【課題】移動体を繰返し移動させても安定した駆動が得られるようにすること。
【解決手段】慣性駆動アクチュエータを、固定部材１と、該固定部材１に設置され、第１の方向とその逆の第２の方向とに微小変位を発生する圧電素子２と、該圧電素子２の上記微小変位によって往復運動するとともに、その平面上に第１の電極３１を有する振動基板３と、該振動基板３の上記平面上に配置され、上記第１の電極３１と絶縁膜３２を介して対向する平面に第２の電極４１を有する移動体４と、上記第１の電極３１と上記第２の電極４１との間に電圧を印加して静電吸着力を作用させることによって、上記振動基板３と上記移動体４との間の摩擦力を制御する電位差発生手段と、磁気吸着力により上記移動体４と上記振動基板３を摩擦結合させる永久磁石５及び被吸着部材６と、を備えるものとして構成する。 （もっと読む）

【課題】薄型で被駆動体の移動効率が高い駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置の一形態であるＡＦユニット１０は、圧電素子１２と、圧電素子１２の一端を保持する保持部材１４と、圧電素子１２の自由端と摩擦接触する被駆動部材１６と、被駆動部材１６に連結されたレンズ枠１８と、被駆動部材１６をＺ方向にスライド自在に保持するガイド２０と、これらを収容するユニットケース２２と、圧電素子１２を駆動する制御部１０Ａを有する。制御部１０Ａは、圧電素子１２の屈曲変位量を小さくしていく過程において被駆動体１６をガイド２０にしたがう所定の向きにスライドさせ、圧電素子１２の屈曲変位量を大きくするときに圧電素子１２を被駆動体１６に対して滑らせて被駆動体１６の戻りを小さくする。 （もっと読む）

【課題】小型で電圧制御が容易な超音波アクチュエータを提供することを目的とする。
【解決手段】回転自在なロータに作用してロータを回転させる超音波アクチュエータにおいて、ロータに一端が接し途中に折れ曲がった角部を有しさらに延在して他端側が固定された板状の振動子と、振動子の、上記一端と上記角部との間の一部分と接触し、交流電圧の印加を受けて振動してその振動を振動子に伝える圧電素子とを備えた。 （もっと読む）

【課題】小型化を図るに際して、駆動力の低下を抑制することが可能な駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置１Ａは、被駆動体に駆動力を伝達するチップ部材１３と、互いに所定の角度を有する状態でチップ部材１３にそれぞれその一端側が接合される複数の圧電素子（変位素子）１１，１２と、複数の圧電素子１１，１２の各他端側に接合されるベース部材１４と、複数の変位素子１１，１２の少なくとも１つに駆動信号を付与することによってチップ部材１３に楕円振動を励起する制御回路８０とを備える。ベース部材１４は、接合部Ｃ１で圧電素子１１と接合され且つ接合部Ｃ２で圧電素子１２と接合されるとともに、接合部Ｃ１と接合部Ｃ２との間においてチップ部材１３側に張り出すように屈曲する屈曲部分を有する。 （もっと読む）

【課題】フォースフィードバック用アクチュエータとして超音波モータを用いることによって、ギヤなどの操作者による破壊のおそれのある構成を用いずに済み、部品点数を減少させるとともに小型化が可能な入力装置を提供することである。
【解決手段】回転子および、圧電体により円環上に進行波を励起するリング状振動子を有するとともに前記回転子に対して前記リング状振動子を加圧接触させて成る超音波モータと、前記回転子および前記リング状振動子のいずれかに触れた前記操作者に向けたフォースフィードバック制御用アクチュエータとしての前記超音波モータを制御する制御手段とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】超音波振動子の位置決め精度の低下を防止し、被駆動体の駆動精度および駆動効率を向上する。
【解決手段】駆動電圧を供給されることにより、異なる２つの振動モードを同時に発生させて出力端に略楕円振動を生じさせる超音波振動子２と、該超音波振動子２の出力端に固定された接触部材３と、該接触部材３により押圧される被駆動体４と、接触部材３と被駆動体４とを密着させる方向に押圧力Ｆを付与する押圧手段５とを備え、該押圧手段５が、超音波振動子２に固定され、該超音波振動子２の振動の節に沿って丸棒部材７を保持する保持部材６と、該保持部材６に保持された丸棒部材７の外周面に周方向に間隔をあけた２カ所において線接触させられるＶ字溝１２ａを有する押圧部材８と、該押圧部材８を超音波振動子２に向けて付勢する付勢部材１１とを備える超音波モータ１を提供する。 （もっと読む）

