【課題】段差部に引出電極を有する圧電振動片を採用した場合であっても、周波数調整時に断線の虞を生じさせる事の無い圧電デバイスの周波数調整方法を提供する。
【解決手段】励振電極が形成された振動部と、入出力電極が形成された周縁部との間に段差部を備え、前記段差部を跨いで前記励振電極と前記入出力電極とを電気的に接続する引出電極が形成され、厚み滑り振動を主振動とする圧電振動片における前記励振電極を、前記圧電振動片をパッケージベースに搭載した後にエッチングすることで成す周波数調整方法であって、少なくとも、前記振動部に楕円形状に形成されるエネルギー閉じ込め領域の外形形状に沿う曲線のうち、前記励振電極の周縁部において前記引出電極が接続された部位に最も近接する部位に対して定められる接線よりも、前記エネルギー閉じ込め領域側に位置する励振電極をエッチング領域としてエッチングすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スプラッシュの発生をより軽減することができ、より安価で信頼性の高い電子部品およびその製造方法を提供する。
【解決手段】フランジを有する金属製のキャップ２と、フランジと金属製のリード端子１２を有するベース１と、当該ベースに搭載される電子素子を有し、前記ベースに前記キャップをかぶせ、前記ベースのフランジに前記キャップのフランジを当接した状態で抵抗溶接して気密封止された電子部品であって、前記キャップの表面および前記ベースの表面のうち、前記キャップのベースが当接するフランジ部分と、前記ベースのキャップが当接するフランジ部分を含み、内部表面に露出する金属部分には電解ニッケルメッキ１５のみが形成されており、外部表面に露出したリード端子には少なくとも無電解ニッケルメッキ１６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】温度変化による特性変動の少ない振動子を提供すること。
【解決手段】本発明に係る音叉型振動子は、（ａ）各々が第１方向へ向けて配置された第１面(11a,13a)と当該第１面と対向配置された第２面(11b,13b)とを有し、上記第１方向と交差する第２方向に沿って配列された複数の腕部(11,13)と、（ｂ）上記複数の腕部の各々の上記第１面上に１個ずつ設けられた圧電体素子(15,17)と、（ｃ）上記複数の腕部のそれぞれの一端を連結する基部と、（ｄ）上記複数の腕部の各々の上記第２面上に設けられた無機膜(31,33)と、を含む。そして、上記複数の腕部及び上記基部は、水晶で構成される。上記圧電体素子の各々は、上記第１面上に配置された下部電極膜(15a,17a)と、当該下部電極膜上に配置された圧電体膜(15b,17b)と、当該圧電体膜上に配置された上部電極膜(15c,17c)と、を含む。 （もっと読む）

【課題】温度変化による特性変動の少ない振動子を提供すること。
【解決手段】本発明に係る音叉型振動子は、（ａ）各々が第１方向へ向けて配置された第１面(11a,13a)と当該第１面と対向配置された第２面(11b,13b)とを有し、上記第１方向と交差する第２方向に沿って配列された複数の腕部(11,13)と、（ｂ）上記複数の腕部の各々の上記第１面上に１個ずつ設けられた圧電体素子(15,17)と、（ｃ）上記複数の腕部のそれぞれの一端を連結する基部と、（ｄ）上記複数の腕部の各々の上記第２面上に設けられた無機膜(31,33)と、を含む。そして、上記複数の腕部及び上記基部は、シリコン等の半導体で構成される。上記圧電体素子の各々は、上記第１面上に配置された下部電極膜(15a,17a)と、当該下部電極膜上に配置された圧電体膜(15b,17b)と、当該圧電体膜上に配置された上部電極膜(15c,17c)と、を含む。 （もっと読む）

【課題】小型化を実現することが可能な振動子を提供すること。
【解決手段】本発明に係る音叉型振動子は、各々が第１面を有する３個の腕部(11,12,13)と、３個の腕部の各々の第１面上に１個ずつ設けられた圧電体素子(15,16,17)と、３個の腕部のそれぞれの一端を連結する基部(14)と、を含む。圧電体素子の各々は、第１面上に配置された下部電極膜と、当該下部電極膜上に配置された圧電体膜と、当該圧電体膜上に配置された上部電極膜と、を含む。これらの圧電体素子のうち、外側に配置された２つの腕部に設けられた各圧電体素子の下部電極膜と、内側に配置された１つの腕部に設けられた圧電体素子の上部電極膜と、が相互に電気的に接続され、かつ、外側に配置された２つの腕部に設けられた各圧電体素子の上部電極膜と、内側に配置された１つの腕部に設けられた圧電体素子の下部電極膜と、が相互に電気的に接続される。 （もっと読む）

