【課題】電源装置において、出力電圧のオーバーシュートを防止し、安定性を高める。
【解決手段】電源装置１００は、電圧比較器１６によって出力電圧Ｖｏｕｔと、閾値電圧Ｖｔｈと比較してオーバーシュートを検知する。電源装置１００には、第１〜第３のスイッチＳＷ１〜ＳＷ３が設けられている。オーバーシュートの検知とともに、昇圧回路１０の昇圧動作が停止され、また第１〜第３のスイッチＳＷ１〜ＳＷ３がオンする。昇圧動作停止中に第２スイッチＳＷ２により出力電圧Ｖｏｕｔを降下させると同時に、第１、第３のスイッチＳＷ１、ＳＷ３により入力電圧Ｖｉｎを強制的に降下し、昇圧動作再開後の出力電圧Ｖｏｕｔを設定電圧に近づける。 （もっと読む）

【課題】 ＤＣ−ＤＣコンバータ回路において、出力電圧のリップルの発生を抑えるとともに位相補償を行い、安定して動作するフィードバック型電源回路を提供すること。
【解決手段】 入力端子と出力容量の間に位相補償用抵抗を直列に接続し、出力端子電圧を位相補償用抵抗の出力容量側の端子に接続した抵抗と、位相補償用抵抗の入力端子側の端子に接続した容量とを介しエラーアンプ回路入力端子へフィードバックする構成とした。
また、入力端子と出力容量の間に位相補償用抵抗を直列に接続し、位相補償用抵抗の出力容量側の端子に接続した抵抗と、位相補償用抵抗の入力端子側の端子に接続した容量とを介した出力端子電圧のフィードバック電圧を、第１の分圧抵抗と第２の分圧抵抗および分圧容量とからなる分圧回路で分圧して、エラーアンプ回路入力端子へフィードバックする構成とした。 （もっと読む）

【課題】動作が安定しリップル成分が少なく、効率の高いＤＣ−ＤＣコンバータを提供する。
【解決手段】切換制御部１７は、入力電圧に基づいて、降圧動作をするときには降圧用チョークコイル１５を選択し、昇圧動作をするときには昇圧用チョークコイル１６を選択して、第１トランジスタ１１に接続する。降圧用チョークコイル１５は、インダクタンスが降圧動作に最適化され、昇圧用チョークコイル１６は、そのインダクタンスが降圧用チョークコイル１５のものよりも小さくされて昇圧動作に最適化されている。 （もっと読む）

所望の電圧の内部電圧を安定に生成する内部電圧発生回路及び電圧検出回路を提供する。電圧検出回路は、基準電圧をゲートに受ける絶縁ゲート型電界効果トランジスタと、この絶縁ゲート型電界効果トランジスタと直列に内部ノードの間に接続される電圧降下素子群を含む。基準電圧は、この絶縁ゲート型電界効果トランジスタのしきい値電圧と降下電圧を電圧成分として含む電源電圧を抵抗分割して生成される。基準電圧と内部電圧との差が所定値以上となると、この電圧降下素子群および絶縁ゲート型電界効果トランジスタに電流が流れ、検出ノードの電圧が低下し、内部電圧の低下が検出される。基準電圧はこのトランジスタのしきい値電圧及び電圧降下素子群の降下電圧を構成要素として含んでおり、これらのパラメータのばらつきを相殺して抵抗分割に所望の電圧を設定する。
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【課題】起動時の動作を安定させることができる直流電源装置を提供すること。
【解決手段】直流電源装置１０は、主スイッチ素子１２の断続により得られる直流電圧パルスをチョークコイル１３に印加させると共に主スイッチ素子１２のＯＦＦ時にチョークコイル１３の電流をダイオード１４で環流させるチョッパ回路１０Ａと、４つの第１〜第４スイッチング素子Ｑ１〜Ｑ４からなるフルブリッジ回路を有し且つチョッパ回路１０Ａのチョークコイル１３から出力される直流電圧パルスを交流電圧に変換して出力するインバータ部２０と、インバータ部２０から出力される交流電圧を直流電圧に変換してプラズマ発生装置１に印加する電圧変換回路１０Ｂを備えている。しかも、起動時にはインバータ部２０を作動させた後にチョッパ回路１０Ａから出力される直流電圧パルスのパルス幅を徐々に広げるコントローラ４０を設けている。 （もっと読む）

