【課題】ウエットエッチングにより一体に外形加工する輪郭水晶振動片の振動部と支持部との接続部において、十分な強度及び剛性と振動漏れの低減とを同時に達成する。
【解決手段】ＩＥＥＥ表示の（ＹＸｌｔ）φ／θで表されるカット角で切り出した水晶基板１１をウエットエッチングすることにより、振動部２２と支持フレーム２５と振動部を輪郭振動の節点で支持フレームに接続する接続部２４とを一体に外形加工したラーメモードの輪郭水晶振動片２１において、Ｘ軸周りの回転角度φ1 を−４０°〜−７０°、好ましくは−５０°〜−６０°の範囲に、Ｙ´軸周りの回転角度φ1 を−５０°〜＋５０°、好ましくは−１０°〜＋１０°の範囲に設定したときに得られる座標軸（Ｘ´，Ｙ´，Ｚ''）のＺ´軸方向に延長する向きに接続部を配置する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、音叉型振動片に比べてＣＩ値を上昇させずに小型化が可能であり、捩りモード振動片に比べて製造プロセスが容易であって良好なＣＩ値が得られる圧電振動片を提供することにある。
【解決手段】振動腕１２は、Ｕ字の１つの先端が基部１０に接続して延びるとともに他方の振動腕１２から離れる方向に屈曲してさらに延びる。励振電極４２は、第１及び第２の腕部２２，２６の左右両側面１８，２０に形成された側面電極４４と、第１及び第２の腕部２２，２６の左右両側面１８，２０を除く領域に形成された中央電極５６と、を含む。電圧の印加によって左右の側面電極４４と中央電極５６との間にそれぞれ発生する電界によって、一対の振動腕１２の第１の腕部２２が相互に離れる方向に屈曲するときに第２の腕部２６も相互に離れる方向に屈曲し、一対の振動腕１２の第１の腕部２２が相互に近づく方向に屈曲するときに第２の腕部２６も相互に近づく方向に屈曲する。 （もっと読む）

【課題】振動漏れの防止、および振動子の小型化を図ることを可能とする輪郭振動子を提供する。
【解決手段】上記課題を解決するための輪郭振動子は、輪郭滑りモードの振動が励起される振動部１２と、前記振動部１２との間に間隙を設けて配置された支持部１４と、前記振動部１２における振動の節を基端として設けられた接続アーム１６と、前記接続アーム１６と前記支持部１４との間に、前記接続アーム１６と平行に設けられた補助アーム１８と、前記接続アーム１６の先端部１６ａと前記補助アーム１８の一方の端部１８ａ、前記補助アーム１８の他方の端部１８ｂと前記支持部１４とをそれぞれ連結する連結部２０とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】直列共振器と並列共振器との共振周波数の差を精度良く設定すること。
【解決手段】本発明は、圧電膜（１４）を挟み下部電極（１２）と上部電極（１６）とが対向するように設けられた積層膜（１８）と、積層膜（１８）上に接するように設けられた第１膜（２２）と、を有する直列共振器（Ｓ）と、圧電膜（１４）を挟み下部電極（１２）と上部電極（１６）とが対向するように設けられた積層膜（１８）と、積層膜（１８）上に接するように設けられた第２膜（２０）と、第２膜（２０）上に接して設けられた第１膜（２２）と、を有する並列共振器（Ｐ）と、を具備するラダー型フィルタである。 （もっと読む）

【課題】傾斜部（ベベル加工）を外周に有する水晶片の平面面積を大幅に小さくした水晶振動子を提供する。
【解決手段】長辺及び短辺を有する平面外形を矩形状としたＡＴカットの水晶片からなり、前記水晶片の多数を内周に曲率を有する中空容器内に投入して前記中空容器の回転に伴い、前記中空容器の内周に沿って前記水晶片を研磨し、前記水晶片の両主面側から全外周に傾斜部を設けて、前記水晶片の中央領域を平坦部とした水晶振動子において、前記水晶片の長辺方向での長さＬ1と前記平坦部の長さＬ2との平坦部長さ比Ｌ2／Ｌ1を0.24〜0.33として、前記水晶片の厚みＴ1と前記長辺方向の両端部における前記傾斜部の外周中央における両主面からの深さＤ1との長辺ベベル深さ比Ｄ1／Ｔ1を0.30〜0.38とした構成とする。 （もっと読む）

