【課題】本発明は、オゾンを含む流体を扱うプロセスにおいて、簡便かつ小型化された設備で、オゾンが爆発下限値を超えて濃縮することを抑制可能なオゾン混合物の分解排出方法、及びオゾン混合物の分解排出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】オゾンと低沸点不活性ガスの混合流体の緊急排出において、予め高沸点不活性ガスを貯液した第１受液槽２３に貯留させたあと、高沸点不活性ガスと混合しながら、オゾン分解槽２７に導入する。この際に、オゾン分解槽２７での急激な温度上昇を避けるため、オゾン分解槽２７に導入する混合流体に、高沸点不活性ガスを適量混合させる。 （もっと読む）

【課題】装置の運転条件が著しく制限されることなく、レーザによる光反応を利用して、連続的に酸素同位体を十分に濃縮することができる酸素同位体の濃縮方法及び濃縮装置を提供する。
【解決手段】原料酸素の一部をオゾン化し、第１混合流体を得る工程と、第１混合流体と希釈物質を第１蒸留塔２に導入して蒸留し、第２混合流体と、酸素と、に分離する工程と、第２混合流体にレーザを照射し、酸素同位体を含むオゾンを選択的に分解し、酸素同位体を含む酸素を発生させ、第３混合流体を得る工程と、第３混合流体を液浸部１０に導入する工程と、液浸部１０によって得られる液ヘッド圧によって、第３混合流体を第２蒸留塔２１に導出して蒸留し、第４混合流体と、製品酸素とに分離する工程と、第４混合流体中のオゾンを分解する工程と、第４混合流体から、希釈物質を回収する工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体レーザを用いた特定の酸素同位体を濃縮する方法において、オゾンを使用する場合に、より安全性を高めた酸素同位体の濃縮方法を提供する。
【解決手段】オゾンを含む混合流体が液化／気化する際に、オゾンが液相において局所的に濃縮されるのを防ぐため、白金粉末などの触媒を充填した低温分解槽にて、前記混合流体中の半量程度のオゾンを分解し、ついで全量気化したあと、室温において通常のオゾン分解触媒にて分解するものである。 （もっと読む）

【課題】 硫酸製造プロセスのプロセスガスをＳＯ_２ガス源として用いて、低コストで、
高濃度の^１５Ｎを製造可能な重窒素濃縮製造方法を提供する。
【解決手段】 硝酸水溶液と二酸化硫黄ガスとの気液接触反応により一酸化窒素ガスを生
成し、生成された一酸化窒素ガスと硝酸水溶液との窒素同位体化学交換反応により重窒素
を硝酸に濃縮する重窒素濃縮製造方法であって、上記二酸化硫黄ガス源として、硫酸製造
プロセスのプロセスガスを用い、ＮＯｘ濃度を１％以下に精製したものを上記気液接触反
応に供給する。 （もっと読む）

【課題】希釈ガスを不必要に入れてオゾンの濃縮効率を低下させることなく、オゾンが高濃度に濃縮されないような酸素同位体重成分を含む酸素の濃縮方法及び濃縮装置を提供する。
【解決手段】特定の波長のレーザ光を照射することで酸素同位体重成分を含むオゾンを選択的に酸素に分解することにより、酸素同位体重成分を含む酸素を濃縮する方法であって、 蒸留塔にオゾンの濃縮を防止するための希釈ガスを導入するとともに、前記蒸留塔の塔底に設けられたリボイラの温流体として、前記希釈ガスと同成分の流体を用い、蒸留の運転停止時に、液化された前記温流体を、前記蒸留塔の塔底部にオゾンの希釈液として供給することを特徴とする酸素同位体重成分を含む酸素の濃縮方法を採用する。 （もっと読む）

