【課題】主軸ヘッドの上下動に対して生じるバランスシリンダの圧力変化を、高速かつ高精度に安定化させることができる主軸装置およびこれを備えた工作機械を提供。
【解決手段】主軸ヘッド４３の重量を支える付勢力を発生するバランスシリンダ４４と、バランスシリンダを制御する圧力レギュレータ７０とを備える。圧力レギュレータは、空気供給源からの空気の等温化圧力容器への流入流量を規制し、該容器内の圧力を一定に保持する。サーボ弁を操作する圧力制御手段は、圧力計によって検出された圧力をフィードバック制御する圧力制御系をメインループとし、その内側に、流量計で計測された流入流量をフィードバック制御する流入流量制御系を構成するとともに、この流入流量と圧力微分計で計測された等温化圧力容器内の圧力微分値とに基づいて、等温化圧力容器から流出する空気の流出流量を推定し、推定した流出流量を流入流量制御系にフィードバックする。 （もっと読む）

【課題】高精度な位置検出に基づく高精度な移動および位置決めが可能な精密送り装置および精密移動装置を提供すること。
【解決手段】ベース２に支持されたテーブル３１を所定の移動方向へ駆動する精密送り装置９は、テーブル３１に接続されたロッド４１と、ロッド４１を移動方向に進退駆動する駆動機構４と、ベース２に対するロッド４１の変位を検出するレーザ干渉計５とを有し、駆動機構４は、ロッド４１への駆動力が移動方向の軸線に対して対称に作用するリニアモータ４４を有し、レーザ干渉計５のレーザ光路５６はロッド４１を貫通して移動方向に延びており、ロッド４１の移動軸線と駆動機構４の推力軸線とレーザ干渉計５の検出軸線とが一致している。 （もっと読む）

【課題】 物体の押圧又は牽引を精密に行うことができるリニアアクチュエータおよび当該リニアアクチュエータを備える中ぐり加工装置を提供する。
【解決手段】 本体ケース２内に配置された直線状に延びるスライダ３と、スライダ３の軸方向に沿って当該スライダ３に固定された複数の磁石６と、磁石６が固定されたスライダ３の周囲を囲むように本体ケース２に支持された複数のコイル４と、を備え、通電時のコイル４と磁石６との相互作用により本体ケース２に対してスライダ３が軸方向に相対移動するリニアアクチュエータ１であって、スライダ３の軸方向の一端部および他端部をそれぞれ支持する複数の板バネ７を備え、各板バネ７は、スライダ３の軸方向の移動に対して弾性変形するリニアアクチュエータ。 （もっと読む）

【課題】リニアモータにより移動合体を１軸方向に移動させる移動装置において、装置の大型化を回避しつつ、移動合体の姿勢を制御する。
【解決手段】回転型モータ７を、回転子７ａの回転軸Ａｒが移動合体ＭＵの重心Ｇを通り、且つ重心Ｇとリニアモータ５３の移動軌跡Ｓとを含む平面Ｐと交差するように移動体Ｍに固定する。回転型モータ７の回転子７ａの回転が、リニアモータ５３の移動によって移動合体ＭＵに作用する回転トルクＴの少なくとも一部を相殺する反回転トルクＨＴを発生するように制御する。 （もっと読む）

【課題】リニアモータの近傍に位置する構造体を過冷却することなく、リニアモータの発熱源であるコイル部を冷却することができる工作機械の送り軸冷却装置を提供する。
【解決手段】リニアモータのコイル部１８に設けられ、機体温度より低い温度に調節された冷却液を流通させる第１冷却液通路１７と、リニアモータのコイル部１８の周囲に設けられ、ほぼ機体温度に調節された冷却液を流通させる第２冷却液通路２１と、第１冷却液通路１７及び第２冷却液通路２１に供給する各冷却液の温度を調節し循環させる冷却液供給手段と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】ステージの移動方向の剛性を向上させる。
【解決手段】位置決めステージにおいて、ステージ１の移動方向の位置検出点とステージ１が振動して姿勢変化したときにステージ１の位置が変動しない節の位置を合わせる。この位置を合わせるために、ステージ１の重量分布を調整するための第１の錘１１及び第２の錘１２を有している。そして、ステージ１の伝達特性の振動モードが０ｄＢに近づくように第１の錘１１及び第２の錘１２の調整量を決定する。 （もっと読む）

