【課題】簡単且つ安価な構造で、振動振幅の大きな弾性表面波を効率よく励振できる超音波発生装置、及び超音波発生方法を提供する。
【解決手段】圧電基板１５と、圧電基板１５の表面に設けられたすだれ状電極（１４ａ，１４ｂ）と、すだれ状電極（１４ａ，１４ｂ）を構成する第１の櫛形電極１４ａと第２の櫛形電極１４ｂとの間にパルス状の駆動電圧を印加するスイッチング素子１３と、スイッチング素子１３の制御電極にパルス電圧を出力するゲート駆動回路１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波アクチュエータにおいて、スライダを略直線移動させることを可能とし、小型化と低消費電力化及び高効率化を可能とする
【解決手段】本アクチュエータ１０は、弾性表面波を発生するステータ１５を有するアクチュエータ本体１６と、その表面に配置されたスライダ１４とを備え、ステータ１５の表面に発生させた弾性表面波によりスライダ１４を移動させる。スライダ１４に予圧を付与してステータ１５に密着させる予圧部１１を備え、予圧部１１は、一端がアクチュエータ本体１６に回動自在に軸支され、他端にスライダ１４に接触して押圧する押圧部１１ａを備えた片持ち梁構造である。スライダ１４は、ステータ１５に対し略直線移動自在に保持され、押圧部１１ａは、スライダ１４と滑り合う構造である。これにより、スライダを略直線移動させることができ、アクチュエータ１０を小型化できると共に低消費電力で高効率にできる。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波アクチュエータにおいて、簡単な構成により、移動子の固定子表面との接触部の磨耗量を予測し、磨耗限界の予測を実現可能とする。
【解決手段】弾性表面波アクチュエータ１は、弾性表面波Ｗを励振する交差指電極４を表面に有する圧電基板からなる固定子２と、弾性表面波励振用の電力を交差指電極４に供給する高周波電源１１と、交差指電極４と高周波電源１１とによって圧電基板（固定子２）の表面に励振される弾性表面波Ｗにより駆動される移動子３と、加減速を含む単位駆動サイクルにおける移動子３の固定子２表面との接触部の磨耗量を算出する磨耗量算出部１２と、算出された磨耗量を積算する磨耗量積算部１３と、積算された積算磨耗量を表示する出力部１４と、を備えている。移動子３の接触面の磨耗は加減速時に発生するので、単位駆動サイクルの発生回数に基づいて積算磨耗量が算出され、磨耗限界が予測され、出力部１４に表示される。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波アクチュエータにおいて、簡単な構成により、移動子の固定子との接触部の磨耗を低減すると共に剥離による破損の回避を実現して長寿命化を図る。
【解決手段】弾性表面波アクチュエータは、弾性表面波を励振する交差指電極を表面に有する圧電基板からなる固定子２と、交差指電極への電力供給により固定子２の表面に励振された弾性表面波による駆動力を当該表面との接触面に生じる摩擦力を介して加えられて移動する移動子３と、を備えている。移動子３の固定子２との接触面Ａは、移動子３の下地材６に形成した複数の突起３０の表面からなる。突起３０は、移動子３の下地材６に形成した柱状突起６１の表面に、その下地材６よりも高硬度の材料から成る被膜７を形成して構成され、柱状突起６１の先端部は、固定子２との接触面Ａの外縁近傍において、固定子２の表面Ｓに対して鋭角θとなる表面１０を備え、被膜７の密着力の向上が図られている。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波アクチュエータにおいて、簡単な構成により、移動子の固定子表面との接触面における滑りを低減して寿命の延長を実現する。
【解決手段】弾性表面波アクチュエータは、弾性表面波を励振するための交差指電極を表面に有する圧電基板からなる固定子と、弾性表面波励振用の電力を交差指電極に供給するための高周波電源と、交差指電極と高周波電源とによって圧電基板の表面に励振される弾性表面波による駆動力を、当該表面に押し付けられることによって発生する摩擦力を介して加えられて移動する移動子と、を備えている。高周波電源は、移動子の移動速度Ｖの加減速に際し、交差指電極に印加する電圧振幅Ａを徐々に増加または減少させる。これにより、印加電圧Ｅを急激にオンオフする場合に比べて、固定子と移動子との間の滑りを低減して移動子の接触面の磨耗を低減でき、寿命の延長を実現できる。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波アクチュエータにおいて、簡単な構成で大型化を抑制すると共に精度良い位置検出を実現する。
【解決手段】弾性表面波アクチュエータ１は、駆動用の弾性表面波を励振する駆動用励振手段２を有した圧電基板１０と、圧電基板１０の表面に配置され駆動用の弾性表面波により圧電基板１０に対して相対的に移動される移動体３と、移動体３の圧電基板１０に対する相対位置の検出に用いる検出用の弾性表面波を励振する検出用励振手段４と、検出用励振手段４によって励振された弾性表面波ｗ１が移動体３によって反射されて戻ってくる波ｗ２を検出する表面波検出手段５と、移動体３の圧電基板１０に対する相対移動を制御する制御手段６と、を備える。制御手段６は、弾性表面波ｗ１が前記検出用励振手段４により励振されてから表面波検出手段５によって検出されるまでの時間に基づいて移動体３の相対的位置を検出して移動体３の移動を制御する。 （もっと読む）

