【課題】可動体の位置検出を簡易な構成で実現する。
【解決手段】駆動装置１は、ガイド１３，１３と、ガイド１３，１３に対して相対的に移動可能なステージ１１と、ステージ１１を移動させる超音波アクチュエータ２と、超音波アクチュエータ２を制御する制御装置７とを備えている。超音波アクチュエータ２は、ステージ１１に接触する駆動子４９，４９を有すると共に、ガイド１３，１３側に取り付けられている。ステージ１１における駆動子４９，４９が接触する面には、凹凸部１２が形成されている。制御装置７は、駆動子４９，４９の接触圧力の変化に基づいてステージ１１の位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】
矩形板形状の振動体に発生する振動の励振力を高め、超音波モータの出力を向上させる。
【解決手段】
そこで、上記課題を解決する為に本発明の超音波モータは、圧電素子を有する振動体と、振動体と接する移動体と、を有し、圧電素子の一方の面に設けられた第一の電極群に駆動信号を印加するか、第一の電極群と分極方向の異なる部分に設けられた第二の電極群に駆動信号を印加するかを選択することで振動体に発生する二つの異なる振動の位相を変え、移動体もしくは振動体自体の移動方向を可変とする。
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【課題】振動部材の製造が容易なリニア駆動装置、レンズ駆動装置、カメラ及びカメラ付き携帯電話を提供する。
【解決手段】本発明のレンズ駆動装置１において、振動部材７の振動により駆動軸２１が軸線方向に振動することにより、駆動軸２１に摩擦接触した移動体３が直線移動するリニア駆動装置において、振動部材２１は、一方及び他方の圧電素子２３、２５間に挟持され弾性を有する金属製の振動子１９とを有しており、一方及び他方の圧電素子２３、２５に形成された電極層２４、２６に給電することにより伸縮するものであり、一方の圧電素子２３の電極層２４は圧電素子表面における中央部を欠除してあり、駆動軸２１の基端２１ａは欠除部２４ａに配置して圧電素子２３の表面に接着固定してある。 （もっと読む）

【課題】使用雰囲気（湿度環境）に影響されることなく、良好に回転軸を回転させることができるアクチュエータ、及びワイパ装置を提供する。
【解決手段】回転軸８に取付けられ、少なくともその一部に振動する部位を有する駆動体２７と、回転軸８に形成された軸本体１３の下端１３ａと当接するエンド部１７ｂと、エンド部１７ｂに軸本体１３の下端１３ａを押接させ、これらエンド部１７ｂと軸本体１３の下端１３ａとの摩擦抵抗によって回転軸８に回転抵抗力を付与する加圧スプリング２５とを備え、回転軸８の回転の際に、これと同期してエンド部１７ｂを振動させる圧電素子１８を設けた。 （もっと読む）

【課題】駆動の安定した振動アクチュエータ、及びこれを備えるレンズ鏡筒、カメラを提供する。
【解決手段】振動体（１１）と、振動体に加圧接触され、振動体の振動により、振動体との間で相対移動する相対移動部材（１４）と、振動体と相対移動部材とを加圧接触させる加圧部（１８，２８，３８，４８）とを有する振動アクチュエータであって、加圧部は、温度変化に応じて加圧方向に変位する変位部（１８ｄ，２８ｄ，３８ｄ，４８ｄ）を有することを特徴とする振動アクチュエータ（１０，２０，３０，４０）とした。 （もっと読む）

【課題】 被駆動部材の駆動特性のばらつきを確実に抑制することができる駆動装置を提供する。
【解決手段】 駆動装置１では、駆動部材１４が摺動部材１６Ｃ，１６Ｄによって挟まれ、その状態で、摺動部材１６Ｃが付勢部材１６Ｂによって摺動部材１６Ｄ側に付勢されることにより、被駆動部材１６が駆動部材１４に摩擦係合される。このとき、摺動部材１６Ｃは、駆動部材１４に形成された２つの摺動平面において駆動部材１４に面接触している。そのため、曲面同士を面接触させようとする場合に比べ、摺動部材１６Ｃと駆動部材１４との面接触が確実化すると共に、駆動部材１４に対する摺動部材１６Ｃの姿勢が安定化する。これらにより、摺動部材１６Ｃと駆動部材１４との間に生じる摩擦力が安定化するため、被駆動部材１６の駆動特性のばらつきを確実に抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】駆動対象物を高い精度で移動させ，位置決めすることができる超音波モータ素子および超音波モータ装置を提供する。
【解決手段】超音波モータ素子１０は、矩形平板状の圧電体１１の一方の主面に長さ方向で２分割して設けられた第１，第２電極１３ａ，１３ｂと、他方の主面に幅方向で２分割して設けられた第３，第４電極１３ｃ，１３ｄを有する。第１，第２電極１３ａ，１３ｂに印加する電圧の位相を１８０度ずらし、第３，第４電極１３ｃ，１３ｄに印加する電圧の位相を１８０度ずらし、第１，第２電極１３ａ，１３ｂに印加する電圧と第３，第４電極１３ｃ，１３ｄに印加する電圧の位相を９０度ずらすことによって、長さ方向の伸縮２次共振振動とその幅方向の曲げ１次共振振動を生じさせる。 （もっと読む）

