【課題】特性が劣化せず、かつ小型化が容易な水晶振動子をドライエッチングにより製造する方法を提供する。
【解決手段】水晶振動子における振動領域１１に対応して、表面に振動領域１１より大きい窪み３１が形成された支持基板３０を用意し、支持基板３０の表面に水晶板１０を接合する。このとき、窪み３１では水晶板が支持基板に接触しないようにする。その後、水晶板に対してドライエッチングを適用して、振動領域と振動領域を取り囲む枠部２０とが支持梁部２１，２２を介して接続する形状となるように、水晶板を振動領域と枠部とに分離する。 （もっと読む）

【課題】被処理体のエッチング量をより正確に把握することが可能なエッチング装置及びエッチング方法を提供する。
【解決手段】処理槽１１では、ＡＴカットの水晶からなる被処理体９をエッチング溶液でエッチングする処理が行われ、ＡＴカットの水晶片３１の両面に互いに対向するように励振電極３２、３３を設けると共に、これらの面の少なくとも一部に露出領域を設けたエッチングセンサ３は、この露出領域の水晶がエッチングされるように前記処理槽１１に配置される。発振回路２２は、このエッチングセンサ３の励振電極３２、３３に接続され、前記露出領域の水晶片の厚さに対応する周波数信号を取得し、演算部４は発振回路２２から取得した周波数信号の周波数の変化に基づき、前記処理槽１１内の被処理体９のエッチング量を算出する。 （もっと読む）

【課題】輪郭すべり振動に基づく副振動の発生を抑えること。
【解決手段】厚みすべり振動を主振動とする圧電体をなす水晶片３０の両面に夫々励振電極３１，３２が形成された水晶振動子３において、前記水晶片３０の輪郭に沿って、水晶よりも音響抵抗が大きい材質例えばガラスにより環状の振動吸収部材４を形成する。この振動吸収部材４により輪郭すべり振動の発生が抑制される。 （もっと読む）

【課題】水晶デバイスを製造する工程において、レジスト塗布前の基板上に形成されたＡｕ／Ｃｒ耐蝕膜のＡｕ層を短時間のオゾン水により表面の改質処理を施すことで、レジストの付着性を向上させることにより、生産性を向上させる。
【解決手段】基板１の表面に形成されたＡｕ表面４のぬれ性を改善する方法であって、前記Ａｕ表面４を、オゾン濃度が１００ｐｐｍ以上の炭酸を含む５０℃以上のオゾン水３と接触させる。 （もっと読む）

【課題】 金属ろう材が励振電極へ拡散することの悪影響をなくし、金属ろう材を用いて金属サポートと水晶振動板を接合する際の接合性が良好で、エージング特性が良好なより信頼性の高い高安定向け水晶振動子を提供する。
【解決手段】 金属リード端子１１，１２を有するベース１と、前記金属リード端子のインナー側に設けられた金属サポート１３，１４と、前記金属サポートに支持される電極形成された板状の水晶振動板２とからなる水晶振動子であって、前記金属サポートは水晶より低熱膨張性の金属材料からなり、金属片を金属ろう材と当該金属ろう材の融点より耐熱温度の高い導電性樹脂接着剤との間に介在させながら、前記金属ろう材と前記金属片、および前記導電性樹脂接着剤と前記金属片をお互いに接合することで、前記金属サポートに前記水晶振動板が接合されてなる。 （もっと読む）

【課題】特定の複酸化物を含有する圧電磁器、及びその製造方法、並びにこの圧電磁器を圧電体として備える圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明の圧電磁器は、Ｐｂ、Ｚｒ及びＴｉを含むペロブスカイト型結晶構造を有する第１複酸化物と、Ｌｉ_２ＷＯ_４及びＬｉ_２Ｗ_２Ｏ_７のうちの少なくとも一方（第２複酸化物）とを含有する。また、本発明の圧電磁器の製造方法は、第１複酸化物となる原料粉末を混合し、仮焼し、仮焼粉末を成形して成形体とし、この成形体を焼成し、焼成体を分極処理する圧電磁器の製造方法であって、仮焼粉末に第２複酸化物の粉末を配合する。更に、本発明の圧電素子は、本発明の圧電磁器からなる圧電体と、その表面に設けられた一対の電極とを備える。 （もっと読む）

