【課題】水等で希釈して使用可能な液状の金属と溶存化学物質の化合物を極めて簡単な構造で、短時間で大量に、かつ、安価に製造し、海水、淡水、上水、下水工業排水、農業及び畜産排水、その他様々な一般排水などを清浄する。
【解決手段】回転体３２は、支持軸１６に回転不能かつ軸方向に移動可能に支持され、支持軸１６の回転により回転体３２を回転させ、第１の羽根３２ａと第２の羽根３２ｂを回転により、液体を液体流入通路２１から研削室２０に流入させるとともに、回転体３２は、推進力によって支持軸１６上を移動して研削物３０により被研削物３１を研削し、研削により生じる研削微粉を液体に混入させて液体流出通路から流出させる。 （もっと読む）

【課題】回転する被研磨材に曲がりや振れ、あるいは凸凹した外周面形状や表面状態などがあっても最適で安定な押圧力で被研磨材を研磨することのできるバフ研磨装置が望まれている。
【解決手段】バフ研磨装置１は、基台フレーム１９に、回転する被研磨材Ｇに対し近接離間するヘッド部６２が移動自在に取り付けられ、前記ヘッド部６２に、被研磨材Ｇの回転軸心Ｇ０と略平行または交差する軸心Ｊ０回りに回転して被研磨材Ｇの周面を研磨するバフ体６と、バフ体６を回転させるモータ１１とが取り付けられている装置であって、ヘッド部６２が、被研磨材Ｇへの近接離間方向に伸縮するコイルバネを介して基台フレーム１９に弾性的に支持されるとともに、圧縮空気の供給を受けてヘッド部６２を被研磨材Ｇへ近づける方向に押圧するガスシリンダが、基台フレーム１９とヘッド部６２との間に介設されている。 （もっと読む）

【課題】複列円すいころ軸受の外輪の超仕上げを１度に行うことができる研削装置を提供する。
【解決手段】研削装置１は、いずれも超仕上げ砥石を保持するための第１の砥石保持装置２および第２の砥石保持装置２と、保持される超仕上げ砥石７の研削面１６が向く側に対して第１の砥石保持装置を前進および後退させ、かつ第２の砥石保持装置を、第１の砥石保持装置の前進または後退に同期させて保持される超仕上げ砥石の研削面が向く側に対して後退および前進させる移動装置６と、を有し、第１の砥石保持装置の前進方向と第２の砥石保持装置の前進方向とが、１８０度逆方向であって互いに遠ざかる方向であり、第１の砥石保持装置および第２の砥石保持装置が一体に振動するように形成される。 （もっと読む）

【課題】
装置の小型化を図り、動作を容易にし、狭い部分での研磨作業が容易な水中研磨方法及び水中研磨装置を提供できる。
【解決手段】
被加工物を研磨又は研削する砥石に回転アクチュエータによって回転トルクを与え、砥石で被加工物を研磨又は研削する水中研磨方法であって、回転アクチュエータを流体式とし、吸引装置によって、研磨粉を回収するように研磨部付近の流体を、前転アクチュエータを介して吸引して、回転アクチュエータによって砥石に回転力を与え、且つ、研磨粉を回収することを特徴とする。或いは、被加工物を研磨又は研削する砥石と、流体の供給及び排出によって砥石に回転トルクを与える流体式回転アクチュエータと、流体式回転アクチュエータに駆動力を供給するための吸引装置とを備え、研磨粉の回収を流体式回転アクチュエータを駆動することにより行う。 （もっと読む）

【課題】高剛性の基板平面研削装置の提供。
【解決手段】回転／直動可能な砥石軸に軸承されたカップホイール型砥石１４を水静圧軸受と磁気軸受で回転および直動可能に支持した研削ヘッド１、前記砥石軸が垂直方向となるよう下面中央位置に研削ヘッド１を固定した固定板６、ワークチャックロータリーテーブル機構２、および、前記固定板６を上下移動させるキネマカップリング７３，８３およびシリンダロッド７２を備える固定板昇降機構７を三基備える基板平面研削装置１００。固定板６の荷重も基板を研削する砥石１４に負荷する高い剛性の研削装置であるので、基板径が４５０ｍｍと大きい半導体基板であっても得られる基板の厚み分布の振れが小さい。 （もっと読む）

