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Fターム[5J097DD05]の内容

弾性表面波素子とその回路網 (15,777) | 電極の形態サイズ (1,722) | 励振電極 (623) | 電極指間のスペース特徴 (58)

Fターム[5J097DD05]に分類される特許

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【課題】周波数温度係数(TCF)をおよび損失を抑制することが可能な弾性波デバイス、共振器およびフィルタを提供すること。
【解決手段】本発明は、圧電材料(10)上に設けられた櫛形電極(12)と、櫛型電極の電極指(12)上に設けられた空隙(20a)を有し、電極指(12)を被覆するように設けられた第1誘電体膜(14)と、を具備する弾性波デバイス、共振器およびフィルタである。本発明によれば、櫛型電極の電極指を被覆するように第1誘電体膜が設けられることにより、TCFを改善することができる。さらに、第1誘電体膜が櫛型電極の電極指上に空隙を有することにより、挿入損失を改善することができる。 (もっと読む)


本発明は一般に、蛋白質や核酸を含む目標検体を含有するテストサンプルを分析するためのSAW共振器マイクロセンサに対する信号増幅方法に関する。本発明は、圧電性基板表面上に配置された反射器マイクロチャネルと複数の3次元インターデジタルトランスデューサ電極(IDTE)とを備えた、少なくとも1つの表面音響波共振器ユニットに関する。本発明は、更に、上記3次元マイクロチャンネル中の固体/液体体積比の変化に関する。液体/固体体積比におけるその変化は、テストサンプル中の目標検体濃度に相関して検出することが可能である。 (もっと読む)


【課題】水晶基板を用いた表面波デバイスであり、小型で、Q値が大きく、周波数エージング特性の優れたSH波型SAWデバイスを得る。
【解決手段】圧電基板と、該圧電基板上に形成されAlを主成分とする合金からなるIDT電極とを備え、励振波をSH波とした弾性表面波デバイスであって、前記圧電基板は、回転Yカット水晶基板のカット角θを−64.0°<θ<−49.3°の範囲に設定し、且つ、弾性表面波の伝搬方向を結晶X軸に対し90°±5°とした水晶平板であり、励振する弾性表面波の波長をλとした時、前記IDT電極の波長で基準化した電極膜厚H/λを0.04<H/λ<0.12としたSH波型弾性表面波デバイスにおいて、前記圧電基板はウエットエッチングにより形成されたエッチング痕を有しており、前記IDT電極が前記圧電基板の前記エッチング痕を有する表面に形成されているSH波型弾性表面波デバイス。 (もっと読む)


【課題】検出・測定対象の化学物質によるIDT電極等の腐食や劣化を抑制して検出・測定精度を確保しかつ高信頼性を有し、小型化や高周波化も可能な弾性表面波センサを提供する。
【解決手段】弾性表面波センサ10では、検出または測定の対象となる化学物質に接触させる必要がある感応膜7が、水晶基板1の上側主面に設けられた励振および受信用IDT電極4,5と水晶基板1を介して隔離された水晶基板1の下側主面に設けられている。これにより、励振用および受信用IDT電極4,5に化学物質を触れさせることなく検出または測定を行うことが可能となるので、励振用および受信用IDT電極4,5の化学物質による腐蝕や劣化を防止することができる。従って、励振および受信用IDT電極4,5の腐蝕や劣化を起こさず信頼性の高い弾性表面波センサ10を提供することができる。 (もっと読む)


【課題】面内回転した回転STカット水晶板等の圧電体平板上に、レイリー型等の弾性表面波を利用して、3次高調波動作させた新しい形式の弾性表面波共振子を提供する。
【解決手段】圧電体平板上の位相伝播方向Xに弾性表面波を励振する少なくとも1個のすだれ状電極と前記位相伝播方向Xの両側に配置した一対の反射器とからなる弾性表面波共振子であって、すだれ状電極における電極指の前記位相伝播方向X方向の幅寸法をLTとし、配列周期長に対する線幅比LT/PTが(1/6±1/12)の範囲であり、反射器における位相伝播方向X方向の幅寸法をLRとし、配列周期長PRに対する線幅比LR/PRが(1/6±1/12)の範囲であり、前記配列周期長PRに対してPTの関係がPR<PTであり、前記弾性表面波の速度Vと動作周波数fの関係がf=3V/(2PT)である弾性表面波共振子。 (もっと読む)


