基板搬送装置
【課題】装置の近傍に基板を搬送したときに、基板の下方にスライダベースが存在しないようにすることができる基板搬送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】基板搬送装置１であって、本体部１０に支持された第一スライダベース２０と、第一スライダベース２０の第一ガイドレール２２に沿って移動自在な第二スライダベース３０と、第二スライダベース３０の第二ガイドレール３２に沿って移動自在なハンド部材４０と、第二スライダベース３０に連動してハンド部材４０を移動させる連動機構５０とを備え、連動機構５０は、第二スライダベース２０に連動して回転する第一連動ギヤ５１と、第一連動ギヤ５１に対してギヤ比が小さい第二連動ギヤ５３とを備え、第二スライダベース２０に第一連動ギヤ５１及び第二連動ギヤ５３が取り付けられ、第一連動ギヤ５１に連動する第二連動ギヤ５３によってハンド部材４０が送り出される。
【解決手段】基板搬送装置１であって、本体部１０に支持された第一スライダベース２０と、第一スライダベース２０の第一ガイドレール２２に沿って移動自在な第二スライダベース３０と、第二スライダベース３０の第二ガイドレール３２に沿って移動自在なハンド部材４０と、第二スライダベース３０に連動してハンド部材４０を移動させる連動機構５０とを備え、連動機構５０は、第二スライダベース２０に連動して回転する第一連動ギヤ５１と、第一連動ギヤ５１に対してギヤ比が小さい第二連動ギヤ５３とを備え、第二スライダベース２０に第一連動ギヤ５１及び第二連動ギヤ５３が取り付けられ、第一連動ギヤ５１に連動する第二連動ギヤ５３によってハンド部材４０が送り出される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を搬送するための基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程で使用されるシリコンウェハや、液晶パネル製造工程で使用されるガラス基板などの平板状の円形基板を、所定の位置に搬送するための基板搬送装置１００としては、図５に示すように、本体部１１０と、この本体部１１０に横回転及び昇降自在に支持された第一スライダベース１２０と、この第一スライダベース１２０に取り付けられた第一ガイドレールに沿って横方向に移動自在な第二スライダベース１３０と、この第二スライダベース１３０に取り付けられた第二ガイドレールに沿って横方向に移動自在なハンド部材１４０と、第二スライダベース１３０の横方向の移動に連動して、ハンド部材１４０を同一方向に移動させる連動機構と、を備えているものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
前記した従来の基板搬送装置１００では、ハンド部材１４０の先端部に円形基板Ｗを吸着保持し、第一スライダベース１２０を本体部１１０に対して横回転及び昇降させるとともに、第二スライダベース１３０及びハンド部材１４０をそれぞれ横方向に移動させることで、円形基板Ｗを所定の位置に搬送することができる。このような多段スライド構造の基板搬送装置１００は、構造が簡単であるとともに、搬送精度が高くなっている。
【０００４】
なお、前記した従来の基板搬送装置１００では、第二スライダベース１３０に連動してハンド部材１４０が移動したときに、第二スライダベース１３０の第一スライダベース１２０に対する移動量と、ハンド部材１４０の第二スライダベース１３０に対する移動量とが等しくなっている。ハンド部材１４０は第二スライダベース１３０に連動して移動するため、第二スライダベース１３０が第一ガイドレール上を移動する距離と同じ距離を、ハンド部材１４０が第二ガイドレール上を移動することになり、第二ガイドレールと第一ガイドレールとは同じ長さが必要になっている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−０９５７４０号公報（段落００１５、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前記した従来の基板搬送装置１００を用いて円形基板Ｗを所定の位置に搬送したときに、ハンド部材１４０に保持された円形基板Ｗの下方に第二スライダベース１３０の先端部が存在していると、円形基板Ｗの受け渡しが困難であるとともに、円形基板Ｗの下方に収容容器を配置するのが困難であるため、円形基板Ｗを第二スライダベース１３０よりも外方まで搬送することが望ましい。
【０００７】
そこで、前記した従来の基板搬送装置１００では、ハンド部材１４０を先端側に大きく突出させることで、ハンド部材１４０の先端部に保持される円形基板Ｗを第二スライダベース１３０の先方側に配置し、円形基板Ｗを基板搬送装置１００の近傍に搬送した場合であっても、円形基板Ｗの下方に第二スライダベース１３０が存在しないようにすることもできるが、ハンド部材１４０が大きくなり、クリーンルーム内における基板搬送装置１００の占有スペースが大きくなるという問題がある。
また、先端部を搬送方向に大きく突出させたハンド部材１４０によって、液晶パネル製造工程で使用されるガラス基板のように大きな円形基板Ｗを搬送した場合には、ハンド部材１４０に作用するモーメントが大きくなるため、ハンド部材１４０の剛性を高める必要があり、製造コストが高くなるという問題がある。
【０００８】
本発明では、前記した問題を解決し、装置の近傍に基板を搬送したときに、基板の下方にスライダベースが存在しないようにすることができ、さらに、装置の占有スペースを小さくするとともに、製造コストを低減することができる基板搬送装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するため、本発明は、基板搬送装置であって、本体部と、前記本体部に横回転及び昇降自在に支持された第一スライダベースと、前記第一スライダベースに取り付けられた第一ガイドレールに沿って横方向に移動自在な第二スライダベースと、前記第二スライダベースに取り付けられた第二ガイドレールに沿って横方向に移動自在であり、基板を保持するハンド部材と、前記第二スライダベースの横方向の移動に連動して、前記ハンド部材を同一方向に移動させる連動機構と、を備え、前記連動機構は、前記第二スライダベースの横方向の移動に連動して回転する第一連動ギヤと、前記第一連動ギヤに対してギヤ比が小さく設定された第二連動ギヤと、前記第二スライダベースに回転自在に支持された回転軸と、を備え、前記回転軸の両端部に前記第一連動ギヤ及び前記第二連動ギヤがそれぞれ取り付けられており、前記第一連動ギヤに連動して回転する前記第二連動ギヤによって、前記ハンド部材が横方向に送り出されることを特徴としている。
【００１０】
この構成では、第一連動ギヤに対して第二連動ギヤのギヤ比を小さく設定することで、第二スライダベースの第一スライダベースに対する移動量に比べて、ハンド部材の第二スライダベースに対する移動量が小さくなる。これにより、第二スライダベースが第一ガイドレール上を移動する距離よりも、ハンド部材が第二ガイドレール上を移動する距離が短くなるため、第二ガイドレールを第一ガイドレールよりも短くすることができる。
したがって、第二ガイドレールが取り付けられる第二スライダベースを先端側に突出させる量を小さくすることができるため、装置の近傍に基板を搬送したときに、基板の下方に第二スライダベースが存在しないようにすることができる。
また、ハンド部材を先端側に大きく突出させる必要がなくなり、ハンド部材を小型で簡単な構造にすることができるため、装置の占有スペースを小さくするとともに、製造コストを低減することができる。
【００１１】
