【課題】圧力調整器の外部に流体が漏出することをより効果的に抑制する。
【解決手段】圧力調整器は、弁体１８の位置を調整するために、シリンダ１６と、シリンダ１６内を上下動するピストン１４とを備えている。ピストン１４の側面には、第１のＯリング５８が設けられており、更に、この第１のＯリング５８よりも弁体１８から離れた位置に第２のＯリング５９が設けられている。第１のＯリング５８の弁体１８側および第２のＯリング５９側には、一対のバックアップリング６０，６１が配置されている。 （もっと読む）

【課題】弁体を適正に開閉動作させることができる圧力調整弁等を提供する。
【解決手段】隔壁７６を隔ててバルブハウジング６４内に形成され、流入ポート７１に連通する１次室６７および流出ポート７４に連通する２次室６８と、１次室６７と２次室６８とを連通する連通流路６９と１次室側開口縁部を弁座として、連通流路６９を１次室６７側から開閉する弁体７０と、弁体７０を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体７３と、隔壁７６に対向する１次室６７の１の壁面を受けとして、受圧膜体７３と拮抗しつつ弁体７０を閉弁方向に付勢する弁体ばねと、を備え、弁体７０は、１次室６７に配設され弁座に対し直接開閉動作する弁体本体８１と、これを保持する保持部と、を有し、受圧膜体７３は、膜体本体７３ａの中心部に同心上に接着された受圧板７３ｂから延び連通流路６９を挿通して保持部に当接する作動軸部７３ｃを有している。 （もっと読む）

【課題】 初期立上げ時にダイヤフラムの他面側に溜まっている凝縮水を排除してダイヤフラムの他面側が弁口の二次側よりも高圧になることを防止することにより、初期立上げ時間を短縮できる蒸気用減圧弁を提供する。
【解決手段】 一面に圧力設定ばね２３の弾性力を作用させ他面に弁口５の二次側から連通する二次圧検出通路からの二次側圧力を作用させたダイヤフラム２１の撓みで主弁６を制御して弁口５を開閉せしめる蒸気用減圧弁において、二次圧検出通路を第１二次圧検出通路３３と第２二次圧検出通路３４により形成し、第１二次圧検出通路３３の弁口側開口端を第２二次圧検出通路３４の弁口側開口端よりも弁口５に近い位置に形成する。 （もっと読む）

【課題】 圧力制御システム及びその圧力調整弁を提供する。
【解決手段】 圧力調整弁を含む圧力制御システムであって、圧力調整弁は、チャンバーを有し、前記チャンバーは、入口端及び出口端を有するバルブ本体を含み、移動できる方式で前記チャンバーに設置し、前記入口端と相対応し、且つ第一接触表面を有する第一ピストンと、前記第一ピストンと接続し、且つ前記出口端と相対応し、第二接触表面を有し、前記第一ピストンと同時に移動し、且つ前記第一接触表面は、前記第二接触表面より小さい第二ピストンとを含むピストンアセンブリを含む圧力制御システム。 （もっと読む）

【課題】止水時において減圧弁体によるゴミ等の異物の噛込みを防止できる小型で安価な減圧弁装置を提供する。
【解決手段】減圧弁装置１０において、減圧弁体２２には止水用弁部９２と調圧用弁部９０とを設ける一方、弁シート７２には対応する止水用シート部７４と調圧用シート部７６とを設けて、１つの減圧弁機構に、ダイヤフラム３６と２次圧調節ばね３８とを含む駆動機構３４にて共通に駆動される、止水用弁部９２と止水用シート部７４とを含んで構成される止水弁機構と、調圧用弁部９０と調圧用シート部７６とを含んで構成される調圧弁機構とを具備させ、調圧時には調圧用弁隙間Ｓを止水用弁隙間よりも小さく保持し、止水動作時には減圧弁体２２を閉弁させた後に止水用弁部９２を止水用シート部７４に当接させて閉弁させ、止水を行う。 （もっと読む）

