【課題】 振動型アクチュエータを長期間使用せずに放置した後であっても、駆動周波数が崖落ち領域に達しないように制御し得る振動型アクチュエータの駆動装置、駆動方法を提供する。
【解決手段】 ＣＰＵ２３１は、超音波モータ３０を起動した後、当該モータが回転開始するまでの所要時間をエンコーダ２４４、タイマ２３３を用いて計測し、この回転開始所要時間に基づいて当該超音波モータ３０を長期間不使用状態で放置した後の起動であるか否かを判定し、長期間不使用状態で放置した後の起動であると判定した場合には、最小の駆動周波数、目標速度等を適宜変更することにより、駆動周波数が崖落ち領域に達するのを防止する。 （もっと読む）

【課題】大きな変位量を得ることができるアクチュエータを提供することを目的とする。
【解決手段】 第１の発明は、印加される電気信号に応じて変位する複数の圧電素子と、圧電素子の一端が固定されるベースと、圧電素子の他端に圧電素子の変位方向に略平行に固定された連接部と当接部とを具備した当接部材と、当接部と対向する位置に配置され、圧電素子の変位方向に対して傾斜した斜面を複数有する移動部材と、移動部材が移動自在となるように移動部材を支持するガイドと、を備えたアクチュエータであって、移動部材の位置に応じて、複数の圧電素子への電気信号の印加・遮断及び電気信号の大きさを制御することにより、当接部は移動部材の斜面と当接又は離間して、移動部材をガイドに沿って移動させる、ことを特徴とするアクチュエータである。 （もっと読む）

【課題】 規制部材を用いて移動体を停止させる場合に移動体の傾きを生じさせないようにすることができる。
【解決手段】 駆動装置は、圧電素子２４と圧電素子の一端に設けられたロッド２５と、ロッドに摩擦係合され規制部材２２，２３によって移動可能範囲が規制された移動体３０と、圧電素子２４に駆動信号を印加する駆動パルス発生手段３３，３４を備え、駆動パルス発生手段３３，３４は、移動体３０を規制部材２２、２３に近接する位置まで移動させるときは、移動体３０を規制部材２２に近づくようにロッドを振動させる第１の波形の駆動信号を印加し、移動体が規制部材に当接した後は移動体３０を規制部材２２から離す方向に移動させるように前記ロッドを振動させる第２の波形の駆動信号を一時的に印加したあと、前記駆動信号の印加を停止する。 （もっと読む）

【課題】設計が困難とならず、また、駆動効率の低下を招くことなく耐衝撃性を大きく向上させることができる圧電アクチュエータ、およびこれを備えた電子機器の提供。
【解決手段】圧電アクチュエータ３１は、地板１４に組み込まれた際に、振動体５０の腕部５１３が、突出部１４４との間に所定寸法の隙間ＳＰ１，ＳＰ２を介して配置される。このような隙間ＳＰ１，ＳＰ２を介在させるのみで、駆動時、これらの隙間ＳＰ１，ＳＰ２内で自由端部ＦＲがフリーの状態でありながら、外部衝撃が加わった際には、振動部５１１が自由端部ＦＲ側で突出部１４４に捕捉されるので、振動部５１１が隙間の寸法を超えて移動することを防止できる。これにより、駆動効率の低下を招くことなく、落下衝撃などに対応する耐衝撃性を容易に、かつ大幅に向上させることができ、通常は両立させることが困難な駆動効率と耐衝撃とに関する問題を共に解消できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、薄膜形成技術を用いて形成された圧電素子を備えた圧電薄膜振動子およびそれを用いた駆動装置および圧電モータに関し、反りのない圧電薄膜振動子およびそれを用いた駆動装置および圧電モータを提供することを目的とする。
【解決手段】進行波を発生させる薄板状のレゾネータ４と、レゾネータ４表面に形成された第１の電極３と、第１の電極３上に形成された圧電薄膜２と、圧電薄膜２上に形成された複数の第２の電極１ａ〜１ｄおよび１１ａ〜１１ｄとを備えた圧電素子９と、圧電素子９に生じる内部応力を補償する応力補償膜８とを有するように構成する。 （もっと読む）

