【課題】可動板を複数配列して構成した小型で安価なプレーナ型電磁アクチュエータを提供する。
【解決手段】枠状に形成された一つのヨーク部材５の内側に、固定部１に夫々トーションバー２で回動可能に軸支され、間に少なくとも前記固定部１を介在させた状態で少なくとも一列に整列配置された複数の可動板３と、該各可動板３の周縁部に沿って敷設した駆動コイルと、前記複数の可動板３を間にして互いに反対磁極を対向させて前記固定部１の外側に設けられ、前記複数の可動板３の前記トーションバー２の軸線に平行な対辺部近傍の前記駆動コイル部分に静磁界を作用する一対の静磁界発生手段４と、を備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】薄型化を図りつつ、マグネットから出た磁束を効率よく回収し大きな推力を発生させるとともに、磁性体ヨークを含む部品点数を少なくし、組立工数とコストの低減を図ることができるリニアアクチュエータを提供すること。
【解決手段】薄型リニアアクチュエータ１００は、有底円筒形状の磁性体ヨーク１１０と、磁性体ヨーク１１０の中央に載置される円柱形マグネット１２０と、円柱形マグネット１２０の外周角部を覆い、かつ円柱形マグネット１２０と磁性体ヨーク１１０の側壁との間に所定エアギャップを保って収容される段付コイル１３０とを備え、段付コイル１３０は、円柱形マグネット１２０の上面中央部を所定広さ開口するとともに、円柱形マグネット１２０の外周角部を覆い、かつ円柱形マグネット１２０外周を磁性体ヨーク１１０底部に向かって延びるような段付構造を有する。 （もっと読む）

【課題】薄型化を図ることが可能なリニアモータを提供する。
【解決手段】このリニアモータ１００は、互いに離間して配列された扁平形状の渦巻状の電流線１４を（一対の平面コイル１４ａおよび平面コイル１４ｂ）有する固定部１０と、電流線１４と対向する磁極面（表面２０ｂ）を有し、電流線１４の表面（配列方向）に沿って電流線１４上を移動可能に設けられた可動部２０と、可動部２０の往復移動の際に、可動部２０を移動方向に付勢する板バネ３０と、を備える。そして、板バネ３０は、電流線１４の配列の両端部において、可動部２０の側面２０ａと対面して配置され、可動部２０の両側から可動部２０を挟持している。こうした板バネ３０の幅Ｈ２は、可動部２０の厚さＨ１の０．５倍〜１倍の範囲である。 （もっと読む）

【課題】薄型化を図ることが可能なリニアモータを提供する。
【解決手段】このリニアモータ１００は、プリント基板４０および５０と枠体１０とからなる筐体と、プリント基板４０（５０）に設けられた渦巻状の平面コイル４１および４２（５１および５２）と、平面コイル４１および４２（５１および５２）と対向する磁極面を有し、矢印Ｘ１およびＸ２方向に沿って移動可能に設けられる可動部２０と、を備える。そして、可動部２０は、筐体の内部に移動可能なように配置され、平面コイル４１および４２（５１および５２）は、平面的に見て、枠体１０の側壁部１０ｂおよび１０ｃに平面コイル４１および４２（５１および５２）の一部が重なるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】薄型化を図ることが可能な振動モータを提供する。
【解決手段】振動モータ１００は、積層基板１０と、永久磁石２０と、ガイド枠３０と、第１の板バネ４２および第２の板バネ４４と、を備える。積層基板１０には互いに離間して配列された第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂが形成される。永久磁石２０は、コイル１２と対向する磁極面を有し、積層基板１０の上面１０ａ側をコイル１２の配列方向に沿って移動する。ガイド枠３０はコイル１２および永久磁石２０を囲むように積層基板１０の上面１０ａ上に形成される。第１の板バネ４２および第２の板バネ４４のそれぞれでは、永久磁石２０と当接する一端と、固定された他端との間に一度折り返された折曲部が設けられる。 （もっと読む）