また、第一連動ギヤに対する第二連動ギヤのギヤ比を調整することで、第二スライダベースの第一スライダベースに対する移動量と、ハンド部材の第二スライダベースに対する移動量との比率を簡単に変えることができる。
【００１２】
前記した基板搬送装置において、前記第一連動ギヤは、前記第二スライダベースが横方向に移動したときに、前記第一スライダベースに設けられた連動用ベルトの上面を転動することで、前記第二スライダベースの横方向の移動に連動して回転するように構成することができる。
この構成では、簡単な構成で第一連動ギヤを第二スライダベースに連動させて回転させることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の基板搬送装置によれば、第二スライダベースを先端側に突出させる量を小さくすることができるため、装置の近傍に基板を搬送したときに、基板の下方にスライダベースが存在しないようにすることができる。また、装置の占有スペースを小さくするとともに、製造コストを低減することもできる。さらに、第二スライダベースの第一スライダベースに対する移動量と、ハンド部材の第二スライダベースに対する移動量との比率を簡単に変えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
次に、本発明の実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
本実施形態では、半導体製造工程で使用されるシリコンウェハである円形基板を所定の位置に搬送するための基板位置決め装置を例として説明する。なお、以下の説明において、前後左右方向とは、各図に示した前後左右方向に対応している。
【００１５】
基板搬送装置１は、図１に示すように、床面上に設置される本体部１０と、この本体部１０に横回転及び昇降自在に支持された第一スライダベース２０と、この第一スライダベース２０に設けられた第一ガイドレール２２に沿って前後方向に移動自在な第二スライダベース３０と、この第二スライダベース３０に設けられた第二ガイドレール３２に沿って前後方向に移動自在であり、円形基板Ｗを吸着保持するハンド部材４０と、第二スライダベース３０の前後方向の移動に連動して、ハンド部材４０を前後方向に移動させる連動機構５０と、を備えている。
【００１６】
本体部１０は、床面上に固定される直方体のカバー１１を備えており、図３に示すように、カバー１１内にはコラムシリンダ１２が設けられている。
コラムシリンダ１２は、垂直軸であるロッド１２ａが軸回りに横回転自在であるとともに、ロッド１２ａが上下方向に伸縮自在な公知のシリンダである。ロッド１２ａの上端部は、カバー１１の上面の中央部に形成された開口部（図示せず）から突出している。
【００１７】
第一スライダベース２０は、図１に示すように、第一ベース部材２１と、この第一ベース部材２１の上面に取り付けられた第一ガイドレール２２と、この第一ガイドレール２２に沿って横方向に移動する第一スライダ２３と、後記する第二スライダベース３０を第一ガイドレール２２に沿って横方向に移動させる駆動機構２４と、を備えている。
【００１８】
第一ベース部材２１は、平板状の部材であり、平面視で長方形に形成され、長手方向が前後方向に配置されている。この第一ベース部材２１の下面の中央部には、図３に示すように、コラムシリンダ１２のロッド１２ａの上端面が取り付けられており、第一スライダベース２０は、本体部１０内に設けられたコラムシリンダ１２に横回転及び昇降自在に支持されている。
【００１９】
第一ガイドレール２２は、図２に示すように、軸断面が矩形の部材であり、軸方向が前後方向に配置された状態で、第一ベース部材２１の上面において幅方向の中央よりも左側に取り付けられている。
第一スライダ２３は、図１に示すように、下面に前後方向の溝部が形成された門形の部材であり、溝部が第一ガイドレール２２の上部に組み付けられることで、第一ガイドレール２２に沿って前後方向に移動することができる。
第一ガイドレール２２及び第一スライダ２３は、第一スライダ２３が第一ガイドレール２２に沿って横方向にスライド移動する公知のリニアガイドである。
【００２０】
駆動機構２４は、第一ベース部材２１の上面に取り付けられた駆動モータ２４ａと、この駆動モータ２４ａの駆動軸２４ｂの先端部に取り付けられた駆動ギヤ２４ｃと、を備えている。
【００２１】
駆動モータ２４ａは、第一ベース部材２１の上面後部において幅方向の中央よりも右側に取り付けられた公知の電動モータであり、左方に向けて駆動軸２４ｂが突出している。駆動軸２４ｂの左端部には、駆動軸２４ｂの軸回りに歯面が形成されたピニオンギヤである駆動ギヤ２４ｃが取り付けられている。
【００２２】
第一ベース部材２１の上面前部において幅方向の略中央部には、第一支持部材２４ｆが立設されている。この第一支持部材２４ｆの上端部には、左右方向の軸回りに歯面が形成されたピニオンギヤである第一従動ギヤ２４ｄが、左右方向の軸回りに回転自在な状態で取り付けられている。第一従動ギヤ２４ｄは、駆動ギヤ２４ｃと同径であり、駆動ギヤ２４ｃと同じ高さに配置されている。
【００２３】
駆動ギヤ２４ｃと第一従動ギヤ２４ｄとには、環状の駆動用ベルト２４ｅが掛け渡されている。駆動用ベルト２４ｅの内周面には歯面が形成されており、駆動ギヤ２４ｃ及び第一従動ギヤ２４ｄの歯面に噛合している。そして、駆動ギヤ２４ｃが回転することで、駆動用ベルト２４ｅが周方向（右側から見て時計回り及び反時計周り）に回転する。
【００２４】
第二スライダベース３０は、第一スライダ２３の上面に取り付けられた第二ベース部材３１と、この第二ベース部材３１の側面に取り付けられた第二ガイドレール３２と、この第二ガイドレール３２に沿って前後方向に移動する第二スライダ３３と、を備えている。
【００２５】
第二ベース部材３１は、水平な底板部３１ａと、この底板部３１ａの右側縁部から上方に向けて垂直に立ち上げられた側板部３１ｂと、が形成されたＬ字形状の部材であり、前後方向に延びている。
【００２６】
底板部３１ａの下面は、第一スライダ２３の上面に取り付けられている。また、側板部３１ｂの右側面には、水平な平板状の部材である連結部３１ｃが突出している。連結部３１ｃの下面は、駆動機構２４の駆動用ベルト２４ｅの外周面において上側に露出した部位に取り付けられている。第二ベース部材３１が第一ガイドレール２２の後部に位置しているときには（図１の状態）、連結部３１ｃは駆動用ベルト２４ｅの後部に位置している。
【００２７】
そして、駆動用ベルト２４ｅが右側から見て時計回りに回転すると、連結部３１ｃを介して駆動用ベルト２４ｅに連結された第二ベース部材３１が第一ガイドレール２２に沿って前方に移動する。なお、連結部３１ｃが駆動用ベルト２４ｅの前端部に移動したときに（図２の状態）、駆動用ベルト２４ｅの回転を停止するように駆動モータ２４ａが制御されている。
一方、図２に示すように、第二ベース部材３１が第一ガイドレール２２の前部に移動した状態から、駆動用ベルト２４ｅが右側から見て反時計回りに回転すると、第二ベース部材３１が第一ガイドレール２２に沿って後方に移動し、連結部３１ｃが駆動用ベルト２４ｅの後端部に移動したときに（図１の状態）、駆動用ベルト２４ｅの回転が停止する。
【００２８】
第二ガイドレール３２は、図１に示すように、軸断面が矩形の部材であり、軸方向が前後方向に配置された状態で、第二ベース部材３１の側板部３１ｂの左側面において高さ方向の略中央に取り付けられている（図３参照）。
第二スライダ３３は、右側面に前後方向の溝部が形成された門形の部材であり、溝部が第二ガイドレール３２の左側部に組み付けられることで、第二ガイドレール３２に沿って前後方向に移動することができる。