【目的】本発明は、圧電素子の力で駆動されるステータと摩擦力でステータに固定するロータとからなる超音波モータおよび超音波モータのモニタ方法に関し、超音波モータを構成するステータとロータの駆動信号あるいは超音波モータによる駆動状態を監視してモニタ表示すると共に一定度合いを超えたときに警報を発し、超音波モータの磨耗粉の発生状態をリアルタイムにモニタおよび警報を発することを目的とする。
【構成】 ステータを駆動する駆動力に対応する、印加するパルスの電圧を検出する第１の手段と、検出されたパルスの電圧の値を出力する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、薄膜形成技術を用いて形成された圧電素子を備えた圧電薄膜振動子およびその製造方法、並びにそれを用いた駆動装置および圧電モータに関し、反りのない圧電薄膜振動子およびその製造方法、並びにそれを用いた駆動装置および圧電モータを提供することを目的とする。
【解決手段】進行波を発生させるレゾネータ４と、レゾネータ４の表面に形成された下部電極（第１電極層）３と、下部電極３上に形成された圧電薄膜（第１圧電薄膜）２と、圧電薄膜２上に形成された複数の上部電極（複数に区画された第２電極層）１ａ〜１ｄおよび１１ａ〜１１ｄとで構成された積層構造を備えた圧電素子部９と、レゾネータ４の裏面に形成され、圧電素子部９の積層構造のいずれか１層と同一の積層構造を備え、圧電素子部９に生じる内部応力を補償する応力補償膜８とを有するように構成する。 （もっと読む）

【課題】
励振手段の破損を防止でき、しかも固定子の耐久力を向上できる弾性表面波アクチュエータを提供する。
【解決手段】
弾性表面波アクチュエータは、圧電基板２と該圧電基板２の表面に形成されて圧電基板２に弾性表面波を発生させる励振手段となる電極３ａ，３ｂとを備える固定子１と、電極３ａ，３ｂが形成される励振用部位Ｐ１を除く圧電基板２の表面部位Ｐ２に所定の圧力で接触されて弾性表面波により移動させられる移動子４とを具備し、移動子４を接触移動させる移動用部位Ｐ３を含む圧電基板２の表面部位Ｐ２には、圧電基板２よりも高い硬度を有する硬質膜５が形成され、硬質膜５は、移動子４と電極３ａ，３ｂとが干渉しない程度の膜厚を有している。 （もっと読む）

【課題】本発明は、薄膜形成技術を用いて形成された圧電素子を備えた圧電薄膜振動子およびその製造方法、並びにそれを用いた駆動装置および圧電モータに関し、低コストで良好な圧電特性が得られる圧電薄膜振動子およびその製造方法、並びにそれを用いた駆動装置および圧電モータを提供することを目的とする。
【解決手段】たわみ進行波を発生させるレゾネータ４と、レゾネータ４上に形成された下部電極３と、下部電極３上にエピタキシャル成長により形成された圧電薄膜２と、圧電薄膜２上に形成された上部電極部１および上部電極部１１とを有するように構成する。 （もっと読む）

【課題】高出力及び高トルクが得られ、構造体としての強度を高めることと低い駆動電圧で動作させることが両立出来、更には、生産性の向上が図れ、小型化の追求に好適なマイクロ超音波モータを実現すること。
【解決手段】柱状体を呈し、その柱状体の軸方向に並行して形成された複数の圧電駆動部を有し、その複数の圧電駆動部は、それぞれ交互に積層をされた複数の圧電体層と複数の電極層とが焼成一体化されてなる圧電ステータ素子を、ステータの主構成要素として採用したマイクロ超音波モータの提供による。このマイクロ超音波モータは、圧電ステータ素子の複数の圧電駆動部に位相の異なる交流電圧信号が印加されることにより、複数の圧電駆動部が軸方向に伸長乃至収縮の変位を生じ、柱状体の端面に、周回する進行波が発生し、この回転運動によってロータが回転するモータである。 （もっと読む）

