【課題】 可動部に設けられた押圧ローラおよび離間ローラの交換作業が容易になるロボットを提供すること。
【解決手段】 ロボットＡに、開口１５を備えたケース部材１０と、開口１５を塞ぐシャッタ５０と、ケース部材１０に移動可能に取り付けられたテーブル本体３１と、テーブル本体３１の移動方向の両側でシャッタ５０を開口１５の縁部側に押圧する押圧ローラ３２ａと、押圧ローラ３２ａ間でシャッタ５０を開口１５の縁部から離間させる離間ローラ３２ｂとを設けた。そして、テーブル本体３１の一方側に設置される押圧ローラ３２ａと離間ローラ３２ｂと、テーブル本体３１の他方側に設置される押圧ローラ３２ａと離間ローラ３２ｂとを一対の支持部材３３で支持し、一対の支持部材３３をそれぞれねじ３７を用いてテーブル本体３１の移動方向の一方側および他方側からテーブル本体３１に対して着脱可能にした。 （もっと読む）

【課題】シートが伸びたことを検知し、作業者に報知することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１は、直動装置を構成するレール１０及びスライダ２０と、スライドユニット３０と、可撓性のシートとを有する。スライドユニット３０は、その移動方向に沿って、シートを収容し、スライドベース３１と、方向転換部とを有する。スライドユニット３０には、シートが所定の長さ以上の伸びを発現したときに該シートの過剰な伸びを作業者に報知する報知手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】シートの交換作業を容易に行うことができる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１は、直動装置を構成するレール１０及びスライダ２０と、スライドユニット３０と、これらの上面を覆う防塵用の可撓性のシートとを有する。スライドユニット３０は、スライドベース３１と、その移動方向に沿って防塵用のシートを収容し、シートの方向を転換するためのローラからなる第１の方向転換部４１と第２の方向転換部４２とを有する。スライドベース３１には、それぞれシートに向かって開口し第１の方向転換部材を支持する第１の支持部３１ｃと、第２の方向転換部材を支持する第２の支持部３２ｃが形成される。第１の方向転換部材４１及び第２の方向転換部材４２は、第１の支持部３１ｃと第２の支持部３２ｃに容易に着脱可能に嵌合する。これによって、スライドベース３１上にワークや工具などが搭載されていても、シートの交換が容易である。 （もっと読む）

【課題】 ケース部材の開口縁部とシャッタとの隙間からケース部材の内部に塵埃や異物が浸入することを防止できるロボットを提供すること。
【解決手段】 軸方向に沿う一面が開口したケース部材１０と、ケース部材１０の軸方向に移動可能な状態でケース部材１０に取り付けられた可動部材２０と、可動部材２０を移動させる駆動装置４０と、ケース部材１０の開口１５を塞ぎ可動部材２０に位置する部分が開口１５の縁部から離間されるシャッタ５０とを備えたロボットＡを構成した。そして、可動部材２０の移動方向の両端に、シャッタ５０の外面と開口１５の縁部とに接触するワイパ３４を着脱可能に設けた。ワイパ３４の可動部材２０への取り付けを、可動部材２０に係合部３６を設けるとともに、ワイパ３４に被係合部３７を設けて、ワイパ３４を係合部３６に対してスライドさせることにより行った。 （もっと読む）

【課題】落下防止機構の故障発生確率を低くすると共に、万一故障が発生した場合でも該故障に容易に気付くことができるようにする。
【解決手段】第１スライダ８は固定ベース７に対して垂直方向に移動可能であり、第２スライダ１０はこの第１スライダ８に垂直方向に移動可能である。第２スライダ１０は、第１スライダ８が移動されると、プーリ２２Ａ、２２Ｂ及びベルト２３を有する第２スライダ用移動機構１１により、第１スライダ８に対してこれより先行して移動させられる。落下防止機構２４は、第１スライダ８における前記両プーリ２２Ａ、２２Ｂ間の中間部に支軸２６により回動可能に支承されて、第１長孔部２７Ａ及び第２長孔部２７Ｂを有するレバー２５と、固定ベース７に設けられた第１ピン２９Ａと、第２スライダ１０に設けられた第２ピン２９Ｂとを有し、第１ピン２９Ａ及び第２ピン２９Ｂを前記支軸２６を中心として点対称配置とした。 （もっと読む）

