本発明は、所定の動作周波数において動作するための高バルク音響共振器タイプの共振器に関し、この共振器は、圧電変換器（６）と、音響基板（１０）と、圧電変換器（６）の第１の面及び音響基板（１０）の１つの面に接着する金属層によって形成された対向電極（８）と、圧電変換器（６）の第１の面及び音響基板（１０）から離れる方に面する、圧電変換器（６）の第２の面上に配置された電極（４）とを備えている。この共振器は、圧電変換器（６）の剪断モードの偏波方向Ｐ_Aと、第２の切断角θ２に対応する音響基板（１０）の少なくとも１つの剪断モードの偏波方向Ｐ_B1とが整列するように、圧電変換器（６）及び音響基板（１０）が相対的に配列されることと、音響基板（１０）の第２の切断角θ２は、対応する一次の周波数温度係数ＣＴＦＢ１が２０ｐｐｍ．Ｋ^-1未満の絶対値を有する極値であり、かつ、θ２の値を中心にしたＣＴＦＢ１の変動が、２ｐｐｍ．Ｋ^-1／度未満の絶対値を有するわずかな変動であるような角度であることとを特徴とする。
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【課題】実装信頼性が高く、小型・薄型化に適した圧電デバイスを提供する。
【解決手段】上記課題を解決するための圧電デバイスは、裏面に外部端子１６（１６ａ，１６ｂ）を備えた圧電振動子７０と、能動面に実装パッド４２（４２ａ〜４２ｄ）と圧電振動子７０に対して信号の入出力を行う入出力パッド４４（４４ａ，４４ｂ）とを形成し、非能動面を圧電振動子７０の裏面に接合するＩＣ４０と、前記外部端子１６と前記入出力パッド４４とを接続する金属ワイヤ１８と、前記実装パッド４２よりも大きな実装面積を有し、前記実装パッド４２に接合されることで実装パッドの役割を担う金属プレート５０（５０ａ〜５０ｄ）と、圧電振動子７０と金属プレート５０との間の空隙に充填されて前記ＩＣ４０及び前記金属ワイヤ１８を覆う絶縁性樹脂６０とから成ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型で発振特性が良好な音叉型水晶振動子を提供する。
【解決手段】音叉型水晶振動子１は、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸の結晶軸を有する。音叉型水晶振動子１は、基部２と、基部２から延び、Ｘ軸方向で極性が逆の第１水晶片３Ａと第２水晶片３ＢとをＺ軸方向に直接接合した第１腕部４Ａ、第２腕部４Ｂと、Ｙ軸とＺ軸とがなす第１腕部４Ａ、第２腕部４Ｂそれぞれの主面に配置された励振電極５とを備える。基部２は、第１腕部４Ａの少なくとも一部と一体の第１部分２Ａと、第２腕部４Ｂの少なくとも一部と一体の第２部分２Ｂとを含み、第１部分２Ａと第２部分２Ｂとが、Ｚ軸方向に直接接合されている。 （もっと読む）

【課題】低ドライブレベル時に、過電流が発生するのを抑制する。
【解決手段】 水晶振動片３には、一主面５および他主面６それぞれにバイメサ形状の凸部５１，６１が形成され、一主面５に形成された凸部５１は、コンベックス加工されている。また、一主面５に形成された凸部５１の突起底面の主面上の寸法（寸法ａ）は、他主面６に形成された凸部６１の突起底面の主面上の寸法（寸法ｂ）より小さい。 （もっと読む）

【課題】
特性を劣化させることなく、従来よりも遥かに薄型化し、コンパクト化を図る。
【解決手段】
ガラス材料からなるベース基板２と、ベース基板２に対向させた状態でベース基板２に陽極接合されたガラス材料からなるリッド基板３と、ベース基板２とリッド基板３との間に形成されたキャビティ１６内に収納された状態で、ベース基板２の上面に接合された圧電振動片４と、を備えた圧電振動子１において、圧電振動片４が、ＡＴモードで発振する圧電振動片４であり、かつ、ベース基板２の上面にバンプ接合され、ベース基板２のガラス材料の熱膨張係数が、８．５×１０^−６〜２０×１０^−６／℃である。また、ベース基板２とリッド基板３とが陽極接合された接合部分の幅が５０μｍ〜３００μｍである。 （もっと読む）