第二ガイドレール３２及び第二スライダ３３は、第二スライダ３３が第二ガイドレール３２に沿って横方向にスライド移動する公知のリニアガイドである。
【００２９】
連動機構５０は、第二スライダベース３０の前後方向の移動に連動して、後記するハンド部材４０を前後方向に移動させるための機構である。この連動機構５０は、第二ベース部材３１の前後方向の移動に連動して回転する第一連動ギヤ５１と、第一連動ギヤ５１の回転に連動して回転する第二連動ギヤ５３と、第二スライダベース３０の第二ベース部材３１に回転自在に支持された回転軸５２と、を備え、回転軸５２の両端部に第一連動ギヤ５１及び第二連動ギヤ５３がそれぞれ取り付けられている。
【００３０】
回転軸５２は、軸方向が左右方向に配置された水平軸であり、第二ベース部材３１の側板部３１ｂの後部を貫通して、側板部３１ｂの左右両側に突出しており、側板部３１ｂに回転自在に支持されている。
回転軸５２の右端部には、回転軸５２の軸回りに歯面が形成されたピニオンギヤである第一連動ギヤ５１が取り付けられている。また、回転軸５２の左端部には、回転軸５２の軸回りに歯面が形成されたピニオンギヤである第二連動ギヤ５３が取り付けられている。
【００３１】
第一連動ギヤ５１は、第一ベース部材２１の上面の前部及び後部にそれぞれ立設された第二支持部材５１ｂ及び第三支持部材５１ｃに架設された第一連動用ベルト５１ｄの上面を転動することで、第二スライダベース３０の前後方向の移動に連動して回転するように構成されている。
【００３２】
第二支持部材５１ｂは、第一ベース部材２１の上面の前部において幅方向の中央に立設され、第三支持部材５１ｃは、第一ベース部材２１の上面の後部において幅方向の中央に立設されている。なお、第二支持部材５１ｂの上端部に比べて、第三支持部材５１ｃの上端部が低くなっている。
【００３３】
第二支持部材５１ｂの上端部と第三支持部材５１ｃの上端部との間には、上面に歯面が形成された第一連動用ベルト５１ｄが架設されており、この第一連動用ベルト５１ｄの歯面には、第一連動ギヤ５１が噛合している。
第二ベース部材３１の側板部３１ｂの右側面において、第一連動ギヤ５１の前方には、左右方向の軸回りに周面が形成された補助ローラ５１ａが回転自在な状態で取り付けられており、第一連動用ベルト５１ｄは、第一連動ギヤ５１の前側で補助ローラ５１ａの上側の周面に沿って斜め上方に案内されている。したがって、第一連動用ベルト５１ｄが第一連動ギヤ５１の歯面の下端から前側に亘って、周方向の約四分の一に接触することになるため、第一連動ギヤ５１と第一連動用ベルト５１ｄとの噛合領域が大きくなっている。
【００３４】
そして、第二ベース部材３１が第一ガイドレール２２の後部に位置している状態（図１の状態）から、図２に示すように、第二ベース部材３１が第一ガイドレール２２に沿って前方に移動したときには、第二ベース部材３１に取り付けられた第一連動ギヤ５１及び補助ローラ５１ａも前方に移動することになる。このとき、第一連動ギヤ５１は、第一ベース部材２１に固定された第一連動用ベルト５１ｄの上面を転動しながら前方に移動することになり、第一連動ギヤ５１が第二ベース部材３１の前方への移動に連動して、右側から見て時計回りに回転する。
一方、第二ベース部材３１が第一ガイドレール２２の前部に位置している状態（図２の状態）から、図１に示すように、第二ベース部材３１が第一ガイドレール２２に沿って後方に移動したときには、第一連動ギヤ５１は第一連動用ベルト５１ｄの上面を転動しながら後方に移動することになり、第一連動ギヤ５１は第二ベース部材３１の後方への移動に連動して、右側から見て反時計回りに回転する。
【００３５】
第二連動ギヤ５３は、回転軸５２の左端部に取り付けられており、回転軸５２の右端部に取り付けられた第一連動ギヤ５１とともに、回転軸５２の軸回りに回転する。
本実施形態では、第一連動ギヤ５１の歯数を３２歯とし、第二連動ギヤ５３の歯数を２４歯に設定することで、第一連動ギヤ５１に対する第二連動ギヤ５３のギヤ比が０．７５になっており、第二連動ギヤ５３は第一連動ギヤ５１に対してギヤ比が小さく設定されている。
【００３６】
第二ベース部材３１の側板部３１ｂの左側面の前部において、第二連動ギヤ５３と同じ高さには、左右方向の軸回りに回転自在な状態で第二従動ギヤ５３ａが取り付けられている。この第二従動ギヤ５３ａは、第二連動ギヤ５３と同径であり、左右方向の軸回りに歯面が形成されたピニオンギヤである。
【００３７】
第二連動ギヤ５３と第二従動ギヤ５３ａとには、環状の第二連動用ベルト５３ｂが掛け渡されており、第二連動用ベルト５３ｂの内周面に形成された歯面が、第二連動ギヤ５３及び第二従動ギヤ５３ａの歯面に噛合している。そして、第二連動ギヤ５３が回転することで、第二連動用ベルト５３ｂが周方向に回転する。
【００３８】
ハンド部材４０には、第二スライダ３３に取り付けられた支持部４１と、円形基板Ｗを吸着保持する保持部４２と、が形成されている。
【００３９】
支持部４１は、平板状の部材であり、側面視で長方形に形成されており、長手方向が上下方向に配置されている。この支持部４１の右側面の下端部は、第二スライダ３３の左側面に取り付けられている（図３参照）。また、支持部４１の上端部は、連動機構５０の第二連動用ベルト５３ｂよりも上方に突出している。
【００４０】
支持部４１の右側面の上部には、平板状の連結部４１ａが水平に突出している。連結部４１ａの下面は、連動機構５０の第二連動用ベルト５３ｂの外周面において上側に露出した部位に取り付けられている。第二スライダ３３が第二ガイドレール３２の後部に位置しているときには（図１の状態）、連結部４１ａは第二連動用ベルト５３ｂの後部に位置している。
【００４１】
そして、第二連動用ベルト５３ｂが右側から見て時計回りに回転すると、連結部４１ａを介して第二連動用ベルト５３ｂに連結されたハンド部材４０が第二ガイドレール３２に沿って前方に移動する。
一方、図２に示すように、ハンド部材４０が第二ガイドレール３２の前部に移動した状態から、第二連動用ベルト５３ｂが右側から見て反時計回りに回転すると、ハンド部材４０が第二ガイドレール３２に沿って後方に移動する。
【００４２】
保持部４２は、支持部４１の上端部から前方に向けて水平に突出した平板状の部位であり、平面視で長方形に形成されており、保持部４２の右側縁部の後部が支持部４１の上端部に連結されている。
保持部４２の内部には、真空引き用の配管（図示せず）が設けられており、保持部４２の上面の先端領域に形成された多数の微細吸引孔４２ａから真空引きすることで、保持部４２の先端部に円形基板Ｗを吸着保持することができる。
【００４３】
以上のように構成された基板搬送装置１では、次のように動作して本発明の作用効果を奏する。
ここでは、図１に示すように、第二スライダベース３０が第一スライダベース２０の後部に位置するとともに、ハンド部材４０が第二スライダベース３０の後部に位置している状態から、図２に示すように、第二スライダベース３０及びハンド部材４０を前方に移動させることで、第二スライダベース３０及びハンド部材４０からなる多段スライド構造を前方に向けて伸長させる場合について説明する。
【００４４】
第一スライダベース２０の駆動モータ２４ａを駆動させて駆動ギヤ２４ｃを回転させ、駆動用ベルト２４ｅを右側から見て時計回りに回転させると、駆動用ベルト２４ｅに連結された第二スライダベース３０の第二ベース部材３１が第一ガイドレール２２に沿って前方に移動する（図２参照）。
【００４５】
第二ベース部材３１が第一ガイドレール２２に沿って前方に移動すると、第二ベース部材３１に取り付けられた第一連動ギヤ５１は、第一連動用ベルト５１ｄの上面を転動しながら前方に移動し、第一連動ギヤ５１が右側から見て時計回りに回転する。