【課題】全体の大きさや重量を大きくすることなく可搬重量を増やす。
【解決手段】水平多段式伸縮装置３のベース１１を、直動ガイド１３の長さより短い寸法に形成し、且つこのベース１１の下面に同じく直動ガイド１３の長さより短い寸法の平行状態をなす一対のレール摺動体１２Ｌ、１２Ｒを設けている。又、直動ガイド１３を２本のレール１７Ｌ、１７Ｒと二つの連結端板１８Ａ（ひとつのみ図示）とから構成している。さらに一対のレールレール１７Ｌ、１７Ｒを連結するについて各レールの端面で各連結端板１８Ａをねじ止めする構成とした。 （もっと読む）

【課題】スライダ３０が特定の範囲で移動と停止を繰り返し、同じ位置に頻繁に停止することがあったとしても、当該停止位置で塵埃がこびりつく等の不具合を防止する。
【解決手段】略直方体形状の外殻を有する中空のケーシング１１の上面に配置されたスライダ３０と、前記ケーシング１１に設けられ、且つ前記ケーシング１１の上面に形成された開口部１７を介して前記スライダ３０を前記ケーシング１１の長手方向に往復移動させる駆動機構と、前記ケーシング１１の開口部１７を遮蔽するように前記スライダ３０を貫通する平板状のシャッタ４０と、前記スライダ３０の移動方向両側に設けられ、前記シャッタ４０の上面と非接触状態で前記シャッタ４０下面を吸引することにより、当該スライダ３０の両側での前記シャッタ４０の浮きを規制する一対の吸引手段３４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】シートの交換作業を容易に行うことができる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１は、直動装置２と、スライドユニット３と、可撓性のシート５とを備える。直動装置２は、レール１０とスライドベース３１とを有する。スライドユニット３は、その移動方向に沿って、シート５を収容し、スライドベース３１と、該スライドベース３１の移動方向の両端部に着脱可能に設けられたガイドロール支持ブロック３２と、方向転換部４とを有する。方向転換部４は、第１の方向転換部材４１と第２の方向転換部材４２とを有する。第１の方向転換部材４１は、スライドベース３１に複数設けられ、シート５の下面を上方に押し上げて張架する。ガイドロール支持ブロック３２に設けられた第２の方向転換部材４２によって上面を押さえつけられたシート５は、開口部１１を覆うよう案内される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、大幅に搬送サイクルタイムを向上させた搬送システムを提供するものである。
【解決手段】ワーク１０を直線的に搬送する搬送システム１であって、駆動機構がリニアモータ２から構成され、前記リニアモータ２の可動子５上に前記ワーク１０を着脱する吸引パッド７を昇降可能にする上下機構６を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 スライダ移動時にベルト状カバーがフレームに接触し、発塵するという欠点を解消し、防塵効果の向上を図った軸用スライド装置を提供すること。
【解決手段】 固定されたフレームの開口部内をステージが移動し、前記開口部をステージ移動方向に全面に亘って覆うベルト状カバーを設けた軸用スライド装置において、スライダ移動時にベルト状カバーの幅方向両端部のエッジと接触するフレーム部に開口部に沿った小溝を設けたことを特徴とする軸用スライド装置とした。 （もっと読む）