【課題】導電性接合材が励振電極へ拡散する事の悪影響をなくし、金属サポートと水晶振動板を接合する際の接合性が良好な水晶振動子の提供。
【解決手段】金属サポート１３，１４が設けられた２本の金属リード端子１１，１２が貫通植設されてなるベース１と、金属サポート１３，１４に搭載されかつ導電性接合材３を介して電気的機械的接合の板状水晶振動板２とからなる水晶振動子に於いて、前記水晶振動板２はその主面に励振電極２５，２６と引出電極２７，２８と接続電極とが形成され、前記接続電極は水晶振動板２の少なくとも２点の端部のみに形成され、前記金属サポート１３，１４の水晶振動板保持部１３２，１４２と前記水晶振動板２の接続電極とが前記導電性接合材３により接合されて、前記金属サポート１３，１４の水晶振動板保持部１３２，１４２の外部表面と前記水晶振動板２の励振電極２５，２６とを接続する引出電極２７，２８を形成した。 （もっと読む）

【課題】水晶部分に印加される電界を、振動子間にて均一化させつつ、すなわちＣＩ値、Ｑ値及び容量比等の特性値を維持させつつ小型化できる振動片、振動子及び発振器を提供するを提供する。
【解決手段】本発明の振動片は、基部と、該基部から突出して一体的に形成されている振動腕部とから構成される振動片であり、前記基部及び前記振動腕部が第１及び第２のＸカット水晶片が、それぞれのｘ軸が平行となるように重ね合わされて形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電極を精度良く形成することにより、安定した振動特性で、高い信頼性を有する小型の水晶デバイスを提供することを目的としている。
【解決手段】水晶片上に電極が形成され、所定の周波数で振動する水晶デバイスであって、電極形成工程で水晶片と電極パターンを位置合わせするためのアライメントマークパターン１０を、水晶の結晶軸のＸ軸に対して平行な直線からなる多角形にする。
さらに、前記の水晶デバイスのフォトリソグラフィー法による製造方法であって、水晶ウェハー上に、水晶片の外形形状パターンと前記のアライメントマークパターンを有するマスク層を形成するマスク層パターニング工程と、水晶ウェハーをウェットエッチング法によって加工し、水晶片とアライメントマークを形成する水晶エッチング工程と、露光用マスクをアライメントマークに位置合わせして電極を形成する電極形成工程とを有する製造方法である。 （もっと読む）

【課題】導電性接着剤による固着強度を高め、振動周波数の変化を抑制して耐衝撃特性及び経時変化特性に優れた高安定用の水晶振動子を提供する。
【解決手段】スリットの上端が閉塞したサポータ７を適用し、応力感度軸となる少なくとも外周部２ヶ所を保持することを前提として、スリットに露出した水晶片１の端面のみならず、水晶片１の下面と舌片９、及び水晶片１の上面とサポータ７（スリット）の閉塞した上端内周面との間にも導電性接着剤１０を塗布し、導電性接着剤１０による固着強度を高める構成とした。 （もっと読む）

【課題】気密ガラスのクラックを防止して気密度を確実にした金属ベース及びこれを用いた水晶振動子を提供する。
【解決手段】少なくとも一対の貫通孔を有するベース本体５と、前記貫通孔を挿通して前記ベース本体５の外底面から延出するとともにガラス６によって気密化され、先端側に水晶片を保持するサポータ８が接続される一対のリード線とを有する水晶振動子用の金属ベースにおいて、前記リード線は第１リード部７ａ、第２リード部７ｂ及び釘頭部７ｈからなり、前記ベース本体５の外底面との境界部にて段差を有し、前記境界部より延出端側となる第１リード部７ａの直径は、前記境界部より前記貫通孔側となる第２リード部７ｂの直径よりも小さくした構成とする。 （もっと読む）

