【課題】 特性が良好でかつ安定化した圧電振動デバイスおよび圧電振動デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】 水晶振動板１１と下ケース１３の接合は、封止ガラス材１５を水晶振動子の裏面（一方面）外周領域に配置し、下ケースの外周領域と接合する。この接合により気密封止されたキャビティＶが形成されるが、当該キャビティＶは真空雰囲気としている。水晶振動板１１と上ケース１２の接合は、封止ガラス材１４を水晶振動子の表面（他方面）外周領域に配置し、上ケース１２の外周領域と接合する。この接合により気密封止されたキャビティＮが形成されるが、当該キャビティＮは窒素ガス（不活性ガス）雰囲気としている。 （もっと読む）

【課題】周波数の高低の設定にかかわらず、落下衝撃に対して優れた振動特性を発揮し、かつ、安価な圧電デバイス用パッケージを提供すること。
【解決手段】励振電極を有する圧電振動片を電気的機械的に接続するためのマウント用電極３１が設けられたパッケージであって、マウント用電極３１とは異なる位置に、圧電振動片を支えるための凸状でなる複数の枕部３４が設けられており、複数の枕部３４のうち、一方の枕部３６は、他方の枕部３５よりも高さが大きく、他方の枕部３５は、接着剤を介して圧電振動片と接合される材料であって、かつ、その表面が接着剤に比べて光の反射率の高い材料からなっており、さらに、少なくとも接着剤の塗布される領域が励振電極を避けるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、音叉型振動片に比べてＣＩ値を上昇させずに小型化が可能であり、捩りモード振動片に比べて製造プロセスが容易であって良好なＣＩ値が得られる圧電振動片を提供することにある。
【解決手段】振動腕１２は、Ｕ字の１つの先端が基部１０に接続して延びるとともに他方の振動腕１２から離れる方向に屈曲してさらに延びる。励振電極４２は、第１及び第２の腕部２２，２６の左右両側面１８，２０に形成された側面電極４４と、第１及び第２の腕部２２，２６の左右両側面１８，２０を除く領域に形成された中央電極５６と、を含む。電圧の印加によって左右の側面電極４４と中央電極５６との間にそれぞれ発生する電界によって、一対の振動腕１２の第１の腕部２２が相互に離れる方向に屈曲するときに第２の腕部２６も相互に離れる方向に屈曲し、一対の振動腕１２の第１の腕部２２が相互に近づく方向に屈曲するときに第２の腕部２６も相互に近づく方向に屈曲する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ＣＩ値を抑え周波数への影響を低減することにある。
【解決手段】振動腕１２には、表裏面１４，１６に、長手方向に延びる長溝２６がそれぞれ形成される。長溝２６は、第１の側面１８と背中合わせに延びる第１の内面２８と、第２の側面２０と背中合わせに延びる第２の内面３０と、を含む。第１の内面２８は第２の内面３０よりも、表裏面１４，１６に対する角度が垂直に近くなっている。励振電極膜４０は、表裏面１４，１６にそれぞれ形成された表裏電極膜４２，４４と、第１及び第２の側面１８，２０にそれぞれ形成された第１及び第２の側面電極膜４６，４８と、第１及び第２の内面２８，３０にそれぞれ形成された第１及び第２の内面電極膜５０，５２と、を含む。表裏電極膜４２，４４は、励振電極膜４０で最も厚い部分である。第１の内面電極膜５０は、励振電極膜４０で最も薄い部分である。 （もっと読む）

【課題】弾性波の伝播速度が速いというＡｌＮ薄膜の特長を活かしつつ、電気機械結合係数および音響的品質係数を損なうことなく、共振周波数の温度安定性を向上させた圧電薄膜共振子を提供する。
【解決手段】基板１１２の上に形成された圧電積層構造体１４の一部を含んで振動部１２１が構成されている。圧電積層構造体１４は下部電極１５、圧電体膜１６および上部電極１７を積層してなる。基板１１２は振動部１２１に対応する領域にて振動部の振動を許容する空隙１２０を形成している。圧電体膜１６は窒化アルミニウムを主成分とするものであり、下部電極１５および上部電極１７がモリブデンを主成分とするものであり、振動部１２１は圧電積層構造体１４に接合された窒化シリコンを主成分とする絶縁層１３の少なくとも一部を含んでなる。 （もっと読む）

