【課題】多段伸縮装置において、各段の外形寸法差を小さくして装置の小型化・装置筒状体の意匠自由度の向上・装置の剛性を向上、さらには装置内部にある部品の組立保守性を改善した多段伸縮装置を提供すること。
【解決手段】最外段筒状体、中間段筒状体、最内段筒状体とからなり、最外段筒状体内から順次次段の筒状体が出没可能になされた多段伸縮装置において、中間段筒状体を牽引するワイヤが巻回され、前記中間段筒状体と一体として移動可能になされたプーリが、最内段筒状体内部に配設されるようにした。 （もっと読む）

【課題】位置決めの再現性、制御応答性及びサーボ剛性を向上できる基板搬送装置を実現する。
【解決手段】基板搬送装置は、基板を保持することが可能な基板保持器と、前記基板保持器を進退動作させるリンク部と、前記リンク部を動作させる駆動力を発生する駆動部と、前記基板保持器及び前記リンク部のいずれか一方に設けられたガイドバーと、前記基板保持器及び前記リンク部のいずれか他方に設けられ、前記リンク部の動作により前記基板保持器が移動する際に前記ガイドバーをスライド可能に支持する支持部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】電動モータの駆動力の増大を抑制した態様にて、ロボットの伸縮動作を確保すること。
【解決手段】フレーム間の相互変位に応じて伸縮可能に構成されたロボット１００であって、ロボット１００の基端側から先端側へ順に配置されるべきフレーム１４、１３、１５と、電動モータ１から供給される駆動力に基づいてフレーム１３を先端側へ駆動する駆動手段と、駆動手段と協調してフレーム１３を先端側へ付勢する付勢手段と、駆動手段及び付勢手段によるフレーム１３の先端側への搬送に同調して、前記フレーム１３からみてフレーム１４、１５を互いに逆方向へ搬送する搬送機構と、を備える。例えば、付勢手段は、ガススプリングから構成される。 （もっと読む）

【課題】長尺の案内レールを使用することなく被駆動体をロングストロークにわたって搬送可能とする。
【解決手段】この多段構造のアクチュエータ１は、複数の駆動ユニット１０Ａ〜１０Ｄそれぞれが、二つのボールねじ１１Ａ，１１Ｂを有している。二つのボールねじ１１Ａ，１１Ｂは、相互のナット５，５が逆方向に駆動され、また、隣り合う駆動ユニット１０Ａ〜１０Ｄのナット５，５相互が連結されている。さらに、各駆動ユニット１０Ａ〜１０Ｄには、案内レール２が取り付けられ、これを支持する複数の案内部材３は、各駆動ユニット１０Ａ〜１０Ｄ毎に軸方向に離間してベースＢに配置されている。そして、各案内レール２は、各駆動ユニット１０Ａ〜１０Ｄの移動に伴って、複数の案内部材３に順次に受け渡されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】装置の近傍に基板を搬送したときに、基板の下方にスライダベースが存在しないようにすることができる基板搬送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】基板搬送装置１であって、本体部１０に支持された第一スライダベース２０と、第一スライダベース２０の第一ガイドレール２２に沿って移動自在な第二スライダベース３０と、第二スライダベース３０の第二ガイドレール３２に沿って移動自在なハンド部材４０と、第二スライダベース３０に連動してハンド部材４０を移動させる連動機構５０とを備え、連動機構５０は、第二スライダベース２０に連動して回転する第一連動ギヤ５１と、第一連動ギヤ５１に対してギヤ比が小さい第二連動ギヤ５３とを備え、第二スライダベース２０に第一連動ギヤ５１及び第二連動ギヤ５３が取り付けられ、第一連動ギヤ５１に連動する第二連動ギヤ５３によってハンド部材４０が送り出される。 （もっと読む）