【課題】 間接制御タイプのフォワードコンバータの出力電圧Ｖoutの精度を高める。
【解決手段】 主スイッチ素子４のスイッチオフ期間中にトランス励磁電流がトランス３の二次コイル３Ｂと同期整流器７，８を通るループ経路でもって循環することを回避して、トランス励磁電流循環に起因した出力電圧Ｖoutの精度低下を防止する。そのトランス励磁電流循環は、主スイッチ素子４のスイッチオフ期間においてトランス３のリセットが終了してから主スイッチ素子４がスイッチオンするまで発生することから、例えば、主スイッチ素子４がスイッチオフした後に開始されるトランス３のリセットの期間を主スイッチ素子４がスイッチオンするまで延長させる手段４３，４４を設けて、トランス励磁電流循環の発生を阻止する。 （もっと読む）

【課題】 電源回路のレイアウト面積を縮小するとともに、書き込み／読み出し／消去動作に用いられる昇圧電圧、および降圧電圧を安定して供給する。
【解決手段】 フラッシュメモリの読み出し／書き込み／消去電圧生成回路５には、内部電源電圧ＶＤＤから昇圧電圧ＶＰ１を生成する昇圧回路２０、該昇圧電圧ＶＰ１から昇圧電圧ＶＰＰを生成する昇圧回路２１、および昇圧電圧ＶＰ１から、降圧電圧ＶＤＬを生成する降圧回路２２が設けられている。また、昇圧回路２１には昇圧電圧ＶＰＰを安定化させる安定化回路２１ａが設けられ、降圧回路２２には降圧電圧ＶＤＬを安定化させる安定化回路２２ａが設けられている。そして、昇圧回路２０の安定化回路を省略することにより、出力負荷変動に対するレスポンスを良好にし、半導体チップのレイアウト面積を小さくしながら低消費電力化を実現する。 （もっと読む）

誘導性負荷に流れる電流を精度良く検出し制御する誘導性負荷電流制御回路及び電源装置を提供する。 本発明の誘導性負荷電流制御回路は、入力電圧と接地電位との間に直列に接続された第１および第２のスイッチ素子と、第１および第２のスイッチ素子の接続点に接続された誘導性負荷と、第１および第２のスイッチ素子の接続点に一方の端子が接続された第３のスイッチ素子と、第３のスイッチ素子の他方の端子と接続して第３のスイッチ素子の出力電流を基準電流と比較し、大小関係を判定して出力する電流比較器と、電流比較器の出力に基づいて第２のスイッチ素子が導通した状態から第１のスイッチ素子が導通した状態への移行を制御するスイッチ素子制御回路と、を有する。 （もっと読む）

デジタルＤＣ−ＤＣコンバータは、Ａ／Ｄ変換よりも１次デルタ−シグマモ変調を用いて実現される。このＤＣ−ＤＣコンバータにおいて、ＰＷＭ発生器210は、入力されるＰＷＭ信号に応じて入力される直流電圧Ｖinを予め設定された大きさの直流電圧に変換する。コンバータ220は、ＰＷＭ発生部210から出力される直流電圧を予め設定された電圧に変換する。デルタ−シグマ変調部230は、コンバータ220の出力電圧Ｖoutに相当するフィードバック電圧Ｖfdを、予め設定された基準電圧Ｖrefに応じて１ビットのデジタル電圧Ｖoに変換する。カウンタ240は、デルタ−シグマ変調部230の１ビットデジタル電圧Ｖoに含まれたロジック１をカウントする。ディレー制御部250は、カウンター240によってカウントされたロジック１の個数に応じて高レベルの遅延時間を制御し、この制御された高レベル遅延時間を有するＰＷＭ信号をＰＷＭ発生器210に出力する。 （もっと読む）

