【課題】全体の大きさや重量を大きくすることなく可搬重量を増やす。
【解決手段】水平多段式伸縮装置３のベース１１を、直動ガイド１３の長さより短い寸法に形成し、且つこのベース１１の下面に同じく直動ガイド１３の長さより短い寸法の平行状態をなす一対のレール摺動体１２Ｌ、１２Ｒを設けている。又、直動ガイド１３を２本のレール１７Ｌ、１７Ｒと二つの連結端板１８Ａ（ひとつのみ図示）とから構成している。さらに一対のレールレール１７Ｌ、１７Ｒを連結するについて各レールの端面で各連結端板１８Ａをねじ止めする構成とした。 （もっと読む）

【課題】 最小侵襲外科手術に適したマニプレータを提供する。
【解決手段】 医学用ツールを患者の体内で操作する装置は、患者の体内に挿入可能な管３２１と、該管３２１により支持され且つ第一及び第二の軸線を有するジンバル継手３３０と、第一及び第二の軸線の周りで枢動し得るようにジンバル継手３３０により支持されたツール３２２と、管３２１を通ってジンバル継手３３０まで伸びる第一及び第二の細長いコネクタ３５０と、第一及び第二のコネクタ３５０を通じてジンバル継手３３０に力を加え、ツール３２２を第一及び第二の軸線の少なくとも一方の周りで枢動させ得るように第一及び第二のコネクタ３５０にそれぞれ作用可能に接続された第一及び第二のアクチュエータ３５５とを備えている。第一及び第二のコネクタ３５０は圧縮状態及び張力状態にて作用可能である。 （もっと読む）

【課題】チャンバ１００の外側に無用なスペースを必要とすることなく、低価格で、チャンバ１００に設けたウェーハＷの搬出入口１０１を可及的に小さくでき、しかも正確なウェーハＷの搬送が可能なウェーハ搬送装置３００を提供する。
【解決手段】Ｘリンクユニット２１で構成した伸縮手段２と、前記Ｘリンクユニット２１を構成するリンク要素２１ａ同士の回転軸２２に係合して伸縮軸線Ｃに沿ってスライド可能に支持するガイド部材８と、前記伸縮手段２の先端部に取り付けられて前記載置板１を抜脱可能かつ回転不能に保持する保持手段４と、前記伸縮手段２によってウェーハＷ交換室から受渡位置に向かって移動する途中での載置板１の、若干の伸縮軸線Ｃからの位置ずれを是正しながら受渡位置に導く案内機構６３とを設けた。 （もっと読む）

【課題】遠方の物品を俊敏にキャッチし取り寄せる、長尺になる取り寄せ具を提供する。
【解決手段】ハンド保持具１にレール収納体３が設けられ、該レール収納体３にはこれから前方に繰り出される伸縮レール４が設けられ、該伸縮レール４に、とってこいスライダー５が設けられ、該とってこいスライダー５に吊下連結材６を介してキャッチ７が設けられている。また後方のスライダーにはスプーン形状のキャッチが設けられている。さらに先端具４２付近に、先端つまみ具片４４が設けられ、キャッチした物品を手元に移動しうる構成とする。 （もっと読む）

【課題】装置の近傍に基板を搬送したときに、基板の下方にスライダベースが存在しないようにすることができる基板搬送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】基板搬送装置１であって、本体部１０に支持された第一スライダベース２０と、第一スライダベース２０の第一ガイドレール２２に沿って移動自在な第二スライダベース３０と、第二スライダベース３０の第二ガイドレール３２に沿って移動自在なハンド部材４０と、第二スライダベース３０に連動してハンド部材４０を移動させる連動機構５０とを備え、連動機構５０は、第二スライダベース２０に連動して回転する第一連動ギヤ５１と、第一連動ギヤ５１に対してギヤ比が小さい第二連動ギヤ５３とを備え、第二スライダベース２０に第一連動ギヤ５１及び第二連動ギヤ５３が取り付けられ、第一連動ギヤ５１に連動する第二連動ギヤ５３によってハンド部材４０が送り出される。 （もっと読む）