また、第一連動ギヤ５１とともに第二連動ギヤ５３が回転することで、第二連動用ベルト５３ｂが右側から見て時計回りに回転し、第二連動用ベルト５３ｂに連結されたハンド部材４０が第二ガイドレール３２に沿って前方に移動する。
【００４６】
このようにして、第二スライダベース３０及びハンド部材４０からなる多段スライド構造を前方に向けて伸長させることで、図２に示すように、ハンド部材４０の先端部に吸着保持された円形基板Ｗを、本体部１０の前方に設定された所定の位置に搬送することができる。
【００４７】
ここで、本実施形態の基板搬送装置１では、第二スライダベース３０の前後方向の移動に連動して回転する第一連動ギヤ５１に対して、ハンド部材４０を前後方向に移動させるための第二連動ギヤ５３のギヤ比が０．７５に設定されている。つまり、本実施形態の基板搬送装置１では、第二スライダベース３０の第一スライダベース２０に対する移動量に比べて、ハンド部材４０の第二スライダベース３０に対する移動量が小さくなっている。
【００４８】
本実施形態では、第二スライダベース３０の第一スライダベース２０に対する移動量を１とした場合、ハンド部材４０の第二スライダベース３０に対する移動量が０．７５の比率となる。したがって、第二スライダベース３０が第一ガイドレール２２上を移動する距離を仮に１００とした場合、ハンド部材４０が第二ガイドレール３２上を移動する距離は７５と短くなるため、第二ガイドレール３２を第一ガイドレール２２よりも短くすることができる。本実施形態の基板搬送装置１では、第一ガイドレール２２の前後方向の長さを１とした場合、第二ガイドレール３２の前後方向の長さが０．７５の比率になっている。
【００４９】
本実施形態の基板搬送装置１では、図４（ａ）に示すように、第二ガイドレール３２を第一ガイドレール２２よりも短くすることができ、第二ガイドレール３２が取り付けられる第二スライダベース３０を先端側（前方側）に突出させる量を小さくすることができるため、基板搬送装置１の近傍に円形基板Ｗを搬送したときに、円形基板Ｗの下方に第二スライダベース３０が存在しないようにすることができる。
また、ハンド部材４０を先端側に大きく突出させる必要がなくなり、ハンド部材４０を小型で簡単な構造にすることができるため、基板搬送装置１の占有スペースを小さくするとともに、製造コストを低減することができる。
【００５０】
なお、比較例として図４（ｂ）に示した基板搬送装置１´では、第二スライダベース３０´の第一スライダベース２０に対する移動量と、ハンド部材４０の第二スライダベース３０´に対する移動量とが等しくなっている。この構成では、第二ガイドレール３２´は第一ガイドレール２２の前後方向の長さと同じ長さが必要となり、この第二ガイドレール３２´に対応させて、第二スライダベース３０´の前後方向の長さが設定されている。そのため、比較例の基板搬送装置１´では、本実施形態の基板搬送装置１（図４（ａ）参照）の第二スライダベース３０よりも、第二スライダベース３０´が前後方向に大きくなっている。
そして、図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、基板搬送装置１，１´の近傍である位置Ａまで円形基板Ｗの中心を搬送したときに、本実施形態の基板搬送装置１では、円形基板Ｗの下方に第二スライダベース３０が存在しないが、比較例の基板搬送装置１´では、第二スライダベース３０´が、本実施形態の基板搬送装置１の第二スライダベース３０よりも前後方向に大きいため、円形基板Ｗの下方に第二スライダベース３０´が存在することになる。
【００５１】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜に設計変更が可能である。
図１に示す本実施形態の基板搬送装置１では、第二スライダベース３０の第一スライダベース２０に対する移動量を１とした場合、ハンド部材４０の第二スライダベース３０に対する移動量が０．７５の比率となるように、第一連動ギヤ５１に対する第二連動ギヤ５３のギヤ比を０．７５に設定しているが、第二スライダベース３０の第一スライダベース２０に対する移動量に比べて、ハンド部材４０の第二スライダベース３０に対する移動量が小さくなるように、第一連動ギヤ５１に対する第二連動ギヤ５３のギヤ比が設定されていればよい。例えば、第一連動ギヤ５１に対する第二連動ギヤ５３のギヤ比を０．５とした場合には、第二ガイドレール３２の長さを第一ガイドレール２２の長さに比べて更に小さくすることができるため、円形基板Ｗをより近傍に搬送しても、円形基板Ｗの下方に第二スライダベース３０が存在しない。
【００５２】
また、本実施形態の基板搬送装置１では、第二スライダベース３０の第一スライダベース２０に対する移動と、ハンド部材４０の第二スライダベース３０に対する移動とに公知のリニアスライダを用いているが、第二スライダベース３０が第一スライダベース２０に対してスライド移動するとともに、ハンド部材４０が第二スライダベース３０に対してスライド移動することができるのであれば、その構成は限定されるものではなく、例えば、ラック・ピニオン機構を用いることもできる。
【００５３】
また、第一スライダベース２０及び第二スライダベース３０を覆う箱状のカバーを設け、このカバー内の空気を本体部１０内に排気する排気ファンを設けた場合には、第二スライダベース３０やハンド部材４０の移動に伴って発生したパーティクルを本体部１０内に排出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本実施形態の基板搬送装置において、多段スライド構造が縮退した状態を示した斜視図である。
【図２】本実施形態の基板搬送装置において、多段スライド構造が伸長した状態を示した斜視図である。
【図３】本実施形態の基板搬送装置を示した側面図である。
【図４】本実施形態の基板搬送装置と比較例の基板搬送装置とを示した図で、（ａ）は本実施形態の基板搬送装置の側面図、（ｂ）は比較例の基板判装置の側面図である。
【図５】従来の基板搬送装置を示した斜視図である。
【符号の説明】
【００５５】
１ 基板搬送装置
１０ 本体部
１２ａ コラムシリンダ
２０ 第一スライダベース
２１ 第一ベース部材
２２ 第一ガイドレール
２３ 第一スライダ
２４ 駆動機構
２４ａ 駆動モータ
２４ｃ 駆動ギヤ
２４ｄ 第一従動ギヤ
２４ｅ 駆動用ベルト
３０ 第二スライダベース
３１ 第二ベース部材
３２ 第二ガイドレール
３３ 第二スライダ
４０ ハンド部材
５０ 連動機構
５１ 第一連動ギヤ
５１ｄ 第一連動用ベルト
５２ 回転軸
５３ 第二連動ギヤ
５３ａ 第二従動ギヤ
５３ｂ 第二連動用ベルト
Ｗ 円形基板
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を搬送するための基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程で使用されるシリコンウェハや、液晶パネル製造工程で使用されるガラス基板などの平板状の円形基板を、所定の位置に搬送するための基板搬送装置１００としては、図５に示すように、本体部１１０と、この本体部１１０に横回転及び昇降自在に支持された第一スライダベース１２０と、この第一スライダベース１２０に取り付けられた第一ガイドレールに沿って横方向に移動自在な第二スライダベース１３０と、この第二スライダベース１３０に取り付けられた第二ガイドレールに沿って横方向に移動自在なハンド部材１４０と、第二スライダベース１３０の横方向の移動に連動して、ハンド部材１４０を同一方向に移動させる連動機構と、を備えているものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