【課題】 一対の振動腕（２１）の根元（２６）に段差または溝を生じさせない音叉型水晶振動片（２０）の製造方法および水晶振動デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の音叉型水晶振動片の製造方法は、基部とこの基部の一端部から延びる第一振動腕および第二振動腕とを有する音叉型水晶振動片を製造する方法に関する。この音叉型水晶振動片の製造方法は、水晶基板（１０）の第一面に、基部（２９）と第一振動腕（２１）および第二振動腕（２１）との外形形状の第一金属膜（９３）を形成する工程（ステップＳ１６３）と、第一面の反対面の第二面に、基部と第一振動腕および第二振動腕との外形形状で、且つ第一振動腕と第二振動腕との間で基部側の領域を少なくとも覆った第二金属膜（９８）を形成する工程（ステップＳ１６６）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】リフロー後の発振周波数の変動を抑制できると共に、電源投入後の周波数立ち上がり特性を向上できるＳＣカット水晶振動子を提供する。
【解決手段】ＳＣカットの水晶基板１１と、水晶基板１１の表裏面に夫々形成される励振電極１２と、水晶基板１１の２点を支持する支持部材６と、水晶基板１１を気密封止する金属ケース３と、を備えたＳＣカット水晶振動子１であって、水晶基板１１の中心軸を通るＺ軸線上から８０°〜９０°回転させた線上にある水晶基板１１の２つの端部１１ａを支持部材６により支持するようにした。 （もっと読む）

【課題】等価直列抵抗が小さく、等価インダクタンスが小さく、Ｑ値が高く、広い温度範囲に亘って周波数変化が少なく、周波数温度特性の設計範囲が広い、超小型のｘ板系縦モード水晶振動子を提案すること。
【解決手段】水晶結晶の薄板として切り出され、上記薄板の上面と下面に電極が設けられて振動部が形成され、上記電極間に交番電圧を印加することにより上記振動部が縦モード振動をするｘ板系縦モード水晶振動子であって、上記振動部にｎ本（ｎは自然数１，２，３・・・）のスリットが長手方向に設けられ、上記スリットによって上記振動部が、長手方向の両端部を除いて、幅方向で分割されて帯状の振動腕が形成されていることと、ｊ（ｊ＝１，・・・，ｎ＋１）番目の上記振動腕の幅方向の寸法をｗ_j とし、上記振動部の長手方向の寸法をｙ₀ とするとき、その寸法比Ｒ（＝ｗ_{j /} ｙ₀ ）が０＜Ｒ≦０．４であるｘ板系縦モード水晶振動子とした。 （もっと読む）

【課題】幅すべりモードの影響を抑制しつつ、エネルギ閉じ込め効果を改善したＡＴカット水晶振動片を製造する。
【解決手段】ＡＴカット水晶振動片３０は、水晶の結晶のＸ軸方向に長辺を有する矩形をなしかつその長辺方向の側面３２が水晶の自然面のｍ面である第１の結晶面３３とｍ面以外の自然面である第３の結晶面３４との２面で形成されたＡＴカット水晶板からなる水晶素子片３１と、その表裏主面に設けられた１対の励振電極３５ａ，３５ｂとを備える。水晶素子片の外形加工は、その外形に対応するマスク２２ａ，２２ｂをＡＴカット水晶板２１の表裏各面に互いに水晶の結晶のＺ´軸方向に位置をずらして形成し、表裏両面からウエットエッチングすることにより行う。水晶素子片は、励振部である厚肉中央部６３と薄肉周辺部６４とからなるメサ形状にすることができる。 （もっと読む）

【課題】音叉型水晶振動板においては超小型であってもＣＩ値が低く、又その製造工程においては水晶基板内・水晶基板間の周波数バラツキが小さく、且つ、工程数が少なく、安価な設備で高歩留まりを達成すること。
【解決手段】音叉型水晶振動片の第１の振動腕部と第２の振動腕部には少なくとも１本の溝部が形成されており、この溝部の深さ寸法は音叉型水晶振動片の厚み寸法の５０％から９０％の深さ寸法で、且つ溝部の長さ寸法は各振動腕部の長さ寸法の５０％以上７０％未満の長さ寸法で形成されており、更に、第１の振動用電極と第２の振動用電極とは、第２の振動腕部に形成された所定の電極と結線されて一端子を構成し、且つ第３の振動用電極と第４の振動用電極とは、第１の振動腕部に形成された所定の電極と結線されて一端子を構成し、これら所定の電極に印加される電圧で第１の振動腕部及び第２の振動腕部が屈曲振動する音叉型水晶振動板。 （もっと読む）