【課題】十分な強度の付与と軽量化を両立させることが出来、然も過大な外力の作用によってアームが折れ曲がったときにも復旧が可能な伸縮式のマニピュレータ機構を提供する。
【解決手段】本発明に係るマニピュレータ機構は、アーム１と、アーム１の基端部が連結されてアーム１の巻き取り及び繰り出しを行なうアーム繰り出し装置２とを具え、アーム１は、弾性を有する複数本のテープ41を束ねてなるテープ集合体４と、テープ集合体４の長手方向に間隔をおいてテープ集合体４に装着されて、前記複数本のテープ41を互いに結束する複数の結束部材５とを具え、前記複数本のテープ41は、１本の連続する帯状弾性資材46を折り畳んで構成され、帯状弾性資材46の一方の端部がアーム繰り出し装置２に巻き取られている。 （もっと読む）

【課題】動物（典型的にはヒト）の手を模していながら、作業を器用に行うことのできるロボットハンドを提供する。
【解決手段】ロボットハンド１０は、４本の指（人差し指１２、中指１４、薬指１６、及び、小指１８）と第５の指（親指２０）を備える。４本の指の夫々は、直動関節１８ｈによって、手のひら２２に接続されている。４本の指の夫々は、ＤＩＰ関節、ＰＩＰ関節、及びＭＰ関節に相当する３つの回転関節（第１関節１８ｂ、１８ｄ、及び１８ｅ）を有している。ロボットハンド１０は、ヒトの手を模していながら、ヒトの手が有していない直動関節１８ｈを有している。直動関節１８ｈは、指の姿勢を保持したまま指全体を並行移動することができる。ロボットハンド１０は、直動関節１８ｈを備えることによって、回転関節のみで構成されているロボットハンドよりも作業を器用に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】伸縮型移動体を構成する２つの移動部材が互いに連動して移動し、且つ一方の移動部材を他方の移動部材よりも長距離移動させるための機構を、大型化を避けながら、しかも、発塵を極力抑制できる形態にて実現する。
【解決手段】伸縮型移動体５を構成する第１の移動部材９および第２の移動部材１０に夫々第１のラック１９および第２のラック２０を設け、昇降用モータ１８の回転軸１８ａに設けられた小径側の第１のピニオン２１を第１の移動部材９の第１のラック１９に噛合させ、大径側の第２のピニオン２２を第２の移動部材１０の第２のラック２０に噛合させたので、第１の移動部材９および第２の移動部材１０を連動して、且つ第２の移動部材１０が第１の移動部材９の２倍の距離移動するように構成する。 （もっと読む）

【課題】アーム部の位置制御が容易でロボット先端部の配置位置と目標位置とのズレの少
ないスカラロボットを提供する。
【解決手段】スカラロボット１は、ベース部２、アーム部３、テーブル部４から構成され
、ベース部２は、床面等に設置されたベース１０を有する。アーム部３は、ベース１０に
対して回転可能に第１のアーム１１を、第１のアーム１１に回動可能に第２のアーム１２
を、第２のアーム１２に回動可能に先端部１３Ｂにツールの取付可能な第３のアーム１３
を備えている。テーブル部４は、先端に回動板２２を備えた駆動軸２１がベース１０の正
面１０Ｂから水平方向に突出されている。回動板２２は、その中央部に突出した第５モー
タの駆動軸に回転可能に作業テーブル２４の中央部を連結固定している。作業テーブル２
４は、ワークを保持する一対のチャック２６を備えている。従って、ワークは作業テーブ
ル２４の回転により回動される。 （もっと読む）

【課題】直動式アーム内にあるリニアスライダなどの機構からの発塵を抑制するとともに、真空中に置かれる基板搬送ロボットでも使用可能な防塵機構を提供すること
【解決手段】リニアスライダによって直動する直動式アーム３を備えて基板９を所望の位置に搬送する基板搬送ロボット１において、リニアスライダ１８、２３を摺動可能に保持するリニアレール７、８の近傍に、リニアスライダ１８、２３と微小な隙間を介して敷設され、ポリ塩化ビニール又はフッ素樹脂で製作された集塵カバ４４をリニアレール７、８に沿って敷設した。リニアレール６上を摺動するリニアスライダ７直近に集塵カバ１０を設置し、リニアレール６上のリニアスライダ７が摺動する際に飛散するパーティクル１３を集塵カバ１０のラビリンス形状部で収集し、アームカバ８の開口部からパーティクル１３が流出することを防止し、ウエハ搬送フォーク３上のウエハ１２にパーティクル１３を付着させない処置をする。 （もっと読む）