前記した従来の基板搬送装置１００では、ハンド部材１４０の先端部に円形基板Ｗを吸着保持し、第一スライダベース１２０を本体部１１０に対して横回転及び昇降させるとともに、第二スライダベース１３０及びハンド部材１４０をそれぞれ横方向に移動させることで、円形基板Ｗを所定の位置に搬送することができる。このような多段スライド構造の基板搬送装置１００は、構造が簡単であるとともに、搬送精度が高くなっている。
【０００４】
なお、前記した従来の基板搬送装置１００では、第二スライダベース１３０に連動してハンド部材１４０が移動したときに、第二スライダベース１３０の第一スライダベース１２０に対する移動量と、ハンド部材１４０の第二スライダベース１３０に対する移動量とが等しくなっている。ハンド部材１４０は第二スライダベース１３０に連動して移動するため、第二スライダベース１３０が第一ガイドレール上を移動する距離と同じ距離を、ハンド部材１４０が第二ガイドレール上を移動することになり、第二ガイドレールと第一ガイドレールとは同じ長さが必要になっている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−０９５７４０号公報（段落００１５、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前記した従来の基板搬送装置１００を用いて円形基板Ｗを所定の位置に搬送したときに、ハンド部材１４０に保持された円形基板Ｗの下方に第二スライダベース１３０の先端部が存在していると、円形基板Ｗの受け渡しが困難であるとともに、円形基板Ｗの下方に収容容器を配置するのが困難であるため、円形基板Ｗを第二スライダベース１３０よりも外方まで搬送することが望ましい。
【０００７】
そこで、前記した従来の基板搬送装置１００では、ハンド部材１４０を先端側に大きく突出させることで、ハンド部材１４０の先端部に保持される円形基板Ｗを第二スライダベース１３０の先方側に配置し、円形基板Ｗを基板搬送装置１００の近傍に搬送した場合であっても、円形基板Ｗの下方に第二スライダベース１３０が存在しないようにすることもできるが、ハンド部材１４０が大きくなり、クリーンルーム内における基板搬送装置１００の占有スペースが大きくなるという問題がある。
また、先端部を搬送方向に大きく突出させたハンド部材１４０によって、液晶パネル製造工程で使用されるガラス基板のように大きな円形基板Ｗを搬送した場合には、ハンド部材１４０に作用するモーメントが大きくなるため、ハンド部材１４０の剛性を高める必要があり、製造コストが高くなるという問題がある。
【０００８】
本発明では、前記した問題を解決し、装置の近傍に基板を搬送したときに、基板の下方にスライダベースが存在しないようにすることができ、さらに、装置の占有スペースを小さくするとともに、製造コストを低減することができる基板搬送装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するため、本発明は、基板搬送装置であって、本体部と、前記本体部に横回転及び昇降自在に支持された第一スライダベースと、前記第一スライダベースに取り付けられた第一ガイドレールに沿って横方向に移動自在な第二スライダベースと、前記第二スライダベースに取り付けられた第二ガイドレールに沿って横方向に移動自在であり、基板を保持するハンド部材と、前記第二スライダベースの横方向の移動に連動して、前記ハンド部材を同一方向に移動させる連動機構と、を備え、前記連動機構は、前記第二スライダベースの横方向の移動に連動して回転する第一連動ギヤと、前記第一連動ギヤに対してギヤ比が小さく設定された第二連動ギヤと、前記第二スライダベースに回転自在に支持された回転軸と、を備え、前記回転軸の両端部に前記第一連動ギヤ及び前記第二連動ギヤがそれぞれ取り付けられており、前記第一連動ギヤに連動して回転する前記第二連動ギヤによって、前記ハンド部材が横方向に送り出されることを特徴としている。
【００１０】
この構成では、第一連動ギヤに対して第二連動ギヤのギヤ比を小さく設定することで、第二スライダベースの第一スライダベースに対する移動量に比べて、ハンド部材の第二スライダベースに対する移動量が小さくなる。これにより、第二スライダベースが第一ガイドレール上を移動する距離よりも、ハンド部材が第二ガイドレール上を移動する距離が短くなるため、第二ガイドレールを第一ガイドレールよりも短くすることができる。
したがって、第二ガイドレールが取り付けられる第二スライダベースを先端側に突出させる量を小さくすることができるため、装置の近傍に基板を搬送したときに、基板の下方に第二スライダベースが存在しないようにすることができる。
また、ハンド部材を先端側に大きく突出させる必要がなくなり、ハンド部材を小型で簡単な構造にすることができるため、装置の占有スペースを小さくするとともに、製造コストを低減することができる。
【００１１】
また、第一連動ギヤに対する第二連動ギヤのギヤ比を調整することで、第二スライダベースの第一スライダベースに対する移動量と、ハンド部材の第二スライダベースに対する移動量との比率を簡単に変えることができる。
【００１２】
前記した基板搬送装置において、前記第一連動ギヤは、前記第二スライダベースが横方向に移動したときに、前記第一スライダベースに設けられた連動用ベルトの上面を転動することで、前記第二スライダベースの横方向の移動に連動して回転するように構成することができる。
この構成では、簡単な構成で第一連動ギヤを第二スライダベースに連動させて回転させることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の基板搬送装置によれば、第二スライダベースを先端側に突出させる量を小さくすることができるため、装置の近傍に基板を搬送したときに、基板の下方にスライダベースが存在しないようにすることができる。また、装置の占有スペースを小さくするとともに、製造コストを低減することもできる。さらに、第二スライダベースの第一スライダベースに対する移動量と、ハンド部材の第二スライダベースに対する移動量との比率を簡単に変えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
次に、本発明の実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
本実施形態では、半導体製造工程で使用されるシリコンウェハである円形基板を所定の位置に搬送するための基板位置決め装置を例として説明する。なお、以下の説明において、前後左右方向とは、各図に示した前後左右方向に対応している。
【００１５】
基板搬送装置１は、図１に示すように、床面上に設置される本体部１０と、この本体部１０に横回転及び昇降自在に支持された第一スライダベース２０と、この第一スライダベース２０に設けられた第一ガイドレール２２に沿って前後方向に移動自在な第二スライダベース３０と、この第二スライダベース３０に設けられた第二ガイドレール３２に沿って前後方向に移動自在であり、円形基板Ｗを吸着保持するハンド部材４０と、第二スライダベース３０の前後方向の移動に連動して、ハンド部材４０を前後方向に移動させる連動機構５０と、を備えている。
【００１６】
本体部１０は、床面上に固定される直方体のカバー１１を備えており、図３に示すように、カバー１１内にはコラムシリンダ１２が設けられている。
コラムシリンダ１２は、垂直軸であるロッド１２ａが軸回りに横回転自在であるとともに、ロッド１２ａが上下方向に伸縮自在な公知のシリンダである。ロッド１２ａの上端部は、カバー１１の上面の中央部に形成された開口部（図示せず）から突出している。
【００１７】