【課題】 移動子とステータ間の摩擦係数が確保でき，長寿命で信頼性の高い弾性表面波アクチュエータ、この弾性表面波アクチュエータに用いる移動子、及びこの弾性表面波アクチュエータに用いるステータを提供する。
【解決手段】 レイリー波を伝搬しているステータ１１の表面から運動エネルギを得て、レイリー波の伝搬方向と逆方向に、ステータ１１に対し相対的に移動する移動子（スライダ）１２であって、この移動子１２が、移動子基板１２２と、この移動子基板１２２よりもヤング率の大きな材料からなる複数の移動子セグメント１２３の配列からなり、この複数の移動子セグメント１２３のそれぞれの上面が振動子に接する移動子セグメントアレイとを備える。 （もっと読む）

【課題】低コスト化を図ることができるアクチュエータを提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータは、第１の弾性連結部２５、２５を捩れ変形させながら第１の質量部２１、２２を回動させ、これに伴い、第２の弾性連結部２６、２６を捩れ変形させながら第２の質量部２３を回動させるものであって、第１の弾性連結部２５、２５の捩れ変形を規制または抑制するとともに、除去可能に設けられた除去部２９、２９を有し、除去部２９、２９を必要に応じて除去することにより、第１の弾性連結部２５、２５のバネ定数を低減することが可能である。 （もっと読む）

【課題】電極に処理対象である溶液が接触するのを防ぐための側壁を基板上に設けても、この側壁の存在により基板表面上を伝搬する弾性波が減衰するのを抑制する。
【解決手段】センシング用弾性波Ｗｓの伝搬経路上に滴下された液体が励振電極１４および受信電極１６に接触しないように、伝搬経路上の励振電極側および受信電極側に伝搬経路を交差するように側壁２０が配置されている。側壁２０における励振電極および受信電極と対向する箇所には、基板１２の表面との間に、伝搬経路上の液体が電極側に通過しない程度の大きさを有したトンネル部２２ａ，２２ｂが形成されており、基板１２の表面と側壁２０とによって形成されたトンネル部２２ａ，２２ｂ内を、励振電極１４から受信電極１６まで至るセンシング用弾性波Ｗｓの伝搬経路が通過するようになっている。 （もっと読む）

【課題】一定量の被搬送物質たる液体を、目的エリアまで安定的に搬送可能とする。
【解決手段】滴状の液体が停留するための第一及び第二の停留エリア１７ａ，１７ｂと、第一の停留エリア１７ａ内の滴状の液体を第二の停留エリア１７ｂに搬送するための弾性波１８を励振する搬送電極１４と、を基板１２の搬送面上に備え、第一の停留エリア１７ａ内の滴状の液体が弾性波１８により搬送面上を搬送され、第二の停留エリア１７ｂ内では、搬送された液体が、第一の停留エリア１７ａ内の液体と略同量で且つ滴状に停留するように、搬送面上の液体に対する親和性に高低差が設けられている構成とした。例えば、搬送経路１６ａ，１６ｂと低親和性領域１９とによって、搬送面上の液体に対する親和性に高低差が設けられる。 （もっと読む）

【課題】移動子を確実に移動させることができる弾性表面波アクチュエータを提供することにある。
【解決手段】弾性表面波アクチュエータは、圧電基板２、及び該圧電基板２の表面に所定距離隔てて対向配置されるとともに圧電基板２に弾性表面波を励振する一対の交差指電極３，４を備える固定子１と、圧電基板２の表面に載置されて前記弾性表面波により移動させられる移動子５と、移動子５を固定子１に所定の圧力Ｎで接触させる予圧手段とを具備し、一対の交差指電極３，４は、対向する交差指電極が励振する弾性表面波を前記対向する交差指電極側に反射するように構成され、同方向に進む弾性表面波は、同一の位相を有するように設定されている。 （もっと読む）

【課題】
励振手段の破損を防止でき、しかも固定子の耐久力を向上できる弾性表面波アクチュエータを提供する。
【解決手段】
弾性表面波アクチュエータは、圧電基板２と該圧電基板２の表面に形成されて圧電基板２に弾性表面波を発生させる励振手段となる電極３ａ，３ｂとを備える固定子１と、電極３ａ，３ｂが形成される励振用部位Ｐ１を除く圧電基板２の表面部位Ｐ２に所定の圧力で接触されて弾性表面波により移動させられる移動子４とを具備し、移動子４を接触移動させる移動用部位Ｐ３を含む圧電基板２の表面部位Ｐ２には、圧電基板２よりも高い硬度を有する硬質膜５が形成され、硬質膜５は、移動子４と電極３ａ，３ｂとが干渉しない程度の膜厚を有している。 （もっと読む）