【課題】 プーリとベルトとを用いることなく、安定した動作を行うことが可能な伸縮アームを提供する。
【解決手段】 第１腕要素(20)が、第１回転中心(10)を中心として回転可能であり、第２回転中心(11)を画定する。第２腕要素(60)が、第２回転中心を中心として回転可能であり、第３回転中心(12)を画定する。第１平行リンク機構(21)で画定される相互に平行な一対の辺の一方が第１回転中心を中心として回転可能であり、他方が第２回転中心を中心として回転可能である。第２平行リンク機構(61)が画定する相互に平行な一対の辺の一方が第２回転中心を中心として回転可能であり、他方が第３回転中心を中心として回転可能である。間接機構(40)が、第１平行リンク機構の、第１回転中心を通過するリンクの姿勢を固定した状態で、第１腕要素が第１角度だけ回転したとき、第２腕要素を第１腕要素に対して、第１腕要素とは反対向きに、第１角度の２倍の角度だけ回転させる。 （もっと読む）

【課題】十分な強度の付与と軽量化を両立させることが出来、然も過大な外力の作用によってアームが折れ曲がったときにも復旧が可能な伸縮式のマニピュレータ機構を提供する。
【解決手段】本発明に係るマニピュレータ機構は、先端部に先端機構３を具えたアーム１と、該アーム１の基端部が連結されて該アーム１の巻き取り及び繰り出しを行なうアーム繰り出し装置２とを具え、アーム１は、弾性を有する複数本のテープ41を束ねてなるテープ集合体４と、該テープ集合体４の長手方向に間隔をおいてテープ集合体４に装着された複数の拘束部材５とを具え、該拘束部材５には、前記複数本のテープ41が貫通して該複数本のテープ41の相対位置を一定に保つためのガイド溝51が開設されている。 （もっと読む）

【課題】可動フレームの撓みを防止することができるようにした出入装置を提供すること。
【解決手段】上下に摺動可能にして重ねる３枚の可動フレーム２、３、４間に、それぞれレール５１及びブロック５２とよりなる直動ベアリング５を介在して、各段の可動フレームが出入りするようにするとともに、下方側の可動フレーム端部に可動フレーム支持ローラ８を配設する。 （もっと読む）

【課題】 正確な直線移動行程を実現しつつ、構造の簡略化を図ることができる直線移動機構、およびこれを用いた搬送ロボット、さらには真空環境下での使用に適した当該搬送ロボットを提供する。
【解決手段】 本発明に係る直線移動機構Ｂ１は、ガイド部材１と、このガイド部材１上に設定された水平直線状の移動行程ＧＬに沿って移動可能な２つの移動部材と、駆動プーリ３１ｂ、およびこの駆動プーリ３１ｂに掛け回されて移動行程ＧＬの平行線に沿う所定の往復動区間３Ａａ，３Ｂｂを往復動する出力ベルト３３を含んで構成された駆動機構３Ａ，３Ｂと、駆動プーリ３１ｂを駆動するためのモータＭ３，Ｍ４とを備え、移動部材は、連結部材２４ａ，２４ｂによって駆動機構３Ａ，３Ｂの出力ベルト３３にそれぞれ連結されており、駆動機構３Ａ，３ＢおよびモータＭ３，Ｍ４は、それぞれガイド部材１に支持されている。 （もっと読む）

【課題】 半導体や液晶パネルの製造工程における基板搬送を簡易な構造で、迅速かつ高精度で行えるようにする。
【解決手段】 第１スライダ２０と第２スライダ３０とが同期をとって伸長するリニアスライダ１０が収容される際、第１スライダ１０はベースハウジング１１内に完全に収容され、第２スライダ３０は収容状態の第１スライダ２０上まで縮退する。一方、第１スライダ１０は、ベースハウジング１１内に設けられた１対のプーリ間に掛け渡されたベルトＢの一部に固定された保持プレート２２によって、ベルトＢの走行方向に移動して伸縮するとともに、第２スライダ３０は、両端部がベースハウジング１１内の保持プレート２２に軸支された１対の従動プーリ２３，２４ととの間に掛け渡されたワイヤ１８の一部に固定された部位を介して第１スライダ２０の伸縮と同期してスライドする。 （もっと読む）