御力を示す第２の信号を第２の流路（５０８）で出力するため（８１０）にプロセッサによって実行可能なコンピュータ命令（５１６）のセットとを含む。
（もっと読む）