【課題】 従来の金属バネを用いた振動発生装置は減衰時間が長く、短い減衰時間が要求されるタッチスイッチの動作確認等に使用するには不適当であった。
【解決手段】 駆動体ユニットを構成する固定子ブロックと、永久磁石にオモリを一体化した可動子ブロックとを有する振動発生装置において、前記固定子ブロックと前記可動子ブロックとを支持する樹脂成形されたフレームを設け、前記フレームは、枠部と前記枠部から延出した固定子ブロック支持部と、前記枠部から延出したバネ部と、前記バネ部の先端に設けられた可動子ブロック支持部とが一体成形されており、前記固定子ブロックは前記フレームに固定され、また前記可動子ブロックは前記フレームにバネ部を介して揺動可能に固定されている。 （もっと読む）

【課題】トーションバー上のアルミニウム配線の物性変化に起因するアクチュエータの駆動特性の変化を抑制することによりプレーナ型アクチュエータの経時的安定性を向上させる。
【解決手段】トーションバー３に不純物拡散による拡散導通部９を形成し、拡散導通部９上にトーションバー３の軸方向で複数に分断した配線パターンのアルミニウム配線６を配置する。これにより、アルミニウム配線の捩れ剛性がトーションバー全体の捩れ剛性に及ぼす影響を小さくでき、アルミニウム配線の捩れ剛性が変化してもアクチュエータの駆動特性の変化を抑制できるようになる。 （もっと読む）

【課題】薄型化を図ることが可能な振動モータを提供する。
【解決手段】振動モータは、積層基板１０と、移動子２０と、ガイド枠３０と、第１の板バネ４２と、第２の板バネ４４と、カバー（不図示）と、を備える。積層基板１０は、第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂを含む。移動子２０は、磁気シールド部材２２と、永久磁石と、を含む。ガイド枠３０の一方の短辺側に第１の板バネ４２が、他方の短辺側に第２の板バネ４４が設けられる。永久磁石のＮ極に対応する磁極面は積層基板１０に接し、Ｓ極に対応する磁極面には磁気シールド部材２２が取り付けられる。第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂは互いに逆向きの磁束を発生させる。第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂの磁束の向きを一定周期で切り換えることにより移動子２０を往復移動させる。 （もっと読む）

【課題】オーバーレイエラー及び／又は結像の問題が低減されたリソグラフィ装置を提供する。モータ定数の変動が低減されたローレンツアクチュエータを提供する。
【解決手段】
リソグラフィ装置は、該装置の第１及び第２の部分の間に第１の方向に力を発生させるように構成され、各々が該装置の第１の部分に逆向きに取り付けられた第１の磁石アセンブリと、第２の磁石アセンブリとを含むアクチュエータを含み、第１の磁石アセンブリが、第１の主磁石システムと第１の副磁石システムとを含み、第２の磁石アセンブリが、第２の主磁石システムと第２の副磁石システムとを含み、第１及び第２の主磁石システムが、それらの間に第１の方向に実質的に垂直な第２の方向に空間を画定する。アクチュエータは、第２の部分に取り付けられたコイルを含む。第１の副磁石システムの少なくとも一部と第２の副磁石システムの少なくとも一部との間の距離は、第１の主磁石システムと第２の主磁石システムとの間の最小距離より小さい。 （もっと読む）

【課題】捩れ運動が繰返されるトーションバー部分に設けた引出し配線の金属疲労を低減する。
【解決手段】固定部に可動部を揺動可能に軸支するトーションバー３に、可動部側の駆動コイルと固定部側の電極端子を接続する引出し配線６を設ける構成のプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、シリコン基板で形成しその上面に引出し配線６を設けたトーションバー下層部３Ａ上に、ガラス材で形成したトーションバー上層部３Ｂを陽極接合することにより、捩り応力の小さいトーションバー中心位置に引出し配線６を設ける構成とした。 （もっと読む）

