【課題】水晶振動子の製造において、要求される周波数に対応した表面状態を満足しつつ、良好な温度特性を維持確保する水晶素子片を提供する。
【解決手段】表面粗さ及び表面の凹凸の間隔が、使用する振動子の水晶表面における振動の波長よりも小さくなるように、表面状態を平滑にした水晶板が提供される。この水晶板は、例えば水晶ウエハの表面を所定の厚さにラッピングし、バッファード弗酸を主成分とする、又は弗化水素酸に等モル以下の強酸を加えた第１エッチング組成物を用いる第１エッチング工程と、濃度１５重量％以上、６０重量％以下の弗化水素酸、又は弗化水素酸に弗化アンモニウムを等モルで加えた第２エッチング組成物を用いる第２エッチング工程とからなるウエットエッチングをウエハ、又はウエハから個片化した水晶素子片に行うことにより得られる。 （もっと読む）

【課題】 幅縦振動、幅すべり振動、さらに、高次Ｙ変位振動、高次Ｚ変位振動の組み合わせによって、等価直列抵抗値を小さく抑えると共に、良好な周波数温度特性を得ることが可能なモード結合型圧電振動子を提供することである。
【解決手段】 Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸からなる三次元の結晶方位を有する圧電水晶体から所定のカット角で切り出され、所定の幅、長さ及び厚みに形成された薄板状の振動部を備えたモード結合型圧電振動子であって、前記振動部は、幅縦振動モード、幅すべり振動モード、高次Ｙ変位振動モード及び高次Ｚ変位振動モードを備えて構成された。 （もっと読む）

【課題】 電気機械結合係数が大きく、音速、ＳＡＷ速度が小さい圧電単結晶組成物を用いることにより、圧電振動子、弾性表面波デバイスを提供すること。
【解決手段】 ランガサイト型構造を有する化学式（Ｓｒ_1-xＢａ_x)₃ＴａＧａ₃Ｓｉ₂Ｏ₁₄（０＜ｘ≦０．７）で表される圧電単結晶組成物を提供することにより、圧電フィルター、圧電共振子、圧電ジャイロ等の体積弾性波を利用した圧電振動子及び圧電フィルター、センサー等の弾性表面波デバイスの小型化を可能にする。 （もっと読む）

【課題】 組み立て工程を簡略化して生産性を向上させることができる圧電振動子を提供することにある。
【解決手段】 本発明の圧電振動子は、支持基板の上面とカバー部材とを、封止部材で両者間に封止空間を形成するように接合し、前記封止空間内に圧電振動素子を収容してなる圧電振動子において、前記支持基板をシリコン基板によって形成するとともに、前記シリコン基板には、貫通配線が設けられ、シリコン基板の外周領域には、封止する為の導体パターンが形成されていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 振動腕部の所定位置に貫通孔を複数形成することによって、電界効率を高めて等価直列抵抗値の低減化を図ると共に、加工形成が容易な音叉型屈曲振動子を提供することである。
【解決手段】 所定の振動長Ｌ及び振動幅Ｗを有する一対の振動腕部２３，２４を備え、この振動腕部２３，２４の少なくとも側面に励振電極３１，３２を設けた音叉型屈曲振動子２１において、前記振動腕部２３，２４に厚み方向Ｔの貫通孔２５〜２８を振動長方向に沿って一または二以上、さらに、振動幅方向に一列または二列以上設けると共に、これら貫通孔２５〜２８の内側面に励振電極３１，３２を形成した。 （もっと読む）

本発明によれば圧電機能層を備えた薄膜構造の電気的構成素子において、電極層と圧電層の間に成長層が設けられることによって当該機能層の層品質が改善される。それにより電極層の機能が成長支援層の機能から分離される。この場合分離された層の機能は、相互に依存することなく最適化可能である。本発明による構成素子はＢＡＷ共振器、薄膜ピエゾアクチュエータ、圧電センサとして構成され得る。
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水晶片の外形形状を所定の形状に加工することによって、確実に、かつ再現性よくＢモードの共振を抑圧することができるＳＣカットの水晶振動子を提供する。このＳＣカットの水晶振動子では、水晶の結晶のＹ軸に直交する面をＸ軸を中心にして３３°〜３５°回転し、この回転した位置からＺ軸を中心にして２２°〜２４°回転した面から切り出してＸ’軸方向に細長い短冊形の水晶片を形成し、該水晶片のＺ’軸に直交する端面をＸ’軸を中心にして＋７°〜＋１３°または−７°〜−１３°回転した方向へ傾ける。
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【課題】 高温環境下でも使用が可能であり、カット面加工の誤差による共振周波数の温度特性の影響が小さいバルク波を用いた共振子を提供すること。
【解決手段】 ランガテイト単結晶で構成された圧電体２と、一対の電極３、４とを備え、圧電体のカット角が（１１．７°、３９．９°）（１１．７°、６６．５°）（５１．２°、６６．５°）（５１．２°、３９．９°）で囲まれる領域、（６８．８°、３９．９°）（６８．８°、６６．５°）（１０８．３°、６６．５°）（１０８．３°、３９．９°）で囲まれる領域、（８．８°、１１３．５°）（８．８°、１４０．１°）（４８．３°、１４０．１°）（４８．３°、１１３．５°）で囲まれる領域、（７１．７°、１１３．５°）（７１．７°、１４０．１°）（１１１．２°、１４０．１°）（１１１．２°、１１３．５°）で囲まれる領域、または対称性によりこれらの領域と等価な領域のいずれかである。 （もっと読む）