【課題】シングル型IDT電極を備え、発振周波数としてストップバンドの上限モードを利用する弾性表面波装置において、周波数温度特性が優れ、また高周波化が容易な弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】水晶基板表面にRayleigh型弾性表面波を励振させるためのシングル型IDT電極を少なくとも備え、弾性表面波のストップバンドの上限モードを励振させる弾性表面波装置であって、水晶基板の切り出し角度及び弾性表面波伝搬方向をオイラー角表示で(φ,θ,ψ)とするとき、φ=0°、110°≦θ≦140°、38°≦|ψ|≦44°に設定し、かつ、IDT電極の厚みをH、IDT電極における電極指の幅をd、IDT電極における電極指間のピッチをP、弾性表面波の波長をλ、η=d/Pとしたとき、H/λ≧0.1796η3−0.4303η2+0.2071η+0.0682とする。 (もっと読む)


【課題】3次モードによるスプリアスを抑制する一方で、4次モードによるスプリアスを
も抑制できるフィルタを提供する。
【解決手段】第1の縦結合DMS共振器Aと第2の縦結合DMS共振器Bとが並列に接続
されたフィルタである。第1の縦結合DMS共振器Aは、IDT電極2(a)、3(a)
が間引き法によって重み付けされている。また、第2の縦結合DMS共振器Bは、IDT
電極2(b)、3(b)が間引き法によって重み付けされており、第1の縦結合DMS共
振器Aと逆相の関係にあり、2次モードの周波数が第1の縦結合DMS共振器Aの1次モ
ードの周波数と一致し、4次モードの周波数が第1の縦結合DMS共振器Aの4次モード
の周波数と一致する。 (もっと読む)


【課題】減衰量を改善する。
【解決手段】弾性表面波素子片は、圧電基板の弾性表面波の伝播方向に沿って配置した一対のIDT14、16と、これらのIDT14、16を挟んで設けた一対の反射器とを備えている。一対のIDT14、16のそれぞれは、弾性表面波を励振可能、かつ反射する電極セルAと、弾性表面波を励振可能であって反射しない電極セルBと、弾性表面波を励振できずに反射のみする電極セルCと、弾性表面波を励振せず、反射もしない電極セルDとを混在させて形成してある。 (もっと読む)


【課題】減衰量とを改善する。
【解決手段】弾性表面波素子片は、圧電基板の弾性表面波の伝播方向に沿って配置した第1IDT14、第2IDT16、第3IDT18と、これらのIDT14、16、18を挟んで設けた一対の反射器とを備えている。各IDT14、16、18のそれぞれは、弾性表面波を励振可能、かつ反射する電極セルAと、弾性表面波を励振可能であって反射しない電極セルBと、弾性表面波を励振できずに反射のみする電極セルCと、弾性表面波を励振せず、反射もしない電極セルDとを混在させて形成してある。 (もっと読む)


【課題】水晶基板を用いた表面波デバイスであり、小型で、Q値が大きく、周波数エージング特性の優れたSH波型SAWデバイスを得る。
【解決手段】圧電基板と、該圧電基板上に形成されAlを主成分とする合金からなるIDT電極とを備え、励振波をSH波とした弾性表面波デバイスであって、前記圧電基板は、回転Yカット水晶基板のカット角θを−64.0°<θ<−49.3°の範囲に設定し、且つ、弾性表面波の伝搬方向を結晶X軸に対し90°±5°とした水晶平板であり、励振する弾性表面波の波長をλとした時、前記IDT電極の波長で基準化した電極膜厚H/λを0.04<H/λ<0.12としたSH波型弾性表面波デバイスにおいて、前記水晶基板を0.002μm以上の厚さでエッチングしてSH波型弾性表面波デバイスを構成する。 (もっと読む)


