【課題】複数の蓄熱タンクおよび循環ポンプを備えた温調ユニットの並設と、タンク内の液体を循環させる循環路を形成した、より安定した温度制御が可能な温度制御システムを提供する。
【解決手段】第１温度の液体を貯蔵する低温温調ユニット７４、第１温度より高い第２温度の液体を貯蔵する高温温調ユニット７５、低温温調ユニットからの流体を流す低温流路７６、高温温調ユニットからの流体を流す高温流路７７、流体を循環させるバイパス流路７３、合流部ＰＡにて低温流路、高温流路及びバイパス流路の３流路から合流した流体を流す結合流路７１、結合流路から流体を流し、半導体製造装置１００に用いられる部材を冷却又は加熱する調温部７０、合流部の上流側にて前記３流路に取り付けられた可変バルブ７９の弁開度を制御し、前記３流路の流量分配比率を調整する制御装置９０を有する温度制御システム１が提供される。 （もっと読む）

【課題】主動力源のエンジン冷却回路に使用される冷却液を熱源として、新たな熱源を必要とせずに低温時の暖め機能を付加させてなる、車両及び建設機械に搭載される電気機器或いは電子部品装置の温度制御装置及び温度制御方法を得る。
【解決手段】エンジンを搭載した車両及び建設機械に搭載される電気機器或いは電子部品装置を適正な温度範囲に制御するために、前記電気機器或いは電子部品装置が第一の温度より低温の場合はエンジン冷却液の余熱を利用して前記電気機器或いは電子部品装置を暖め、前記電気機器或いは電子部品装置が第二の温度より高温の場合は、前記電気機器或いは電子部品装置を第一の温度と第二の温度の範囲に制御するために専用の冷却装置により冷却した冷却液で前記電気機器或いは電子部品装置を冷却するために、温度センサの検出した温度に応じて切換弁を切り替えることで、いかなる環境温度下においても適正な温度範囲に制御する。 （もっと読む）

【課題】光学素子の中心部分の温度を精度よく制御できる温度制御装置を提供する。
【解決手段】第１の主面及び第１の主面と対向する第２の主面を有する光学素子の温度制御装置であって、第１の主面に一定の接触熱抵抗で接する第１の筐体と、第１の筐体と第１の主面とが接する面積と等しい面積で、第２の主面に一定の接触熱抵抗で接する第２の筐体と、第１の筐体の温度を調整する温度調整素子と、第１の筐体の温度を測定する第１の温度測定素子と、第２の筐体の温度を測定する第２の温度測定素子と、第１の温度測定素子により測定された第１の筐体の測定温度と第２の温度測定素子により測定された第２の筐体の測定温度との平均値を光学素子の温度として、平均値が予め設定された設定値であるように温度調整素子を制御して第１の筐体の温度を調整させる制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】冷却手段又は加熱手段に大きな冷却能力又は加熱能力を必要とせず、被制御装置の温度を変更するときに高速かつ高精度に温度制御することができる温度制御装置を提供する。
【解決手段】被制御装置１２と、第１及び第２の供給部３０、４０を含む供給装置２０との間に設けられ、流体の温度を制御する温度制御装置５０であって、流体を貯蔵する貯蔵部５１と、被制御装置１２を第１及び第２の供給部３０、４０の一方と接続するとともに貯蔵部５１を第１及び第２の供給部３０、４０の他方と接続するか、又は、被制御装置１２と貯蔵部５１と接続するように、接続を切り替える接続切替部５５とを有する。 （もっと読む）

【課題】使用するエネルギーの種別が異なる機器が混在する熱源システムにおいて、省エネを図りつつ、エネルギーを使用する場合に適用される各種の規制を回避する。
【解決手段】例えば、所定の判断基準を「現在の時刻がピーク時間帯に入っているか否か」とし、現在の時刻がピーク時間帯に入っていない場合には（ステップＳ１０４のＮＯ）、ガス式の冷凍機（低ＣＯＰ機）を緩和優先機、電気式の冷凍機（高ＣＯＰ機）を緩和後回し機とし（ステップＳ１０５）、現在の時刻がピーク時間帯に入っている場合には（ステップＳ１０４のＹＥＳ）、電気式の冷凍機（高ＣＯＰ機）を緩和優先機、ガス式の冷凍機（低ＣＯＰ機）を緩和後回し機とする。 （もっと読む）

【課題】 装置全体をコンパクトにでき、かつ製造コストを低減できる温度制御装置、流体循環装置を提供すること。また、その温度制御装置を用いて、省エネルギーな温度制御ができる温度制御方法を提供すること。
【解決手段】 温度制御装置１は、流体冷却部を有した閉鎖型の第１循環回路２と、流体加熱部としてのハロゲンランプヒータ３１を有するとともに、ハロゲンランプヒータ３１で加熱された温度流体を被温度制御対象物としての真空チャンバＣに供給する閉鎖型の第２循環回路３と、第１循環回路２側からの温度流体を第２循環回路３側に送る送り流路４と、第２循環回路３側からの温度流体を第１循環回路２側流出させて戻すし流出流路５とを備え、送り流路４には、第１循環回路２側からの温度流体の送り流量を調整制御する流量制御バルブ４０が設けられ、流出流路５には、温度流体の圧力を所定圧以下に補償する圧力制御バルブ５０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】エネルギの消費量を抑制しつつ、温度制御対象の温度を迅速に変更することのできる温度制御システムを提供する。
【解決手段】温度制御システムは、常温の水道水を調温ブロック１０へ供給する水通路２０と、水を内部に貯留するタンク４０と、温度調整された湯を調温ブロック１０へ供給する湯通路３０とを備える。温度制御システムは、調温ブロック１０へ供給される水道水と湯との混合比を調節する混合弁８０Ａと、混合湯を排出口５２へ排出する排出通路５０と、混合湯をタンク４０へ回収する回収通路６０と、排出口５２へ排出される混合湯とタンク４０へ回収される混合湯との分配比を調節する分配弁８０Ｂとを備える。制御装置７０は、ワークＷの温度が目標温度となるように混合弁８０Ａを制御するとともに、調温ブロック１０へ供給される湯の比率が高いほど、タンク４０へ回収される混合湯の比率が高くなるように分配弁８０Ｂを制御する。 （もっと読む）