【課題】
大きなトルクを発生させるとともに、トルクを安定させる。
【解決手段】
そこで、上記課題を解決する為に本発明の超音波モータは、圧電素子を有する板状の圧電振動子と、圧電振動子の振動により圧電振動子と相対運動する移動体と、圧電振動子に設けられ、移動体と接する突起と、突起が設けられている圧電振動子の側面と反対側の側面にはバランス用突起と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】電気−機械エネルギ変換素子と導通部品の機械的結合及び電気的接続において、振動子に振動を励起した時の機械的損失を少なくし、結合面の密着度合いを良好にすることを少ない部品点数で可能にした振動子及び振動波駆動装置を提供する。
【解決手段】振動波駆動装置の振動子は、振動体２、表面に電極を有し圧電素子４と電源の導通を行うフレキシブル基板２、表面に電極を有し電気量を機械量に変換する圧電素子４を備える。圧電素子４とフレキシブル基板２を、圧電素子４のパターン電極４ａを有する面の一部と、フレキシブル基板２の電極を有さない面であるベース面の一部とにおいて、接着剤により結合する。圧電素子４とフレキシブル基板２は、接着剤により結合された各々の機械的結合面の少なくとも一方（フレキシブル基板２のベース面）が電極を有さない構造を有する。 （もっと読む）

【課題】球体であるロータを複数のステータで保持する球面超音波モータにおいて、ロータとステータとの接触圧力分布を調整し、回転方向に応じた推進力を得られるようにすることで、駆動トルクが大きく安定した球面超音波モータを提供することである。
【解決手段】球状回転子と、圧電体により円環上に進行波を励起するリング状振動子とを備え、前記球状回転子の周りに複数の前記リング状振動子を配置し、加圧接触させてなる球面超音波モータにおいて、前記球状回転子と前記リング状振動子との接触圧力分布が一方向に偏るように接触させていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高トルクを実現することができる多自由度超音波モータを提供することを課題とする。
【解決手段】振動子３の第１の端子３１ｔ、第２の端子３２ｔ及び第３の端子３３ｔのうち２つを選択し、これら２つの端子の双方から位相を９０度シフトさせた交流電圧をそれぞれ印加すると、ステータ２に振動が発生し、ロータ６と接触するステータ２の段差９に楕円振動が発生する。ステータ２が一体に形成されたリング部材１０を有しているため、ステータ２の振動に伴ってリング部材１０もロータ６に非接触の状態で振動し、リング部材１０から放射される音波の放射圧によってロータ６がステータ２の段差９に対して加圧され、これらロータ６と段差９との間の摩擦力が大きくなってロータ６に効果的に回転力が伝達される。 （もっと読む）

【課題】組立工程の削減によるコストダウン、板ばねの塑性変形の低減による駆動性能のばらつき抑制、および、落下衝撃による部品の分解飛散防止を可能にした駆動装置を提供する。
【解決手段】圧電素子１４と、圧電素子１４の一端に固定された駆動摩擦部材１６と、駆動摩擦部材１６に摩擦係合された移動部材１８とから構成され、圧電素子１４を伸縮させることで移動部材１８を駆動摩擦部材１６に対して相対移動させる駆動装置１０であって、移動部材１８を駆動摩擦部材１６に押し付けるための板ばね３２が移動部材１８と一体部材をなしている。 （もっと読む）