第一スライダベース２０は、図１に示すように、第一ベース部材２１と、この第一ベース部材２１の上面に取り付けられた第一ガイドレール２２と、この第一ガイドレール２２に沿って横方向に移動する第一スライダ２３と、後記する第二スライダベース３０を第一ガイドレール２２に沿って横方向に移動させる駆動機構２４と、を備えている。
【００１８】
第一ベース部材２１は、平板状の部材であり、平面視で長方形に形成され、長手方向が前後方向に配置されている。この第一ベース部材２１の下面の中央部には、図３に示すように、コラムシリンダ１２のロッド１２ａの上端面が取り付けられており、第一スライダベース２０は、本体部１０内に設けられたコラムシリンダ１２に横回転及び昇降自在に支持されている。
【００１９】
第一ガイドレール２２は、図２に示すように、軸断面が矩形の部材であり、軸方向が前後方向に配置された状態で、第一ベース部材２１の上面において幅方向の中央よりも左側に取り付けられている。
第一スライダ２３は、図１に示すように、下面に前後方向の溝部が形成された門形の部材であり、溝部が第一ガイドレール２２の上部に組み付けられることで、第一ガイドレール２２に沿って前後方向に移動することができる。
第一ガイドレール２２及び第一スライダ２３は、第一スライダ２３が第一ガイドレール２２に沿って横方向にスライド移動する公知のリニアガイドである。
【００２０】
駆動機構２４は、第一ベース部材２１の上面に取り付けられた駆動モータ２４ａと、この駆動モータ２４ａの駆動軸２４ｂの先端部に取り付けられた駆動ギヤ２４ｃと、を備えている。
【００２１】
駆動モータ２４ａは、第一ベース部材２１の上面後部において幅方向の中央よりも右側に取り付けられた公知の電動モータであり、左方に向けて駆動軸２４ｂが突出している。駆動軸２４ｂの左端部には、駆動軸２４ｂの軸回りに歯面が形成されたピニオンギヤである駆動ギヤ２４ｃが取り付けられている。
【００２２】
第一ベース部材２１の上面前部において幅方向の略中央部には、第一支持部材２４ｆが立設されている。この第一支持部材２４ｆの上端部には、左右方向の軸回りに歯面が形成されたピニオンギヤである第一従動ギヤ２４ｄが、左右方向の軸回りに回転自在な状態で取り付けられている。第一従動ギヤ２４ｄは、駆動ギヤ２４ｃと同径であり、駆動ギヤ２４ｃと同じ高さに配置されている。
【００２３】
駆動ギヤ２４ｃと第一従動ギヤ２４ｄとには、環状の駆動用ベルト２４ｅが掛け渡されている。駆動用ベルト２４ｅの内周面には歯面が形成されており、駆動ギヤ２４ｃ及び第一従動ギヤ２４ｄの歯面に噛合している。そして、駆動ギヤ２４ｃが回転することで、駆動用ベルト２４ｅが周方向（右側から見て時計回り及び反時計周り）に回転する。
【００２４】
第二スライダベース３０は、第一スライダ２３の上面に取り付けられた第二ベース部材３１と、この第二ベース部材３１の側面に取り付けられた第二ガイドレール３２と、この第二ガイドレール３２に沿って前後方向に移動する第二スライダ３３と、を備えている。
【００２５】
第二ベース部材３１は、水平な底板部３１ａと、この底板部３１ａの右側縁部から上方に向けて垂直に立ち上げられた側板部３１ｂと、が形成されたＬ字形状の部材であり、前後方向に延びている。
【００２６】
底板部３１ａの下面は、第一スライダ２３の上面に取り付けられている。また、側板部３１ｂの右側面には、水平な平板状の部材である連結部３１ｃが突出している。連結部３１ｃの下面は、駆動機構２４の駆動用ベルト２４ｅの外周面において上側に露出した部位に取り付けられている。第二ベース部材３１が第一ガイドレール２２の後部に位置しているときには（図１の状態）、連結部３１ｃは駆動用ベルト２４ｅの後部に位置している。
【００２７】
そして、駆動用ベルト２４ｅが右側から見て時計回りに回転すると、連結部３１ｃを介して駆動用ベルト２４ｅに連結された第二ベース部材３１が第一ガイドレール２２に沿って前方に移動する。なお、連結部３１ｃが駆動用ベルト２４ｅの前端部に移動したときに（図２の状態）、駆動用ベルト２４ｅの回転を停止するように駆動モータ２４ａが制御されている。
一方、図２に示すように、第二ベース部材３１が第一ガイドレール２２の前部に移動した状態から、駆動用ベルト２４ｅが右側から見て反時計回りに回転すると、第二ベース部材３１が第一ガイドレール２２に沿って後方に移動し、連結部３１ｃが駆動用ベルト２４ｅの後端部に移動したときに（図１の状態）、駆動用ベルト２４ｅの回転が停止する。
【００２８】
第二ガイドレール３２は、図１に示すように、軸断面が矩形の部材であり、軸方向が前後方向に配置された状態で、第二ベース部材３１の側板部３１ｂの左側面において高さ方向の略中央に取り付けられている（図３参照）。
第二スライダ３３は、右側面に前後方向の溝部が形成された門形の部材であり、溝部が第二ガイドレール３２の左側部に組み付けられることで、第二ガイドレール３２に沿って前後方向に移動することができる。
第二ガイドレール３２及び第二スライダ３３は、第二スライダ３３が第二ガイドレール３２に沿って横方向にスライド移動する公知のリニアガイドである。
【００２９】
連動機構５０は、第二スライダベース３０の前後方向の移動に連動して、後記するハンド部材４０を前後方向に移動させるための機構である。この連動機構５０は、第二ベース部材３１の前後方向の移動に連動して回転する第一連動ギヤ５１と、第一連動ギヤ５１の回転に連動して回転する第二連動ギヤ５３と、第二スライダベース３０の第二ベース部材３１に回転自在に支持された回転軸５２と、を備え、回転軸５２の両端部に第一連動ギヤ５１及び第二連動ギヤ５３がそれぞれ取り付けられている。
【００３０】
回転軸５２は、軸方向が左右方向に配置された水平軸であり、第二ベース部材３１の側板部３１ｂの後部を貫通して、側板部３１ｂの左右両側に突出しており、側板部３１ｂに回転自在に支持されている。
回転軸５２の右端部には、回転軸５２の軸回りに歯面が形成されたピニオンギヤである第一連動ギヤ５１が取り付けられている。また、回転軸５２の左端部には、回転軸５２の軸回りに歯面が形成されたピニオンギヤである第二連動ギヤ５３が取り付けられている。
【００３１】
第一連動ギヤ５１は、第一ベース部材２１の上面の前部及び後部にそれぞれ立設された第二支持部材５１ｂ及び第三支持部材５１ｃに架設された第一連動用ベルト５１ｄの上面を転動することで、第二スライダベース３０の前後方向の移動に連動して回転するように構成されている。
【００３２】
第二支持部材５１ｂは、第一ベース部材２１の上面の前部において幅方向の中央に立設され、第三支持部材５１ｃは、第一ベース部材２１の上面の後部において幅方向の中央に立設されている。なお、第二支持部材５１ｂの上端部に比べて、第三支持部材５１ｃの上端部が低くなっている。
【００３３】
第二支持部材５１ｂの上端部と第三支持部材５１ｃの上端部との間には、上面に歯面が形成された第一連動用ベルト５１ｄが架設されており、この第一連動用ベルト５１ｄの歯面には、第一連動ギヤ５１が噛合している。
第二ベース部材３１の側板部３１ｂの右側面において、第一連動ギヤ５１の前方には、左右方向の軸回りに周面が形成された補助ローラ５１ａが回転自在な状態で取り付けられており、第一連動用ベルト５１ｄは、第一連動ギヤ５１の前側で補助ローラ５１ａの上側の周面に沿って斜め上方に案内されている。したがって、第一連動用ベルト５１ｄが第一連動ギヤ５１の歯面の下端から前側に亘って、周方向の約四分の一に接触することになるため、第一連動ギヤ５１と第一連動用ベルト５１ｄとの噛合領域が大きくなっている。
【００３４】
