システムは、第１成分４を混合器３内へ供給する第１ポンプ１と、第２成分５を混合器３内へ供給する第２ポンプ２とを含む。各ポンプのピストンの動きは、ポンプ容量の吸入及び排出方向から成分の排出方向へ反転され、逆方向も同様である。運動検出器２１は、各ポンプに連結され、かつ、ポンプ内に残存している容量が、所定の計量比率を確保することに不十分であることを算定した後に、ポンプ１、２の反転を始動するようにプログラムされたコントローラ２０に接続されている。コントローラ２０は、システムの動作を通して混合器３内へ第１成分４を連続的に供給するように、かつ、混合器３内へ第２成分５の投与を周期的に実行して、混合器３内へ第２成分５を断続的に供給するようにプログラムされている。 （もっと読む）

【課題】半導体、液晶などの製造工程に使用される現像液などの薬剤を高濃度の原液を超純水などで希釈し、所望の濃度に調整するにあたり、不純物の混入を防ぐことができ、かつ設備がコンパクトな希釈装置を提供する。
【解決手段】薬剤及び希釈液が導入される希釈タンク１を備えている薬剤の希釈装置であって、希釈タンク１に、希釈タンク１内の液体を撹拌するための磁気浮上ポンプ２を設けるとともに、薬剤の濃度を測定する濃度計３を備え、薬剤の所望の濃度に基づいて、上記測定値を上記所望の濃度に近づけるように薬剤の量と希釈液の量を制御する。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で、流量が変化した場合にも精確な熱量調整ができる熱量調整方法及び装置を得る。
【解決手段】本発明に係る熱量調整装置１は、流路を流れる第１流体に第２流体を添加することで流路を流れる流体の熱量を調整する熱量調整装置１であって、流路に配設されたベンチュリ管３と、ベンチュリ管のど部３ａまたはその上流側において前記第２流体を添加する第２流体添加部５と、ベンチュリ管のど部３ａを流れる流体の流量を演算する流量演算装置１１と、該流量演算装置１１の演算結果に基づいて前記第２流体の添加量を演算して該演算結果に基づいて前記第２流体添加部５に前記第２流体を供給する第２流体供給装置１５とを備えたことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 水位検出器の出力値調節作業が容易であり、かつ、精度の高い液位の制御が可能な液位制御システムを提供する。
【解決手段】 下限水位と上限水位とに対する、水位検出器９からの各検出値と基準液位に対応する液比率とは、記憶手段４２にて記憶されている。そして、水槽１における制御すべき制御水位に対応する水位検出器９からの特定検出値は、検出手段４１に送られ、記憶手段４２にて記憶された後、演算手段４３に送られ、下限水位と上限水位との相関関係に対応した液比率に演算される。演算された特定検出値に基づく液比率は、判別手段４４にて各設定水位と水位制御アルゴリズムに基づいて比較判別され、設定手段４５を経て、制御手段４６から電磁弁４及び送水ポンプ７の各構成機器に制御信号を送り、水槽１内の水の貯留及び供給を制御する。 （もっと読む）

構成要素を有する実質的に密閉された構造における周囲空気流中の水分量を制御するシステム。該システムは、少なくとも１つの湿度制御装置と、実質的に密閉された構造の複数の場所で空気流中の水分量を検出する複数のセンサとを含む。該複数のセンサは、少なくとも１つの湿度制御装置から離れて位置付けられ、少なくとも１つの湿度制御装置が影響を及ぼすように構成される構成要素の比較的至近に設置される。該システムはまた、複数のセンサの１つ又は複数によって検出された水分量レベルを受け取り、該検出された水分量レベルに基づいて複数の場所の周辺の周囲空気流中の水分量を変えるように少なくとも１つの湿度制御装置を制御するように構成される、コントローラを含む。 （もっと読む）

【課題】特許文献１に記載の脈動軽減装置の場合には、メインチャンバーを補助チャンバーの高い位置に配置し、メインチャンバー内で空気が溶け込んで増量した液体を補助チャンバーへオーバーフローさせ、その液分を補助チャンバー内の空気で置換するため、例えば、半導体ウエハ等の被処理体の検査装置のように被処理体を載置体上で冷却する場合には、載置体内を循環させる冷媒がメインチャンバー内で気化し易く、液体の気化容量が液体への空気等の溶解容量を上回り、メインチャンバー内の気体の圧力が上昇し、脈動軽減機能を損なう。
【解決手段】本発明の脈動軽減装置１０は、空間部を残して冷媒を貯留する第１タンク１５Ａと、第１タンク１５Ａにこれより高い位置に配置された状態で接続され且つ第１タンク１５Ａ内に冷媒を補充する補充タンク１５Ｂと、第１タンク１５Ａと補充タンク１５Ｂの空間部とを接続する気体抜き配管１５Ｃとを備えている。 （もっと読む）