【課題】制御対象の付近に配置される調温部１１に流体を循環させることで制御対象の温度を所望に制御するに際し、その制御対象の温度を所望の温度に迅速に追従させることが困難なこと。
【解決手段】制御対象を支持する調温プレート１０内部には、流体が循環する調温部１１が収納されている。調温部１１には、流体を冷却して循環させるための冷却通路２０、調温部１１下流側の流体を再度調温部１１にそのまま循環させるためのバイパス通路３０、及び流体を加熱して循環させるための加熱通路４０が接続されている。 （もっと読む）

【課題】反応プロセスにおいて、反応状態の変化など不測な外乱が生じた場合でも良好な温度制御性を確保できる温度制御方法、温度制御装置および温度制御用プログラムを提供する。
【解決手段】反応塔のように反応容器内に温度分布を持ち、反応容器内を流体が入口方向から出口方向に向かって流れる反応プロセスの多点温度制御において、操作量と制御量の関係を表した予測モデルに、流動による温度検出部位間の熱伝達を考慮したモデルを設けて予測制御することで、反応状態の変化など不測な外乱が生じた場合でも良好な温度制御性を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】煩雑な設定作業を必要とされることなく良好に槽内温度を制御できる温度制御方法、温度制御装置および温度制御プログラムを提供する。
【解決手段】処理槽４０内の流動物Ｌの温度が、設定値ＳＶ（ｔ）を超え、さらに、閾値温度「ＳＶ（ｔ）＋α」を超えた場合には、ＰＩＤ演算で得られた制御出力変化量に対して一定の値が差し引かれた値に基づいて、処理槽４０内の流動物Ｌに加えられる熱量が制御される。なお、閾値温度は、流動物Ｌの温度についての許容範囲の上限よりも低い温度とされる。一方、処理槽４０内の流動物Ｌの温度が、閾値温度「ＳＶ（ｔ）＋α」以下の場合には、ＰＩＤ演算の値に基づいて、処理槽４０内の流動物Ｌに加えられる熱量が制御される。 （もっと読む）

【課題】流体温度を迅速に変化させることを可能とし、特に温度制御対象に対して温度調整済みの流体を循環供給する温度制御システムに好適に用いることができる温度調整用バルブユニットを提供する。
【解決手段】温調バルブユニット３０は、流体を循環させることで温度制御対象の温度を制御する温度制御システムに適用され、加熱流体を循環させる加熱経路と、冷却流体を循環させる冷却経路と、バイパス流体を循環させるバイパス経路とからそれぞれ流入する流体を混合して流体の温度調整を行う。温調バルブユニット３０は、３連のバルブブロックＢ１１〜Ｂ１３と混合通路ブロックＢ１４とを備えており、バルブブロックＢ１１〜Ｂ１３には、加熱流体、冷却流体、及びバイパス流体をそれぞれ取り込む３つの流体通路と弁部材５４とが設けられている。混合通路ブロックＢ１４には、前記３つの流体通路からそれぞれ流出する流体を混合する混合通路が設けられている。 （もっと読む）

【課題】制御対象の近傍に配置される調温部に流体を循環させることで制御対象の温度を所望に制御するに際し、その制御対象の温度を所望の温度に迅速に追従させることが困難なこと。
【解決手段】制御対象を支持する調温プレート１０内部には、流体が循環する調温部１１が収納されている。調温部１１には、流体を冷却して循環させるための冷却通路２０、調温部１１下流側の流体を再度調温部１１にそのまま循環させるためのバイパス通路３０、及び流体を加熱して循環させるための加熱通路４０が接続されている。 （もっと読む）

【課題】 高応答、高出力で精密な温調が可能であり、大型化や高スループット化に対応した露光装置にも好ましく適用可能な温調装置を提供する。
【解決手段】 温調装置１００は露光装置本体の複数のユニット（Ｕ１〜Ｕ４）の各々に温度制御した流体を供給するものであり、流体を冷却または加熱するための媒流体が流れる媒流体流路１３０を備える。媒流体流路１３０は複数のユニット（Ｕ１〜Ｕ４）の各々に対応付けられた複数の分岐経路１３０ａ〜１３０ｄを有する。複数の分岐経路１３０ａ〜１３０ｄの各々に流体と媒流体とを熱交換するための熱交換器１１４ａ〜１１４ｄと、熱交換器１１４ａ〜１１４ｄを流れる媒流体の流量を制御する流量制御器１３５ａ〜１３５ｄとが配される。媒流体流路１３０には複数の分岐経路１３０ａ〜１３０ｄの各々に対する媒流体の流入量を一定に保つための流量一定化手段（１５７、１５８、１５９、１６０）が設けられる。 （もっと読む）