【課題】 ２本のリード端子を有する気密端子を、高品質で歩留まり良く、しかも小型化を図りながら効率良く製造すること。
【解決手段】 導電性材料からなるベース基板を加工して、所定の間隔Ｘを空けて平行に配された一対の平板部２１が両端で繋がった枠部２２を形成する枠部形成工程と、枠部の所定位置に充填材１２を介してステム１０を装着するステム装着工程と、枠部の一端側を切断して一対の平板部の繋がりを切り離し、各平板部の一端側をインナーリードとする第１切断工程と、枠部に対して所定の金属膜を被膜させる被膜工程と、枠部の他端側を切断して一対の平板部の繋がりを切り離し、各平板部の他端側をアウターリードとすると共に、一対の平板部をリード端子として機能させる第２切断工程とを行う気密端子の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動片（２０）の振動腕の断面が正確な矩形形状に形成する圧電振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電振動片を製造する製造方法は、エッチング異方性を有する平板の圧電材料を準備する工程（Ｓ１１２）と、この圧電材料の両面に耐蝕膜を形成する工程（Ｓ１１２）と、この耐蝕膜の両面にフォトレジストを塗布する第一塗布工程（Ｓ１１４）と、圧電材料の片面のみに圧電振動片のパターンを露光する第一露光工程（Ｓ１１６）と、この第一露光工程後にフォトレジストを現像し、片面にのみ現れた耐蝕膜を除去する（Ｓ１１８）工程と、耐蝕膜を除去して現われた圧電材料をエッチングする第一エッチング工程（Ｓ１２６）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】熱処理における温度変化に対して周波数変動の少ない圧電振動片および圧電デバイスを提供する。
【解決手段】矩形形状の圧電振動片２０は、第１面と、その第１面の反対面の第２面とを有し、所定の熱膨張係数を有する圧電片２０と、所定の熱膨張係数よりも大きな熱膨張係数を有し、下地の第３電極パターン２７の上に形成され、第１面に形成される第１電極膜２３と、所定の熱膨張係数よりも小さな熱膨張係数を有し、第２面に形成される第２電極膜２５と、を有する。第１電極パターン２３および第２電極パターン２５はともに、圧電振動片２０の中央領域に形成され、中央領域から端部へ延びる第１引き出し電極２３−ａおよび第２引き出し電極２５−ａを有している。 （もっと読む）

【課題】小型化された薄膜圧電デュプレクサを提供する。
【解決手段】薄膜圧電共振器Ｔｘ１，Ｔｘ２，Ｒｘ３，Ｒｘ５は共通の基板８を用いて形成されている。基板８の上面に圧電層２Ａと下部電極１０Ａと上部電極１２Ａとを含んでなる第１の圧電共振スタック１４Ａが形成されており、基板８の下面に圧電層２Ｂと下部電極１０Ｂと上部電極１２Ｂとを含んでなる第２の圧電共振スタック１４Ｂが形成されている。第１の圧電共振スタック１４Ａを用いて薄膜圧電共振器Ｔｘ１，Ｔｘ２を含む送信フィルタが構成され、第２の圧電共振スタック１４Ｂを用いて薄膜圧電共振器Ｒｘ３，Ｒｘ５を含む受信フィルタが構成されている。送信フィルタと受信フィルタとは互いに異なる中心通過帯域周波数を持つ。 （もっと読む）