【課題】小型で電圧制御が容易であるとともに、ロータの回転速度を制御することができる超音波アクチュエータを提供する。
【解決手段】回転自在なロータに作用してロータを回転させる超音波アクチュエータにおいて、ロータに一端が接し途中に折れ曲がった角部を有しさらに延在して他端側が固定された板状の振動子と、振動子の、一端と角部との間の一部分に接触し、交流電圧の印加を受けて振動してその振動を振動子に伝える第１の圧電素子と、振動子の、他端と角部との間の一部分に接触し、直流電圧の印加を受けて伸縮してその一部分の湾曲を調整することにより、振動子の振動開始前における、一端をロータに押し当てる予圧力を調整する第２の圧電素子とを備えた。 （もっと読む）

【課題】低振動でドリフトが小さく高精度の位置決めを行える電子顕微鏡用ステージ機構を実現する。
【解決手段】ステージの駆動機構に超音波モータを用いるとともに、停止剛性を高める固定機構をモータと一体化する。すなわち、与圧機構に超音波モータと共に固定機構のピエゾ素子をマウントする構造を用い、ステージの加速減速及び位置決めを駆動機構で行った後、固定機構によりステージを固定する際、ステージの両側に位置するピエゾ素子が伸長し、ステージを押圧するように構成する。 （もっと読む）

【課題】ロータの回転に伴う摩耗を低減することができる振動アクチュエータを提供することを課題とする。
【解決手段】ステータ２の凹部６内に潤滑剤Ｇが収容されている。支持部材１１に支持された予圧部１２はロータ８の表面に当接すると共に、予圧部１２の下方に向かって開いた凹部１３内にも潤滑剤Ｇが収容されている。ステータ２の凹部６及び予圧部１２の凹部１３の内部にそれぞれ収容されている潤滑剤Ｇにロータ８の表面が接して、ロータ８の表面に潤滑剤Ｇが付着し、このように潤滑剤Ｇが付着したロータ８の表面部分がロータ８の回転に伴って移動することにより、ロータ８の表面に接触するステータ２の角部７及び予圧部１２の予圧面１５にそれぞれ潤滑剤Ｇが供給される。これにより、ステータ２及び予圧部１２とロータ８とのそれぞれの接触部分における摩耗が低減される。 （もっと読む）

【課題】トラス型圧電アクチュエータの保持が極めて容易であり、しかもトラスアクチュエータにぶれが発生しにくいアクチュエータケースを提供する。
【解決手段】トラス型圧電アクチュエータ１０とこれを保持するケース２０を具備する超音波モータ１００において、ケース２０は、圧電アクチュエータ１０を把持する凹型の第１ケース部２１と、第１ケース部２１を嵌挿保持する凹型の第２ケース部２２と、第１ケース部２１の側壁部２１ｂを圧電アクチュエータ１０に押し付ける第１コイルバネ２４と、第１ケース部２１の底壁部２１ｃを圧電アクチュエータ１０に押し付ける第２コイルバネ２５と、円柱形状を有し、その中心軸が圧電アクチュエータ１０の変位面と直交し、かつ、その側面の一部が第１ケース部２１の側壁部２１ａと対向する第２ケース部２２の面を押圧するように第１ケース部２１の側壁部２１ａに保持されたコマ２３を具備する。 （もっと読む）

【課題】サブミクロンオーダの位置決めを可能にする。
【解決手段】超音波モータを備えた微動機構は、固定台１と、固定台１に対して移動軸方向に移動可能に支持された移動体３と、その移動軸方向に対して平行な平面であって２つの突起部９が設けられた第１の平面と当該第１の平面に対して平行な第２の平面とを有する立体的形状をしており、高周波電圧信号の印加により複数の振動モードを励起する振動体８と、振動体８を固定台１に対して保持する保持部材５とを備え、保持部材５は、振動体８の前記第２の平面の一部と固定され、少なくとも摩擦摺動部又はゴム部材の一方を含む非線形性の高い要素を含まない高剛性材料によって一体的に構成されている。 （もっと読む）

【課題】小型化を阻害することなく、優れた駆動性能を安定して得ることが可能な超音波アクチュエータを提供する。
【解決手段】電気信号により伸縮する変位部と、変位部の伸縮により楕円運動を生じる当接部と、を備えた振動体と、当接部に接触し楕円運動により発生する摩擦力により振動体に対して相対移動を生じるガイド部材と、ガイド部材と当接部とを加圧接触させる加圧部材と、を有する超音波アクチュエータにおいて、ガイド部材と加圧部材は、一体化して形成されたものであり、加圧部材の材料は、ヤング率が０．１ＧＰａ以上の高分子材料である。 （もっと読む）

