【課題】係合部材の所定位置への移動制御を可能にする。
【解決手段】駆動電圧が印加されることにより伸縮する圧電素子２６と、該圧電素子２６により駆動される駆動部材２８と、該駆動部材２８に所定の摩擦力で係合された係合部材３０と、前記圧電素子２６を矩形波からなる駆動電圧により駆動する駆動回路１４と、該駆動回路１４の動作を制御する制御部２２とを備え、前記圧電素子２６の伸張と縮小とを異なる速度で行わせることで前記駆動部材２８と係合部材３０とを相対移動させる圧電アクチュエータ１０において、前記係合部材３０の位置を検出する部材センサ１６をさらに備え、前記制御部２２は、前記部材センサ１６からの信号に基づいて所定のデューティ比の駆動パルスを出力し、該駆動パルスに応答して、前記駆動回路１４が前記矩形波を発生することで、前記圧電素子２６を駆動する。
【選択図】図１
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【課題】１つで多次元の位置決めが可能な駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置１は、軸状の駆動部材４と、それぞれ駆動部材４の軸方向に伸縮可能に並列して設けられた複数の伸縮部１１，１２を有し、駆動部材４の一端を保持する電気機械変換素子３と、駆動部材４に摩擦係合し、駆動部材４上で滑り変位可能な移動体５と、一部の伸縮部１１，１２に、他の伸縮部１１，１２と異なる、変化率の小さい直流電圧成分を印加し、伸縮部１１，１２の全てに、共周期的に変動する共通の交流電圧成分を印加する駆動回路とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡易な制御で作動音の低減化を図ることができる駆動装置、光学装置及び駆動信号制御回路を提供する。
【解決手段】駆動信号により伸縮運動する圧電素子８ａと、圧電素子８ａに取り付けられ、圧電素子８ａの伸縮動作に応じて往復運動する駆動軸８ｂと、駆動軸８ｂに摩擦係合され、駆動軸８ｂの往復運動により移動する第１移動部材１１と、圧電素子８ａに対して駆動信号を印加する第１制御部３０と、を備え、第１制御部３０は、第１移動部材１１を移動させる場合には駆動制御パルス信号を印加し、停止した第１移動部材１１を移動させない場合には第１移動動部材１１を振動停滞状態とする停止制御パルス信号を印加することで、停止中の第１移動部材１１をスムーズに移動させたり、移動中の第１移動部材１１をスムーズに停止させたりすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ピエゾアクチュエータの駆動において、異音が生じることがある。
【解決手段】パルス生成回路２６は、ピエゾ素子１４に印加する駆動パルスとして、レンズ８を所定のステップ幅変位させるデューティ比を有した変位用パルスと、レンズ８を現在位置に停留させるデューティ比を有した停留用パルスとを選択的に生成することができる。パルス生成回路２６は、サーボ制御周期内での複数回連続する駆動パルスの発生を制御し、所要変位量の残余量が所定の閾値以上である場合、変位用パルスを発生させ、一方、前記残余量が前記閾値未満となった場合、次のサーボ制御周期の開始まで停留用パルスを持続的に発生させる。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子と振動部材との位置関係を高精度に維持しながら効率良く所定の作業を進めることができる圧電モーターの製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電アクチュエーター１０と、回転軸３と、圧電アクチュエーター１０を回転軸３に向かって付勢する付勢手段８０とを具備する圧電モーター１の製造方法であって、突起部２１の基端となる振動部材２０の短手方向の辺と突起部２１の境界に圧電素子３０の厚さ方向に突出する凸部２６を形成するとともに、振動部材２０の長手方向の二辺の相対向する位置から面方向に突出している腕部２２の基端となる前記長手方向の二辺のそれぞれの境界に前記圧電素子３０の厚さ方向に突出する凸部２７を形成する工程と、凸部２６、２７に圧電素子３０の端面を当接させて振動部材２０に対する圧電素子３０の位置を規制することによりその位置合わせを行ないつつ振動部材２０に圧電素子３０を貼着する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】複数の超音波振動子を備えた超音波モータであって、前記複数の超音波振動子を同時駆動する際の駆動安定性及び駆動自由度を向上させた超音波モータを提供すること。
【解決手段】超音波モータを次のように構成する。すなわち、複数の圧電素子2と、圧電素子2の一方面に設けられた少なくとも一つ以上の駆動子4と、圧電素子2の他方面において縦振動及び屈曲振動の共通の節または節近傍に対応する位置に配設されたホルダ部材10と、ホルダ部材10と係合することで被接触部材13と駆動子4との接触面に対して平行を為す方向における圧電素子2の位置を規制する位置規制部材6と、位置規制部材6に設けられ、ホルダ部材10と係合することで圧電素子2を保持する振動子保持部材16と、圧電素子2の個数と同数の位置規制部材6が設けられたベース部材8と、駆動子4により任意の方向へ摩擦駆動される被接触部材13と、を具備する超音波モータ。 （もっと読む）