【課題】ワークを同一水平面内で直線移動させて移載するフロッグレッグ型移載装置において、横揺れ防止を実現すると共に、パーティクルの発生を減らす。
【解決手段】フロッグレッグ型移載装置において、２本のフリーアームは、基台に一端が第１回動軸を介して取り付けられている。移載アームは、２本のフリーアームの他端に第２回動軸３４を介して連結され、ワークを載置する。同期機構３５は、２本のフリーアーム同士を連結して横揺れを抑制する。同期機構３５において、直線移動部材４７は、移載アームの移動方向にスライド自在に支持されている。回動部材４８は、直線移動部材４７に回動自在に支持されている。２本のロッド部材４５は、第２回動軸３４に軸支された第１端５７と、回動部材４８に軸支された第２端５８とを有する。 （もっと読む）

【課題】輻射熱を受けやすい部材から効率よく熱を逃すことができるワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】ワークを搬送するためのワーク搬送機構を備えたワーク搬送装置であって、ワーク搬送機構の外表面各所には、冷媒循環用の冷却パイプ８４が付設されており、冷却パイプ８４は、上記外表面に対して弾性部材８５を挟んだ状態で固定具８６を介して押圧固定されている。 （もっと読む）

【課題】長尺の案内レールを使用することなく被駆動体をロングストロークにわたって搬送可能とする。
【解決手段】この多段構造のアクチュエータ１は、複数の駆動ユニット１０Ａ〜１０Ｄそれぞれが、二つのボールねじ１１Ａ，１１Ｂを有している。二つのボールねじ１１Ａ，１１Ｂは、相互のナット５，５が逆方向に駆動され、また、隣り合う駆動ユニット１０Ａ〜１０Ｄのナット５，５相互が連結されている。さらに、各駆動ユニット１０Ａ〜１０Ｄには、案内レール２が取り付けられ、これを支持する複数の案内部材３は、各駆動ユニット１０Ａ〜１０Ｄ毎に軸方向に離間してベースＢに配置されている。そして、各案内レール２は、各駆動ユニット１０Ａ〜１０Ｄの移動に伴って、複数の案内部材３に順次に受け渡されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】直線ロボットにおける密閉バンドの結合構造を提供する。
【解決手段】本発明は、ベルト、ボールスクリュー、リニアモータータイプの駆動手段によりテーブルを移動する直線ロボットにおける密閉バンドの結合構造に係り、さらに詳しくは、永久磁石を用いて移動するテーブルと密閉バンドを摩擦なしに作動させて摩擦騒音、粉塵発生、摩擦による密閉バンドの変形がなく、使用寿命を延ばすことができ、完璧なクリーン状態を維持し、直線ロボットの精密性及び作動性を常に最適な状態で提供できるようにした直線ロボットにおける密閉バンドの結合構造に関する。 （もっと読む）

【課題】 シャッタ部材がケース部材の軸方向から横にずれた状態になることを防止できるロボットを提供すること。
【解決手段】 上面が開口した収容部を備えたケース部材１０と、収容部から一部を上方に突出させた状態で収容部に収容され、軸方向に移動可能に取り付けられた可動部材２０と、可動部材２０を軸方向に移動させる駆動装置３０と、収容部の軸方向の両端に両端部を固定された状態で収容部の開口を上方から塞ぎ、可動部材２０に位置する部分が可動部材２０によって上方に持ち上げられるシャッタ部材４０とで単軸ロボットＡを構成した。そして、シャッタ部材４０の下面における幅方向の両側部分に対向する収容部の開口縁部の上面に、マグネットシート１５ａを貼り付け、マグネットシート１５ａの上面にテフロンテープ１８を貼り付けた。 （もっと読む）

