【課題】シリコンの機械加工を行った際に発生する廃液から従来よりも簡便な手法にて不純物の除去が可能となるシリコン精製方法、および本精製方法に好ましく使用できるシリコン精製装置を提供する。
【解決手段】本発明のシリコン精製方法は、シリコンの機械加工を行った際に発生する廃液から酸化シリコンを有するシリコン粉を含む粉末を分離する粉末分離工程と、減圧または不活性ガス雰囲気下の加熱容器中において前記粉末をシリコンの融点以上２０００℃以下の温度に加熱し、シリコンが溶融した溶湯とする溶融工程と、前記溶湯に含まれる前記加熱容器の内壁または底に付着する粘度の高い酸化シリコンを前記加熱容器に残し、粘度の低いシリコン融液を冷却容器に出湯する出湯工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 廃液中から純度の高いシリコンを分別可能な研削装置を提供することである。
【解決手段】 シリコンウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたシリコンウエーハを研削する研削ホイールを回転可能に支持する研削手段と、該チャックテーブルに保持されたシリコンウエーハと該研削ホイールとに研削水を供給する研削水供給手段と、研削水を受け止め廃液を排水する排水手段とを備えた研削装置であって、該排水手段は、研削屑を含んだ廃液を受け止める廃液パンと、廃液パンに配設されたドレンとを含み、該ドレンには、廃液を第１の排水経路と第２の排水経路とに選択的に分別する分別手段が配設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
装置の小型化を図り、動作を容易にし、狭い部分での研磨作業が容易な水中研磨方法及び水中研磨装置を提供できる。
【解決手段】
被加工物を研磨又は研削する砥石に回転アクチュエータによって回転トルクを与え、砥石で被加工物を研磨又は研削する水中研磨方法であって、回転アクチュエータを流体式とし、吸引装置によって、研磨粉を回収するように研磨部付近の流体を、前転アクチュエータを介して吸引して、回転アクチュエータによって砥石に回転力を与え、且つ、研磨粉を回収することを特徴とする。或いは、被加工物を研磨又は研削する砥石と、流体の供給及び排出によって砥石に回転トルクを与える流体式回転アクチュエータと、流体式回転アクチュエータに駆動力を供給するための吸引装置とを備え、研磨粉の回収を流体式回転アクチュエータを駆動することにより行う。 （もっと読む）

【課題】 脱臭装置を大型化することなく、レンズ加工時に発生した臭気の外部への漏れを抑え、効率よく脱臭する。
【解決手段】 加工装置の加工室でレンズ加工を行う際に生じる臭気を脱臭する眼鏡レンズ周縁加工の脱臭システムは、加工室から排出される加工屑を含む研削水が導入される脱水槽を持ち、脱水槽の回転により研削水と加工屑を分離し、分離した研削水を脱水槽の外へ排出する遠心分離機と、遠心分離機から排出される研削水を研削水タンクに導くと共に、脱水槽の回転により加工室から吸引される臭気を含む空気を研削水タンクに排出する排気路を兼ねる研削水排出路と、タンクの水面より上部に吸気管を介して接続され、タンク内に排気された空気を吸引して臭気を脱臭する脱臭装置と、脱臭装置により吸引し切れないタンク内の空気を導く排気管であり、タンク上部と加工室とを接続する排気管とを有する。 （もっと読む）

【課題】処理液を清浄化させ易く且つ省エネ化を図り易い処理液清浄装置を提供する。
【解決手段】スラッジを含む処理液を貯留する有底円筒形状の処理液タンク１と、処理液からスラッジを除去する分離機構３と、処理液タンク１に貯留されている処理液を分離機構３に供給し且つ分離機構３から排出された処理液を処理液タンク１に戻す分離用循環機構４とを備え、分離用循環機構４から戻される処理液により、処理液タンク１内に当該処理液タンク中央を中心とする渦を形成し、分離用循環機構４が、処理液タンク１における中央部の処理液を吸引して分離機構３に供給させる吸引部６と、吸引部６にて吸引する処理液に脈動を発生させる脈動発生手段５とを備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】ワイヤソーによる加工処理に用いた砥粒スラリー、または砥粒スラリーに含まれる固形物を粗除去した後のスラリー液から固形物を短時間で確実に除去出来る、ワイヤソー用水溶性加工油剤の再生方法を提供する。
【解決手段】ワイヤソーによる加工処理に用いた砥粒スラリーに、又はこの砥粒スラリーに含まれる固形物を粗除去した後のスラリー液に、凝集剤として塩化アンモニウム及び／又はアクリル酸塩系ポリマーを添加して、固形物を凝集除去することを特徴とするワイヤソー用水溶性加工油剤の再生方法。 （もっと読む）

【課題】複数の排気装置を用いることなく研削加工を行う雰囲気中と研磨加工を行う雰囲気中の排気を支障なく行えるようにする。
【解決手段】排気手段１５が、研削領域Ｅ１側に連通する第１のダクト１５２に結合される第１の結合口１５４ａと研磨領域Ｅ２側に連通する第２のダクト１５３に結合される第２の結合口１５４ｂと吸引用の吸引口１５１に結合される第３の結合口１５４ｃとを有する連結ダクト１５４を備え、第１の結合口１５４ａ及び第２の結合口１５４ｂを第３の結合口１５４ｃの近傍に配置させることで、吸引口１５１の直前位置まで研削による噴霧と研磨による研磨屑が第１，第２のダクト１５２，１５３なる別のダクトで吸引されるようにした。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ切削工程時に生成されるスラリーから高純度珪素、炭化珪素、及びＰＥＧを回収するための方法、システム、及び装置を提供すること。
【解決手段】ウェーハ切削工程時に生成されるスラリーから高純度珪素、炭化珪素、及びＰＥＧを回収するための方法、システム、及び装置が本明細書に開示される。珪素含有物質は、珪素が豊富な組成物の生成のために処理することができる。珪素含有物質から回収された炭化珪素及びＰＥＧを使用してウェーハソー切削流体を形成することができる。珪素が豊富な組成物は、高純度の堆積珪素を形成するために精製及び／又は使用することができるヨウ素含有組成物と反応させることができる。生成された珪素は、太陽光発電産業又は半導体産業で使用することができる。 （もっと読む）

本明細書中では、油及び／又は乳濁液を濾過するように構成される積重式の濾過要素を具える１以上の濾過装置と；油及び／又は乳濁液を保持するように構成される１以上のタンクと；油及び／又は乳濁液を汲み出すように構成される１以上のポンプと；を具える油及び／又は乳濁液を濾過するためのシステムが提供される。 （もっと読む）

【課題】比較的メッシュの粗いフィルターであっても切削屑等の加工屑を確実に分離することができる廃液処理総理を提供する。
【解決手段】加工装置の加工の際に供給する加工液に加工によって発生した加工屑が混入された加工廃液を処理する加工廃液処理装置であって、加工廃液を収容する廃液タンク２と、該廃液タンク２に収容された加工廃液を送給するポンプ３と、該ポンプ３によって送給された加工廃液を濾過するフィルター４ａ,４ｂとを具備し、フィルター４ａ,４ｂは筒状に形成された濾紙４１と、筒状の濾紙４１の外周を覆い側面に複数の開口を備えた筒体４２と、筒状の濾紙４１の下端を閉塞する底板４３と、筒状の濾紙４１の上端を閉塞するとともに該ポンプ３によって送給された加工廃液を導入する廃液導入口４４１を備えた天板４４とからなり、筒状の濾紙４１内に微粒子粉体４０が投入されている。 （もっと読む）