【課題】小さな駆動力を適切に出力すると共に、そのときの消費電力を抑制する。
【解決手段】駆動装置は、圧電素子を用いて構成されたアクチュエータ本体４を有し、アクチュエータ本体４の振動によって駆動力を出力する超音波アクチュエータ２と、圧電素子に複数の交流電圧を印加してアクチュエータ本体４に振動を発生させる制御部７とを備えている。制御部７は、第１及び第２交流電圧の位相差を調節することで駆動力を制御する位相制御と、各交流電圧において所定のバースト周期中に含まれる波数を調節することで駆動力を制御する波数制御とを組み合わせて行う。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子と振動部材との位置関係を高精度に維持しながら効率良く所定の作業を進めることができる圧電モーターの製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電アクチュエーター１０と、回転軸と、圧電アクチュエーター１０を回転軸に向かって付勢する付勢手段とを具備する圧電モーターの製造方法であって、突起部２１を中心として左右両側の対称な位置で振動部材の前記突起部側の一端部に位置決め用の測定パターン２４，２４Ａを形成する工程と、前記圧電素子における前記測定パターンに対応する位置を切欠いて窓部２５，２５Ａを形成する工程と、前記振動部材に前記圧電素子を載置するとともに前記窓部の外縁を規定する辺２８，２９，３８，３９と前記測定パターンとの相対的な位置関係が所定の位置関係になるように前記圧電素子の前記振動部材に対する相対的な位置関係を調整する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】単一の振動子だけで縦とねじれ振動モードによる楕円振動を形成し、該楕円振動でロータを回転させ、軸方向に回転力を伝達する超音波モータを提供することである。
【解決手段】超音波モータ１０は、中心軸に垂直な断面が長方形状の長さ比率を有する積層圧電素子１１と、該積層圧電素子１１の縦１次共振振動とねじれ３次共振振動の共通の節部分に固定する振動子ホルダ２５と、積層圧電素子１１の楕円振動発生面に固定した摩擦接触部材１２に接して回転駆動するロータ部２６ａと、該ロータ部２６ａの回転力を軸方向に伝達するシャフト部から成るシャフト一体型ロータ２６と、ロータ部２６ａを押圧するナット２７と、振動子ホルダ２５を介して積層圧電素子１１を保持するケース３０と、を備える。そして、前記積層圧電素子１１の回転軸方向に伸縮する縦１次共振振動と回転軸をねじれ軸とするねじれ３次共振振動を合成して、楕円振動を形成して、シャフト一体型ロータ２６を回転させる。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で装置の低背化と移動ストロークの拡大が可能なだけでなく、移動の真直性とＸ−Ｙ方向の直交性に優れたアクチュエータおよび当該アクチュエータを用いた位置決め装置を提供する。
【解決手段】 被駆動部材３５において、２つの駆動体４１，４２を、直交する２軸に対して線対称となるように配置することで、各駆動体の移動方向の傾きを相殺し、各駆動体の２つの電気機械変換素子に、互いに同じ電圧または正負が反転した電圧を印加することで、直交する２軸方向に駆動する。 （もっと読む）