【課題】オゾンを含む流体の蒸留プロセスにおいて、オゾン濃度を測定する方法および当該プロセスを安全に管理する方法を提供すること。
【解決手段】オゾン−酸素−その他の第３の流体の３成分以上の系において、その他成分として希ガスあるいはテトラフルオロメタン等の少なくとも１種類以上を含む系を蒸留する場合に、オゾン濃度が最大となる蒸留塔１２（１４）塔底付近において、サンプルガスを経路３１を介して導出し、当該サンプルガス中のオゾンをオゾン分解触媒筒３２により完全分解させて発生した酸素を測定することにより、オゾン濃度を測定して把握し、これにより蒸留プロセスを安全に管理することができる。 （もっと読む）

【課題】酸素同位体の濃縮に際して、希釈ガスの使用を不要とし、希釈ガスの使用による装置の大型化、複雑化あるいはコストアップなど不都合を解消する。
【解決手段】酸素をオゾナイザ１に送り、酸素の一部をオゾンとして、酸素とオゾンとの混合ガスを大気圧以下の減圧状態とされた第１蒸留塔２に送りオゾンを分離し、このオゾンを光反応セル３に送って、特定波長のレーザ光を照射し目的の酸素同位体を含むオゾンを選択的に分解し、これを大気圧以下の減圧状態とされた第２蒸留塔５に送り、目的の酸素同位体が濃縮された酸素を製品として分離する。第１蒸留塔から光反応セルを経て第２蒸留塔に向けて順次運転圧力を低下させることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】例えば酸素同位体の濃縮方法などのオゾンを含む流体を扱うプロセスにおいて、異常が生じてもオゾンの爆発下限値を超えてオゾンが濃縮しないようにし、大型の蒸発器やオゾン分解槽を設ける必要がなく、停電、断水などが起きても、保冷槽に移送したオゾンを含む流体中でのオゾンの濃縮が生じないようにする。
【解決手段】予め液化ＣＣｌＦ_３が貯えられた受液槽１０に液化オゾンと液化ＣＦ_４との混合液体を流入させ、受液槽内で液化ＣＣｌＦ_３と液化オゾンと液化ＣＦ_４との混合物とし、この混合物を徐々に加熱して気化させて混合気体とし、この混合気体をオゾン分解槽１３に導入し、酸素とＣＣｌＦ_３ガスとＣＦ_４ガスとの混合気体を第１の蒸留塔１４に送って、酸素を分離したのち、第１の蒸留塔からのＣＣｌＦ_３ガスとＣＦ_４ガスとを第２の蒸留塔１５に送って、ＣＣｌＦ_３とＣＦ_４とに分離する。 （もっと読む）

【課題】起動時間の短縮が可能な蒸留装置を提供する。
【解決手段】 第１ないし第３塔１、２、３を備え、第１塔蒸発器６の出口と第２塔凝縮器７の入口とが第１の導入経路１２で接続され、第２塔蒸発器８の出口と、第３塔凝縮器９の入口とが第２の導入経路１３で接続され、かつ第２塔凝縮器７の出口と第１塔蒸発器６の入口とが第１の返送経路１４で接続され、第３塔凝縮器９の出口と第２塔蒸発器８の入口とが第２の返送経路１５で接続されている。 （もっと読む）

【課題】レーザ光照射によるオゾン分解によって、目的酸素同位体が濃縮された酸素を得る際に、オゾン分解時における目的酸素同位体含有オゾンの濃度を迅速に測定でき、この測定値に基づいてオゾン分解反応を制御できるようにすることにある。
【解決手段】線幅が０．０５ｎｍ以下の分解用レーザ光を用いて前記目的酸素同位体を含むオゾンを選択的に分解すると同時に、残存する目的酸素同位体を含むオゾンの濃度を線幅が０．０５ｎｍ以下の測定用レーザ光によって測定し、この測定値に基づいて前記分解用レーザ光によるオゾンの光分解を制御する。測定用レーザ光による測定が、正弦波で変調された注入電流により発振された測定用レーザ光を用い、受光器で光電変換された電気信号をロックインアンプに入力し、前記正弦波を参照信号として二次微分処理を行うものである。 （もっと読む）