【課題】経時または経年変化によるコア部材と永久磁石とのずれを防止でき、磁束を効率良く使用することにより可動子の推力特性を向上させることができるリニアモータを提供すること。
【解決手段】永久磁石１３が埋設孔１１ａに挿入されて埋設されているので、経時または経年変化による固定子コア１１と永久磁石１３とのずれを防止でき、確実にこれらの永久磁石１３を保持しておくことができる。また、固定子コア１１の表面側領域１１０に、コア領域１１ｅの磁気抵抗より高い磁気抵抗を有する溝１１ｄが形成されている。コイル３２の通電により発生する磁束及び永久磁石１３が発生する磁束が、その表面側領域１１０における溝１１ｄでは、可動子の移動方向（Ｚ軸方向）に沿って流れにくくなる。これにより、表面側領域１１０でＺ軸方向に沿って流れようとする、推力に寄与しない無駄な磁束を減らすことができる。したがって、可動子の推力特性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】推力の変動を低減することができるリニアモータの可動子およびリニアモータを提供すること。
【解決手段】本願の開示するリニアモータ１００の可動子１１０は、電機子１１１と、主極磁石列１３０と、補極磁石１３２ａ，１３２ｂとを備える。電機子１１１は、直線状に配列された複数のティース１１６を有し、各ティース１１６にコイル１１３が巻装される。主極磁石列１３０は、電機子１１１のティース１１６側に配置され、異なる極性の主極磁石１３１ａ，１３１ｂがティース１１６の配列方向に沿って交互に配列される。補極磁石１３２ａ，１３２ｂは、主極磁石列１３０の一端または両端に隣接して配置される。 （もっと読む）

【課題】所望の推力を維持しつつ樹脂層が薄い箇所の強度を改善したリニアモータ用磁石板、磁石板を備えたリニアモータ及び磁石板の製造方法の提供。
【解決手段】複数の極対からなる永久磁石２０を備えたリニアモータ用磁石板１２であって、鉄心及び巻線を備えかつ前記リニアモータ用磁石板１２に対して移動可能に構成された電機子と協働してリニアモータを構成し、磁石板１２上にＮＳ順に並列配置された複数の永久磁石２０の磁石表面に、ガラスクロス織布又は炭素繊維織布等の織布２２を取付け、次に、織布２２上に樹脂成形によって樹脂製の保護層を形成する。 （もっと読む）

【課題】小型かつ簡単な構成で、ステージを水平方向に移動または垂直軸回りに回転させることが可能なステージ装置を提供する。
【解決手段】ベース２と、ベース２にエアベアリング６１を介して設けられたステージ３とを具備するステージ装置１であって、ベース２およびステージ３の対向面のいずれか一方に、対向面と平行な第１の移動方向に沿って複数の第１の一次側磁束発生部４ａが互いに平行に設けられ、第１の移動方向と直交し、かつ、対向面と平行な第２の移動方向に沿って第２の一次側磁束発生部４ｂが設けられ、対向面の他方に、第１および第２の一次側磁束発生部４ａ、４ｂに各々対向するようにして第１および第２の二次側磁束発生部５ａ、５ｂが設けられ、第１および第２の一次側磁束発生部４ａ、４ａ、並びに、第１および第２の二次側磁束発生部５ａ、５ｂの各磁極面を前記対向面と略平行に形成した。 （もっと読む）

【課題】リニア駆動／発電装置において、固定子に対して往復移動する可動子の偏心を抑制する。
【解決手段】円筒状の固定子１０に固定子鉄心１２及び固定子コイル１４が軸方向に積層され、可動子２０に可動子鉄心２２及び可動子永久磁石２４が設けられる。固定子鉄心１２の先端に、浮上コイル１６が設けられ、可動子２０を挟んで対向する浮上コイルはヌルフラックス線により互いに接続される。可動子２０の偏心が生じると、浮上コイル１６に生じた誘導電流による電磁力で可動子２０を中心軸に復元する。可動子２０の速度が小さい端部では外部から浮上コイル１６に電力を供給する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも移動磁場の移動速度を速くすることができる移動磁場発生装置を提供する。
【解決手段】Ｎ極とＳ極とが列をなして交互に並ぶように第１のピッチで配置された複数個の磁石３からなる磁石列５を有する。磁石列５との間に間隔を開け、磁石列５を間に挟み、磁石列５に沿って延び且つ相互間に所定の位相差をもって配置された第１及び第２の磁極片列７及び９とを備える。第１の磁極片列７は、磁石列５の少なくとも隣り合う二つの磁石と対向する長さを有する複数の第１の磁極片８が第２のピッチで列をなすように配置されて構成される。第２の磁極片列９も第１の磁極片列７と同様に構成される。第１及び第２の磁極片列７及び９並びに磁石列５の一方を他方に対して所定の相対速度で移動させる。 （もっと読む）