【課題】小型化可能で、安価で且つ良好な駆動性能を有する振動アクチュエータ及びそれを備えたレンズ鏡筒、カメラを提供する。
【解決手段】本発明の振動アクチュエータ（１０）は、振動波を生じる振動部材（１１）と、前記振動部材と接触する接触面（３０ａ）を有し、前記振動波により前記接触面（３０ａ）が駆動されることにより前記振動部材に対して相対移動する相対移動部材（４０）と、を備える振動アクチュエータであって、前記相対移動部材（４０）は、前記接触面（３０ａ）を含む第１の部分（３０）と、前記第１の部分（３０）よりも剛性が高く、かつ、前記接触面（３０ａ）と交差する第１の面（４１ａ）を有し、前記第１の部分（３０）の少なくとも一部が前記第１の面（４１ａ）と接触するように前記第１の部分（３０）が取り付けられた第２の部分（４０）とを備えたこと、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で装置の低背化と移動ストロークの拡大が可能なだけでなく、直進性が良く精密な位置決め可能な自走式アクチュエータおよびそれを用いた位置決め装置を提供する。
【解決手段】 一方の電気機械変換素子の変位の振動による移動体６１の共振周波数ｆｒｘと他方の電気機械変換素子の変位の振動による移動体６１の共振周波数ｆｒｙが５％以上異なるように構成する。 （もっと読む）

【課題】小型でも高速、高耐久、高出力である直動型のアクチュエータを実現する。
【解決手段】中間部と端部で直径の異なる円筒状の振動体２と同軸に、２つの円筒状の圧電素子３ａ、３ｂを配置し、振動体２の両端部に圧電素子３ａ，３ｂを固定する。圧電素子３ａ、３ｂの内側に配置した電極４ａ、４ｂにそれぞれ振動電圧をかけて振動体２を加振し、進行波の波頭を、振動体２を嵌合させた筒状部材１に接触させる。振動体２の接触部における摩擦によって、振動体２と圧電素子３ａ、３ｂからなる移動体を筒状部材１の軸方向へ移動させる。 （もっと読む）

【課題】振動波モータの実際の回転速度と目標回転速度の回転速度差に応じて、振動波モータに供給する交流電圧の周波数を適切に制御する振動波モータの駆動方法を提供する。
【解決手段】交流電圧により振動体４０１に振動を発生させて移動体４０３を駆動する振動波モータ１０１を、移動体４０３の目標回転速度Ｎ_objnを設定し、交流電圧の周波数更新量Δｆ_nに対する移動体４０３の回転速度の増減量ΔＮ_nの割合Ｔ_nを求め、目標回転速度Ｎ_objnと移動体４０３の実際の回転速度Ｎ_nとの回転速度差Ｎ_objn−Ｎ_nを求め、回転速度差Ｎ_objn−Ｎ_nを割合Ｔ_nで除することにより周波数更新量Δｆ_nを求め、周波数更新量Δｆ_nを用いて交流電圧の周波数ｆ_nを更新する処理を行うことにより、駆動制御する。 （もっと読む）

【課題】振動アクチュエータに対する入力電力の損失を低減し、効率的に電力を供給する振動アクチュエータ駆動装置を提供する。
【解決手段】振動アクチュエータ駆動装置（１００）は、電圧を印加される１次側インダクタ（３１１Ａ、３１１Ｂ）と、電気機械エネルギー変換素子（４１Ａ、４１Ｂ）に電圧を印加する２次側インダクタ（３１４Ａ、３１４Ｂ）とを有するトランス部（３１Ａ、３１Ｂ）と、２次側インダクタ（３１４Ａ、３１４Ｂ）と、電気機械エネルギー変換素子（４１Ａ、４１Ｂ）との間に流れる電流の通電状態を切り替えるスイッチング部（３４Ａ、３４Ｂ）と、１次側インダクタ（３１１Ａ、３１１Ｂ）に流れる電流の方向に応じて、スイッチング部（３４Ａ、３４Ｂ）により２次側インダクタ（３１４Ａ、３１４Ｂ）に流れる電流の通電状態を切り替える制御部（２）とを具備する。 （もっと読む）