【課題】研磨圧力の分布の均一化を図る。
【解決手段】研磨ヘッド１０に装備した研磨プレート２０をガラス基板の表面に押圧させつつ偏心回転させ、且つ、研磨ヘッド１０の長手方向と直交する方向にガラス基板Ｗを移動させることで、ガラス基板Ｗの表面のＲＧＢ膜を研磨する平面研磨機において、研磨ヘッド１０の本体１１に研磨プレート２０を上下方向移動自在に装備し、研磨ヘッド１０の本体と研磨プレート２０との間の研磨プレート２０のほぼ全長にわたる範囲に、加圧気体の導入により膨張して研磨プレート２０を下側に押圧変位させる加圧チューブ１８を配設する。加圧チューブ１８は、研磨プレート２０の長手方向に複数の分割チューブに分割してあり、各分割チューブ毎に独立して圧力制御ができる。 （もっと読む）

【課題】負荷電流値や荷重センサによらない加工手段の負荷検出を可能として加工手段の送り動作を確実かつ安定して行うことができる加工装置を提供する。
【解決手段】加工ユニット３０の送り動作で変化するエアベアリングスピンドルのスラスト方向あるいはラジアル方向のギャップ量を、該ギャップに生じるエア圧力の変化で認識し、加工ユニット３０の送り動作を安全に制御する。 （もっと読む）

【課題】 粗研削〜精密加工研削に至る全ての段階で、精密加工装置を構成する移動部の移動量制御や姿勢制御装置の姿勢制御に際してフィードバック制御を施すことで、被研削体の厚みと平坦度の双方を高い精度で管理することのできる精密加工装置および精密加工方法を提供する。
【解決手段】 砥石ｂを回転させる回転装置６ｂを支持する第二の基台３は、送りねじ機構４とアクチュエータ５が装着されており、粗研削段階〜超精密研削段階において該第二の基台３の移動量が適宜に調整されながら研削がおこなわれる。被研削体ａを回転させる回転装置６ａと第一の基台２との間には姿勢制御装置７が介在しており、被研削体ａの厚みや平坦度を光プローブ９１，９２にて測定し、測定結果をコンピュータ９４に送り、目標値と測定値との偏差を解消するようにフィードバック指令を姿勢制御装置７に送り、その姿勢制御をおこなう精密加工装置である。 （もっと読む）

【課題】高速機械加工装置
【解決手段】工具ケーシングと、回転のため前記ケーシング内に取り付けられているタービンロータと、前記工具ケーシング内の固定位置で前記タービンロータと同軸に合わせられて取り付けられているステータと、前記ケーシング内に画定されており、前記ステータ複数の翼に空気を供給するために前記ステータおよびロータと同軸に合わせられている環状キャビティと、前記タービンロータと共に回転するために前記工具ケーシング内で前記タービンロータと同軸に取り付けられている円筒スピンドルと、前記スピンドルと共に回転するためにこれと同軸に取り付けられており、切削工具を動作可能に受容するための端部を有する工具保持部とを有する、空気タービンにより駆動される回転機械工具。 （もっと読む）

【課題】 配管の簡単化を図れる流体圧シリンダを提供する。
【解決手段】 この流体圧シリンダは、大径部３と小径部６とを有する段付シリンダ１と、大径部３に嵌合したヘッド５Ａと小径部６に嵌合したロッド５Ｂと軸方向貫通孔１１,１２を有する第１ピストン５と、小径部６にヘッド７Ａが嵌合し、ロッド７Ｂが第１ピストン５を貫通して端壁２Ａから突出した第２ピストン７を備える。大径部３の前室１６に圧力流体を供給することで、第２ピストン７を後退位置にし(図１(Ａ))、前室１６と小径部６の後室２０の両方に圧力流体を供給することで、第２ピストン７を中間位置にし(図１(Ｂ))、後室２０に圧力流体を供給することで、第２ピストン７を前進位置にすることができる。 （もっと読む）