【課題】金属ろう材などの導電性接合材を用いて金属サポートと水晶振動板を接合する際の位置決めと接合性が良好で、エージング特性が良好なより信頼性の高い高安定向け水晶振動子を提供する。
【解決手段】金属サポート１３，１４が設けられた２本の金属リード端子１１，１２が貫通植設されてなるベース１と、金属サポート１３，１４に搭載されかつ導電性接合材３を介して電気的機械的に接合される板状の水晶振動板２とからなる水晶振動子であって、前記水晶振動板２の端部のうち応力感度がない２つのポイントに目印２１，２２を形成し、前記金属サポート１３，１４の水晶振動板保持部１３２，１４２に対して前記水晶振動板２の目印２１，２２の部分で、前記金属サポート１３，１４の水晶振動板保持部１３２，１４２と前記水晶振動板２とが前記導電性接合材３により接合した。 （もっと読む）

【課題】ハーメチックベースのネイルリードにサポータを容易に且つ確実に取り付けることができ、これによって量産性を可能にした水晶振動子を提供する。
【解決手段】水晶振動子（１００）は、両主面に設けた励振電極（３）及び励振電極と電気的に接続した端面電極（４）を外周部両端面に有する水晶片（１）と、水晶片の主面に対向して釘頭部を突出した少なくとも一対のリード端子（８）を有するベース（２）と、水晶片（１）を支えるとともに釘頭部に対して開口部（１４）を有する少なくとも一対のサポータ（９−１）と、開口部と釘頭部とを接続し所定の温度で溶融する接合材（１２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】下部電極と圧電体薄膜との積層膜がベース基板から剥離するのを防止することが可能な共振装置の製造方法、共振装置およびＵＷＢ用フィルタを提供する。
【解決手段】ベース基板１の一表面側に中央部が上記一表面から離間する形で湾曲した下部電極３１を形成する下部電極形成工程と、ＰＺＴの成分元素を含む金属アルコキシドを溶媒に溶かした溶液を下部電極３１上に塗布する塗布工程と、塗布工程の後で上記溶媒を除去することによりＰＺＴ薄膜からなる圧電体薄膜３２の前駆体膜３２ａを形成する仮焼成工程と、仮焼成工程の後に前駆体膜３２ａを焼結することによりＰＺＴ薄膜からなる圧電体薄膜３２を形成するとともに下部電極３１を塑性変形させてベース基板１の上記一表面に密着させる焼結工程と、圧電体薄膜３２上に上部電極３３を形成する上部電極形成工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で共振周波数を高くすることが可能な薄膜圧電共振器を提供する。
【解決手段】基板１の中央部に矩形状の凹部２が形成され、この凹部２上に圧電膜３が形成される。圧電膜３は、円盤部４と、支持部５とを有する。円盤部４と支持部５は一体に形成されている。圧電膜３の上には上部電極６が形成され、圧電膜３の下には下部電極７が形成される。上部電極６は、それぞれ等しい幅を持ち同じ間隔で配置される同心状の複数の円環部８と、これら円環部８を相互に接続するバスバー９とを有する。下部電極７は、圧電膜３の裏面全体に形成されている。幅と間隔が等しい同心状の複数の円環部８を有する上部電極６を備えるため、共振時のＱ値を高くでき、面積も削減でき、共振周波数の精度も高くでき、高周波動作も可能な薄膜圧電共振器を実現できる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、水晶部品のべべリング加工方法を提供することである。
【解決手段】目的を達成するために本発明は、水晶部品を回転定盤に貼り付けて研磨ブラシを用いて加工を行うべべリング加工方法において、加工対象物である水晶部品をその高さと同じ高さをもつ回転定盤に貼り付けられたスペーサーの孔に埋め込み、研磨剤を供給しながら加重を掛けられた研磨ブラシを先の回転定盤上の水晶部品に押し当てながら回転させて加工を行うことを特徴とし、また、供給する研磨剤の種類により加工レートを調整することを特徴として課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は少量多品種の水晶振動子でも効率良く製造することが出来る水晶振動子の製造方法、及びその製造装置を提供すること。
【解決手段】
上記目的を達成する為に本発明は、水晶振動子の製造方法において、水晶振動子素板を水晶振動子ベースに載置する工程と、水晶振動子素板について、水晶振動子の振動シミュレーションデータに基づき水晶振動子の電極形状データが算出され、この電極形状データが出力されるCADシステムに自動的に転送され、前記のCADシステムのデータを、電極材料を飛散させる装置に送り、この装置によりこの水晶振動子素板の主面上に任意形状の電極形成をしながら同時に先の水晶振動子素板の周波数調整をする工程と、この水晶振動子に蓋を被せて気密封止する工程により成ることを特徴として課題を解決する。 （もっと読む）