【課題】所望形状の均質な微小構造体を形成することのできる微小構造物の製造方法等を提供する。
【解決手段】表面に複数の凸部５を有する基材１を、凸部５の先端部によって形成される基材１表面の凸部の向き４が蒸着粒子３の入射方向に対して対向する方向より偏向して基材１を設置して蒸着材料を成長させる。これにより、凸部５の先端部から蒸着材料の構造体を成長させて個々の構造体がギャップによって隔てられ物理的に独立した微小構造物２の集合体を形成する。 （もっと読む）

【課題】消費電力の少ない駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置１は、圧電素子を用いて構成されたアクチュエータ本体４及びアクチュエータ本体４に設けられてアクチュエータ本体４の振動に従って運動することで駆動力を出力する駆動子８，８を有する超音波アクチュエータ２と、周波数が同じで位相が異なる第１及び第２交流電圧を圧電素子に印加してアクチュエータ本体４に振動を発生させる制御部１０とを備えている。制御部１０は、第１交流電圧と前記第２交流電圧とを電圧値が互いに異なるように調節する。 （もっと読む）

【課題】圧電体を設ける領域を有効に使用して、効率よく駆動する超音波モータを得る。
【解決手段】第３のＡ電極３３ｐは、径方向における幅が３３．７５°であって、第４のＡ電極３４ｐと第２のＢ電極３２ｍとの間に設けられる。径方向において第４のＡ電極３４ｐの一部と１１．２５°に渡り重なりあう。第３のＢ電極３３ｍは、径方向における幅が３３．７５°であって、第４のＡ電極３４ｐと第２のＢ電極３２ｍとの間に設けられる。径方向において第２のＢ電極３２ｍの一部と１１．２５°に渡り重なりあう。第３のＡ電極３３ｐの一部と第３のＢ電極３３ｍの一部は、径方向において２２．５°に渡り重なり合う。これは、交流電源の波長、つまり弾性部材の超音波振動による波長の１／４の長さである。第３のＡ電極３３ｐと第３のＢ電極３３ｍとの境界は、第３のＡ電極３３ｐの面積と第３のＢ電極３３ｍの面積とが略同じになるような位置に設けられる。 （もっと読む）

【課題】組立が容易な、多自由度（複数の軸）に駆動可能な超音波モータ駆動装置を提供すること。
【解決手段】複数の圧電活性領域を有し、複数の圧電活性領域に交番信号を印加して縦振動および屈曲振動を励起する圧電素子１０７と、縦振動および屈曲振動とに共通の節付近と、圧電素子の長手方向略中心部の全周を覆い固定する圧電素子ホルダ１０８と、複数の開口部を有する振動子ホルダ１０３と、略球形状の被駆動体１０４と、被駆動体１０４に取り付けられ、被駆動体の出力を取出す出力軸１０６と、第３の方向に沿って被駆動体１０４に圧電素子を押圧接触させるための押圧部材１０２と、開口部１０５ａを有するキャップ１０５と、第３の方向に沿って一方を押圧部材１０２と接続され、他方を他の装置に接続可能な連結部材１０１と、圧電素子に交番信号を印加する制御部６００とを有する。 （もっと読む）

【課題】小型な構成で、高速に大きな変位量で駆動できる超音波モータ駆動装置を提供すること。
【解決手段】超音波振動子１０１を備え、超音波振動子１０１に２相の交番電圧信号を供給することにより、縦振動モードおよび屈曲振動モードを同時に励起させて出力端に略楕円振動を生じさせる超音波モータ駆動装置であって、
超音波振動子１０１に交番電圧信号を印加する制御部１０６と、
積層された超音波振動子１０１の対向に配置されている端面に少なくとも１個以上配置された駆動子１２０ａ等と、
駆動子１２０ａ等に対向し押圧接触するよう配置された複数の摺動部材１１０ａ、１１０ｂと、を具備し、
駆動子１２０ａ等に発生する楕円振動の時間的な軌跡の回転する向きが同方向となる。 （もっと読む）