【課題】アウトガスによる影響を防止することで電子部品特性の低下を防止可能な電子部品を提供する。
【解決手段】電子部品２は、第１の導電部３３、３４を有する基材３と、第２の導電部１２、１３を有する振動片１１と、前記第１の導電部３３、３４及び前記第２の導電部１２、１３に導電接触する第３の導電部２５、２６に覆われてなり、前記基材３と前記振動片１１との間に設けられた第１の部材１４と、前記基材３、前記振動片１１及び前記第１の部材１４に囲まれて設けられ、前記基材３及び前記振動片１１を保持する第２の部材１５と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単かつ安価に、所望の振動特性を得ることができる振動体および振動デバイスを提供すること。
【解決手段】振動体２は、基部２７と、基部２７から延出する３つの振動腕２８、２９、３０と、振動腕２８、２９、３０上に設けられ、通電により伸縮して振動腕２８、２９、３０を振動させる圧電体素子２２、２３、２４とを有し、圧電体素子２２、２３、２４は、振動腕２８、２９、３０上に設けられた第１の電極層２２１、２３１、２４１と、第１の電極層２２１、２３１、２４１上に設けられた圧電体層２２２、２３２、２４２と、圧電体層２２２、２３２、２４２上に設けられた第２の電極層２２３、２３３、２４３とを備え、これらの層のうちの少なくとも１つの層には、その厚さ方向に貫通する微細な複数の孔が形成され、これにより、圧電体素子２２、２３、２４の振動特性が調整されている。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値の低下の抑制が図られた振動片を提供する。
【解決手段】振動片２０は、一対の切り込み３１が形成された基部２１と、基部２１の第１の部分の一端側から互いに平行に延出する一対の振動腕２２と、基部２１の第２の部分２１ｂから延びる一対の支持腕３０と、を有している。各振動腕２２は、主要な振動部である一般部２３と、基部２１との付け根側に、一般部２３から基部２１側に向けて振動腕の両側面の幅が徐徐に広げられた幅広部２４を有している。各振動腕２２の主面には、長手方向に沿って一本の有底の長溝２６ａが設けられている。各振動腕２２の基部２１との付け根とは反対側の先端部２９Ａにおいて、長溝２６ａ，２６ｂは、基部２１側から先端側に向けて開口部の幅が徐徐に狭まる縮幅部２６Ａを有している。 （もっと読む）

【課題】小型で、低周波数化および高Ｑ値化が図られた振動片を提供する。
【解決手段】振動片２０は、一対の切り込み３１が形成された基部２１と、基部２１の第１の部分の一端側から互いに平行に延出された一対の振動腕２２と、を有している。各振動腕２２は、主要な振動部である一般部２３と、振動腕２２の基部２１との付け根とは反対側の先端側に、一般部２３よりも幅が広い錘部２９と、を有している。また、各振動腕２２の両主面のうち少なくとも一方の主面に沿って開口部を有する有底の長溝と、前記振動腕の前記基部との付け根とは反対側の先端側に、前記基部との前記付け根側よりも幅が広い錘部２９が形成されている。錘部２９は、振動腕２２の長手方向において、基部２１との付け根から先端側までの長さに占める錘部２９の長さ割合が３５％〜４１％の範囲となるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】基板を損傷することなく、基板の貫通孔に対して鋲体を迅速かつ確実に挿入することができるパッケージの製造方法と、この製造方法により製造された低コストな圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計を提供する。
【解決手段】平板状の土台部と、土台部の表面から法線方向に沿って立設される芯材部と、を有する導電性の鋲体７の芯材部を貫通孔３０，３１（凹部）に挿入する鋲体配置工程Ｓ３３を有し、鋲体配置工程Ｓ３３は、ベース基板用ウエハ４０（第１基板）の第１面Ｕ（上面）に鋲体７を載置した後、ベース基板用ウエハ４０の第２面Ｌ側（下面側）に配置した磁石部６３（磁石）とベース基板用ウエハ４０とを相対的に走査することにより行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】キャビティ内の気密を維持しつつ、導通不良のない貫通電極を形成することができるパッケージの製造方法、およびこの製造方法により製造された圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計を提供する。
【解決手段】、貫通電極形成工程Ｓ３０Ａは、ベース基板用ウエハ４０（第１基板）に貫通孔３０，３１を形成する貫通孔形成工程Ｓ３２と、貫通孔３０，３１内に第１ペースト材６１を充填して仮乾燥させる第１ペースト材充填工程Ｓ３５Ａと、第１ペースト材６１に重ねて貫通孔３０，３１内に第２ペースト材６３を充填する第２ペースト材充填工程Ｓ３５Ｂと、を有し、第１ペースト材６１は第２ペースト材６３よりも粘度が低いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】共振特性の劣化を抑制すること。