【課題】 発熱による異常摩耗を未然に防止するとともに、圧電素子を効率よく動作させるのに好適な圧電アクチュエータキ装置を提供する。
【解決手段】 圧電アクチュエータ７は、圧電素子１２と、可動体を設置する走行プレート６と、走行プレート６と圧電素子１２の間に設けられたフィンガ８とを備え、圧電素子１２に電圧を印加することにより圧電素子１２を変位させ、その変位によって可動体を駆動する。また、温度変化により抵抗値が変化する導線１３をフィンガ８に巻き付け、フィンガ８の温度を検出する。 （もっと読む）

本発明は、圧電式の駆動装置のための圧電式のアクチュエータユニット（３）であって、第１のキャップ（１２）に対して緊締された圧電式のアクチュエータ（１０）が設けられていて、前記第１のキャップ（１２）が、この第１のキャップ（１２）を介して圧電式の駆動装置の駆動体（１）に固定するように構成されており、ケーブル（５）及び／又はコンタクトピン（１６）が設けられていて、該ケーブル（５）及び／又はコンタクトピン（１６）が前記アクチュエータ（１０）に結合された、このアクチュエータ（１０）を電気的に制御するためのコンタクトエレメントとして構成されている形式のものにおいて、第１のキャップ（１２）が、コンタクトエレメント（５，１６）を引き込みガイドするための少なくとも１つの開口（１５）を有していることを特徴としている。特に有利には、このような圧電式のアクチュエータは圧電式の駆動装置に組み込まれており、この圧電式の駆動装置は、円筒形の駆動面（２）を備えた駆動体（１）と、該駆動体（１）を駆動面（ｘ，ｙ）で振動させる圧電式のアクチュエータ（１０）を備えた少なくとも２つの駆動ユニット（３）と、駆動面（２）に当接し、振動によって回転運動せしめられる駆動軸（４）と、アクチュエータ（１０）を駆動するために、前記アクチュエータ（１０）に回路を接続するためのコンタクトエレメントとを有している。
（もっと読む）

【課題】 強度の向上、駆動範囲の拡大化、製造工程の簡略化、製造コストの削減を図ることができるマイクロアクチュエータを提供すること。
【解決手段】 位置決め対象物を搭載するステージ４と、このステージ４が一体的に固定装着されるフレーム２と、このフレーム２に装備され印加される駆動信号に基づいて伸縮変形する圧電部材３と、この圧電部材に駆動信号を印加する駆動装置と、を備え、圧電素子３を、伸縮することによりフレーム２に回転力を付勢するよう配置した。 （もっと読む）

【課題】 位置検出手段の出力信号を信号分割して高分解能化を図った場合も、振動型駆動力発生手段の振動体によるノイズの影響を受けず、実際に高分解能化が可能な駆動装置を提供する。
【解決手段】 電気−機械エネルギー変換により振動体１０５に振動を励起し、該振動体と該振動体に接触する接触体とを相対駆動する振動型駆動力発生手段と、該駆動力発生手段により所定方向に駆動される移動部材と、該移動部材の移動量を検出するための検出手段１０１と、検出された前記移動量に基づいて前記駆動力発生手段を制御する制御手段とを有する光学機器において、前記検出手段からの出力信号線１０２の前記振動体の近傍を通る部分は、該振動体上に形成されたパターンのグランド１０９近傍を通るように配線する。 （もっと読む）