【課題】終点に移動した移動体を被押し当て体に押し当てることができ、被押し当て体のクランプ又は被圧入体への圧入を可能にした電動アクチュエータを提供する。
【解決手段】電動アクチュエータ１１は、スライダ１３の位置情報を検出するエンコーダ２０と、スライダ１３の速度調節器４２ａ，４２ｂと、スライダ１３の移動距離を学習する学習部と、学習部を動作させるための操作釦４４ａ，４４ｂと、電動モータＭに駆動信号を出力する制御部３０と、スライダ１３の推力調節器４３とを有する。電動アクチュエータ１１の制御部３０は、スライダ１３を終点に位置させた後、推力調節器４３の操作に応じて設定された推力に基づき電動モータＭに駆動信号を出力して、スライダ１３に推力を発生させてスライダ１３をワークに押し当てる。その結果、挟持体と電動アクチュエータ１１のスライダ１３とでワークをクランプすることができる。 （もっと読む）

【課題】装置の近傍に基板を搬送したときに、基板の下方にスライダベースが存在しないようにすることができる基板搬送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】基板搬送装置１であって、本体部１０に支持された第一スライダベース２０と、第一スライダベース２０の第一ガイドレール２２に沿って移動自在な第二スライダベース３０と、第二スライダベース３０の第二ガイドレール３２に沿って移動自在なハンド部材４０と、第二スライダベース３０に連動してハンド部材４０を移動させる連動機構５０とを備え、連動機構５０は、第二スライダベース２０に連動して回転する第一連動ギヤ５１と、第一連動ギヤ５１に対してギヤ比が小さい第二連動ギヤ５３とを備え、第二スライダベース２０に第一連動ギヤ５１及び第二連動ギヤ５３が取り付けられ、第一連動ギヤ５１に連動する第二連動ギヤ５３によってハンド部材４０が送り出される。 （もっと読む）

ロボットは、リソグラフィ装置の真空チャンバ内で対象物を位置決めする。ロボットの第１コンポーネントは、並進軸に沿って対象物を位置決めするために真空チャンバ内に配置される。シャフトは、シャフトの対称軸が並進軸に対して垂直になるように第１コンポーネントを支持し、第２コンポーネントは、対称軸の周りでシャフトを回転させ、かつシャフトを対称軸に対して平行方向に移動させる。第２コンポーネントは、シャフトの外周面に沿ってガスを導入するように構成されたガスベアリングと、第２コンポーネントガスベアリングによって導入されたガスを排気するように構成された排出シールとを含む。ロボットは、炭化水素分子のガス放出を約０〜２００ａ．ｍ．ｕ.の範囲に実質的に減少または除去し、よってロボットは極端紫外線（ＥＵＶ）フォトリソグラフィ用途での使用に適する。 （もっと読む）

【課題】走行レールに対する支柱の設置位置の変更を可能とすると共に、支柱の位置変更の作業を行う際の安全性を確保する。
【解決手段】支柱上に水平に設けられた支持プレート３に走行レール４を取付ける。走行レール４の上面部に、径小な第１円筒部１４と径大な第２円筒部１５とを一体に備える取付部７を設ける。支持プレート３の先端部に上面から見て円弧状の立下り壁部３ａを介して薄肉な被取付部１６を設ける。被取付部１６に、取付部７の第１円筒部１４が開口部から矢印Ａ方向に水平に挿入されるＵ字状切込み部１６ａを形成する。第１円筒部１４がＵ字状切込み部１６ａの奥部まで挿入された状態で、被取付部１６の先端部のＵ字状切込み部１６ａの開口部両側部分に、第２円筒部１５の投影面から露出した一定長さの露出端部１６ｂ，１６ｂが生ずる。 （もっと読む）

【課題】低い均等なワーク把持力で把持することが可能であるとともに、一対の把持部材でワークを把持したときのワークのセンタリング（中心位置決め）精度も向上する電動グリッパ装置を提供する。
【解決手段】一対の把持部材４の直線摺動を案内するレール６を、それぞれの把持部材について１本ずつ、しかも、互いにはレール長さ方向にずらすとともに、レール長さ方向とは直交する方向に離してレール台３に対設する。一対の把持部材５のそれぞれを、その片面に設けられたスライド部７をそれぞれのレール６に摺動自在に嵌合させた片持構造として、各レールに個別に摺動自在に装着する。 （もっと読む）