【解決手段】基板１０と、前記基板上に設けられた圧電薄膜１４と、前記圧電薄膜の少なくとも一部を挟んで設けられた下部電極１２および上部電極１６と、前記圧電薄膜を挟み前記下部電極および上部電極が対向する共振領域５０と、前記共振領域に複数の島パターンを備える第１質量負荷膜２８と、前記共振領域に前記複数の島パターンに対応する位置にそれぞれ設けられた複数の開口パターンを備える第２質量負荷膜２９と、を具備する弾性波デバイス。 （もっと読む）

【課題】 はんだクラックを防止して電子部品用パッケージと回路基板の搭載接合の信頼性を向上させる電子部品用パッケージのベース、電子部品用パッケージを提供する。
【解決手段】 電子部品素子を保持する電子部品用パッケージのベース１において、ベースの底面は、外部の回路基板４と導電性接合材Ｄを用いて接合する複数の端子電極がベース底面の外周端部に近接あるいは接して形成されており、前記端子電極には前記電子部品素子と電気的に接続された機能端子電極１２，１３と、当該機能端子電極より面積が小さくかつ前記電子部品素子と電気的に接続されない無接続端子電極１４，１５とを有し、前記機能端子電極の端部の一部が無接続端子電極の端部の一部よりベース底面の中心点Ｏに近接して配置されてなる。 （もっと読む）

【課題】キャビティ内の気密を維持しつつ導通不良のない貫通電極を安価に形成することができるパッケージの製造方法、この製造方法により製造された圧電振動子、この圧電振動子を備えた発振器、電子機器および電波時計を提供する。
【解決手段】ガラスフリット塗布工程Ｓ３４では、貫通孔３０の第２面Ｕ側が閉塞された状態で、減圧下において、貫通孔の第１面Ｌ側の第１開口部３０Ｌを閉塞するように、第１面Ｌ上にガラスフリット６１を塗布し、ガラスフリット充填工程Ｓ３５では、雰囲気圧力を昇圧させることで貫通孔３０内と貫通孔３０外との間に生じた圧力差により、貫通孔３０内にガラスフリット６１を充填することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動デバイスの製造に際し、アニール処理により減少させたＣＩ値が、アニール処理後のさらなる熱処理により大幅に増加することを抑制する。
【解決手段】圧電材料からなる圧電振動片１において、前記圧電材料に接合する第１金属と、この第１金属に接合する第２金属とにより励振電極２６，２７を形成する。ここで、前記第２金属は前記第１金属よりも高い導電性を有するものとし、且つ、前記第２金属に対する前記第１金属の重量比を、５．９％超〜３０．３％以下とする。 （もっと読む）

【課題】振動部から漏れる振動を軽減させてＣＩ値を向上させる。
【解決手段】保持部１１１と振動部１１２とから構成され、振動部１１２に電極が形成される圧電振動片１１０ａと、圧電振動片を囲う枠部１３０と、圧電振動片１１０ａの保持部１１１と枠部１３０とに設けられて圧電振動片１１０ａを支持する支持部１４０とを備え、支持部１４０が金属膜であり、保持部１１１と枠部１３０とを少なくとも３箇所で支持して構成されることを特徴とし、圧電振動片が、屈曲振動モード、厚み滑りモード、輪郭モードのいずれかに対応する振動モードで振動するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】鉛を含有せず、絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができる圧電素子を有する液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧電素子３００と、を有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、酸化チタン膜６１を形成する工程と、酸化チタン膜６１上に白金膜６２を形成する工程と、白金膜６２上にビスマス、ランタン、鉄及びマンガンを含む圧電体前駆体膜を形成する工程と、圧電体前駆体膜を不活性ガス雰囲気中で焼成し結晶化することにより圧電体層７０を形成する工程と、圧電体層７０上に電極８０を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】レジスト膜のオゾン酸化を抑制して、加工対象物を所望の外形パターンにパターニングすることができる圧電振動片の製造方法及び圧電振動片を提供する。
【解決手段】金属膜２０上にフォトレジスト膜２５を塗布するレジスト塗布工程と、フォトレジスト膜２５をプリベークするプリベーク工程と、フォトリソグラフィ技術によってフォトレジスト膜２５をパターニングして、レジストパターン２６を形成するレジストパターン形成工程と、レジストパターン２６の形成領域以外の領域の金属膜２０を除去して、外形パターンを形成する外形パターン形成工程とを有する圧電振動片の製造方法であって、フォトレジスト膜２５は、ネガレジストからなり、プリベーク工程に先立って、フォトレジスト膜２５上に大気遮断膜４０を形成する遮断膜形成工程を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ポジレジストをコンタクト露光した場合であっても、フォトマスクへのスティッキングを抑制し、加工対象物を所望の外形パターンに形成することができる圧電振動片の製造方法及び圧電振動片を提供する。