【課題】移動体の多自由度の動作を可能にすることができるとともに、装置の小型化を図ることができる多自由度駆動装置を提供する。
【解決手段】この多自由度駆動装置は、被駆動体１３を保持する移動体１４を異なる方向に駆動するものであって、移動体１４を挟み込んで該移動体１４に加圧接触する一対の超音波振動子１１，１２を備える。該一対の超音波振動子１１，１２は対向配置されて、移動体１４に対する駆動方向が互いに異なっている。 （もっと読む）

【課題】効率よく安定した振動振幅が得られると共に実際の振動振幅をモニタ可能な超音波モータと、これを備える顕微鏡ステージを提供する。
【解決手段】顕微鏡ステージ１が備える超音波モータは、複数の矩形形状の板状圧電体を厚さ方向に積層して構成される振動子１１と、板状圧電体に駆動信号を印加する駆動回路５９と、板状圧電体が変形した際に生じる起電力を検出する検出回路６０とを備え、その複数の板状圧電体は板状圧電体３２、３５を含み、板状圧電体３２、３５の各々は、縦振動を励起可能な縦振動用分極部と屈曲振動を励起可能な屈曲振動用分極部とが厚さ方向に分極された板状圧電体であって、板状圧電体３５は駆動回路５９と検出回路６０とに接続され、板状圧電体３２は、駆動回路５９と接続され検出回路６０と接続されない。 （もっと読む）

【課題】振動子を可動子に押し付けるための構造がシンプルな摩擦駆動アクチュエータを提供する。
【解決手段】摩擦駆動アクチュエータは、超音波振動子１２００をロータ１２２に押し付けるように超音波振動子１２００を牽引するゴム１２９を有している。ゴム１２９は、巻取機構５００によって巻き取られる。 （もっと読む）

【課題】組み立てが簡単かつ駆動速度が高い慣性駆動アクチエータを提供する。
【解決手段】慣性駆動アクチュエータは、固定部材１０と、固定部材１０上に配置された振動基板３０と、振動基板３０上に配置された移動体４０と、固定部材１０上に対して振動基板３０を往復移動させる圧電素子２０とを備えている。移動体４０は第一電極４１を有し、振動基板３０は第二電極３１を有する。第一電極４１と第二電極３１は絶縁膜３５を介して部分的に対向する。第一電極４１と第二電極３１の対向部分の面積は移動体４０の移動に伴って連続的に変化する。慣性駆動アクチュエータはさらに、第一電極４１と第二電極３１との間に電圧を印加して振動基板３０と移動体４０との間の摩擦力を制御する摩擦力制御手段７０と、第一電極４１と第二電極３１の対向部分の静電容量を調べて移動体４０の位置を検出する位置検出手段８０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】高湿環境下においても能力を発揮できるアクチュエータを提供すること。
【解決手段】固定部材１と、上記固定部材に設置され、第１の方向とその逆の第２の方向に微小変位を発生する圧電素子２と、上記圧電素子の上記微小変位によって往復運動するとともに、その平面上に第１の電極３１を有する振動基板３と、上記振動基板の上記平面上に配置され、上記第１の電極と絶縁膜３１０を介して対向する平面に第２の電極４１を有する移動体４と、上記第１の電極と上記第２の電極との間に電圧を印加して静電吸着力を作用させることによって、上記振動基板と上記移動体との間の摩擦力を制御することで、上記移動体を移動させる摩擦力制御手段とを備え、更に、上記振動基板の上記平面上の上記第１の電極の外側で且つ上記移動体と対向する部位に、上記電圧印加によって上記第１及び上記第２の電極の間に生じている電界を遮断する電界緩和領域３０１を有する。 （もっと読む）

【課題】 長時間駆動させても外部電極が破断することのない信頼性に優れた超音波モータ駆動装置を提供する。
【解決手段】 圧電素子を備えたランジュバン型の２個の超音波振動子と、前記２個の超音波振動子を所定の角度で保持する保持部材と、略Ｖ字型の形状を有し、その頂点部で被駆動体と接し、その端部で前記２個の超音波振動子と接続された接触部材と、を備えた超音波モータの駆動装置であって、
前記圧電素子の一側面に形成された略長方形の外部電極の長辺と平行な対称線と前記圧電素子に形成された円柱孔の軸とを含む面と、前記超音波モータの駆動装置の駆動面と平行な面と、によって形成される２面角が４５〜１３５度であることを特徴とする超音波モータ駆動装置。 （もっと読む）

【課題】 コスト／サイズアップを伴うことなく、動力損失を抑制して安定した駆動性能を実現できる駆動装置を提供する。
【解決手段】 所定方向に移動可能な被駆動部材３と、所定方向に対して垂直方向の押し付け力により被駆動部材３と摩擦係合する駆動部材２と、この駆動部材２を所定方向に往復運動させるための駆動力を駆動部材２に入力する圧電素子１と、を有する駆動装置において、駆動部材２は、往復運動の一方向（駆動方向）では、駆動力の一部を押し付け力に変換し、他方向（反駆動方向）では、駆動方向よりも小さな変換比率で押し付け力に変換する。 （もっと読む）