【課題】工作機械の精密送り装置を提供すする。
【解決手段】
リニアモータを利用した案内面への与圧付与手段を備えた。また、重力の作用する軸については、立設するコラム１４の左右にV−Vガイド１０を設け、コロ軸受１９ａ １９ｂを介して、Ｖ溝転がり案内面１８ａ、１８ｂに沿って、凸状摺動面１６ａ １６ｂを摺動するように構成し、中央に主軸を備えたYステージ１６を昇降自在に案内するように構成した工作機械の精密送り装置であって、リニアモータの磁力による吸引力により、コラム１４の左右に設けたＶ溝転がり案内面１８ａ １８ｂ側に、Yステージ１６の左右に設けた凸状摺動面１６ａ、１６ｂを押し付けるよう、Yステージ１６側に予圧付与する予圧付与手段を具備した。 （もっと読む）

【課題】電源遮断時に主軸ヘッドの落下を防止するリニア駆動式工作機械のブレーキ装置として電源遮断時にガススプリングのシリンダ部材を制動するように構成したバランサ装置を提供する。
【解決手段】リニア駆動式工作機械のバランサ装置５は、主軸ヘッドの自重の一部をキャンセルするように主軸ヘッドに固定されたシリンダ部材を有するガススプリングを有し、このバランサ装置に、電源遮断時に主軸ヘッド２の落下を防止するブレーキ装置２５を設け、ブレーキ装置は、コラム３に固定されてシリンダ部材２１に外嵌されたケース部材と、このケース部材に支持され且つシリンダ部材に外嵌されたコレット部材と、ケース部材に装備され、電源遮断時にコレット部材を径縮小状態に圧縮してシリンダ部材を制動するブレーキ状態に切換えると共に電源非遮断時にコレット部材を径拡大状態に開放してブレーキ状態を解除する駆動手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】ケーブルに生じる力が外部の構造に伝わりにくい若しくは伝わらない構造の直線駆動装置を提供すること。
【解決手段】可動部であるスライド１０、可動部であるカウンタスライド１２、および固定部であるガイド１４を有し、スライド１０とカウンタスライド１２はガイド１４に対して軸受を有し同一直線上を移動可能に構成し、スライド１０の駆動力をカウンタスライド１２とスライド１０の間で発生させる駆動手段を備え、スライド１０を駆動する駆動力の反作用をカウンタスライド１２が受ける構造とした直線駆動装置３００において、スライドに接続されたケーブル３０が、カウンタスライド１２の中継部分３４においてクランプまたは中継されており、カウンタスライド１２の重量がスライド１０の重量より重いことを特徴とする直線駆動装置。 （もっと読む）

【課題】
スピンドルに支持された工具の先端位置が変動の少ない精密工作機械に用いられる精密移動のための垂直移動テーブルの駆動装置を提供することにある。
【解決手段】
本発明の精密加工機に用いられる垂直移動テーブル用駆動装置は、垂直移動テーブルをコラムに沿って上下方向に案内するため、コラムの正面の左右に設けられたＶ−Ｖガイドと、コラムの左右両側端部に設置され、左右それぞれに箱型空間を形成し、垂直移動テーブルを案内するためのガイドプレートと、垂直移動テーブルの正面の左右両側端面に配置されたコイルを有し、箱型空間内にＶ−Ｖガイドと並行に設置され、コイルに対向して永久磁石を配設した左右のリニアモータと、を備えて構成し、前記コラムの左右に配置された前記左右のリニアモータによる合成された推力により、前記垂直移動テーブルを仮想的な重心位置にて駆動可能にしたことを特徴とする。 （もっと読む）