【課題】微細寸法の振動電極を有する圧電共振子であっても、周波数を高精度に調整でき、かつ面倒な位置合わせ作業を必要としない圧電共振子の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電基板１の表裏面に、振動電極を含む領域Ｄ１に振動電極より大きな第１電極２，３を形成し、第１電極２，３を形成した共振子Ａの共振周波数ｆｒ₁を測定する。測定した共振周波数を基にして周波数調整に必要な金属薄膜の厚みを決定し、決定した厚みの金属薄膜よりなる第２電極５，６を、圧電基板の少なくとも振動電極を含む領域Ｄ２に形成する。第１電極および第２電極のうち不要な部分を除去することにより、振動電極７，８をパターン形成することで、面倒な位置合わせを行うことなく、精度のよい周波数調整が可能になる。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、圧電素板をバンプを介し導電性パッドの上に直接載置して気密封止する小型の圧電振動子、及びその製造方法を提供することである。
【解決手段】
上記目的を達成する為本発明は、圧電素板が容器内部の絶縁基板上の導電性パッド上にバンプを介して支持され気密封止される圧電振動子の製造方法において、圧電素板の主電極に下地電極材料を成膜する工程と、主電極の表面にバリア層を成膜する工程と、主電極材料を成膜する工程と、先の圧電振動子容器へバンプを介しこのバンプと圧電素板の接続用電極で溶融接合し、圧電素板を搭載する工程と、圧電振動子を周波数調整する工程とにより成ることを特徴とし、また、圧電素板の主電極に下地電極材料と主電極材料の間のバリア層の材料としてAgまたはTiが用いられ、圧電素板の接続用電極と圧電振動子容器とがバンプを介在して直接溶融接合されることを特徴として目的を達成する。 （もっと読む）

電極が１つの導電層を備える薄膜すなわちＦＢＡＲ型（１）または強固実装すなわちＳＢＡＲ型（８）、あるいは、電極が複数の導電層を備える所謂サンドイッチ構造（１７）の電気音響共振器（１，８，１７）であって、結合係数ｋｒが最適であり、したがって、フィルタ帯域幅が大きい電気音響共振器（１，８，１７）。最適な結合係数ｋｒは、上端電極（６，１５，２５）が下端電極（４，１３，２３）よりも薄い構造によって得られる。結合係数は、マスクによって規定される共振器のレイアウトとは無関係である。
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【課題】本発明は、時間経過による周波数特性に優れ、かつ圧電素子とパッケージベース内の電極パッドとの固着部において、耐衝撃性、及び接合強度に優れた圧電デバイスを安価に提供することを目的とする。
【解決手段】圧電基板の両主面上に励振電極と、前記励振電極から前記圧電基板端部へ引 出された引出電極とを備えて成る圧電素子が、パッケージベース内に設けられた電極パッドに導電性接着剤を介して電気的に接合されて成る圧電デバイスにおいて、前記励振電極、及び前記引出電極のうち少なくとも前記励振電極の領域が、前記圧電基板表面に形成した
Ｎｉ−Ａｇの混合膜層と、最上面に形成したＡｕ薄膜層とを含む多層膜構造を有していることを特徴とする圧電デバイス。 （もっと読む）

【目的】周波数調整膜による振動特性の変化を防止した水晶振動子を提供する。
【構成】水晶片の両主面に対向する励振電極を形成して振動領域を形成し、前記振動領域上に蒸着によって周波数調整膜を設けてなる水晶振動子において、前記振動領域よりも大きい面積として前記水晶片及び前記励振電極と付着力の強い補強層を前記振動領域上に設け、前記補強層上に前記周波数調整膜を設けた構成とする。また、前記励振電極はＡu、Ａg又はＡLとし、前記補強層はＣr、Ｎi又はＴiであり、前記補強層は500Å以下の構成とする。 （もっと読む）

【課題】環境温度などの環境の変化に伴う特性の変動を抑制する薄膜バルク音波共振子（ＦＢＡＲ）を提供する。
【解決手段】圧電材料を含む圧電層（２）と、圧電層（２）を介して積層された一対の電極層とを含む多層構造（５１）が基板上に形成された薄膜バルク音波共振子（１）であって、多層構造（５１）が負の熱膨張率を有する層Ａ（７）をさらに含む。多層構造（５１）における層Ａ（７）を配置する位置は特に限定されないが、なかでも上記一対の電極間に層Ａ（７）が配置されていることが好ましく、層Ａ（７）が圧電層（２）と少なくとも一方の電極層との間に配置されることがより好ましい。 （もっと読む）

【課題】 低い加工コストでありながら耐久性に優れた水晶振動子、それを用いた荷重センサ及びその荷重センサを有する電子はかりを提供する。
【解決手段】 板状の水晶片１と、水晶片１の一対の主面に平面視において重なり合うように形成された水晶片１の厚みすべり振動を励振するための一対の電極５と、水晶片１の厚みすべり振動方向の対向する両端部における少なくとも一方の主面に形成された接合部４ａと、接合部４ａを支持する支持部材６とを備え、支持部材６と水晶片１とが接合部４ａにおいて金属溶着される。 （もっと読む）

【課題】 薄膜圧電フィルタを構成する並列共振子の周波数調整を精度良く行うための材料選択方法と共振器構造およびそれを用いた薄膜圧電フィルタを提供する。
【解決手段】 本発明の薄膜圧電共振器は、圧電薄膜と、該圧電薄膜を挟むように形成された下部電極および上部電極と、該下部電極または該上部電極に接して設けられた周波数調整膜とを有し、前記周波数調整膜の音響インピーダンスが、前記周波数調整膜の接している下部電極または上部電極の音響インピーダンスより小さい。 （もっと読む）

【課題】二重モードフィルタの通過域近傍の高域側に生ずる、３次インハーモニックモード（Ｓ_１）によるスプリアスを通過域から遠ざける手段を得る。
【解決手段】ＡＴカット水晶板上に２対の電極を近接配置して構成した二重モードフィルタにおいて、前記電極上であって前記電極を配列した方向に生ずる３次インハーモニックモード（Ｓ_１）の振動変位の小さい部分に周波数微調整用電極を付着する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子片６２の側端面に上下面の電極７３、７４と連続する電極を形成するためのレジストマスク９３を形成する際に、露光不良によってレジストマスクが正確に形成されず、側端面における電極の形状不良によるショートや断線の発生を防止するようにした圧電素子を提供する。
【解決手段】水晶ウエハーをエッチングして圧電素子片６２を形成する際に、パウダービームエッチングを行なうようにし、これによって圧電素子片６２の側端面をその全周に亘って厚さ方向の中央部が外方に突出するような傾斜面から構成するようにしたものである。 （もっと読む）