【課題】 駆動回路の構成を簡略化することができる振動波アクチュエータ及びその駆動方法を提供する。
【解決手段】 交流電圧Ｖ１を圧電体１に印加して、圧電体１，３，５及び弾性体７からなる振動体に突き上げ振動を形成し、圧電体３はこの突き上げ振動の振幅に応じた振動検出電圧を出力し、圧電体５はこの振動検出電圧を入力して振動体にねじり振動を発生させる。これにより、単相の駆動電圧（交流電圧Ｖ１）で弾性体７上に進行性の振動波を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】非常に狭い占有領域で微小押圧力を安定して与えることによって、超小型光学系にも適用可能なインパクト駆動アクチュエータを提供すること。
【解決手段】第１の方向とその逆の第２の方向に、圧電振動子１０２によって微小変位の往復運動を行う振動基板１０３上に移動子１０４を配置し、振動基板１０３に形成した振動基板電極１０５と、振動基板電極１０５と絶縁膜１０６を介して対向するように移動子１０４に形成された移動子電極１０７と、の間の電位差によって、振動基板１０３と移動子１０４の間に静電吸着力を作用させるインパクト駆動アクチュエータであって、圧電振動子１０２が振動基板１０３を往復運動させるに際して、第１の方向に変位するのに要する変位時間と第２の方向におけるそれとが異なり、変位時間が大きい方向に移動子１０４が振動基板１０３に対して相対的な変位を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、圧電セラミックの変形による移動子の変位を最大限に拡大することで移動子をより大きな駆動力と速い速度で移動させることができる変位拡大手段を有する圧電線形モータを提供する。
【解決手段】シャフトが、膨張変形及び収縮変形が可能な圧電アクチュエータに軸方向に移動可能に連結される。圧電アクチュエータは、電圧が印加されると膨張変形または収縮変形する圧電セラミックを備える。移動子は、シャフトとの間で所定の摩擦力が生ずるとともに、シャフトに対して相対移動可能に、シャフトに設けられる。移動子の変位を拡大するために、モータは、圧電セラミックの一面に付着されるベース板と、ベース板から円錐形状に延設される傾斜板と、傾斜板の先端部の中心に形成されてシャフトが結合する上板と、をさらに備える。ベース板は、圧電セラミックの膨張変形または圧縮変形時に凸状または凹状の断面形状を有するように変形され、ベース板の変形によって、上板はシャフトの軸方向に移動する。 （もっと読む）

【課題】接触部材の局部的な摩耗を低減し、長期の駆動による性能劣化を低減すること等を可能とした振動波駆動装置を提供する。
【解決手段】振動波モータは、振動体１と圧電素子３の接合により構成された振動子と、振動子に発生させた振動により駆動される移動子５と、振動体１の振動拡大部１−１の上面に接合された接触部材６を備える。接触部材６は、振動体１の振動拡大部１−１の長手方向両端部に各々固定された固定部６ａと、両固定部間を一体的に接続し複数に分割された両持ち梁構造を有する連結部６ｂを備える。振動波モータの駆動中に接触部材６と移動子５との間の接触圧力が変化し接触部材６の変形量が変化しても、接触面全面にわたって移動子５との接触が可能となる。これにより、接触部材６の接触面圧を一様にし、局部的摩耗を低減する。 （もっと読む）

【課題】エネルギ回収型の弾性表面波モータにおいて、弾性表面波に生じる位相変化を調整してエネルギ効率の向上を図る。
【解決手段】弾性表面波モータ１は、弾性表面波素子基板２と、弾性表面波素子基板２の表面Ｓの弾性表面波進行方向の前後に配置されてエネルギの回収と供給を行うことによりエネルギの環流を行う一方向性櫛形電極３１，３２と、弾性表面波素子基板２の表面Ｓであって一方向性櫛形電極３１，３２の間に配置され外部電源Ｖ１，Ｖ２に接続されるエネルギ補填用櫛形電極４１，４２と、予圧Ｆが付与された状態で表面Ｓ部分に接触、配置されるスライダ５と、を備えている。スライダ５の接触面５０の弾性表面波の進行方向と直交する幅方向の全幅ａと、各一方向性櫛形電極３１，３２及びエネルギ補填用櫛形電極４１，４２における電極重なり幅ｂとは略等しい寸法とされている。 （もっと読む）