【課題】量産性に優れ、振動部の占有割合の高い逆メサ型の水晶振動片を提供する。
【解決手段】上記課題を解決するための水晶振動片は、水晶素板１２に対し、振動部１６を構成する肉薄部と振動部１６に隣接した肉厚部１４とをウエットエッチングにより形成するものであって、前記水晶素板１２はＡＴカット水晶素板における＋Ｚ′軸をＹ′軸回りに＋Ｘ軸方向へ回転させることを正の回転角として、Ｚ′軸をＹ′軸回りに−１２０°から＋６０°の範囲で回転させて得られるＺ″軸とこれに垂直に交わるＸ′軸とのそれぞれに平行な縁辺を有し、振動部１６の形成は＋Ｙ′軸側主面または−Ｙ′軸側主面のいずれか一方から行い、＋Ｙ′軸側主面からエッチングを行った場合には少なくとも＋Ｚ″軸側端部に肉厚部１４を設け、−Ｙ′軸側主面からエッチングを行った場合には少なくとも−Ｚ″軸側端部に肉厚部１４を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】薄肉になっている平坦領域を広げつつ強度を確保することにより小型化した逆メサ型圧電振動片、逆メサ型圧電デバイスおよび逆メサ型圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】逆メサ型圧電振動片は、圧電素板１２と電極パターンを有している。この圧電素板１２の一方の主面１４には、その周縁部に厚肉部２０を設けることにより、厚肉部２０によって囲まれる凹陥部１８を形成している。また圧電素板１２の他方の主面１６には、エッチング残渣が最も大きくなる辺に交差する方向に沿い、且つ、凹陥部１８の底面１８ａに対向した溝部２４を設けている。そして凹陥部１８の底面１８ａと溝部２４との対向部分が薄肉部２８（平坦領域）となっている。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動素子の大きさの影響を受けずに製造を容易とする。
【解決手段】 平面視四角形の容器体１０の一方の主面に設けられた凹部１３内に設けられている搭載パッド１４と圧電振動素子２０に設けられている励振電極２２と接続する引回しパターン２３とが導電性接着材Ｄで接合され、平面視四角形状の蓋体３０で容器体１０の凹部１３を気密封止した圧電振動子１００であって、圧電振動素子２０に設けられている引回しパターン２３が、圧電振動素子２０の両主面にのみ形成されている。 （もっと読む）

【課題】振動部に対する振動エネルギーの閉じ込め効果を維持しつつ、引出し電極の断線も防ぐことのできる水晶振動片を提供する。
【解決手段】肉厚の振動部１４と肉薄の周縁部１６とを有し、長手方向をＸ軸、短手方向Ｚ´軸、及び厚さ方向をＹ´軸としたＡＴカット水晶素板１２と、水晶素板１２の表裏面に配設された電極とより構成される水晶振動片１０であって、水晶素板１２は、振動部１４が＋Ｙ´軸側に凸設された場合には＋Ｘ軸側に位置する端面を−Ｚ´軸側へ向けてカットし、振動部１４が−Ｙ´軸側に凸設された場合には＋Ｘ軸側に位置する端面を＋Ｚ´軸側へ向けてカットしたＣ面取り部１８を有し、前記電極は、振動部１４に配される励振電極２０と、周縁部１６に配される接続電極２４、及び励振電極２０と接続電極２４とを電気的に接続する引出し電極２２とから成り、引出し電極２２はＣ面取り部１８を通るように配設したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ハーメチックベースのネイルリードにサポータを容易に且つ確実に取り付けることができ、これによって量産性を可能にした水晶振動子を提供する。
【解決手段】水晶振動子（１００）は、両主面に設けた励振電極（３）及び励振電極と電気的に接続した端面電極（４）を外周部両端面に有する水晶片（１）と、水晶片の主面に対向して釘頭部を突出した少なくとも一対のリード端子（８）を有するベース（２）と、水晶片（１）を支えるとともに釘頭部に対して開口部（１４）を有する少なくとも一対のサポータ（９−１）と、開口部と釘頭部とを接続し所定の温度で溶融する接合材（１２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】特性を悪化させずに基板の振動領域の厚さを薄くして高周波化に対応させる。
【解決手段】水晶振動片２では、ＡＴカット水晶片からなる基板２０と、基板２０に積層した堤部２１と、基板２０と堤部２１との間に介在させて基板２０と堤部２１との接合補強を行う、軟質の金属材料からなる接合部２２と、が設けられている。堤部２１と接合部２２とが当該水晶振動片２の壁面２３として構成されるとともに、基板２０が当該水晶振動片２の台部として構成され、かつ、壁面２３および台部により当該水晶振動片２の一主面２０１に凹部２７が形成されている。また、凹部２７の内底面を含む基板２０の両主面２０１，２０２に一対の励振電極３６が対向して形成されている。 （もっと読む）

