【課題】部材が摩耗しても共振周波数に顕著な変化がない信頼性の高い超音波モータを提供すること。
【解決手段】本発明にかかる超音波モータ５００は、伸縮および屈曲振動するアクチュエータ部２００と、アクチュエータ部２００の一端から第１方向に延びる突起部３００と、突起部３００の先端に接触し、該先端の振動により回転するロータ部１００と、を有し、平面視において、第１方向に垂直な第２方向の突起部３００の幅は、アクチュエータ部２００の前記第２方向の幅の３０％以下である。 （もっと読む）

【課題】リングタイプの振動子を有する多自由度駆動可能な振動波モータ等の振動波駆動装置において、振動子上の接触部は常に略均等な接触面圧となる安定した接触状態を維持していることが高耐久化を図る上で有利である。そのため、被駆動体と接触部の数は３点であることが好ましく、これに対応した振動波駆動装置と制御装置が必要である。
【解決手段】偶数次数の面内方向と奇数次数の面外方向の駆動振動、又は奇数次数の面内方向と偶数次数の面外方向の駆動振動を形成する振動子を用いる振動波駆動装置の制御装置を用いる。この制御装置において、面外方向或いは面内方向のどちらか一方の駆動振動による定在波と他方の駆動振動による任意位置位相に腹を有することが可能な定在波を生ぜしめ、これら２つの定在波によって傾斜方向の駆動を実現する。 （もっと読む）

【課題】 支持体に設けられた駆動素子で駆動体を共振させ、駆動体とねじ嵌合している移動体を進行させる振動型アクチュエータを提供することを目的としている。
【解決手段】 振動軸２の下端部を支持している支持体５に複数の圧電素子６，７，８，９が設けられている。これらの圧電素子の電歪効果により支持体５に与えられる振動が支持体５を介して駆動軸２に与えられる。圧電素子に与える駆動信号の位相を変えることにより、振動軸２に固定されている駆動子３を円運動させることができる。駆動子３には雄ねじ部１３が形成されており、移動体４の中心穴４ａの内周面には、雄ねじ部１３と螺合する雌ねじ部１４が形成されている。駆動子３の円運動によって移動体４が回転させられ、ねじの軌跡に応じて移動体４が軸方向へ移動させられる。 （もっと読む）

【課題】安価な超音波モータ駆動回路を提供することである。
【解決手段】キャパシタＣ１、Ｃ２とボルテージフォロワ１６、１７は、それぞれ矩形波の信号Ａ、Ｂを矩形波の交流信号Ａ’、Ｂ’に変換する。第１の乗算器２２は、矩形波の国流信号Ａ’と、第１のＤ／Ａコンバータ１８でＤ／Ａ変換された信号を乗算して所望の振幅値の矩形波の交流信号ＭＰＹ−Ａを出力する。第２の乗算器２３は、矩形波の交流信号Ｂ’と、第２のＤ／Ａコンバータ２１でＤ／Ａ変換された信号を乗算して所望の振幅値の矩形波の交流信号ＭＰＹ−Ｂを出力する。そして、それらの信号ＭＰＹ−Ａ、ＭＰＹ−Ｂを正弦波の信号に変換して超音波モータに供給する。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で小型化できる圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】
第１の方向に分極され、前記第１の方向と略直交する方向に変位可能な第１圧電素子３２と、前記第１の方向と略平行な方向に分極され、前記第１の方向と略平行な方向に変位可能な第２圧電素子３４と、前記第１圧電素子３２の変位によってクランプされ、前記第２圧電素子３４の変位によって相対移動する相対移動部材２２とを備えた圧電アクチュエータ。 （もっと読む）

【課題】駆動信号の供給先となる圧電素子を切り替えること無く、被駆動体の駆動方向を変更可能とする技術を提供する。
【解決手段】圧電アクチュエータは、少なくとも１つの圧電素子（１２０）と、被駆動体（ＭＢ）に駆動力を作用させるための作用端（１３０）とを有し、圧電素子（１２０）の変形に応じて作用端（１３０）が振動する圧電素子構造体１００を備える。圧電アクチュエータは、さらに、圧電素子（１２０）に電圧を印加するためのドライバ回路（３００）と、ドライバ回路（３００）に矩形波状の駆動信号（ＤＶ，＃ＤＶ）を供給することによって、作用端（１３０）を振動させる駆動制御回路（２００）と、を備える。駆動制御回路（３００）は、駆動信号（ＤＶ，＃ＤＶ）のデューティ比を変更することによって被駆動体（ＭＢ）の駆動方向を反転可能である。 （もっと読む）

【課題】低コストの超音波モータ駆動回路を提供することである。
【解決手段】Ｄ／Ａコンバータ制御回路１５は、矩形波Ａの立ち上がりのタイミングで、駆動信号の振幅値を決めるデジタルデータを第１のＤ／Ａコンバータ１６に出力する。また、Ｄ／Ａコンバータ制御回路１５は、矩形波Ａと所望の位相差を有する矩形波Ｂの立ち上がりのタイミングで、駆動信号の振幅値を決めるデジタルデータを第２のＤ／Ａコンバータ１７に出力する。Ｄ／Ａコンバータ１６，１７は、それぞれデジタルデータをアナログ信号に変換して超音波モータの駆動信号として出力する。 （もっと読む）