【課題】 磁気浮上装置において、磁石ユニットと浮上体間の空隙長を大きく設定でき、電力消費量を低減するとともに、様々な方向の外乱に対して浮上体の位置変動の抑制が図れる磁気浮上装置を提供することにある。
【解決手段】 電磁石と永久磁石で構成される磁石ユニット２２を対向配置するように磁石取付け部２８に取付け、当該磁石取付け部２８をサスペンション３０を介して一軸に対して可動とするとともに、制御装置４６により磁石ユニット２２から鉄製円環４８にゼロパワー制御に基づく電磁力を作用させて、この電磁力で浮上体１１を磁気浮上させることにより、外力に対する浮上体１１の位置変動と非接触支持に必要な電力消費量の増加を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】市街地内での地下鉄道建設において、費用を半減させる高速低床型電車、リニアモータ電車のいずれかで運行する高速地下鉄道。
【解決手段】公有地の地表駅からで直線広軌レールの小口径大深度トンネルにして、同じ勾配で下り、上り区間、水平区間、同じ距離の地表駅間にして、下り加速減速区間は回生発電区間にして、水平区間は高速度の慣性運転区間にして、回生電力を戻して複数の変電設備に設置の電力で駆動する運行本数に見合う出力の圧力負荷装置を有する天秤使用の重力発電装置に合成して発電量を増して、再びき電して使用電力の大半を賄える構成の単線及び複線の直線路の大深度小口径トンネルの高速地下鉄道とした。 （もっと読む）

本発明は、本質的に垂直方向の移動経路に沿って移動可能である輸送装置（１）と、その輸送装置（１）に配置された１次側部分（２）および前記移動経路に沿って配置された２次側部分（３）を有するリニアモータとを含み、１次側部分（２）が１次巻線（４）と少なくとも１つの永久磁石（５）とを有し、２次側部分（３）が前記移動経路の方向に交互に配置された溝部および歯部（６）を含む形状を有する輸送システムに関する。運転安全性を高めるために、制動巻線（７）が前記永久磁石（５）との相互作用によって前記輸送装置（１）を制動するための制動力を発生し得るように、２次側部分（３）に当該制動巻線（７）が配置されている。 （もっと読む）

露光装置は、第１方向に延在するガイド部材を有し、前記第１方向と略直交する第２方向に移動する第１移動体と、ガイド部材に沿って第１方向に移動自在に設けられ、第１移動体の移動によりガイド部材とともに第２方向に移動する一対の第２移動体と、一対の第２移動体に着脱可能に支持されると共に、物体を保持して一対の第２移動体に対して移動可能な保持部材と、を備える。第２移動体は、それぞれ独立に制御可能な第１駆動部と第２駆動部とを備える。
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【課題】簡易でより精度の高い位置決めが可能なリニアモータおよびリニアモータの駆動システムを提供することを課題とする。
【解決手段】固定子１０と可動子２０とが互いに相対運動するリニアモータ１であって、可動子に設けられ、相対運動の方向に異なる磁極のマグネットが交互に並べられ、可動子の位置を検出するための位置検出用マグネット部２５と、相対運動する位置検出用マグネット部のマグネット２５ｎ、２５ｓを検出して位置を検出するための位置検出用センサ１６と、可動子に設けられ、位置検出用センサの出力を制御するためのゲート用マグネット３５と、相対運動するゲート用マグネットを検出するゲート用センサ３６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】簡易でより精度の高い位置決めが可能なリニアモータおよびリニアモータの駆動システムを提供することを課題とする。
【解決手段】固定子１０と可動子２０とが互いに相対運動するリニアモータ１であって、可動子に設けられ、相対運動の方向に異なる磁極のマグネット２５ｎ、２５ｓが交互に並べられ、可動子の位置を検出するための位置検出用マグネット部２５と、相対運動する位置検出用マグネット部のマグネットを検出して位置を検出するための位置検出用センサ１６と、相対運動する位置検出用マグネット部のマグネットを検出するゲート用センサ３６と、を備え、ゲート用センサが位置検出用マグネット部を検出するとき、位置検出用センサが位置検出用マグネット部に重なる位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】スループットの増加が可能なインプリントリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】インプリントリソグラフィ装置が開示される。この装置は、インプリントテンプレートアレンジメントを移動させるように構成された電磁ローレンツアクチュエータを含み、電磁ローレンツアクチュエータは、磁石アレイおよび導体アレイを含み、各導体は電流を搬送するように構成され、磁石アレイまたは導体アレイのうちの一方は、移動可能であり、かつインプリントテンプレートアレンジメントに接続され、磁石アレイまたは導体アレイのうちの他方は、少なくとも部分的に基板ホルダの周りに延在するか、または基板ホルダの一部を形成し、磁石アレイと導体アレイとは、合わせて、磁石アレイまたは導体アレイのうち移動可能な一方の６自由度方向の移動であって、インプリントテンプレートアレンジメントもまた６自由度方向に移動可能とする移動を容易にする。 （もっと読む）

