【課題】再利用可能な資源用のシリコンスラッジ中への接着剤層の切削屑および固定板の切削屑の混入を防止できるワイヤソー切断スラッジの回収方法およびその装置を提供する。
【解決手段】シリコンインゴットの切断開始後、ワイヤ列が接着剤層に達する直前までに発生した資源用のシリコンスラッジと、その後のスライス中に発生した接着剤層の切削屑および固定板の切削屑を含む廃棄用スラッジとを別々に回収する。これにより、再利用可能な資源用のシリコンスラッジ中への接着剤層の切削屑および固定板の切削屑の混入を防止できる。 （もっと読む）

【課題】リン濃度が十分に低減された再生シリコンを得ることができるシリコン再生方法を提供する。
【解決手段】本発明のシリコン再生方法は、シリコンブロックを切断しその際副生したシリコン屑より、特別の脱リン処理をすることなく、太陽電池用原料として利用可能なリン濃度を有する再生シリコンを得るシリコン再生方法であって、シリコンブロックをダミー材に接着剤を用いて接着させた状態で、表面に砥粒を固着したワイヤーとクーラントとを用いて、シリコンブロックとダミー材の一部を切断してシリコンウエハを得、その際副生したシリコン屑を含む廃スラリーからシリコン屑含有固形分を回収する工程と、回収した固形分を第１洗浄液とそれと異なる第２洗浄液とで洗浄する工程と、洗浄した固形分を熔融して熔融シリコンを得る工程と、熔融シリコンを凝固する工程とを含み、ダミー材は、第１洗浄液に易溶性を有し、接着剤は、第２洗浄液に易溶性を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワイヤソーからの廃液を処理するにあたり、クーラントの再利用率を９０％以上に高めることのできるクーラント回収システムを提供する
【解決手段】固定砥粒ワイヤソーの廃液からクーラントを回収するシステムであって、切削屑とクーラントを含む廃液を受け入れる濃度調整タンクと、濃度調整タンクに貯留された廃液を遠心分離機に供給する送液ポンプと、送液ポンプによって供給される廃液を遠心力の作用で重液と軽液とに分離し、切削屑を含む重液を系外に排出する一方で、軽液を濃度調整タンクに戻す遠心分離機と、濃度調整タンクに貯留された廃液をフィルターに供給する循環ポンプと、循環ポンプによって供給される廃液をクロスフローろ過方式で重液と軽液とに分離し、重液を濃度調整タンクに戻す一方で、軽液を再生クーラントとして再生クーラントタンクに供給するフィルターと、を含むようにする。 （もっと読む）

【課題】研磨システムにおいて、使用済みのスラリーから、加工屑と使用済みの砥粒を分離して未使用の砥粒を再利用することができる砥粒の回収方法、及び回収装置を提案する。
【解決手段】本発明の砥粒の回収方法は、研磨屑と砥粒を含有する使用済みの研磨スラリーを分離筒に収容した状態で、回転させて径方向に遠心力を作用させつつ、軸方向の上下に電極を臨ませると共に径方向の内側より外側での電極を狭めた状態で電界をさせる処理を施すことにより、径方向の内側から研磨屑や使用済み砥粒と研磨屑の結合物を分離し、径方向の外側から砥粒を回収することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】インゴットのスライス工程から排出された増粘剤を含有するクーラントから切り粉を分離除去し、清澄なクーラントを回収する方法を提供する。
【解決手段】インゴットのスライス工程から排出された増粘剤を含有するクーラントを、セラミック膜４によりろ過してシリコン切り粉を膜分離し、回収された清澄なクーラントを回収する。膜孔径が１〜１０μｍのセラミック膜４を用いることにより、増粘剤を含有するクーラントのろ過速度を確保するとともに、定期的に空気逆洗を繰り返すことにより、ろ過速度の低下を抑制しつつクロスフローろ過する。 （もっと読む）

【課題】フィルタユニットの交換忘れを防止する廃液処理装置を提供する。
【解決手段】廃液タンク４と、廃液タンク４に収容された加工廃液を送給する送給ポンプ６と、加工廃液を濾過する濾過手段４４と、該濾過手段４４で生成された清水を排出する清水排出口４０とを備えた廃液処理装置であって、該濾過手段４４は、それぞれ着脱可能に配設された第１及び第２フィルタユニット８ａ，８ｂと、加工廃液の送給先を該第１フィルタユニット８ａと該第２フィルタユニット８ｂとの間で選択的に切り替える切替手段４６と、第１圧力検出手段４８ａと、第２圧力検出手段４８ｂとを含み、圧力検出手段４８ａ，４８ｂで検出した圧力が該所定値を超えた際に各フィルタユニットの詰まりと判定する判定部５８を有する制御手段５６と、警告手段６２と、フィルタユニット８ａ、８ｂを新品に交換した後、各フィルタユニットが新品であることを検出する新品検出手段６０を具備した。 （もっと読む）

本発明は、特に、例えば（冷却）潤滑剤といった液体から例えば削り屑いった固体を分離するための乾燥分離器(1)であって、少なくとも１つの沈殿槽(2)と、固体を多く含む液体を、上方から沈殿槽(2)内に設けられたシュート(4)へ導入することができる供給装置(3)と、シュート(4)の下端に設けられ且つフィルタ(6)から下流に接続された吸引ポンプ(13)を有する沈殿空間(5)と、沈殿空間(5)の底部に設けられ且つ閉鎖要素(8)によって閉じることが可能な排水口(7)と、底部で排水口(7)に接続されたスクリューコンベヤ(9)と、を備える乾燥分離器(1)に関する。このため、非常に低コスト且つ急速な固体分離を達成できるようになる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、切削時のインゴットの冷却効果が高く、高精度なシリコンインゴットの切断を、低コストで実現できるシリコンインゴットの切断方法を提供することにある。
【解決手段】固定砥粒ワイヤーソー１０を有する切断装置１を用いたシリコンインゴット２０の切断方法であって、水をクーラント３０として用いて前記インゴット２０を切断し、その後、防錆剤を含有する液体により前記切断装置１を洗浄することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】固定砥粒ワイヤによりシリコン材料を切断する際の切断性能を大幅に向上させることができ、同時に、切断スラリから分離されるクーラントと固形分を略全量回収して再利用できるようにする。
【解決手段】ワイヤ芯材表面にダイヤモンド砥粒を固着させた固定砥粒ワイヤ２にクーラント７を供給してシリコン材料４を切断するワイヤソーのクーラント管理方法であって、シリコン材料４を切断した切断スラリ１３を遠心分離機１５に導いて粗粒固形分２０と分離液２２とに分離し、遠心分離機１５で分離した分離液２２を膜濾過装置２８に供給して微粒混合液２９と回収クーラント３０とに分離し、遠心分離機１５で分離した分離液２２の一部と膜濾過装置２８で分離した回収クーラント３０とを調合タンク８により調合して再び固定砥粒ワイヤ２に供給する。 （もっと読む）

【課題】固定砥粒ワイヤによりシリコン材料を切断する際の性能を大幅に向上できるようにする。
【解決手段】ワイヤ芯材表面にダイヤモンド砥粒を固着させた固定砥粒ワイヤ２にクーラント７を供給してシリコン材料４を切断するワイヤソーのクーラント管理方法であって、切断によって生じた使用済みスラリ１３を直接遠心分離機１５に導いてシリコン切削屑２４を除去し、シリコン切削屑２４が除去されたクーラント７を固定砥粒ワイヤ２に供給して再使用する。 （もっと読む）