【課題】 圧電特性を損なうことなく、駆動時において発生する自己発熱や環境の温度変化による圧電素子のインピーダンスが変化したとしても安定な駆動特性を有する超音波モータ駆動装置を提供する。
【解決手段】 超音波モータＡＡに所定の駆動周波数を有する交流電圧を供給する駆動回路Ｂと、振動に起因して変化する圧電素子Ａのインピーダンスを測定する測定回路Ｃと、第１電極群５Ａ及び第２電極群５Ｂのうち一方を前記駆動回路Ｂと接続し、かつ前記第１電極群５Ａおよび前記第２電極群５Ｂのうち他方を前記測定回路Ｃと接続する切替スイッチＥと、前記測定回路Ｃによって測定されたインピーダンスに基づいて前記圧電素子Ａに印加する交流電圧の駆動周波数を補正する補正回路Ｄとを有する。 （もっと読む）

【課題】低周波域の不要な振動を抑制し、これに伴う回転ムラを抑制することができる振動型モータの駆動制御装置を提供する。
【解決手段】振動型モータ１０の駆動制御装置は、振動型モータ１０の振動子１２の低周波域信号を検出する低周波域検出部５２と、低周波域信号とは１８０度位相の異なる逆位相信号を生成する逆相信号生成部５３とを備える。また、逆位相信号と振動型モータ１０の駆動制御電圧とを加算する加算器５５と、加算器５５により加算された信号に応じて、振動型モータ１０へ印加する信号の周波数を変える可変周波数発振器４５とを備える。 （もっと読む）

【課題】移動体を目標位置に正確かつ迅速に配置できる慣性駆動アクチュエータの位置制御方法等を提供する。
【解決手段】移動量を設定する移動量設定ステップと、移動体の目標位置を設定する目標位置設定ステップと、移動体の相対位置を検出する位置検出ステップと、目標位置と相対位置とを比較する比較ステップと、設定された移動量との比較結果に基づいて、移動手段、第１、第２の電極に印加する駆動電圧パターンを設定する駆動電圧パターン設定ステップと、第１、第２の電極との間に駆動パターン設定ステップにより設定された駆動電圧パターンを印加することで、振動基板移動と同期させながら、両者間に静電気力を作用させることにより、振動基板と移動体との間に生じる摩擦力を制御して移動体の駆動を行う駆動ステップと、を有し、比較ステップから駆動ステップを繰返して移動体を目標位置に移動させる。 （もっと読む）

【課題】ロータの全円周にわたって同一の回転特性を得ることができる内接型の超音波モータを提供する。
【解決手段】超音波モータ１は、内周面を有するロータ２００と、内周面に２の点で接触する超音波振動子１１と、超音波振動子１１に接続された上側および下側接続部材３０および３１と、上側および下側接続部材３０および３１に設けられ、ロータ２００を内周面の接線方向に移動させながら、超音波振動子と協働してロータ２００の中心の位置を維持し得るように内周面に１点で接触する円盤部材６１と、超音波振動子１１上の２点および円盤部材６１上の１点をロータ２００の中心から内周面に向かって押し付けるように上側および下側接続部材３０および３１を弾性変形させ得る押付機構１０００とを備えている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子及び振動型アクチュエータにおいて、フルブリッジ駆動を可能にするとともに、信頼性を向上させる。
【解決手段】圧電素子１２は圧電体層１と内部電極層２とを積層してなる。内部電極層２はプラス電極層２ａ及びマイナス電極層２ｂからなる。プラス電極層２ａは第１及び第２プラス電極層２ａａ，２ａｂを有する。マイナス電極層２ｂは第１及び第２マイナス電極層２ｂａ，２ｂｂを有する。第１プラス電極層２ａａ及び第１マイナス電極層２ｂａはそれぞれ、４つの分割電極３と、４つの分割電極３のうち第１対角線方向に対向する２つの領域にそれぞれ設けられた一対の分割電極３を互いに接続する接続電極４とを有する。第２プラス電極層２ａｂ及び第２マイナス電極層２ｂｂはそれぞれ、４つの分割電極３と、４つの分割電極３のうち第２対角線方向に対向する２つの領域にそれぞれ設けられた一対の分割電極３を互いに接続する接続電極４とを有する。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータ本体の駆動方向への振動を阻害することなく且つ、駆動子が受ける反力が大きい場合でも駆動力を十分に出力することができるアクチュエータ本体の支持構造を実現する。
【解決手段】超音波アクチュエータ２は、圧電素子を用いて構成されたアクチュエータ本体４とアクチュエータ本体４に設けられてアクチュエータ本体４の振動に従って動作することで所定の駆動方向への駆動力を出力する駆動子４９，４９と、アクチュエータ本体４を収容するケース５と、アクチュエータ本体４とケース５との間に設けられて、アクチュエータ本体４を５ケースに対して駆動方向に弾性支持する支持ゴム６１，６１と、アクチュエータ本体４とケース５との間に設けられて、アクチュエータ本体４が駆動方向に変位して当接することによって、アクチュエータ本体４の駆動方向への変位を制限するストッパ６３，６３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】振動アクチュエータを用いた駆動装置において、減速時の異音を防止する。
【解決手段】可動部の移動方向と駆動素子の駆動方向が異なる場合に駆動を停止することにより、過大な駆動反力が駆動素子に印加されて発生する異音を防止する。 （もっと読む）