【課題】 ラーメモード水晶振動子の振動子形状に関するものであり、特に、小型化、高精度化、低ＣＩ値を実現し、振動部を支持する支持部強度を向上させた支持構造を得ることを目的とする。
【解決手段】 課題を解決するために本発明は、振動部、支持部、接続部から成る矩形状の圧電素板主面に電極を設け、電荷を加えた場合に前記圧電素板の角部４点を節として、前記矩形状の長手方向に伸びたときには短手方向に縮み、かつ、前記矩形状の短手方向に伸びたときには長手方向に縮む輪郭振動の振動形態を生じる、ＬＱ２Ｔカットの水晶基板から成るラーメモード水晶振動子において、支持部方向を変えてＲ面とのなす角をできるだけ小さくし、断層的に割れた時の断面積を大きくすることで、支持部強度の向上を図ったことにより課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】特定物質の検出や物理量の測定をするセンサ用の音叉型圧電振動片および圧電振動子を提供する。また被検出物質を高精度に検出するセンサ検出回路を提供する。
【解決手段】音叉型圧電振動片１０は基部１２と、この基部１２から突出した複数の振動腕１４とを備えている。この基部１２と振動腕１４は圧電材料で形成されている。そして励振電極１６を振動腕１４に設けるとともに、励振電極１６と導通したマウント電極１８を基部１２に設けている。また励振電極１６の少なくとも一部に触媒材２０が設けてある。音叉型圧電振動片１０は屈曲振動をするので、振動腕１４に応力が加わる箇所、すなわち振動腕１４の側面１４ｆに触媒材２０を設ければよい。そして触媒材２０を白金またはパラジウムにすると、可燃性ガスを検出できる。 （もっと読む）

【課題】薄板水晶基板からフォトエッチング技術により複数個を同時に作成する音叉型屈曲水晶振動片の特性バラツキを低減するための構造及び製造方法の提供。
【解決手段】音叉型屈曲水晶振動片１は、Ｚ´板の薄板水晶基板からなり、前記音叉型屈曲水晶振動片は左振動腕部２と右振動腕部３が基部１ａと一体をなし、左振動腕部２と右振動腕部３の表裏のいずれか一方の面には少なくとも一本の逆台形もしくは略Ｖ字状からなる深溝６，７を有し、この深溝６，７の深さは音叉型屈曲水晶振動片１の厚みに対して５０％から９０％の深さからなり、左振動腕部２の深溝６を有する内部とその反対面に形成された電極膜は右振動腕部７の両側面電極と結線されて一端子をなし、左振動腕部２の両側面電極は右振動腕部３の深溝７を有する内部とその反対面に形成された電極膜と結線されて一端子とし、その二端子間に交番電圧を印加することで屈曲振動するように構成。 （もっと読む）

【課題】 ラーメモード水晶振動子の振動子形状に関するものであり、特に、小型化、高精度化、低ＣＩ値を実現し、ラーメモード水晶振動子全体の機械的強度を向上した製造方法を得ることを目的とする。
【解決手段】 課題を解決するために本発明は、水晶ウエハとガラス材料を接合する工程と、前記の水晶とガラス材料が一体になった状態で水晶ウエハの厚みを薄くする工程と、前記水晶ウエハが所望の板厚みになったところで前記一体の状態で外形形状を成形する工程と、一体となっている前記水晶ウエハとガラス材料を剥離分離する工程と、前記水晶ウエハにラーメモード振動子の励振電極を形成する工程とから成り、水晶ウエハの板厚みを薄くする加工には機械研磨工法を用い、励振電極形成にはエッチング処理工程を用いることにより課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 ラーメモード水晶振動子の振動子形状に関するものであり、特に、小型化、高精度化、低ＣＩ値を実現し、ラーメモード水晶振動子全体の機械的強度を向上した製造方法を得ることを目的とする。
【解決手段】 課題を解決するために本発明は、水晶素子を形成する板状の水晶材料の一主面に電極を形成する工程と、複数個が連なるガラス材料から成る凹状形状を持つ容器体の凹状内面にプロテクト膜を形成する工程と、前記水晶素子と前記容器体の凹状開口部表面で接合する工程と、接合された状態の前記水晶素子表面からラーメモード水晶振動子のパターンニングを行う工程と、前記水晶素子の残る一主面に電極を形成する工程と、個々のラーメモード水晶振動子の形態に分割する工程とから成るラーメモード水晶振動子の製造方法である。また、上述する水晶素子にパターンニングする工程にはウェットエッチング工法を用いることにより課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】音叉型屈曲水晶振動子と、その振動子を収納したケースと、そのケースの開口部を封止するための蓋を備えて構成され、高精度で、かつ、安価で、電気的特性に優れた水晶ユニットの製造方法を提供することにある。
【解決手段】音叉型屈曲水晶振動子の音叉腕を形成した後に、音叉腕の上下面に溝を形成し、当該溝と側面に電極を配置し、かつ、ケースに収納した後に、周波数調整をするので、高精度で、かつ、安価で、加えて、等価直列抵抗Ｒ_１の小さい、Ｑ値の高い、しかも、容量比の小さい超小型の音叉型屈曲水晶振動子を備えた水晶ユニットが得られる。 （もっと読む）