そして、第二ベース部材３１が第一ガイドレール２２の後部に位置している状態（図１の状態）から、図２に示すように、第二ベース部材３１が第一ガイドレール２２に沿って前方に移動したときには、第二ベース部材３１に取り付けられた第一連動ギヤ５１及び補助ローラ５１ａも前方に移動することになる。このとき、第一連動ギヤ５１は、第一ベース部材２１に固定された第一連動用ベルト５１ｄの上面を転動しながら前方に移動することになり、第一連動ギヤ５１が第二ベース部材３１の前方への移動に連動して、右側から見て時計回りに回転する。
一方、第二ベース部材３１が第一ガイドレール２２の前部に位置している状態（図２の状態）から、図１に示すように、第二ベース部材３１が第一ガイドレール２２に沿って後方に移動したときには、第一連動ギヤ５１は第一連動用ベルト５１ｄの上面を転動しながら後方に移動することになり、第一連動ギヤ５１は第二ベース部材３１の後方への移動に連動して、右側から見て反時計回りに回転する。
【００３５】
第二連動ギヤ５３は、回転軸５２の左端部に取り付けられており、回転軸５２の右端部に取り付けられた第一連動ギヤ５１とともに、回転軸５２の軸回りに回転する。
本実施形態では、第一連動ギヤ５１の歯数を３２歯とし、第二連動ギヤ５３の歯数を２４歯に設定することで、第一連動ギヤ５１に対する第二連動ギヤ５３のギヤ比が０．７５になっており、第二連動ギヤ５３は第一連動ギヤ５１に対してギヤ比が小さく設定されている。
【００３６】
第二ベース部材３１の側板部３１ｂの左側面の前部において、第二連動ギヤ５３と同じ高さには、左右方向の軸回りに回転自在な状態で第二従動ギヤ５３ａが取り付けられている。この第二従動ギヤ５３ａは、第二連動ギヤ５３と同径であり、左右方向の軸回りに歯面が形成されたピニオンギヤである。
【００３７】
第二連動ギヤ５３と第二従動ギヤ５３ａとには、環状の第二連動用ベルト５３ｂが掛け渡されており、第二連動用ベルト５３ｂの内周面に形成された歯面が、第二連動ギヤ５３及び第二従動ギヤ５３ａの歯面に噛合している。そして、第二連動ギヤ５３が回転することで、第二連動用ベルト５３ｂが周方向に回転する。
【００３８】
ハンド部材４０には、第二スライダ３３に取り付けられた支持部４１と、円形基板Ｗを吸着保持する保持部４２と、が形成されている。
【００３９】
支持部４１は、平板状の部材であり、側面視で長方形に形成されており、長手方向が上下方向に配置されている。この支持部４１の右側面の下端部は、第二スライダ３３の左側面に取り付けられている（図３参照）。また、支持部４１の上端部は、連動機構５０の第二連動用ベルト５３ｂよりも上方に突出している。
【００４０】
支持部４１の右側面の上部には、平板状の連結部４１ａが水平に突出している。連結部４１ａの下面は、連動機構５０の第二連動用ベルト５３ｂの外周面において上側に露出した部位に取り付けられている。第二スライダ３３が第二ガイドレール３２の後部に位置しているときには（図１の状態）、連結部４１ａは第二連動用ベルト５３ｂの後部に位置している。
【００４１】
そして、第二連動用ベルト５３ｂが右側から見て時計回りに回転すると、連結部４１ａを介して第二連動用ベルト５３ｂに連結されたハンド部材４０が第二ガイドレール３２に沿って前方に移動する。
一方、図２に示すように、ハンド部材４０が第二ガイドレール３２の前部に移動した状態から、第二連動用ベルト５３ｂが右側から見て反時計回りに回転すると、ハンド部材４０が第二ガイドレール３２に沿って後方に移動する。
【００４２】
保持部４２は、支持部４１の上端部から前方に向けて水平に突出した平板状の部位であり、平面視で長方形に形成されており、保持部４２の右側縁部の後部が支持部４１の上端部に連結されている。
保持部４２の内部には、真空引き用の配管（図示せず）が設けられており、保持部４２の上面の先端領域に形成された多数の微細吸引孔４２ａから真空引きすることで、保持部４２の先端部に円形基板Ｗを吸着保持することができる。
【００４３】
以上のように構成された基板搬送装置１では、次のように動作して本発明の作用効果を奏する。
ここでは、図１に示すように、第二スライダベース３０が第一スライダベース２０の後部に位置するとともに、ハンド部材４０が第二スライダベース３０の後部に位置している状態から、図２に示すように、第二スライダベース３０及びハンド部材４０を前方に移動させることで、第二スライダベース３０及びハンド部材４０からなる多段スライド構造を前方に向けて伸長させる場合について説明する。
【００４４】
第一スライダベース２０の駆動モータ２４ａを駆動させて駆動ギヤ２４ｃを回転させ、駆動用ベルト２４ｅを右側から見て時計回りに回転させると、駆動用ベルト２４ｅに連結された第二スライダベース３０の第二ベース部材３１が第一ガイドレール２２に沿って前方に移動する（図２参照）。
【００４５】
第二ベース部材３１が第一ガイドレール２２に沿って前方に移動すると、第二ベース部材３１に取り付けられた第一連動ギヤ５１は、第一連動用ベルト５１ｄの上面を転動しながら前方に移動し、第一連動ギヤ５１が右側から見て時計回りに回転する。
また、第一連動ギヤ５１とともに第二連動ギヤ５３が回転することで、第二連動用ベルト５３ｂが右側から見て時計回りに回転し、第二連動用ベルト５３ｂに連結されたハンド部材４０が第二ガイドレール３２に沿って前方に移動する。
【００４６】
このようにして、第二スライダベース３０及びハンド部材４０からなる多段スライド構造を前方に向けて伸長させることで、図２に示すように、ハンド部材４０の先端部に吸着保持された円形基板Ｗを、本体部１０の前方に設定された所定の位置に搬送することができる。
【００４７】
ここで、本実施形態の基板搬送装置１では、第二スライダベース３０の前後方向の移動に連動して回転する第一連動ギヤ５１に対して、ハンド部材４０を前後方向に移動させるための第二連動ギヤ５３のギヤ比が０．７５に設定されている。つまり、本実施形態の基板搬送装置１では、第二スライダベース３０の第一スライダベース２０に対する移動量に比べて、ハンド部材４０の第二スライダベース３０に対する移動量が小さくなっている。
【００４８】
本実施形態では、第二スライダベース３０の第一スライダベース２０に対する移動量を１とした場合、ハンド部材４０の第二スライダベース３０に対する移動量が０．７５の比率となる。したがって、第二スライダベース３０が第一ガイドレール２２上を移動する距離を仮に１００とした場合、ハンド部材４０が第二ガイドレール３２上を移動する距離は７５と短くなるため、第二ガイドレール３２を第一ガイドレール２２よりも短くすることができる。本実施形態の基板搬送装置１では、第一ガイドレール２２の前後方向の長さを１とした場合、第二ガイドレール３２の前後方向の長さが０．７５の比率になっている。
【００４９】
本実施形態の基板搬送装置１では、図４（ａ）に示すように、第二ガイドレール３２を第一ガイドレール２２よりも短くすることができ、第二ガイドレール３２が取り付けられる第二スライダベース３０を先端側（前方側）に突出させる量を小さくすることができるため、基板搬送装置１の近傍に円形基板Ｗを搬送したときに、円形基板Ｗの下方に第二スライダベース３０が存在しないようにすることができる。
また、ハンド部材４０を先端側に大きく突出させる必要がなくなり、ハンド部材４０を小型で簡単な構造にすることができるため、基板搬送装置１の占有スペースを小さくするとともに、製造コストを低減することができる。
【００５０】
なお、比較例として図４（ｂ）に示した基板搬送装置１´では、第二スライダベース３０´の第一スライダベース２０に対する移動量と、ハンド部材４０の第二スライダベース３０´に対する移動量とが等しくなっている。この構成では、第二ガイドレール３２´は第一ガイドレール２２の前後方向の長さと同じ長さが必要となり、この第二ガイドレール３２´に対応させて、第二スライダベース３０´の前後方向の長さが設定されている。そのため、比較例の基板搬送装置１´では、本実施形態の基板搬送装置１（図４（ａ）参照）の第二スライダベース３０よりも、第二スライダベース３０´が前後方向に大きくなっている。