【課題】劣化を抑制することができる音叉振動子を提供する。
【解決手段】本発明に係る音叉振動子１００は，基体１と、基体のうちの少なくとも一部からなる音叉型の振動部１０と、振動部の屈曲振動を生成する駆動部２０と、基体の上方に形成され、駆動部に接しない多孔質層８０と、駆動部と多孔質層との間に形成された空洞部７２と、多孔質層の上方に形成された封止層９０と、を含み、振動部は、支持部１２と、支持部を基端として片持ち梁状に形成された二本のビーム部１４ａと、を有し、駆動部は、各ビーム部の上方に１対ずつ形成され、各駆動部は、第１電極２２と、第１電極の上方に形成された圧電体層２４と、圧電体層の上方に形成された第２電極２６と，を有する。 （もっと読む）

【課題】
小型化に伴い水晶振動素子が小型化され引き出し電極面積が小さくなっても支持部と水晶振動素子との密着強度を小さくしない主電極層構造の水晶振動素子を有す良好なリフロー特性の水晶発振器を提供すること。
【解決手段】
絶縁性基体の表主面の第１の空間部を囲う凹形状容器内の絶縁性基体表主面上には発振回路が組み込まれた集積回路素子が搭載され、絶縁性基体の第１の空間部上面に形成された第２の空間部を囲う同じく凹形状容器内には集積回路素子に接続電極部を通じて接続される水晶振動素子が収容され、第１、及び第２の空間部を囲う容器は接続電極部を介し接合され、第２の空間部を囲う容器開口上縁部に蓋体が載置され気密封止される水晶発振器で、内部の水晶振動素子表裏面に付けられた高融点金属から成る下地主電極層両面の膜厚の和数が３０Å以上、９０Å以下の主電極層構造とされ課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 水晶振動子（２０）の電極パターンの幅の狭い回路が静電気の放電反応により損傷されることを回避するために、静電気の放電反応により放電突起を介して空気中に静電荷を放電する放電保護機能（２３１、２５１）を有する水晶振動子を提供する。
【解決手段】 水晶基板（１０）と、この水晶基板の表面の所定の領域に配置された第一および第二の金属層（２３、２５）と、第一の金属層に形成されこの第一の金属層から第二の金属層へと形成された複数の放電突起（２３１，２５１）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 優れた特性を有し、且つ製造が容易で歩留りの高い、安価で小型化された圧電薄膜共振子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 基板１１上に下部電極１３，窒化アルミニウムの圧電薄膜１２及び上部電極１４が形成され、下部電極１３の下に位置する領域に空隙１５が形成された圧電薄膜共振子（ＦＢＡＲ）１Ａにおいて、下部電極１３と上部電極１４はそれぞれルテニウム又はルテニウム合金の層を含み、前記下部電極は、その下に形成された空隙に露出している構成である。 （もっと読む）

【課題】設計自由度およびフィルタの特性を向上させることのできる共振器、その製造方法前記共振器を備えた装置を提供する。

【解決手段】本発明の共振器は、基板１１０と、基板１１０上に形成され、下部電極１４０、圧電膜１５０、および上部電極１６０を備える共振部と、を含み、下部電極１４０は、圧電薄膜係数を調節するように少なくとも２つの層で形成されたことを特徴とする。下部電極１６０は結晶学的な特性、詳細には、グレインサイズおよび表面粗さのうちいずれか１つが相異なる第１電極層１４１および第２電極層１４２で形成される。また、第１電極層１４１および第２電極層１４２は、所定の厚さ比率を有するよう形成されることもできる。 （もっと読む）

【課題】 振動を妨げないための空間を必要としない小型でかつ機械的強度に優れた構造を有し、しかも、製造時あるいは周囲温度変化時の構成部材間の熱膨張係数差に起因する特性の変動が生じ難い複合材料振動装置を提供する。
【解決手段】 音響インピーダンス値Ｚ１の材料を用いて構成された板状の圧電共振素子２に、音響インピーダンス値Ｚ２を有する材料からなる反射層３，４を介して音響インピーダンス値Ｚ３を有する材料からなる板状の保持部材５，６が積層されており、Ｚ２＜Ｚ１かつＺ２＜Ｚ３であり、反射層３，４の面方向に沿う熱膨張係数をＸ、保持部材の面方向に沿う熱膨張係数をＹとしたときに、ＹとＸとが逆極性とされており、あるいはＹとＸとが同極性かつＹがＸの３％以下とされている、あるいはＹ＝約０とされている複合材料振動装置１。 （もっと読む）