【課題】 ラーメモード水晶振動子の振動子形状に関するものであり、特に、小型化、高精度化、低ＣＩ値を実現し、ラーメモード水晶振動子全体の機械的強度を向上する振動子形態とその製造方法を得ることを目的とする。
【解決手段】 課題を解決するために本発明は、矩形状の水晶素子に電荷を加えたときに、前記水晶素子の角部４点を節として、前記矩形状の長手方向に伸びたときには短手方向に伸縮し、かつ、前記矩形状の短手方向に伸びたときには長手方向に伸縮する輪郭振動の振動形態を生じる、ＬＱ１Ｔカットあるいは、ＬＱ２Ｔカットの水晶基板から成り、振動部、支持部、接続部で構成するラーメモード水晶振動子において、前記水晶素子の前記接続部にガラス材が接合されているラーメモード水晶振動子とその製造方法により課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 ラーメモード水晶振動子の振動子形状に関するものであり、特に、小型化、高精度化、低ＣＩ値を実現し、ラーメモード水晶振動子全体の機械的強度を向上した製造方法を得ることを目的とする。
【解決手段】 課題を解決するために本発明は、水晶素子を形成する板状の水晶材料の一主面に電極を形成する工程と、複数個が連なるガラス材料から成る凹状形状を持つ容器体の凹状内面にプロテクト膜を形成する工程と、前記水晶素子と前記容器体の凹状開口部表面で接合する工程と、接合された状態の前記水晶素子表面からラーメモード水晶振動子のパターンニングを行う工程と、前記水晶素子の残る一主面に電極を形成する工程と、個々のラーメモード水晶振動子の形態に分割する工程とから成るラーメモード水晶振動子の製造方法である。また、上述する水晶素子にパターンニングする工程にはウェットエッチング工法を用いることにより課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】素子接続用電極パッドと、圧電素板の他方の主面及び側面に形成されていた容器体接続用電極表面の大部分及び一方の主面に形成された容器体接続用電極表面の一部との間に、導電性接着材を付着させ加熱固化させた接合形態を有する圧電デバイスでは、圧電振動素子の振動運動を導電性接着材が妨害してしまい、圧電振動素子の振動特性に悪影響を与える虞がある。
【解決手段】圧電デバイスにおいて、支持台の上面と各側面とが成す凹部空間内側面と対向する二辺角部が、所定の角度で面取りされており、且つ面取りされた支持台上面の各辺のうち凹部空間内側面と対向する二辺が、圧電振動素子の容器体接続用電極が形成されている辺、及び容器体接続用電極が形成されている辺と連続する二辺の先端側面部より容器体中央部側にずれて形成されており、更に素子接続用電極パッド主面と容器体接続用電極とは少なくとも一部で対向している圧電デバイス。 （もっと読む）

【課題】 また、角速度センサー用音叉を、精度良く且つ効率良く製造する製造方法を提供する。
【解決手段】 音叉型水晶振動子の製造方法は、基部（２９）から突出し基部に近い第一箇所と遠い第二箇所とを有する少なくとも２つの振動腕（２１Ｄ，２１Ｍ）を含む音叉型水晶振動子（２０）の製造方法である。音叉型水晶振動子の振動成分を検出する検出工程と、振動成分に基づいてレーザー光（ＬＬ）を照射して２つの振動腕の少なくとも一方の振動腕の第一箇所または第二箇所を除去する除去工程と、を有する。 （もっと読む）