そして、図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、基板搬送装置１，１´の近傍である位置Ａまで円形基板Ｗの中心を搬送したときに、本実施形態の基板搬送装置１では、円形基板Ｗの下方に第二スライダベース３０が存在しないが、比較例の基板搬送装置１´では、第二スライダベース３０´が、本実施形態の基板搬送装置１の第二スライダベース３０よりも前後方向に大きいため、円形基板Ｗの下方に第二スライダベース３０´が存在することになる。
【００５１】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜に設計変更が可能である。
図１に示す本実施形態の基板搬送装置１では、第二スライダベース３０の第一スライダベース２０に対する移動量を１とした場合、ハンド部材４０の第二スライダベース３０に対する移動量が０．７５の比率となるように、第一連動ギヤ５１に対する第二連動ギヤ５３のギヤ比を０．７５に設定しているが、第二スライダベース３０の第一スライダベース２０に対する移動量に比べて、ハンド部材４０の第二スライダベース３０に対する移動量が小さくなるように、第一連動ギヤ５１に対する第二連動ギヤ５３のギヤ比が設定されていればよい。例えば、第一連動ギヤ５１に対する第二連動ギヤ５３のギヤ比を０．５とした場合には、第二ガイドレール３２の長さを第一ガイドレール２２の長さに比べて更に小さくすることができるため、円形基板Ｗをより近傍に搬送しても、円形基板Ｗの下方に第二スライダベース３０が存在しない。
【００５２】
また、本実施形態の基板搬送装置１では、第二スライダベース３０の第一スライダベース２０に対する移動と、ハンド部材４０の第二スライダベース３０に対する移動とに公知のリニアスライダを用いているが、第二スライダベース３０が第一スライダベース２０に対してスライド移動するとともに、ハンド部材４０が第二スライダベース３０に対してスライド移動することができるのであれば、その構成は限定されるものではなく、例えば、ラック・ピニオン機構を用いることもできる。
【００５３】
また、第一スライダベース２０及び第二スライダベース３０を覆う箱状のカバーを設け、このカバー内の空気を本体部１０内に排気する排気ファンを設けた場合には、第二スライダベース３０やハンド部材４０の移動に伴って発生したパーティクルを本体部１０内に排出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本実施形態の基板搬送装置において、多段スライド構造が縮退した状態を示した斜視図である。
【図２】本実施形態の基板搬送装置において、多段スライド構造が伸長した状態を示した斜視図である。
【図３】本実施形態の基板搬送装置を示した側面図である。
【図４】本実施形態の基板搬送装置と比較例の基板搬送装置とを示した図で、（ａ）は本実施形態の基板搬送装置の側面図、（ｂ）は比較例の基板判装置の側面図である。
【図５】従来の基板搬送装置を示した斜視図である。
【符号の説明】
【００５５】
１ 基板搬送装置
１０ 本体部
１２ａ コラムシリンダ
２０ 第一スライダベース
２１ 第一ベース部材
２２ 第一ガイドレール
２３ 第一スライダ
２４ 駆動機構
２４ａ 駆動モータ
２４ｃ 駆動ギヤ
２４ｄ 第一従動ギヤ
２４ｅ 駆動用ベルト
３０ 第二スライダベース
３１ 第二ベース部材
３２ 第二ガイドレール
３３ 第二スライダ
４０ ハンド部材
５０ 連動機構
５１ 第一連動ギヤ
５１ｄ 第一連動用ベルト
５２ 回転軸
５３ 第二連動ギヤ
５３ａ 第二従動ギヤ
５３ｂ 第二連動用ベルト
Ｗ 円形基板
【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体部と、
前記本体部に横回転及び昇降自在に支持された第一スライダベースと、
前記第一スライダベースに取り付けられた第一ガイドレールに沿って横方向に移動自在な第二スライダベースと、
前記第二スライダベースに取り付けられた第二ガイドレールに沿って横方向に移動自在であり、基板を保持するハンド部材と、
前記第二スライダベースの横方向の移動に連動して、前記ハンド部材を同一方向に移動させる連動機構と、を備え、
前記連動機構は、
前記第二スライダベースの横方向の移動に連動して回転する第一連動ギヤと、
前記第一連動ギヤに対してギヤ比が小さく設定された第二連動ギヤと、
前記第二スライダベースに回転自在に支持された回転軸と、を備え、
前記回転軸の両端部に前記第一連動ギヤ及び前記第二連動ギヤがそれぞれ取り付けられており、前記第一連動ギヤに連動して回転する前記第二連動ギヤによって、前記ハンド部材が横方向に送り出されることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記第一連動ギヤは、前記第二スライダベースが横方向に移動したときに、前記第一スライダベースに設けられた連動用ベルトの上面を転動することで、前記第二スライダベースの横方向の移動に連動して回転することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項１】
本体部と、
前記本体部に横回転及び昇降自在に支持された第一スライダベースと、
前記第一スライダベースに取り付けられた第一ガイドレールに沿って横方向に移動自在な第二スライダベースと、
前記第二スライダベースに取り付けられた第二ガイドレールに沿って横方向に移動自在であり、基板を保持するハンド部材と、
前記第二スライダベースの横方向の移動に連動して、前記ハンド部材を同一方向に移動させる連動機構と、を備え、
前記連動機構は、
前記第二スライダベースの横方向の移動に連動して回転する第一連動ギヤと、
前記第一連動ギヤに対してギヤ比が小さく設定された第二連動ギヤと、
前記第二スライダベースに回転自在に支持された回転軸と、を備え、
前記回転軸の両端部に前記第一連動ギヤ及び前記第二連動ギヤがそれぞれ取り付けられており、前記第一連動ギヤに連動して回転する前記第二連動ギヤによって、前記ハンド部材が横方向に送り出されることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記第一連動ギヤは、前記第二スライダベースが横方向に移動したときに、前記第一スライダベースに設けられた連動用ベルトの上面を転動することで、前記第二スライダベースの横方向の移動に連動して回転することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２０１０−１７８３６（Ｐ２０１０−１７８３６Ａ）
【公開日】平成２２年１月２８日（２０１０．１．２８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１８３０６８（Ｐ２００８−１８３０６８）
【出願日】平成２０年７月１４日（２００８．７．１４）
【出願人】（５０７３８４７２２）アテル株式会社 (3)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１月２８日（２０１０．１．２８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年７月１４日（２００８．７．１４）
【出願人】（５０７３８４７２２）アテル株式会社 (3)
【Ｆターム（参考）】
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