【課題】 振動部の輪郭寸法等の調整を要することなく、主振動である輪郭振動以外の不要振動を容易に抑えることができる圧電基板構造を備えた輪郭振動圧電デバイスを提供することである。
【解決手段】 薄板状の水晶板２２と、この水晶板２２の表面に形成される四角形状の励振電極２６ａ〜２６ｄとを備え、前記励振電極２６ａ〜２６ｄの角部近傍が振動の節部２２ａ〜２２ｄとなって、水晶板２２に輪郭モードの主振動を生じさせる水晶振動子２１において、前記主振動と共に発生する不要振動の周波数帯を主振動の周波数帯とは離れる方向にずらす凸部（質量付加部）２７を前記節部２２ａ〜２２ｄに設けた。 （もっと読む）

【課題】 共振器の小型化、薄型化を図り、それを同一基板に内臓する半導体ＩＣを実現することにある。
【解決手段】 TCXO等に用いられる共振器を薄膜技術で実現するものであり、Si等のベース基板１５上に圧電薄膜共振器２４を形成し、その共振周波数が共振器の厚さではなく、横方向の寸法でほぼ決定する構成とする。これにより、共振器の薄膜化、小型化、更にSi系ICとの一体化を可能にするものである。 （もっと読む）

【課題】バッチ処理時、振動板の切断面にバリや欠損の発生で、特性バラツキが発生する不具合の解消。
【解決手段】 薄肉の振動板４と、振動板の外周縁の少なくとも一部を一体的に包囲する厚肉の補強部５と、を備えることにより、少なくとも一方の主面側に凹陥部３を形成した構成の圧電基板２の製造方法であって、複数の圧電基板をシート状に連結した圧電基板母材を製作する圧電基板母材の基本形状加工工程と、圧電基板母材の凹陥部形成面側をマスクすると共に、圧電基板母材の裏面については個々の圧電基板領域の境界線に沿って設けた細長い非マスク領域を除いた面にマスクを施すマスキング工程と、非マスク領域内の圧電基板部分をエッチングにより除去して貫通スリットを形成するエッチング工程と、圧電基板母材の両面側に形成したマスクを除去するマスク除去工程と、貫通スリットに沿って圧電基板個片に分割する分割工程と、から成る。 （もっと読む）

【課題】共振特性の向上ができ、高周波特性の劣化の抑制が可能な薄膜圧電共振器を提供する。
【解決手段】基板１１上の第１の金属膜２１と、第１の金属膜２１上の非晶質金属膜２２と、非晶質金属膜２２上で、非晶質金属膜２２の表面に垂直な方向に配向した第２の金属膜２３と、第２の金属膜２３上で、第２の金属膜２３の表面に垂直な方向に配向した圧電膜１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ラーメモード水晶振動子の振動子形状に関するものであり、特に、小型化、高精度化の要求を満足するための振動部の支持方法を改善することを目的とする。
【解決手段】 課題を解決するために本発明は、矩形状の圧電素板に電荷を加えた場合に前記圧電素板の角部４点を節として、前記矩形状の長手方向に伸びたときには短手方向に伸縮し、かつ、前記矩形状の短手方向に伸びたときには長手方向に伸縮する輪郭振動の振動形態を生じるラーメモード水晶振動子において、前記矩形状の圧電素板の長手方向と短手方向の長さ寸法を同じにしたとき、前記圧電素板の主面の中心位置で保持するもので、具体的には前記矩形状の圧電素板の一辺をＬとしたとき、もう一辺がＬの倍数の寸法関係であって、前記圧電素板の一辺ともう一辺の長さがＬの単位で前記振動部の主面の中心位置である無振動部を保持することにより課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】より小型な振動子パッケージが、ウエハレベルの貼り合わせで形成できるようにする。
【解決手段】水晶ウエハ１０１の接合膜１１４に、ガラスウエハ１０２及びガラスウエハ１０３が陽極接合された状態とする。このことにより、各チップ領域においては、振動子片１１２が、凹部１２２及び凹部１３２による空間内に封止された状態となる。この後、ガラスウエハ１０２及びガラスウエハ１０３の外側面を、例えば、サンドブラスト加工により削り、ガラスウエハ１０２及びガラスウエハ１０３を所定の厚さまで薄層化する。 （もっと読む）