【課題】 流体制御弁を高温の圧力流体を供給する流体供給源と接続する場合に、外部に熱交換器を設けなくても、部材の熱膨張による影響がなく、圧力や流量を精度よく制御できる流体制御弁を提供することである。
【解決手段】 ボディ１に、弁部材１１，１３を組み込むとともに、この弁部材１１，１３に対して圧力流体を導く流入ポート７と、弁部材１１，１３によって圧力もしくは流量を制御された流体を流出させる流出ポート８と、流体供給源からの圧力流体を導く導入ポート６とを設け、上記導入ポート６と流入ポート７とを接続する冷却用迂回路９を、上記弁部材よりも外側におけるボディ１内に設ける。そして、この冷却用迂回路９を通過する過程で、高温の圧力流体がボディ１外の空気と熱交換して冷却されるようにした。 （もっと読む）

【課題】 流体が流れている時に、弁機構の弁体と弁座との間の隙間に微小異物が挟まる事態の発生が抑制された圧力調整弁を提供する。
【解決手段】 一次側通路と、一次側通路に直列に接続された二次側通路と、二次側通路に直列に接続された三次側通路と、一次側通路と二次側通路との境界部よりも二次側通路側に配設されて前記境界部の流路面積を可変調整する弁体を有すると共に止水機能を有する第１弁機構と、二次側通路と三次側通路との境界部の流路面積を可変調整する弁体を有する第２弁機構とを備え、第１弁機構と第２弁機構とは、それぞれ三次側通路の流体圧力を感知して前記境界部の流路面積を減少させる方向へ弁体を付勢する感圧部材を有する。 （もっと読む）

【課題】減圧作動に対する一次圧の影響を抑えて二次圧を所定圧力に制御し、圧力変動に対して良好に応答させ、しかも減圧部材に付設したシール部材の寿命を長くする。
【解決手段】減圧弁室(10)に開口する出口路(11)の周囲に弁座(18)を形成する。減圧部材(19)にシール部材(20)を弁座(18)に対面させて設ける。作動室内のピストン部材を減圧部材(19)と連係する。減圧部材(19)と減圧弁室(10)内面との間に第１シール部(24)を設け、第１シール部(24)での第１シール面積(S1)を弁座シール面積(S0)よりも広くする。減圧部材(19)内にガス導入路(25)を形成し、入口路(９)を第１シール部(24)と弁座(18)との間の弁室内空間(Ａ)に連通する。弁室内空間(Ａ)よりも上流側で、ハウジング(５)と減圧部材(19)との間に第２シール部(26)を設ける。第２シール部(26)での第２シール面積(S2)を、第１シール面積(S1)と弁座シール面積(S0)との面積差と略等しくする。 （もっと読む）

【課題】下流側の減圧弁が故障したときに上流側の減圧弁が作動状態にあるか否かを容易に判断できる減圧装置及び作動判断方法を提供する。
【解決手段】減圧装置１は、上流側管路３と下流側管路５との間に設けられ、下流側から上流側に第１減圧弁１０及び第２減圧弁１０'を配設して構成される。第１減圧弁１０及び第２減圧弁１０'は同様に構成された直動式の減圧弁である。第１減圧弁１０は下流側管路５のガス圧力を第１設定圧力に維持する。第２減圧弁１０'は下流側管路５のガス圧力が第１設定圧力を越えないときに上流側管路３を流れるガスを減圧せずに第１減圧弁１０に送出し、下流側管路５のガス圧力が第１設定圧力より大きな第２設定力値を超えると、下流側管路５のガス圧力が第２設定圧力を越えないように維持する。第１減圧弁１０と第２減圧弁１０'の連結流路２４に圧力計６０を設ける。 （もっと読む）

【課題】チェインバを大気中に解放したときにパーティクルが流入するのを防止する。
【解決手段】入口ポート２２、出口ポート２４及びパイロット室を具えた本体２０と、ばね４８によって本体２０上部に取付けられ、滑り面２９ａ，２９ｂに対して軸方向に摺動可能に保持されたスプールと、入口ポート２２の気体の圧力を検知する絶対圧センサＳＡ及び入口ポート２２の気体の圧力と大気圧との差を検知する差圧センサＳＢと、パイロット室に圧力調整用ガスを供給する制御バルブＶと、各センサＳＡ，ＳＢの切換信号を送り、各センサＳＡ又はＳＢの出力に基づいて制御バルブＶを駆動する制御回路からなる。成膜時には、絶対圧センサＳＡで検知した入口ポート２２の圧力Ｐ１を用いて入口ポート２２の絶対圧が制御され、チェインバ解放時には、差圧センサＳＢの出力を用いて、チェインバ内部の圧力が大気圧に戻される。 （もっと読む）