【課題】構造の簡略化を図るとともに汎用性の高い作業補助装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る作業補助装置Ａ１は、支持ベース１と、支持ベース１に対してＺ軸方向に伸縮するＺ軸駆動機構２と、Ｚ軸駆動機構２に対して基端部が接続され、この基端部に対して先端部がＸ軸，Ｙ軸方向に沿って揺動する揺動駆動機構３と、上記先端部に接続され、ＸＹＺ方向に操作可能な操作部材４と、操作部材４のＸＹＺ方向の操作力を個別に検出する操作力検出手段５と、操作力検出手段５からの情報に基づきＺ軸駆動機構２および揺動駆動機構３を操作部材４の操作方向への移動を支援するように制御する制御手段とを備える。また、揺動駆動機構３は、上記基端部に対して上記先端部がＸ軸に沿って揺動可能な第１のパンタグラフ機構と、上記基端部に対して上記先端部がＹ軸に沿って揺動可能な第２のパンタグラフ機構との複合パンタグラフ機構によって構成される。 （もっと読む）

【課題】十分な強度の付与と軽量化を両立させることが出来、然も過大な外力の作用によってアームが折れ曲がったときにも復旧が可能な伸縮式のマニピュレータ機構を提供する。
【解決手段】本発明に係るマニピュレータ機構は、先端部に先端機構３を具えたアーム１と、該アーム１の基端部が連結されて該アーム１の巻き取り及び繰り出しを行なうアーム繰り出し装置２とを具え、アーム１は、弾性を有する複数本のテープ41を束ねてなるテープ集合体４と、該テープ集合体４の長手方向に間隔をおいてテープ集合体４に装着された複数の拘束部材５とを具え、該拘束部材５には、前記複数本のテープ41が貫通して該複数本のテープ41の相対位置を一定に保つためのガイド溝51が開設されている。 （もっと読む）

【課題】 正確な直線移動行程を実現しつつ、構造の簡略化を図ることができる直線移動機構、およびこれを用いた搬送ロボット、さらには真空環境下での使用に適した当該搬送ロボットを提供する。
【解決手段】 本発明に係る直線移動機構Ｂ１は、ガイド部材１と、このガイド部材１上に設定された水平直線状の移動行程ＧＬに沿って移動可能な２つの移動部材と、駆動プーリ３１ｂ、およびこの駆動プーリ３１ｂに掛け回されて移動行程ＧＬの平行線に沿う所定の往復動区間３Ａａ，３Ｂｂを往復動する出力ベルト３３を含んで構成された駆動機構３Ａ，３Ｂと、駆動プーリ３１ｂを駆動するためのモータＭ３，Ｍ４とを備え、移動部材は、連結部材２４ａ，２４ｂによって駆動機構３Ａ，３Ｂの出力ベルト３３にそれぞれ連結されており、駆動機構３Ａ，３ＢおよびモータＭ３，Ｍ４は、それぞれガイド部材１に支持されている。 （もっと読む）

【課題】横断面積を小さくする構造とすることを可能とする屈曲駆動機構を提供する。
【解決手段】外皮チューブの先端に設けられ、外皮チューブ内を通る複数のワイヤの伸縮に応じて屈曲動作する作動部と、外皮チューブ内に配置され、複数のワイヤのそれぞれを伸縮駆動する互いに独立した複数のアクチュエータとを備え、複数のアクチュエータが外皮チューブ軸線方向に配置されている屈曲駆動機構。さらに、外皮チューブ内を通る複数のワイヤのそれぞれの長さが、ワイヤと外皮チューブとの摩擦によってワイヤの伸縮動作が妨げられない長さとなるように、複数のアクチュエータのそれぞれを作動部に近接して配置した。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成により、より正確な直線移動行程を実現できる直線移動機構およびこれを用いた搬送ロボット、さらにはハンドを２つ備えることによってワークの搬送効率を高めた搬送ロボットを提供する。
【解決手段】 ガイド部材１と、このガイド部材１上に設定された水平直線状の移動行程に沿って移動可能な移動部２Ａ，２Ｂ材と、これら移動部材２Ａ，２Ｂを駆動する駆動機構３Ａ，３Ｂと、を備えた直線移動機構Ｂ１であって、駆動機構３Ａは、移動行程ＧＬを挟んで配置され、かつ同期駆動される一対の往復動機構を含んでおり、移動部材２Ａは、移動行程を挟んで離間する一対の連結部材２４ａにおいて、上記一対の往復動機構に連結されている。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】自己構築及び演算システムのモジュールは、複数のモジュール１０、Ａ、Ｂ、Ｃにて形成されたマトリクス１５０、１５０´を有する。モジュール１０、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、１０００、２０００、３０００、４０００の各々は、ピン２６７ｂ、４６７ｂ、５６７ｂ、７６７ｂ及び穴２６７ａ、４６７ａ、５６７ａ、７６７ａ型接続部を通して互いに取り外し可能に結合され、電源６９に対するハウジング８００を形成する６つまでの接続組立体４０、２００、３００、４００、５００、６００、７００、１０１０、２０１０、３０１０、４０１０を備えている。接続組立体４０の各々は、取り付けられた接続板３１ないし３６を有する、回動可能に取り付けられた脚部２５ないし３０、１０５０、１０６０、１０７０、１０８０、２０５０、２０６０、２０７０、２０８０、３０５０、３０６０、３０７０、３０８０、４０５０、４０７０、４０８０と、中央コネクタ６８とを備えている。モジュール１０、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、１０００、２０００、３０００、４０００の中央に配置された電源６９は、中央コネクタ６８の各々と連通している。マトリクス１５０、１５０´内の色々なモジュール１０、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、１０００、２０００、３０００、４０００に対して、それらの脚部２５ないし３０、１０５０、１０６０、１０７０、１０８０、２０５０、２０６０、２０７０、２０８０、３０５０、３０６０、３０７０、３０８０、４０５０、４０７０、４０８０を動かし又は回動させてマトリクス１５０、１５０´の構造体の全体を動かし又は変更し又はモジュール１０、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、１０００、２０００、３０００、４０００の電源６９を交換するといったような仕事を実行するよう命令を与えることができる。
（もっと読む）

