【課題】高負荷状態においても圧縮機の焼損を招くことなく動作させて冷却対象体の冷却処理を継続し得る冷却装置を提供する。
【解決手段】コントローラ４が、温度センサ５による検出温度が予め規定された第１の温度に達したときに、配管Ｐ２ａ，Ｐ３ａを相互に連結して配管Ｐ２ａ内を移動する冷媒の一部を配管Ｐ３ａ内に流入させる配管Ｐ４にキャピラリチューブ２６と共に配設されている制御弁２５ｂを制御して配管Ｐ３ａに対する配管Ｐ２ａからの冷媒の流入量を増加させる第１の処理を実行すると共に、温度センサ５による検出温度が第１の処理の実行中に第１の温度以上の第２の温度に達したときに、凝縮器２２において凝縮させた冷媒を蒸発器２４ａに供給するための配管Ｐ２ｃに配設されている制御弁２５ａを制御して蒸発器２４ａに対する冷媒の供給量を減少させる第２の処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】除湿装置において省エネルギー性を高め、また除湿により選択的に分離された水分による弊害を抑制する。
【解決手段】系内の気体に含まれる水分を吸着する分離膜を備え当該水分を選択的に分離可能な分離媒体１０と、その分離された水分を吸引可能な循環型アスピレーターポンプ２０と、を用いる。分離媒体１０には、中空管状の多孔質支持体１１ａの外周面にゼオライト膜１１ｂを被覆して成る分離膜１１を、分離媒体容器１２内に収納したものを適用する。アスピレーターポンプ２０には、循環管路２１内で循環水を循環させるためのポンプ２２と、その循環水を貯留する貯留タンク２３と、循環管路２１の少なくとも一部の外周側に対し減圧効果により負圧を生じさせる減圧部２４と、その減圧部２４に接続され気体や水分等を吸引する吸引部２５と、を有するものを適用する。 （もっと読む）

【課題】小型、省エネルギーの除湿機を有するミニエンを提供する。
【解決手段】ミニエンにおいて、ウェーハ搬送を行う搬送室を内部に有するミニエン本体と、ミニエン本体の排気側と吸気側との間に設置され、ミニエン本体の内部を除湿する除湿機とを備えている。そして、除湿機は、吸着式除湿機からなり、水分を吸着する除湿材に供給する空気を冷却するプレクーラー２７、アフタークーラー２８と、水分を吸着する除湿材に供給する空気を加熱する排気ヒーター３３、再生ヒーター２３とを備え、プレクーラー２７、アフタークーラー２８と排気ヒーター３３、再生ヒーター２３との熱源にペルチェ素子４１が使用されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ガスボンベを使用せずに99.999%以上の超高純度窒素ガスを製造することを課題とする。
【解決手段】室内の空気をコンプレッサーにより５〜８気圧に圧縮した空気を、モイスチャートラップ及びオイルミストラップを通過させる第１の工程と、水分離膜内蔵管を通過させる第２の工程と、炭化水素除去管および酸素窒素分離膜内蔵管を少なくとも反復通過させる第３の工程とからなることを特徴とする高純度窒素ガスの精製方法であり、前記第３の工程後に微量不純物吸着管および微量酸素・水除去管を通過させる工程が含まれることが好ましく、前記第２の工程後で、第３の工程の前又は後に、有機物燃焼触媒管および吸湿剤管を通過させる工程が含まれることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】吸着性能、加工性能、量産性をすべて満足し、吸着素子の原シートとなり得る吸着シートを提供する。
【解決手段】基材上に、含有される吸着材の平均細孔径が互いに異なる２種以上の吸着材層Ａ，Ｂ，Ｃを有し、（Ｉ）吸着材層は、有機バインダーと吸着材とを含み、有機バインダーの含有量が１０重量％以上、（II）吸着材層は、基材の同一面上にストライプ状に設けられ、（III）吸着材層は、吸着シート１Ａ，１Ｂ，１ＣのＭＤ方向に沿う中心線Ｌに対して非対称に設けられ、（IV）２５℃の水蒸気吸着等温線において、相対蒸気圧が０．０１〜０．９５の範囲で、相対蒸気圧が０．１５変化したときの飽和吸着量の変化量が最大である相対蒸気圧の範囲が、中心線の右側と左側で０．０５以上異なり、（Ｖ）中心線の右側と左側で、平均厚みの差が２０μｍ以下である、吸着シート。 （もっと読む）

【課題】基材シートに吸着剤をバインダーで添着してなる吸脱着用シートにおいて、吸着／脱着過程の熱変化を加えても、吸着剤の吸脱着性能を阻害せず、耐摩耗性にも優れた吸脱着用シートを提供することにある。
【解決手段】基材シートに吸着剤をバインダーで添着してなる吸脱着用シートにおいて、バインダーとしてポリエーテル型ポリウレタン樹脂を用いることを特徴とする吸脱着用シート。 （もっと読む）

【課題】停車状態でのエアドライヤのエア放出時における液滴の滴下による汚れを従来よりも著しく低減し得るエアドライヤの排気ポート構造を提供する。
【解決手段】ドライヤ本体１下部の排気ポート４にエア放出時の騒音を抑制するサイレンサ５を備え、該サイレンサ５にエア放出時の油分を含む水分の周囲への飛散を防ぐガイド筒７を装着したエアドライヤの排気ポート構造に関し、ガイド筒７の最下部位１０の縦断面形状が先の尖った先鋭形状を成すように構成する。 （もっと読む）

【課題】 ドライバー等の操作者の意思に従ってパージ処理を行うようにして、不用意にパージエアに伴って水分や油分・塵挨等が排出されることのないエアドライヤ装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、圧縮したエアをエアタンク１１２に貯留したエア供給システム１００において、エアドライヤ１１３のパージ処理を実行するためのパージバルブ１２７を電磁式開閉弁により構成し、操作者のマニュアル操作に従ってパージバルブ１２７を開弁可能に構成した。エアコンプレッサ１１１のアンロード時に自動的にパージ処理を実行する通常モードと、操作者のマニュアル操作に従ってのみパージ処理を実行するマニュアルモードと、を切り換え可能に構成され、マニュアルモード時には、操作者のマニュアル操作に基づく開弁指令に従ってパージ処理が実行され、開弁指令が発生しない間、パージ処理の実行が禁止される。 （もっと読む）