【課題】エッジモード圧電振動片の励振効率を改善し得る電極構造を提供する。
【解決手段】エッジモード水晶振動片２１は、一方の長手方向端部２３の表裏各面に誘起電荷分布の＋電荷領域に対応する形状の第１、第４励振電極２４ａ、２５ｂと−電荷領域に対応する形状の第２、第３励振電極２４ｂ、２５ｂとが形成される。第１励振電極と第４励振電極とを同極に、第２励振電極と第３励振電極とを同極でかつ第１及び第４励振電極とは異極に接続し、対向する各対の励振電極間に所定の電流を印加して、水晶振動片の厚さ方向にかつ各対同士で逆向きの電界を発生させ、エッジモードの振動を行う。浮遊電極を有する従来の水晶振動片に比して、同じ厚さの水晶素子片で電極面積が２倍になるので電界の強さが増大し、水晶振動片の励振効率が大幅に増大しかつ安定した振動が得られる。 （もっと読む）

【課題】エッジモード圧電振動片の周波数を有効に調整する。
【解決手段】エッジモード水晶振動片２１の励振電極２４ａ，２４ｂを形成した長手方向端部２３側の、表面に誘起電荷が生じる振動領域の略全面に、水晶よりも質量密度が大きいＡｕ等の金属膜２８，２９からなる錘部を励振電極及び配線２６ａ，２６ｂから電気的に分離させて形成する。水晶素子片２２は、金属膜により振動領域における見掛け上の質量密度が増大し、水晶振動片２１の周波数が低い方向に変動する。金属膜の膜厚を制御し又は金属膜をレーザ照射により部分的に削除することにより、水晶振動片の励振効率を変化／劣化させることなく、その周波数を調整できる。金属膜は、励振電極等のパターニングと同時に又はそれとは別に形成される。 （もっと読む）

【課題】晶系３２の回転Ｙ板である矩形の厚みすべり振動片を備えた圧電振動子について、輪郭すべり振動によるスプリアスを抑えることのできる圧電振動子を提供すること。
【解決手段】電極を、振動片の表面にＺ´軸方向の中心線に対して対称に形成すると共に振動片に発生する輪郭すべり振動の３次以上の奇数次数であるｎ次の振動に基づく誘起電荷を打ち消す形状に作成する。Ｚ´軸方向に沿った長さが前記振動片のＺ´軸方向の長さの２ｍ（ｍは自然数）／ｎ[ただし２ｍ／ｎ＜１]である矩形領域を備えている構成としてもよいが、Ｚ´軸に沿った電荷分布がcosで表されることから、Ｘ軸方向に沿った外縁形状をcos形状とすることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】低損失で、構造的強度の高い輪郭振動子を提供する。
【解決手段】輪郭振動子１０は、共振周波数と振動モードとを共通とする少なくとも振動基板２０と振動基板４０の互いに対向する主面を接合してなる輪郭振動子であって、振動基板２０の表主面に設けられる励振電極３０と、振動基板４０の裏主面に設けられる励振電極６０と、振動基板２０と振動基板４０との境界面に設けられる共通の中間励振電極５０と、を有し、励振電極３０及び励振電極６０を同電位、中間励振電極５０を逆電位とする励振信号を印加する。振動基板２０がカット角ＹＸｌｔφ／θのとき、振動基板４０のカット角をＹＸｌｔφ／θ±９０°またはＹＸｌｔφ±１８０°／θとする。このようにして、振動基板単体の厚さを薄くして電界効率を高め、積層接合することで構造的強度を高める。 （もっと読む）

【課題】 ラーメモード及び輪郭すべり振動モードの圧電振動片において小型化及び低周波化を実現する。
【解決手段】 輪郭水晶振動片２１は、ラーメモード又は輪郭すべり振動モードで励振する正方形の水晶基板から、その縦方向及び横方向の中心線に沿って又は２つの対角線に沿って延長する４つの振動棒２２ａ〜２２ｄ，４２ａ〜４２ｄを有する十字形に形成した水晶素子片２２，４３を備える。例えば、水晶素子片の表裏主面に形成した１対の励振電極２４，２５に所定の電流を印加すると、輪郭水晶振動片はラーメモードと実質的に同等の振動を行う。また、輪郭すべり振動モードの場合、水晶素子片の表側主面に振動棒毎に別々に形成した励振電極４４ａ〜４４ｄと裏側主面に形成した共通電極４５とに所定の電流を印加すると、輪郭水晶振動片は輪郭すべり振動と実質的に同等の振動を行う。 （もっと読む）