【課題】薄型化を図ることが可能な振動モータを提供する。
【解決手段】振動モータ１００は、積層基板１０と、永久磁石２０と、ガイド枠３０と、第１板バネ４２および第２板バネ４４と、を備える。積層基板１０には互いに離間して配列された第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂが形成される。永久磁石２０は、コイル１２と対向する磁極面を有し、積層基板１０の上面１０ａ側をコイル１２の配列方向に沿って移動する。ガイド枠３０はコイル１２および永久磁石２０を囲むように積層基板１０の上面１０ａ上に形成される。コイル１２の配列方向に延びるガイド枠３０の内周面の１つをガイド面３０ａと呼ぶ。第１板バネ４２はガイド面３０ａの一端Ｐ１側に設けられ、永久磁石２０の第１側面２０ａと接触する。また、第２板バネ４４はガイド面３０ａの他端Ｐ２側に設けられ、永久磁石２０の第２側面２０ｂと接触する。 （もっと読む）

【課題】薄型化を図ることが可能なリニアモータを提供する。
【解決手段】このリニアモータ１００は、プリント基板４０および５０と枠体１０とからなる筐体と、プリント基板４０（５０）に設けられた渦巻状の平面コイル４１および４２（５１および５２）と、平面コイル４１および４２（５１および５２）と対向する磁極面を有し、矢印Ｘ１およびＸ２方向に沿って移動可能に設けられる可動部２０と、を備える。そして、可動部２０は、筐体の内部に移動可能なように配置され、平面コイル４１および４２（５１および５２）は、平面的に見て、枠体１０の側壁部１０ｂおよび１０ｃに平面コイル４１および４２（５１および５２）の一部が重なるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】薄型化を図ることが可能な振動モータを提供する。
【解決手段】振動モータ１００は、互いに離間して配列された第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂを有する積層基板１０と、各平面コイルと対向する磁極面を有し、平面コイルの配列方向に沿って各平面コイル上を移動可能に設けられた永久磁石２０と、永久磁石２０を往復移動させる移動制御部（図示せず）と、平面コイルの配列の両端部に設けられ、永久磁石２０の往復移動の際に、永久磁石２０を移動方向に付勢する板バネと、を備える。そして、移動制御部は、各平面コイルに電流を流すことで、永久磁石２０と平面コイルとの間の磁気的な引力および斥力による推力を生じさせ、永久磁石２０を積層基板１０の上面１０ａに対して傾斜した状態で往復移動させる。 （もっと読む）

【課題】薄型化を図ることが可能なリニアモータを提供する。
【解決手段】このリニアモータ１００は、平面コイル４１、４２（５１、５２）を含むプリント基板４０（５０）と、平面コイル４１、４２（５１、５２）と対向する磁極面を有し、平面コイル４１、４２（５１、５２）の表面に沿った方向に沿って移動可能に設けられた可動部２０とを備える。そして、平面コイル４１、４２（５１、５２）は、可動部２０を移動するための電磁力の発生に寄与する第１部分４１ａ、４２ａ（５１ａ、５２ａ）と、可動部２０を移動するための電磁力とは反対方向の電磁力の発生に寄与する第２部分４１ｂ、４２ｂ（５１ｂ、５２ｂ）とを有し、第１部分４１ａ、４２ａ（５１ａ、５２ａ）の電流線４３（５３）のピッチＬ４が、第２部分４１ｂ、４２ｂ（５１ｂ、５２ｂ）の電流線４３（５３）のピッチＬ５よりも大きくなる。 （もっと読む）