【課題】振動片上の電極に下地金属層露出部を有する圧電振動子において、振動片上の電極を形成する下地金属層と表面金属層とを密着性良く形成でき、信頼性の高い水晶振動子を提供するものである。
【解決手段】下地金属層露出部に対応する位置に下地金属層を形成する第一下地金属層形成工程と、前記第一下地金属層形成工程の後に、励振電極および固定用電極に対応し、前記下地金属層露出部を除く位置に、前記下地金属層を形成する第二下地金属層形成工程と、前記第二下地金属層形成工程で形成された前記下地金属層上に前記表面金属層を形成する表面金属層形成工程とを有する圧電振動子の製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】電極および圧電結晶発振器を提供する。
【解決手段】金銀合金をクロム金属、或いは、ニッケル金属上方に覆蓋する構造の電極であり、金原子は、金銀合金中の重量比１〜４０ｗｔ．％を占める。よって、第一ニッケル、或いは、クロム金属と圧電結晶の高覆着性と第二層金属合金薄膜自身の良好な熱安定性と化学安定性により、形成される電極は１５０〜３５０℃の高温下で更に安定し、好ましい導電性も同時に有して、圧電結晶発振器のパフォーマンスを向上させると共に、長時間の信頼度を保持し、製造コスト全体を減少させる目的を達成する。 （もっと読む）

【課題】 効果的な周波数調整を行うことができるとともに、調整後に酸化などの影響を受けて共振周波数が変動してしまうことを防ぎ、また、効率良く製造可能な圧電振動片及びその製造方法、その圧電振動子、並びに、発振器、電子機器、電波時計を提供する。
【解決手段】 圧電振動片１は、水晶片１ａ上に、外部電極接続部７と、励振電極５と、微調部９とが設けられたものであり、水晶片１ａの外形を形成する外形形成工程と、水晶片１ａの表面にクロム膜２０を形成するクロム膜形成工程と、外部電極接続部７、励振電極５、微調部９となる位置で、クロム膜２０をパターニングするクロム膜パターン形成工程と、微調部９となる位置で形成されたクロム膜２０の表面に、保護膜１１を成膜する保護膜形成工程と、微調部９にレーザー光を照射して、微調部９の重量を調整して、水晶片１ａを所定の共振周波数に設定する周波数微調整工程とを備えた製造方法で製造される。 （もっと読む）

【課題】圧電デバイスの経年的な共振周波数の変化を低減する圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電材料からなる圧電基板表面に励振電極３６を形成した圧電振動素子３５を導電性接着剤３７にて、連通穴３８を有する容器３０内に搭載する素子搭載工程と、圧電振動素子３５の共振周波数を調整する周波数調整工程と、容器３０と蓋体４０とを接合する蓋体接合工程と、容器３０と蓋体４０により画定される空間部に非結合電子対を有する気体と不活性ガスとの混合ガスを連通穴３８より導入するガス導入工程と、容器３０の連通穴３８に配置した封止部材３９にレーザ光を照射して連通穴３８を塞ぎ、空間部４８を気密に封止する封止工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動板に生じる各種スプリアス振動を効率的に抑制し、最適な特性調整を行うことのできる圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】
水晶振動板１は平板状のＡＴカット水晶振動素子からなり、表裏面の中央領域に各々励振電極１１，１２および各励振電極とつながる引出電極１１１，１２１が形成されている。励振電極の第１の領域１１０はその上面（表面）がクロム層からなり、ドライエッチングにおけるエッチングレートが比較的小さい材料からなっている。第２の領域１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄはその上面（表面）が銀層からなり、前記第１の領域（クロム層）よりエッチングレートが大きい材料からなっている。以上の構成の水晶振動板に対し、励振電極に対してエッチング処理を行うことにより特性の調整を行う。 （もっと読む）