【課題】他軸感度を低減した圧電振動片、これを実装した圧電振動子および加速度センサを提供する。
【解決手段】第１の方向に延び、片持ち支持された振動腕１４と、前記振動腕を片持ち支持する基部１２と、前記振動腕１４を前記第１の方向に垂直な第２の方向に屈曲振動させる第１の側面電極膜３６、第２の側面電極膜３８、第１の内面電極膜４０、第２の内面電極膜４２、底面電極膜４４、第１の励振電極膜４６、第２の励振電極膜４８、第３の励振電極膜５０、引出し電極膜５２、接続電極膜５４を有する圧電振動片であって、前記振動腕に、前記第１及び第２の方向に垂直な第３の方向の曲げに対する剛性の調整部を備えることを特徴とする圧電振動片である。前記調整部は、前記振動腕の前記第３の方向を向く面の基部側から前記振動腕１４の自由端方向に沿って設けられた溝２６であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 振動特性の高い圧電振動子を製造することが可能な圧電振動子の製造方法を提供すること。
【解決手段】 内部が密閉された容器と、前記容器の内部に設けられた圧電振動素子とを有する圧電振動子の製造方法であって、前記圧電振動素子の一部を中間部材に接合して接合体を形成する接合体形成工程と、前記接合体形成工程の後、前記圧電振動素子の周波数調整を行う周波数調整工程と、前記周波数調整工程の後、前記接合体を前記容器の内部に配置する接合体配置工程と、前記接合体配置工程の後、前記容器の内部を密閉する密閉工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】ラーメモード又は輪郭すべりモードで振動する輪郭水晶振動片を外形加工する工程において、エッチング残渣を小さくして振動特性の劣化を解消又は低減する。
【解決手段】ＩＥＥＥ表示の（ＹＸｌｔ）φ／θで表されるカット角θ＝０°又は４５°で切り出した水晶基板の上下各面に同じパターンの上側マスク２６と下側マスク２７とを互いに＋Ｚ´軸方向にずらして配置する。マスクのずらし量δは、上側及び下側マスクを同じ上下位置に配置してウエットエッチングしたときに振動部の側面に形成されるばりのＺ´軸方向の大きさをｙとして、０＜δ＜２ｙとなるように設定する。 （もっと読む）

【課題】設計・製造を容易にして振動特性を良好に維持した２回回転Ｙカット板からなる水晶振動子を提供する。
【解決手段】Ｚ′軸及び前記Ｘ′軸からそれぞれγ度傾斜して互いに直交する軸を応力感度零軸とし、応力感度零軸の互いに直交する中心から放射状に分割される４つの領域に強勢な振動変位を有する２回回転Ｙカット板からなる水晶振動子において、応力感度零軸の互いに直交する中心部の厚みを大きくし、中心部から前記水晶片の外周部に向かって四角錐状とする稜線部Ｐを形成し、応力感度零軸間の４つの領域における、互いに直交する中心から各４つの領域を二等分する中央領域の垂直方向の断面厚みを大きくし、中央領域から両側となる応力感度軸に向かって徐々に厚みの小さくなる傾斜面を形成した構成とする。 （もっと読む）