【課題】 駆動回路の構成を簡略化することができる振動波アクチュエータ及びその駆動方法を提供する。
【解決手段】 交流電圧Ｖ１を圧電体１に印加して、圧電体１，３，５及び弾性体７からなる振動体に突き上げ振動を形成し、圧電体３はこの突き上げ振動の振幅に応じた振動検出電圧を出力し、圧電体５はこの振動検出電圧を入力して振動体にねじり振動を発生させる。これにより、単相の駆動電圧（交流電圧Ｖ１）で弾性体７上に進行性の振動波を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】小型であり、異音発生の小さい振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】出力軸１３に、出力軸１３に嵌合し、出力軸の回転中心線方向に移動可能であり、出力軸１３とともに回転運動するフランジリング１１と、出力軸１３の回転中心方向に対するフランジリング１１とロータ５の位置を規制するＥリングとを備え、出力軸１３とロータ５とは、出力軸１３の回転中心線とロータ５の回転中心線とが所定の範囲内の角度をなす状態で、相対的に揺動しながら、ともに回転可能なように自由度を有して設けることにより実現した。 （もっと読む）

【課題】小型化にともない高速回転させた場合にも、異音の発生が小さく、駆動効率のよい振動波モータを提供する。
【解決手段】出力軸１８のフランジ部１８ａと直接又は間接的に接触する移動子１５の接触面１５ｄであってフランジ部１８ａにより位置を規制される部分の外径の半径ｒと、弾性体１２の駆動面に接触して摺動する移動子１５の摺動面１５ａの外径の半径Ｒとが、ｒ／Ｒ≧０．５を満たすように設けることにより、移動子１５及び出力軸１８それぞれの回転中心の相対的な傾きを抑えた。よって、弾性体１２の駆動面と移動子１５の摺動面１５ａとの摺動が安定し、小型化にともない高速回転させた場合にも、異音の発生が小さく、駆動効率のよい超音波モータ１０を実現した。 （もっと読む）

【課題】 回路の電力損失を低減し、超音波モータに最適な電力を供給する超音波モータ駆動装置を提供すること。
【解決手段】
超音波モータ１を駆動する超音波モータ駆動装置において、トランス１１の１次側巻線をＭＯＳＦＥＴ１２でオンオフすることにより、トランス１１の２次側巻線から超音波モータ１の圧電素子１ａへ駆動電圧を供給する。このとき、トランス１１の２次側巻線にもＭＯＳＦＥＴ１３を設け、１次側のＭＯＳＦＥＴ１２をオフした後所定時間経過後、１次側のＭＯＳＦＥＴ１２をオンするとともに２次側のＭＯＳＦＥＴ１３をオフしてトランス１１の２次側に発生する自由振動を抑制する。 （もっと読む）

【課題】作業工程及び作業時間を短縮することができ、品質のばらつきの少ない振動波モータとその振動波モータの製造方法を提供する。
【解決手段】弾性体１２と圧電体１３とを接合する接着剤として、アクリル系嫌気性接着剤を用いることとし、接合面にプライマー処理を施した圧電体１３と、接合面にアクリル系嫌気性接着剤を塗布した弾性体１２と貼り合わせて接合した。このようにアクリル系嫌気性硬化型接着剤を用いることにより、従来使用されていた熱硬化型接着剤や二液混合型接着剤を用いた場合に比べて、作業時間、作業工程が大幅に短縮されて作業効率が向上し、製品ごとの品質ばらつきも防止できる。 （もっと読む）