【課題】 装置自体の大幅なコンパクト化を図ると共に、流水路内を流れる水の摩擦損失を小さくする。
【解決手段】 同一軸線上に配置した流入口２ａと流出口２ｂとの間に直線状の流水路Ａを有し、当該流水路Ａの途中に弁口２ｃ及び弁座２ｄを形成した隔壁２ｅを設けてその上流側に一次側流水路Ａ１を、又、その下流側に二次側流水路Ａ２を夫々形成した筒状のボディ２と、ボディ２の一次側流水路Ａ１内に気密状態で軸線方向へ移動自在に配設した略筒状のスライダー３と、スライダー３の下流側端部に設けられ、ボディ２の二次側流水路Ａ２内に位置して弁座２ｄに当離座するスライダー３の受圧面積と同等の受圧面積を有する弁体４と、ボディ２とスライダー３との間に介設され、弁体４が弁座２ｄから離座する方向へスライダー３を附勢すると共に、その附勢力を調整可能な弾性体５とから構成する。 （もっと読む）

【課題】部品点数の少ない簡単な構造にて圧力−変位変換要素の破損時の漏水を防止する
。
【解決手段】弁体５に弁棒12を介して連結されると共に、二次側圧力室３の圧力変動で変
位する圧力−変位変換要素13と、該圧力−変位変換要素13を開弁方向へ付勢する調節バネ
14と、該調節バネ14を開弁方向へ押圧する様にバネカバー15内に上下動自在に螺着した調
節ネジ16とから成る減圧機構部６を設け、調節ネジ16の上方に設けたバネカバー15の上端
開口部15ｂと、該上端開口部15ｂに挿嵌するキャップ20間には、外部とバネカバー15内と
を連通させる通気路28を設け、該通気路28には、キャップ20に遊嵌した環状パッキン33を
保持する拡径部30ａを設けると共に、該拡径部30ａに上方連続して環状パッキン33で水密
状に填塞可能な縮径部30ｂを設け、上記破損時には、バネカバー15内に流入する圧力水に
て環状パッキン33が縮径部30ｂを水密状に填塞する。 （もっと読む）

【課題】 流体の流量を機械的に安定して調整することができると共に、大流量の流体の調整に好適な流量制御弁およびガス処理システムを課題とする。
【解決手段】 流量制御弁２３は、上流側ポート５１および下流側ポート５２を有するハウジング４１と、ハウジング４１に対して軸方向に摺動可能に構成されたスプール４３と、を備える。ハウジング４１内には、その内壁４２とスプール４３とにより、上流側ポート５１および下流側ポート５２に連通する流通空間６１と、上流側圧力空間６２と、下流側圧力空間６３と、が構成される。スプール４３は、上流側圧力空間６２および下流側圧力空間６３の圧力差により軸方向に移動すると共に、この移動に伴って上流側ポート６２の開口面積を可変する。
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【課題】耐圧試験時に減圧機能を抑制することができるバイパス機構を有し、耐圧試験後において、正常な減圧機能動作を保証することができる減圧弁を提供すること。
【解決手段】水道水を一次側から二次側に供給することで、二次側の水圧を減圧させるように作用する減圧弁に、ケースの外側からビス３１がねじ込まれ、その先端部が筒状弁２８に形成された感圧盤２８ｂの一部に当接するように構成されている。これにより二次側に所定の水圧を印加させる耐圧試験を実行した時、減圧弁は一定の水圧を確保することができるバイパス機構を形成することができると共に、二次側に印加される大きな水圧を受けて筒状弁２８が弁座２６側に衝突し、感圧盤２８ｂを含む筒状弁２８、もしくは弁座２６を変形（破損）させる等のダメージを受けるのを避けることができる。それ故、前記ビス３１を取り外した減圧弁の通常の使用状態における動作の信頼性を確保することができる。 （もっと読む）