本発明は帯域阻止フィルタに関する。この帯域阻止フィルタは、直列分岐中とそれぞれ並列インピーダンス素子が配置されている複数の並列分岐中とに少なくとも1つの直列共振器を備えたラダー型構造を有している。この場合、少なくとも1つの直列共振器の交差指型変換器における平均フィンガ周期は、並列インピーダンス素子の交差指型変換器における平均フィンガ周期よりも大きい。
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【課題】バルク波の放射損を低減し、通過帯域内における挿入損失を小さくし、通過帯域幅が広く、平衡信号出力に対応可能な弾性表面波フィルタとそれを備えた通信装置とを提供すること。
【解決手段】弾性表面波素子部A,Bを有する弾性表面波フィルタ1であって、弾性表面波素子部Aは、櫛歯状の電極指を有したIDT電極3,2,4と、反射器電極7,8とが配設されている。弾性表面波素子部Bは、櫛歯状の電極指を有するIDT電極16と、IDT電極16の外側のIDT電極13,15と、反射器電極17,18とが配設されている。IDT電極16は、電極指の片方が2分割され、それぞれに出力端子11,12が接続されている。電極指ピッチL1は、IDT電極16の電極指間隔の平均値よりも大きな値となるように規定されている。 (もっと読む)


【課題】
優れた伝搬特性と周波数特性の広帯域化を両立させうる弾性表面波デバイスを提供することにある。
【解決手段】
サファイア基板11と、サファイア基板11上にGaN薄膜で形成された伝搬層12と、伝搬層12の表面上に形成された入力側櫛型電極13、出力側櫛型電極14を有する弾性表面波デバイスの一種であるトランスバーサルフィルタ10において、入力側櫛型電極13、出力側櫛型電極14により励振される弾性表面波が伝搬層12面内で最も遅い速度で伝搬する方向である{11−20}方向と、入力側櫛型電極13、出力側櫛型電極14の電極指の配列方向を整合させ、かつ電極指の線幅および配列間隔を配列方向と直交する方向に変化させて、入力側櫛型電極13、出力側櫛型電極14を形成する。 (もっと読む)


【課題】 通過帯域幅を広く保ちつつ挿入損失の劣化を低減し、かつ通過帯域の平坦性を向上できる優れた特性の弾性表面波装置及びそれを用いた通信装置を提供すること。
【解決手段】 圧電基板1上に複数のIDT電極2〜7を配設し、複数のIDT電極2〜7のうち隣り合う2つのIDT電極3,4がそれぞれ、相手側の端部から一部分であって電極指ピッチが残りの部分の電極指ピッチと異なる第1の部分L2,L3と残りの部分であって電極指ピッチが一定な第2の部分L1,L4とで構成され、第1の部分L2,L3の電極指ピッチの平均値が第2の部分L1,L4の電極指ピッチより短く、第1の部分L2,L3の電極指ピッチが隣り合う2つのIDT電極3,4の境界に向かって短くなっており、境界上が電極指ピッチの極小部Bであり、極小部Bの両側の第1の部分L2,L3にそれぞれ電極指ピッチの極大部Cを有する。 (もっと読む)


【課題】圧電基板に水晶基板を用い励振波をSH波としたSAWデバイスにおいて、広帯域で、且つ優れた周波数温度特性を実現することを目的とする。
【解決手段】圧電基板12上にIDT14と反射器22(22a,22b)とを有するSAW素子片10を備える。前記圧電基板12は、回転Yカット水晶基板のカット角θを結晶Z軸より反時計方向を正として−62°≦θ≦−51°の範囲に設定し、且つ、SAWの伝播方向を結晶X軸に対し90°±5°とした水晶平板であり、前記IDT14を含む励振電極がW又はWを主成分とする合金にて形成されていることを特徴とする。また、このような特徴を有するSAW共振子100では、励振するSAWの波長をλ、励振電極の膜厚をH、IDTを構成する電極指のライン占有率をmrとした時に、基準化膜厚H/λとライン占有率mrとの積を、0.001≦H/λ・mr<0.027の範囲内となるように定める。 (もっと読む)