【課題】より少ない弾性波のエネルギーで圧電性基板上の物体を効率よく駆動する。
【解決手段】励振用電極ＴＲＮ１の櫛形電極ＴＲＮ１−１，ＴＲＮ１−２，ＴＲＮ１−３は、励振可能なＳＡＷの中心周波数がそれぞれ異なる。物体ＯＢＪをＸ方向における励振用電極ＴＲＮ２側へ移動させる場合は、信号発生器ＯＳＣから周波数ｆ１＿３の駆動用の交流信号を出力する。励振用電極ＴＲＮ１においては、櫛形電極ＴＲＮ１−３により周波数ｆ１＿３のＳＡＷが励振され、このＳＡＷが圧電性基板をＸ方向に伝搬することで、圧電性基板上の物体ＯＢＪがＸ方向における励振用電極ＴＲＮ２側へ移動する。このとき、櫛形電極ＴＲＮ１−１，ＴＲＮ１−２においては、励振可能なＳＡＷの周波数が入力された駆動用の交流信号の周波数と異なるため、ＳＡＷは励振されない。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータ装置及びそのアクチュエーティング方法を提供する。
【解決手段】制御しようとする対象の変位を、固定くし形電極と移動くし形電極との間の電圧を調節することによって制御する静電型アクチュエータにおいて、アクチュエータ駆動信号及び所定の搬送信号を利用してパルス幅変調してアクチュエータ制御信号を生成するアクチュエータ制御信号生成部と、固定くし形電極及び移動くし形電極を備え、アクチュエータ制御信号によって電圧が調節されるアクチュエータと、を備えることを特徴とするアクチュエータ装置である。これにより、アクチュエータ駆動信号の電圧が高く、搬送信号の周波数が高い場合にも、パルス幅変調されたアクチュエータ駆動信号により容易に制御され得る。 （もっと読む）

【課題】所望の搬送距離だけ被搬送物質を搬送可能な搬送システムを提供する。
【解決手段】第一の搬送経路１４ａと、この第一の搬送経路１４ａの搬送方向下流側と合流する第二の搬送経路１４ｂと、第一の搬送経路１４ａ上に供給された被搬送物質を搬送し、第二の搬送経路１４ｂ上に送り渡すための弾性波を発生させる第一の弾性波発生手段１２ａと、第一の搬送経路１４ａ上から送り渡された被搬送物質を第二の搬送経路１４ｂ上で搬送するための弾性波を発生させる第二の弾性波発生手段１２ｂと、を基板１０の表面上に有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】所望の搬送距離だけ所望量の被搬送物質を効率的に搬送可能な搬送システムを提供する。
【解決手段】弾性波発生手段１２ａは、主搬送経路１４上の被搬送物質に対して、搬送方向の上流側の異なる２方向から斜めに入射する２種類の弾性波を発生させるものであり、主搬送経路１４上の被搬送物質は、弾性波発生手段１２ａから入射される２種類の弾性波により、主搬送経路１４上で搬送される。 （もっと読む）

【課題】リニアモータパッケージを提供し、これをカメラモジュール光学系に適用することによって超小型光学ズーム機能を実現する装置を提供する。また、前記リニアモータパッケージを用いて、カメラモジュール光学系でレンズ群を駆動するリニアモータを保護し、その機能を補助する装置を提供する。さらに、前記リニアモータパッケージの集積によりカメラモジュールを軽量化及び小型化することを課題とする。
【解決手段】本発明の表面弾性波リニアモータは、表面弾性波が移動する基板１と、前記表面弾性波の移動方向と反対方向に並進運動をする可動部２と、前記基板１に表面弾性波を発生させるための電極３，４とを含む。本発明によると、従来の回転モータ、ギア及びリードスクリューを用いた駆動機とは異なり、別途のメカニズムなしに並進運動を実現することができ、又、小型および軽量化に適するため多様な分野に応用されることができる。 （もっと読む）

【課題】 弾性表面波による液体移送装置であって、より低電圧で液体を移送できる液体移送装置を提供する。
【解決手段】 圧電性基板２３表面上の液体１３を弾性表面波によって移送する液体移送装置１に、液体１３が移送される液体移送部１２と、液体移送部１２に存在する液体１３を移送するために液体移送方向と同方向に進行する弾性表面波を圧電性基板２３表面に励振する一方向性弾性表面波励振部３２と、圧電性基板２３表面に励振された弾性表面波の一部を電気エネルギーに変換し、該変換した電気エネルギーを用いて圧電性基板２３表面に液体移送部１２に存在する液体１３を移送するために液体移送方向と同方向に進行する弾性表面波を励振させてエネルギーを還流するエネルギー還流部３０とを設けた。 （もっと読む）