【課題】 厚みすべり振動を主振動とする、ダブルローテーションカットの水晶振動子において、小型化・高周波化しても、比較的高い励振レベルでかつ高い周波数安定性をもって駆動できるようにする。
【解決手段】 水晶１の結晶の電気軸をＸ軸、機械軸をＹ軸、光学軸をＺ軸としたとき、Ｘ軸をＺ軸の回りに反時計方向に９度未満、好ましくは４度〜９度、より好ましくは８度〜９度の角度θで回転させてＸ´軸とし、かつＺ軸をＸ´軸の回りにＡＴ板側に３４度〜３５度１０分の角度φで回転させてＺ´軸とし、これらＸ´軸及びＺ´軸を含む平面を主面として切り出した水晶板２を振動片に用いて水晶振動子を形成する。 （もっと読む）

【課題】圧電材料の同一のモードを用いた周波数フィルタにおいて、複数の電極を２次元的に配置して所望とする特性が容易に得られるようにする。
【解決手段】音響多層膜１０２の上に、共通電極１０３、ＺｎＯからなる圧電薄膜１０４が積層され、圧電薄膜１０４の上面には、２次元的に配置された４つの入出力電極１０５を備える。圧電薄膜１０４は、例えばｃ軸に配向されたＺｎＯの配向膜である。従って、入出力電極１０５は、面内異方性のない状態の圧電薄膜１０４の上に配置されるようになる。 （もっと読む）

【課題】耐リフロー特性、エージング特性を改善することを可能とした水晶振動子、水晶発振器を提供する。
【解決手段】 主面の任意の位置に凹陥部を形成して凹陥部３の底面を薄板領域とすると共に、該凹陥部の外周に厚肉の補強部を設けた水晶基板２と、水晶基板の薄板領域４の両面に夫々形成した励振用電極膜と、から成る厚みすべり振動を励起可能な水晶振動素子と、上記水晶振動素子の補強部の端縁を２か所、シリコン系導電性接着剤を用いて支持する表面実装容器と、から成り、上記導電性接着剤を用いて支持する２か所を結ぶ直線が水晶基板の結晶軸ｚｚ’に対して±（３０°±１０°）の傾斜方向に延びる水晶振動子において、前記導電性接着剤の硬化前粘度を４２．１Ｐａ・Ｓとし、前記水晶振動素子底面と表面実装容器の支持面との隙間を１５〜２５μｍの範囲に設定した。 （もっと読む）

【課題】 励振電極が形成された振動部を支持すると共に、電圧の供給ルートとなる支持部の機械的あるいは構造的な不具合を電気的に検出することで、不良箇所を特定でき、製品出荷時の良品及び不良品の選別を確実且つ簡易に行うことができる電極構造を備えた圧電振動子を提供することである。
【解決手段】 励振電極２７ａ〜２７ｃ，２８ａ〜２８ｃが形成された振動部２１と、該振動部２１を支えると共に、前記励振電極と導通する電極パターンが形成された複数の支持部２３ａ〜２３ｄとを備えた水晶振動子２０において、前記支持部２３ａ〜２３ｄの構造的欠損を前記振動部２１の電気容量の変化として検出するために、前記電極パターンが、前記励振電極と導通する支持部の表面または裏面のいずれか一方に形成、あるいは、前記支持部内の全周に亘って引き回して形成した。 （もっと読む）

【課題】 小型化しても形状制御が容易で、加工後の形状や性能も良好であり、様々な形状を形成でき、少ない工数で安価に形成でき、駆動時の負荷が小さく、装置や工具に汎用性のあるものを使用することができることができる水晶振動子の製造方法、その装置及び水晶振動子を得る。
【解決手段】 水晶チップ５の右上端部５ａに水晶に吸収されるレーザビーム４を照射して段階的に水晶チップ５の高さを変化させ、第１段部６₁、第２段部６₂、第３段部６₃、第４段部６₄をそれぞれ形成する。 （もっと読む）

【課題】周波数安定度に優れる水晶発振器を低価格且つ短期間で提供することを目的とする。
【解決手段】水晶結晶軸のＹ軸に直交する面をＸ軸を中心として約３４°回転すると共に、Ｚ軸を中心として約２０°〜２５°回転した面から切り出された２回回転Ｙカットの水晶振動片と、水晶振動片を支持する為の支持端子とを備えた水晶振動子に於いて、水晶結晶軸のＺ軸をＸ軸を中心として約３４°回転させた方向をＺＺ'軸方向とした場合、水晶振動片のほぼ中央を中心として前記ＺＺ'軸より水晶振動面に沿って１５°〜３０°回転した範囲内に位置する水晶振動片の外周縁部と、１０５°〜１２０°回転した範囲内に位置する水晶振動片の外周縁部と、１９５°〜２１０°回転した範囲内に位置する水晶振動片の外周縁部と、２８５°〜３００°回転した範囲内に位置する水晶振動片の外周縁部とをそれぞれ支持端子に固定したことを特徴とする２回回転Ｙカット水晶振動子及びびこれを使用した恒温槽型の水晶発振器。 （もっと読む）