【課題】 振動効率の改善及び印加電圧の低電圧化を図る。
【解決手段】 振動型アクチュエータが、圧電体１の１対の面に面方向に互いに隣接してそれぞれ設けられ、圧電体１の１対の面間に電界を形成するための第１および第２の電極対と、第１の電極対を構成する第１および第２の電極２−ｂ，２−ａと、第２の電極対を構成し、第１および第２の電極とそれぞれ同一面に位置する第３および第４の電極２−ｄ，２−ｃと、第１の電極２−ｂから第２の電極２−ａへ向かう方向の極性を主成分とする第１の分極５−ａと、第２の電極２−ａから第４の電極２−ｃへ向かう方向の極性を主成分とする第２の分極５−ｂと、第４の電極２−ｃから第３の電極２−ｄへ向かう方向の極性を主成分とする第３の分極５−ｃとから構成される。 （もっと読む）

【課題】接触部材の局部的な摩耗を低減し、長期の駆動による性能劣化を低減すること等を可能とした振動波駆動装置を提供する。
【解決手段】振動波モータは、振動体１と圧電素子３の接合により構成された振動子と、振動子に発生させた振動により駆動される移動子５と、振動体１の振動拡大部１−１の上面に接合された接触部材６を備える。接触部材６は、振動体１の振動拡大部１−１の長手方向両端部に各々固定された固定部６ａと、両固定部間を一体的に接続し複数に分割された両持ち梁構造を有する連結部６ｂを備える。振動波モータの駆動中に接触部材６と移動子５との間の接触圧力が変化し接触部材６の変形量が変化しても、接触面全面にわたって移動子５との接触が可能となる。これにより、接触部材６の接触面圧を一様にし、局部的摩耗を低減する。 （もっと読む）

【課題】エネルギ回収型の弾性表面波モータにおいて、弾性表面波に生じる位相変化を調整してエネルギ効率の向上を図る。
【解決手段】弾性表面波モータ１は、弾性表面波素子基板２と、弾性表面波素子基板２の表面Ｓの弾性表面波進行方向の前後に配置されてエネルギの回収と供給を行うことによりエネルギの環流を行う一方向性櫛形電極３１，３２と、弾性表面波素子基板２の表面Ｓであって一方向性櫛形電極３１，３２の間に配置され外部電源Ｖ１，Ｖ２に接続されるエネルギ補填用櫛形電極４１，４２と、予圧Ｆが付与された状態で表面Ｓ部分に接触、配置されるスライダ５と、を備えている。スライダ５の接触面５０の弾性表面波の進行方向と直交する幅方向の全幅ａと、各一方向性櫛形電極３１，３２及びエネルギ補填用櫛形電極４１，４２における電極重なり幅ｂとは略等しい寸法とされている。 （もっと読む）

【課題】 従来の機械式メータにおいて生じた不具合が排除された調律装置を提供すること。
【解決手段】 本発明の調律装置では、ピッチ抽出手段により入力信号のピッチが抽出されると、その入力信号のピッチと基準ピッチとの偏差が偏差検出手段によって検出されると、偏差検出手段により検出された偏差に応じた超音波モータの駆動の制御が制御手段によって行われる。即ち、指針は超音波モータによって駆動されるので、例えば、経時的劣化による表示誤差の発生や、設置向き及び設置角度の制限や、使用場所の制限や、装置全体の小型化及び薄型化の限界など、従来の機械式メータにおける不具合であった種々の点が改善される。
（もっと読む）

【課題】 構成が単純で組立容易であるとともに、耐摩耗性に優れた駆動・案内装置を提供すること。
【解決手段】 固定部と、上記固定部に対して接触しながら移動可能に設置された可動部と、上記固定部又は可動部に設けられ超音波振動を発生する複数の超音波振動発生装置と、上記複数の超音波振動発生装置の位相差を制御する制御装置と、を具備しているので、可動部の固定部に対する押圧状態を損なうことなく可動部の滑りをなくすことが可能になり、耐摩耗性を大幅に向上させることができるものである。 （もっと読む）