開回路電圧調整を有する電子バラストは、該電子バラストの出力へ動作可能な状態で接続され、検知出力電圧信号を発生させるフィラメント電流検知回路２２４と、前記検知出力電圧信号を受信し、当該電子バラストの出力での電圧を制御するよう動作可能な状態で接続された調整パルス幅変調器Ｕ３とを有する。調整パルス幅変調器Ｕ３は、出力電圧閾値限界を有する。調整パルス幅変調器Ｕ３は、検知出力電圧信号が出力電圧閾値限界を超える場合に、電子バラストの出力での電圧を制限する。調整パルス幅変調器Ｕ３は、高電圧ドライバ及び共振ハーフブリッジへのパルス幅を制限することによって、出力電圧を制限することができる。フィラメント電流検知回路２２４は、例えばタンク電流を検知することによって、間接的に出力電圧を検知することができ、あるいは、出力電圧を直接的に検知することもできる。
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本発明は、スイッチモード電源（１０、２０）に関する。本発明の根本概念は、変圧器の電流が１次側から２次側へ変換される時に、電源変圧器に残存している剰余磁気エネルギーが、予備電圧出力（Ｖａｕｘ）に転送されることである。予備電圧出力は、変圧器の１次側にあるセンサー手段（１８、２８）により制御される。センサー手段は、変圧器を介して、予備出力の電圧を検知することにより、予備出力電圧を調整する。センサー手段に生じる電圧は、変圧器の剰余エネルギーに直接関係する。この電圧は、１次側の制御回路（１４、２４）へ伝えられ、第１のトランジスター（１３、２３）の導通時間を延長／短縮し、予備出力電圧を所望の値になるよう上昇／降下させる。このように、剰余エネルギーは調整され、よって主出力電圧（Ｖｏｕｔ）は所定の電位に調整される。
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一般に、電源はスタンバイ中に主電源の一部を切る能力を備えていない。このため、動作電源に加えてスタンバイ電源が使用される。本発明によれば、フォワードコンバータが設けられ、その整流器回路にスイッチが含まれる。このため、整流器回路は選択的にオンとオフに切り替えられる。これはこのようなフォワードコンバータの主出力をスタンバイ時にオフに切り替えることが有益である。
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負荷線調整されるスイッチモード電力変換器は、出力電圧（Ｖｏ）と出力電流（Ｉｏ）とを、負荷（Ｚｏ）に供給する。電力変換器は、インダクタ（Ｌ）と、インダクタ（Ｌ）に結合されたスイッチ（ＳＷ２）と、第１のインピーダンス（Ｚ１，Ｒｓ，Ｒｃｕ）と、第２のインピーダンス（Ｚ２，Ｒｓ）と、電力変換器コントローラ（１０）とを備える。電力変換器コントローラ（１０）は、第１の電流（１１）についての瞬間情報（ＳＩ）を得る第１の感知回路（１００）を備え、第１の電流（１１）は、第１のインピーダンス（Ｚ１）を流れ、出力電流（Ｉｏ）に関連する。ゼロ負荷電圧（ＶＩＤ）と出力電圧（Ｖｏ）の差が決定（１０１）され、差分レベル（ＦＤ）を得る。第２の感知回路（１０２）は、第２の電流（１２）についてのさらなる情報（ＦＩ）を供給し、第２の電流（１２）は、第２のインピーダンス（Ｚ２，Ｒｓ）を流れ、第１の電流（１１）に関連する。積分器（１０３）が、さらなる情報（ＦＩ）と差分レベル（ＦＤ）の差を積分し、補正信号（ＣＳ）を得る。スイッチコントローラ（１０４，１０５）が、差分レベル（ＦＤ）と、瞬間情報（ＳＩ）と、補正信号（ＣＳ）とを受信し、スイッチ（ＳＷ２）を制御して、安定状態のほぼゼロの補正信号（ＣＳ）を得る。
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電源（３０）を制御して、１ＭＨｚ以上の周波数で動作するＲＦプラズマ処理システムにおける動的な負荷に起因する不安定性を回避する方法及び装置は、フィードフォワード型の制御ループ（５３）を用いて、可変かつ一貫性のないプラズマ・インピーダンスに起因する負荷などの動的な電気的負荷（４０）に供給される電力を正確に規制する。更に、フィードバック制御ループ（５３）を、より低速ではあるが、フィードフォワード・ループ（５３）と共に用いて、負荷（４０）に提供される電力量を規制するのを助けることもできる。
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入力信号によってフィルタを充電及び放電するための出力電流を供給するチャージポンプであって、前記チャージポンプは、第１の電流源であって、該電流源を駆動するための前記入力信号と接続可能であり、定電流Ｉ_０に可変電流Δｘを加えたものに等しい第１の電流を供給するように構成された第１の電流源を有し、前記可変電流Δｘは前記入力信号に正比例し、前記チャージポンプは更に、第２の電流源であって、該電流源を駆動するための前記入力信号に接続可能であり、定電流Ｉ_０から可変電流Δｘを減じたものに等しい第２の電流を供給するように構成された第２の電流源と、前記出力電流を供給する出力部と、を有し、前記出力部は、前記出力電流が前記第１の電流と前記第２の電流との差に等しくなるように、前記第１及び第２の電流源の両方に接続されたチャージポンプ。
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