【課題】薄型化を図ることが可能な振動モータを提供する。
【解決手段】振動モータ１００は、積層基板１０と、永久磁石２０と、ガイド枠３０と、第１の板バネ４２および第２の板バネ４４と、を備える。積層基板１０には互いに離間して配列された第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂが形成される。永久磁石２０は、コイル１２と対向する磁極面を有し、積層基板１０の上面１０ａ側をコイル１２の配列方向に沿って移動する。第１の板バネ４２および第２の板バネ４４はコイル１２の配列の両端部に設けられ、永久磁石２０をその移動方向に付勢する。永久磁石２０の磁極面は第１の板バネ４２側に第１側辺２２を、第２の板バネ４４側に第２側辺２４を有する。第１側辺２２の長さＬ１は、第１側辺２２に沿った磁極面の中心付近の幅Ｌ２よりも短い。 （もっと読む）

【課題】薄型化を図ることが可能なリニアモータを提供する。
【解決手段】リニアモータ１は、磁極面を有する磁石４と、磁石４を内部に収容する筐体８と、上記磁極面と対向する筐体８の対向面に設けられ、磁石４を上記対向面に沿って移動させる平面コイル７ａ、７ｂと、磁石４の移動方向における両側面と筐体８との間に設けられた板バネ５ａ、５ｂとを備えている。そして、筐体８と板バネ５ａ、５ｂとの間には、磁性流体６が配置されている。 （もっと読む）

【課題】薄型化を図ることが可能な振動モータを提供する。または、外部磁場の影響を受けにくい振動モータを提供する。
【解決手段】振動モータ１００は、互いに離間して配列された第１の平面コイル１２ａおよび第２の平面コイル１２ｂを含む積層基板１０と、永久磁石２０と、ガイド枠３０と、第１の板バネ４２および第２の板バネ４４と、第１カバー１０２と、封止枠７０と、第２カバー１０４と、磁性流体６０と、を備える。永久磁石２０は、積層基板１０の下面１０ａ側において、コイル１２と対向する磁極面２０Ｎを有し、コイル１２の配列方向に沿ってコイル１２上を移動する。ガイド枠３０の一方の短辺側に第１の板バネ４２が、他方の短辺側に第２の板バネ４４が設けられる。両板バネは永久磁石２０を挟持して支持する。磁性流体６０は、積層基板１０の上面１０ｂ側に設けられ、永久磁石２０と対向しながら永久磁石２０の移動に追従して移動する。 （もっと読む）

【課題】狭額縁化されたアクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明に係るアクチュエータ２０は、ホルダ７とコイル５およびマグネット３と柱状の支持体６と、支持体６が配置された四角形形状を有するベース９とを備え、支持体６は、ベース９の角を含む角部に備えられており、コイル５およびマグネット３のうち、一方がホルダ７に保持されており、他方が支持体６に保持されており、マグネット３は、支持体６に対向するように設置されている。 （もっと読む）

【課題】薄型化を図ることが可能なリニアモータを提供する。
【解決手段】このリニアモータ１は、渦巻状の電流線１４（一対の平面コイル１４ａ、１４ｂ）を有する固定部１０と、電流線１４と対向する磁極面を有し、渦巻状の電流線１４の表面に沿って移動可能に設けられた可動部２０とを備え、固定部１０には、可動部２０が移動する際に、板ばね３０を介して可動部２０が衝突する内壁１１ａ、１１ｂが設けられている。 （もっと読む）

【課題】薄型化を図ることが可能なリニアモータを提供する。
【解決手段】このリニアモータ１０は、互いに離間して配列されたコイル部４ａおよび４ｂを有する固定部２と、コイル部４ａおよびコイル部４ｂと対向する磁極面を有し、コイル部４ａおよびコイル部４ｂの配列方向に沿ってコイル部４ａおよびコイル部４ｂ上を移動可能に設けられた磁石１と、コイル部４ａおよびコイル部４ｂの配列の両端部に設けられ、磁石１を初期の位置（枠部２ａ内の中間部分）に支持する板バネ部３と、磁石１の表面に配置された磁性流体５と、磁石１を往復移動させる制御部１５と、を備える。そして、制御部１５は、磁石１を板バネ部３の復元力に抗する方向に初期の位置から移動した状態に保持した後、磁石１の往復移動を開始するように制御する。 （もっと読む）