【課題】回転Ｙカット水晶板を用いたエッジモード水晶振動片において、支持側の端部への振動漏れを解消して振動エネルギの閉じ込め効果を高める。
【解決手段】エッジモード水晶振動片２１の水晶素子片２２は、長手方向の一方の端部２３側に所定厚さの振動部２４と他方の端部２５側に該振動部より厚い支持部２６とを有する。支持部は、２段階又はそれ以上の多段階に厚く形成することができる。支持部は、厚さ一定の水晶基板４３に補強板４４を一体に貼り合わせることにより、形成することもできる。水晶素子片に発生する伝搬モードの波数が振動部と支持部とで異なるので、それらの間に画定される段差２７，２７によって支持部側への振動が減衰され、従って振動漏れが抑制される。 （もっと読む）

【課題】搬送治具に容器体のメッキ用導体パターンが接触することがなく、容器体を搬送治具に確実に配置できると共に、安定して測定することができ、生産性を維持することができる圧電デバイス及び圧電デバイスの搬送治具を提供することを課題とする。
【解決手段】
一方の主面に凹部空間を有する容器体と、凹部空間内に搭載される圧電振動素子と、凹部空間を気密封止する蓋体とを備える圧電デバイスであって、各工程を搬送するための搬送治具に容器体を固定する固定手段を当接するための当接部が容器体の隣り合う外側側面が交わることによって形成される４つの角部に設けられており、当接部の表面には、絶縁膜を備えていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】比較的板厚の厚い圧電素板を使用した圧電振動片であっても、断線等の危険性が低く、実装端子との導通を確実に採ることのできる圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電素板の両主面にそれぞれ励振電極３０ａ，３０ｂと支持電極３４ａ，３４ｂ、および導通電極３２ａ，３２ｂを備える圧電振動片２０を有する圧電デバイス１０であって、予め定めた１つの縁辺に傾斜面２８を形成した圧電素板を用いて構成した圧電振動片２０を備え、前記圧電振動片２０を実装した実装面と対向する圧電振動片２０における主面を、鋭角側主面２２ｂとし、鈍角側主面２２ａに配置された支持電極３４ａと前記実装面に配置された内部実装端子４４ａとの導通を図るための導電性接着剤５０の塗布範囲に前記傾斜面２８を包含したことを特徴とする圧電デバイス。 （もっと読む）

【課題】所望の共振周波数、所望の温度特性を有する輪郭振動子と、この輪郭振動子の調整方法を提供する。
【解決手段】輪郭振動子１０は、水晶基板のカット角φがＩＲＥ標準のＹＸｌｔφ／θで表される四角形の平板からなる振動体２０と、振動体２０の表裏両面に設けられ共振周波数を律する励振電極３０，３１と、励振電極３０，３１の表面に設けられ温度特性を調整する温特調整膜４１，４２と、を備える。振動体２０を形成した後、振動体２０の表裏両面に励振電極３０，３１を形成し、励振電極３０，３１の厚さまたは／及び面積を変更して共振周波数を調整した後、温特調整膜４１，４２を形成し温度特性を調整し、所望の共振周波数、所望の温度特性を有する輪郭振動子を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】メサ構造のＡＴカット水晶振動片において、ウエットエッチングにより形成した厚肉中央部の段差によって励振電極からのリードが断線したり電気的特性を劣化させる虞を解消する。
【解決手段】水晶振動片１１は、ＡＴカット水晶板のウエットエッチングにより厚肉中央部２及び薄肉周辺部を形成したメサ構造を有し、厚肉中央部上の励振電極１３，１４と薄肉周辺部の対応する接続電極１５，１６と接続するリード１７，１８が、ＡＴカット水晶板の＋Ｙ´面において厚肉中央部の−Ｚ´軸方向の端縁１２ａから引き出され、反対側の−Ｙ´面において厚肉中央部の＋Ｚ´軸方向の端縁１２ｂから引き出される。 （もっと読む）

【課題】振動部を支持するときの影響を小さくした輪郭滑り振動片、輪郭滑り振動デバイスおよび輪郭滑り振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】輪郭滑り振動片１０は、輪郭滑り振動をする振動部１２を有している。振動部１２は、これの縁部１４を構成する縦辺と横辺との寸法比を変えると、振動の節の位置が変わるので、この節の位置を支持位置としている。なお輪郭滑り振動片１０では、寸法比を規定することにより、振動部１２の縁部１４に節を配置することができる。すなわち支持位置が振動部１２の縁部１４にある。このときには振動部１２を支える支持部１８を前記支持位置に設けて、振動部１２と支持部１８を一体に形成することができる。 （もっと読む）