表面波で作動する変換器を提示する。変換器は複数のセルに分けられる。このセルの長さは実質的に波長である。この変換器は第2のセルタイプのセルと、第1のセルタイプの少なくとも1つのセルを含む。ここでこの第2のセルタイプのセルはSPUDTセルであり、100%の励起強度を有する。第1のセルタイプのセルは少なくとも4つの励起中心を有する。ここで、隣接する2つの、異なった極性を有する電極指の間に励起中心が配置されており、ここで第1のセルタイプのセルは最大で30%の励起強度を有する。
(もっと読む)


【課題】 小型化が可能、または、設計の自由度を向上させることが可能なフィルタおよびアンテナ分波器を提供すること。
【解決手段】 本発明は、第1の共振子と、第1の共振子より励起効率を低減させた第2の共振子(S31)と、第2の共振子(S31)と並列に接続されるインダクタ(L31)と、を具備することを特徴とするフィルタ、アンテナ分波器および分波器である。本発明によれば、減衰特性を改善するため共振子に付加するインダクタンスを小さくでき、実装面積を削減できる。または、2つの反共振点を任意に設定できる。 (もっと読む)


【課題】 1次−3次縦結合二重モードの共振子型SAWフィルタにおいて、通過帯域の高域側で不要なスプリアスを効果的に抑圧し、周波数対称性を向上させ、通過帯域の減衰傾度を十分に急峻にし、より一層の小型化を実現する。
【解決手段】 圧電基板2に第1〜第3のIDT3〜5をSAWの伝搬方向に沿って近接して配置し、かつその両側にそれぞれ反射器6,7を配置し、隣接する第1のIDT3と第2のIDT4間の離隔距離D1と、隣接する第2のIDT4と第3のIDT5間の離隔距離D2とが異なり、D1が0.30λ<D1≦0.50λ、好ましくは0.30λ<D1≦0.40λの範囲にあるように設定する。 (もっと読む)


【課題】 低損失、且つ通過帯域の低域側の減衰量が十分得られる縦結合多重モードSAWフィルタを提供する。
【解決手段】 回転Yカット水晶基板のカット角θを結晶Z軸より反時計方向に−64.0°<θ<−49.3°の範囲に設定した水晶基板1と、この水晶基板1上に形成されたAl又はAlを主成分とする合金からなるIDT2とを備え、SAWの伝搬方向を結晶X軸に対して直交方向、励振されるSAWを水晶基板1の表面付近を伝搬するSH波とし、SAWの波長λで基準化した電極膜厚H/λを0.04<H/λ<0.12に設定した縦結合多重モードSAWフィルタ部11a、11bを2段縦続接続にて形成し、各々の縦結合多重モードSAWフィルタ部11a、11bのIDTピッチLtと反射器ピッチLrの比Lt/Lrを異ならせるようにした。 (もっと読む)


【課題】 通過帯域幅を広く保ちつつ挿入損失の劣化を低減し、かつ通過帯域の平坦性を向上できる優れた特性の弾性表面波装置およびそれを用いた通信装置を提供すること。
【解決手段】 圧電基板1上に、圧電基板1上を伝搬する弾性表面波の伝搬方向に沿って、伝搬方向に直交する方向に長い電極指を多数本有する複数のIDT電極2〜7を配設してなるとともに、複数のIDT電極2〜7のうち隣り合う2つのIDT電極がそれぞれ、相手側の端部から一部分であって電極指ピッチが残りの部分の電極指ピッチと異なる第1の部分と、残りの部分であって電極指ピッチが一定な第2の部分とで構成され、第1の部分の電極指ピッチの平均値が第2の部分の電極指ピッチより短く形成されているとともに第1の部分の電極指ピッチが隣り合う2つのIDT電極の境界に向かって短くなっており、2つの第1の部分における電極指ピッチの最小部が境界から外れた片方側にある。 (もっと読む)


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