呼吸補助装置は、気体調節弁（１３００）を備える。気体調節弁は、線形アクチュエータ（１３３０）によって動作させられる。線形アクチュエータは、閉塞部材を開位置と閉位置との間で動かす可動部材を備えることができる。線形アクチュエータは、弁を通る気体流路から隔離される。
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【課題】順方向の流れの他、逆方向の流れが不可避的に生ずる液体の逆方向の流れを抑制する。
【解決手段】液体を搬送するための流路と、前記流路内に設けられた導電性部材と、該導電性部材に電界を与える電極とを備え、前記電界により前記導電性部材のまわりに発生する電気浸透流によって前記液体に駆動力を付与して液体を搬送する液体駆動装置であって、前記導電性部材を基準として発生する、前記流路内の順方向への液体の流れと、逆方向への液体の流れの内、前記逆方向への流れを抑制する抑制部材が前記導電性部材の近傍に設けられている液体駆動装置。 （もっと読む）

【課題】
静圧軸受手段が走査する定盤案内面の面精度を高め、渦電流をさらに低減する定盤の構成により、露光装置を高速化し、転写精度を向上するステージ装置を提供する。
【解決手段】
定盤と、該定盤面に沿って移動するステージと、該ステージを駆動する駆動手段と、前記ステージと前記定盤面との間を非接触に保つための静圧軸受手段と、前記定盤面の所定部位に対向するように前記ステージに保持された磁気手段と、を有するステージ装置において、前記磁気手段が対向する前記定盤の所定部位に磁性体を配置すると共に前記静圧軸受手段が対向する前記磁性体の表面に非磁性体を被覆したことを特徴とする。 （もっと読む）

磁気軸受け構造（１００）を使用した搬送のための方法及びシステムが開示される。一態様では、荷を運ぶための装置は、磁束源（１０４）と、磁化可能構造（２２０）に相対的な磁束源（１０４）の位置を制御するように構成されたコントローラ（２２５）とを含む。磁束源（１０４）は、反対の極性を有する第１の上方部分と第１の下方部分とを含む。これらの第１の部分は、磁化可能構造（２２０）の第１の側から水平方向に間隔を空けられている。磁束源は、更に、反対の極性を有する第２の上方部分と第２の下方部分とを含む。これらの第２の部分は、磁化可能構造の第２の側から水平方向に間隔を空けられている。第２の側は、第１の側の反対側である。第１及び第２の上方部分は、磁化可能構造の上方部分に磁気的に引き付けられ、第１及び第２の下方部分は、磁化可能構造の下方部分に磁気的に引き付けられる。
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搬送装置の駆動システムは、搬送装置に接続されている複数の永久マグネット、複数の永久マグネットの少なくとも１つの磁界に曝されている複数の固定巻線、固定巻線に電圧を加えて搬送装置に磁力をもたらす制御システム、及び搬送装置の浮揚、ピッチ及びロールの受動的安定化を提供するための搬送装置の少なくとも一側部に近接している強磁性コンポーネントの配列を含んでいる。
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【課題】非常時であっても確実に可動部を停止させることができるとともに装置に損傷を与えること防止する移動装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１０は、可動部としてのリニアステージ１２を移動させるリニア搬送部１１と、電力の供給を受けてリニア搬送部１１を駆動する駆動手段としてのサーボドライバ１３と、サーボドライバ１３に電力を供給する電力供給手段としての電力装置１４と、強制停止指示が入力される強制停止入力部１６と、前記強制停止指示の入力に応じてサーボドライバ１３の駆動状態を制御し、リニアステージ１２を停止させる制御コンピュータ１９と、前記強制停止指示の入力に応じて、前記入力から所定時間の経過後に、サーボドライバ１３への電力の供給を停止する電力遮断部３２とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 長期にわたって高い搬送精度を維持することができる搬送装置を提供すること。
【解決手段】 搬送装置１００は、固定子５１と可動子５２によって構成されたリニアモータ５を備える。固定子５１は、隔壁１１に、搬送方向にそって延設され、可動子５２は、支持台４に配置される。固定子５１と可動子５２の磁気的相互作用により、支持台４は搬送方向に推進する。固定子５１と可動子５２との間の磁気的相互作用により、支持台４に推進方向と浮上方向の力が印加される。支持台４に浮上方向の力が印加されることによって、支持台４及びその積載物の重量を支持するリニアモータガイド７に係る負荷を軽減し、負荷による搬送精度の低下を防ぐことが可能である。 （もっと読む）