【課題】音叉型屈曲水晶振動子の周波数は音叉腕の幅と長さに依存し、加工精度が同じ場合には小型化を図ると、基準周波数に対する製造による周波数のバラツキが大きくなる点を解決した音叉型屈曲水晶振動子とその水晶ユニットの製造方法の提供。
【解決手段】音叉型屈曲水晶振動子は１０ｋＨｚから２００ｋＨｚの基準周波数を備え、音叉腕上下面に溝を形成し、該溝と、該溝に対抗する側面に電極を形成し、該溝は音叉腕形成後に形成されるので、基準周波数に対する製造での周波数バラツキを小さくでき、かつ、音叉腕に電極形成後に周波数の調整をするので、周波数の調整量が少なくなり、周波数偏差の小さい超小型の音叉型屈曲水晶振動子が実現でき、且つ、その音叉型屈曲水晶振動子とその振動子を収納するケースと蓋とを備えた水晶ユニットを構成するので、基準周波数に対する周波数偏差の小さい超小型の水晶ユニットが同時に実現できる。 （もっと読む）

【課題】応力による周波数特性の劣化を回避しつつ、圧電素板に対する振動部の占有面積を広く採ることのできる圧電振動片を提供する。
【解決手段】ＡＴカット水晶素板により形成され、素板両主面に対を成して配置される励振電極１８ａ，１８ｂと、前記励振電極１８ａ，１８ｂのそれぞれに対応する２つの支持電極２２ａ，２２ｂ、および前記励振電極１８ａ，１８ｂと前記支持電極２２ａ，２２ｂとを電気的に接続する導通電極２０ａ，２０ｂを備える圧電振動片１０であって、前記ＡＴカット水晶素板を構成する結晶軸Ｙ’を基準として当該Ｙ’軸周りに、結晶軸Ｘ、および結晶軸Ｚ’を６０°±１０°回転させた結晶軸Ｘ’および結晶軸Ｚ”を設定し、結晶軸Ｘ’および結晶軸Ｚ”のそれぞれに平行な直線により圧電素板１６の縁辺を形成し、Ｘ’軸に平行な直線上であって励振電極１８ａ，１８ｂが形成される振動部とＸ’軸に平行に形成された縁辺との間に、支持電極２２ａ，２２ｂを設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、落下衝撃に対する強度低下を最小限に抑えて振動漏れを防止することにある。
【解決手段】圧電振動片の基部１０には、表裏面に括れた形状が表れるように１つの直線に沿って対向方向に一対の切り込み１４が形成されている。基部１０は、一対の切り込み１４を挟んで両側に位置する第１及び第２の部分１６，１８と、一対の切り込み１４の間で第１及び第２の部分１６，１８を接続する接続部２０と、を含む。一対の振動腕１２が、第１の部分１６から表裏面に平行に延びる。接続部２０は、表裏面に直交するとともに１つの直線を含む断面において、矩形の両側に三角形を接続した形、矩形の両側に半円を接続した形、ひし形及び円形からなるグループの形状のうちいずれか１つの形状である。 （もっと読む）

【課題】共振周波数が中間周波数帯において、周波数温度特性が優れる輪郭振動子を提供する。
【解決手段】輪郭振動子１０は、ＤＴカット輪郭すべり水晶振動子であって、水晶基板のカット角がＩＥＥＥ表示のＹＸｌφで表される四角形の平板からなる振動体２０と、振動体２０の表裏両表面に形成される励振電極３１，３２と、を備え、励振電極３１，３２の１辺の長さＬｅと振動体２０の１辺の長さＬとの比Ｌｅ／Ｌ（規格化電極寸法Ｌｅ／Ｌ）が０＜Ｌｅ／Ｌ≦１、振動体２０の厚さｔと振動体２０の１辺の長さＬとの比ｔ／Ｌ（規格化板厚ｔ／Ｌ）が０＜ｔ／Ｌ＜０．２、で表される範囲において、カット角φが選択的に設定される。このことにより二次温度係数βを非特許文献１に報告された二次温度係数β＝−１．８×１０^-8／℃²よりも小さくすることができ、周波数温度特性が優れる輪郭振動子１０を提供できる。 （もっと読む）