【解決手段】レジストパターン形成工程は、遮光膜パターン３５が形成されたフォトマスク３０によってフォトレジスト膜２５をコンタクト露光する露光工程と、遮光膜パターン３５の形成領域以外の領域のフォトレジスト膜２５を除去して、レジストパターン２６を形成する現像工程とを有し、露光工程では、フォトレジスト膜２５とフォトマスク３０との間に、フォトレジスト膜２５より展性の高い保護膜４０を挟んでコンタクト露光を行なうことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガラスフリット残渣を簡単に除去することができ、かつ歩留まりを向上することができるパッケージの製造方法、圧電振動子の製造方法、発振器、電子機器、電波時計を提供する。
【解決手段】ベース基板用ウエハ４０の上面Ｕ上に乾燥して残渣しているガラスフリット残渣６ｂを削り取る残渣除去工程Ｓ３２Ｇと、ガラスフリット残渣６ｂを除去した後、貫通孔内に充填されたガラスフリット６ａを焼成して硬化させる焼成工程Ｓ３２Ｈと、を有する、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】不良品を正確に選別して、商品の信頼性を向上させることができる圧電振動片の製造方法及び圧電振動片、並びに圧電振動片を備えた圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計を提供する。
【解決手段】レジストパターンの形成工程では、フォトマスク３０をフォトレジスト膜に密着させた状態でフォトレジスト膜に対してコンタクト露光を行うことで、レジストパターンを形成し、レジストパターンの形成工程の前段で、フォトマスク３０における外形パターンに相当する外形相当領域３３に欠陥が発見された場合に、遮光膜パターン３５を一部除去して、傷Ｋが存在する外形相当領域３３の形状を変更するフォトマスク加工工程を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】真空封止を確実に行うことができるパッケージおよびこのパッケージを用いた圧電振動子を提供する。
【解決手段】電子部品２が接続されるリード端子４５，４５と、リード端子４５，４５の中間部に固着されたプラグ本体４と、を備えた気密端子５と、電子部品２を収容する有底筒状のケース３と、を備え、ケース３の開口部がプラグ本体４の外周面４３に圧入固定されたパッケージ１であって、ケース３の軸Ｃ方向に伸びる凹部３ａまたは凸部３ｂが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】単純な工程で圧電デバイスの電極間の絶縁不良を除去することを可能とする圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の圧電デバイスの製造方法は、水晶ウエハ上に所定の形状の水晶振動子を複数形成する工程（ＳＴ１）と、水晶振動片上に複数の電極を形成する電極形成工程（ＳＴ２）と、各電極が形成された水晶振動片の漏れ量を測定する漏れ量測定工程（ＳＴ３）と、漏れ量測定工程の測定結果に基づいて、電極を所定形状に加工する電極加工工程（ＳＴ４）と、電極加工工程において加工された前記電極をマスクとして水晶振動片をエッチング加工するエッチング工程（ＳＴ５）と、各電極の間に所定の電圧を印加し、電流による発熱により絶縁不良箇所を焼き切る電圧印加工程（ＳＴ６）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】水晶振動素子の外部の温度変化の仕方によって、周波数特性が大きく異なることを防ぎ、電極に備えられた下地層及び金属膜の電気抵抗の違いによって水晶振動素子のインピーダンスが悪化することを防ぐ、水晶振動素子を提供する。
【解決手段】矩形形状の平板に設けられた水晶片と、この水晶片の両主面の中央部に設けられた下地層とこの下地層に設けられた金属膜とを備えた電極とから構成され、前記下地層がアルミニウムまたはアルミニウム合金からなり、前記金属膜が金または銀からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電極に於いてエネルギーの損失を抑えた水晶振動素子を提供する。また、外部の温度が同じであっても、加熱されてその温度になった場合と冷却されてその温度になった場合のように、外部の温度変化の仕方によって周波数特性が異なることを防いだ水晶振動素子を提供する。
【解決手段】
水晶振動素子は、矩形形状の平板に設けられた水晶片と、前記水晶片の両主面の中央部に設けられた下地層と前記下地層に設けられた金属膜とを備えた電極とから構成されている。また、水晶振動素子は、金属膜に銅が用いられている。 （もっと読む）