【課題】 装置全体としての大型化・重量化を避けつつハンド部の長い上下ストロークを確保し、尚かつハンド部の移動速度の高速化を図ることもできるようにしたロボットを提供することを目的とする。
【解決手段】 ハンド部２を上下動可能に支持する第１のフレーム３と、該第１のフレーム３を上下動可能に支持する第２のフレーム４とを備え、第１のフレーム３内には、ハンド部２を上下動させる第１のボールねじ５と、第２のフレーム４に対し第１のフレーム３を上下動させる第２のボールねじ６とを上下方向にかつ並列させて配列し、さらに、第１のボールねじ５と一体となって回転する第１の歯車および第２のボールねじ６と一体となって回転する第２の歯車と直接または間接的に連結されているモータ９を収納する。 （もっと読む）

本発明は、アクチュエータに関し、特にロボットアームの制御に用いられる直動式アクチュエータおよび回転式アクチュエータに関する。本発明は、実質的にバックラッシュの無い回転運動および/または直線運動を達成する比較的に低コストの手段を提供するものである。本発明で提供するアクチュエータ（１０）は、第一の駆動プーリ（２８）と、第二の駆動プーリ（２９）と、第一の被駆動プーリ（５２、７０）と、第二の被駆動プーリ（５３、７２）と、第一の駆動プーリ、第二の駆動プーリ、第一の被駆動プーリおよび第二の被駆動プーリと係合する無端駆動ベルト（４０）と、第一の駆動プーリおよび第二の駆動プーリを駆動して無端状駆動ベルトを回転および駆動させるために連結されているモータ（１９）と、被駆動プーリのうちの少なくとも一つを支持している被駆動部材（５０、８８、７１、７３）とを備えており、第一の駆動プーリおよび第二の駆動プーリが、一緒に回転するように相互に接続され、回転時には、第一の駆動プーリの周速度が第二の駆動プーリの周速度と異なるように配設され、無端ベルトが、第一の駆動プーリの周速度と第二の駆動プーリの周速度との間の差が被駆動部材に動きを生じさせるように、駆動プーリおよび被駆動プーリのまわりに巻き付けられている。 （もっと読む）

【課題】リンク機構のみで、大きなストロークを確保して大型のガラス板でも、ストッカーなどと干渉することなく、高速で移載できるようにした移載機を提供すること。
【解決手段】先端に搬器４を取り付けた２本一対の搬器支持リンク２と、先端側に搬器支持リンク２を枢着したＸ字形の主リンク１と、主リンク１の基端側と枢着し、基端側の駆動軸Ｐにて揺動可能とした２本一対の揺動リンク３とよりなり、揺動リンク３の揺動にて前記リンク機構の屈伸作用で、姿勢を制御しつつ、直線の移載方向の運行軌跡に沿って搬器４を移動するように構成する。 （もっと読む）