【課題】可動体の位置検出を簡易な構成で実現する。
【解決手段】駆動装置１は、ガイド１３，１３と、ガイド１３，１３に対して相対的に移動可能なステージ１１と、ステージ１１を移動させる超音波アクチュエータ２と、超音波アクチュエータ２を制御する制御装置７とを備えている。超音波アクチュエータ２は、ステージ１１に接触する駆動子４９，４９を有すると共に、ガイド１３，１３側に取り付けられている。ステージ１１における駆動子４９，４９が接触する面には、凹凸部１２が形成されている。制御装置７は、駆動子４９，４９の接触圧力の変化に基づいてステージ１１の位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】
矩形板形状の振動体に発生する振動の励振力を高め、超音波モータの出力を向上させる。
【解決手段】
そこで、上記課題を解決する為に本発明の超音波モータは、圧電素子を有する振動体と、振動体と接する移動体と、を有し、圧電素子の一方の面に設けられた第一の電極群に駆動信号を印加するか、第一の電極群と分極方向の異なる部分に設けられた第二の電極群に駆動信号を印加するかを選択することで振動体に発生する二つの異なる振動の位相を変え、移動体もしくは振動体自体の移動方向を可変とする。
（もっと読む）

【課題】超音波モータを用いた位置決め装置に用いられ、移動体を移動プロファイルにしたがって精度よく移動させる位置決め制御装置を提供する。
【解決手段】位置決め装置１００において、スライダ５０を超音波モータ１０による摩擦駆動によって目標位置へ移動させて位置決めするために、位置センサ３０ｂにより測定されるスライダ５０の位置データを用いて超音波モータ１０を制御する制御装置２０は、超音波モータ１０の駆動周波数と位置センサ３０ｂによる位置データのサンプリング周波数とのエリアシング周波数の成分を、位置センサ３０ｂにより測定されるスライダ５０の位置データからカットするためのフィルタ２５を具備する。 （もっと読む）

【課題】圧電体の逆圧電効果を利用して簡便な構成でありながら回転運動をさせる。
【解決手段】長手方向に対向配置された２つの面１０ａ、１０ｂを正方形とした直方体であり、分極の向きを直方体の長手方向とした圧電体からなる回転部１０を有し、回転部１０の長方形をした４つの面１０ｃ、１０ｄ、１０ｅ、１０ｆそれぞれに電極１１〜１４を設け、正方形とした一方の面１０ｂを支持部５に固定することでなり、回転部１０の対向する２組の長方形の面、面１０ｃ、１０ｅと、面１０ｄ、１０ｆとの面間方向の固有振動数と同じ周波数の交流電圧を、π／２だけ周期をずらして各電極１１〜１４に印加することで実現する。 （もっと読む）

【課題】被駆動部材の移動速度の高速化を図ることができる駆動装置を提供すること。
【解決手段】圧電素子１に駆動軸２を取り付けたアクチュエータ１０を有し、駆動信号を入力して圧電素子１を伸縮させ、圧電素子１の伸縮動作に応じて駆動軸２を往復運動させて被駆動部材３を移動させる駆動装置であって、駆動信号としてパルス信号が用いられ、その駆動信号のハイ出力時間及びロー出力時間のうち短い方の出力時間としてアクチュエータ１０の最も低い共振周波数における減衰振動変位の半波長に相当する時間が設定されている。これにより、被駆動部材３の移動速度の高速化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】電力効率の低減を抑えること。
【解決手段】位相の異なる２相の駆動交番信号に基づく駆動交番電圧を超音波振動子４に印加して該超音波振動子４に異なる２つの振動モードを同時に励起させ、該超音波振動子４の出力端に生じた略楕円振動により被駆動体を相対的に移動させる超音波モータの駆動装置であって、超音波振動子の共振周波数またはその近傍の周波数をもつパルス信号である基準駆動信号を生成する基準駆動信号生成部２３と、基準駆動信号よりも周波数が高いパルス信号であり、超音波モータの速度に応じたパルス幅をもつ分割信号を生成する分割信号生成部２４と、基準駆動信号のハイレベル期間が分割信号で構成された駆動交番信号を生成し、該駆動交番信号を所定の位相差で出力する駆動信号生成部２５とを具備する超音波モータの駆動装置３を提供する。 （もっと読む）